JPH11160735A - 電気光学装置およびその作製方法並びに電子機器 - Google Patents
電気光学装置およびその作製方法並びに電子機器Info
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Abstract
現する。 【解決手段】 素子電極101上に層間膜102を設
け、当該層間膜102に対して開孔部103を形成す
る。次に、第1の金属層104を形成した後、埋め込み
絶縁層105を形成する。そして、エッチバック法等の
手段により埋め込み絶縁層105を後退させ、開孔部1
03が充填された状態を実現する。こうすることで平坦
性を確保したまま素子電極101と第2の金属層107
との電気的な接続が可能となる。
Description
に反射型液晶表示装置)において、画素マトリクス回路
に複数設けられる画素電極の構成に関する。
製する技術が急速に発達してきている。その理由は、A
MLCD(Active Matrix Liquid Crystal Display)の
需要が高まったことにある。
十〜数百万個もの各画素のそれぞれにスイッチング素子
として薄膜トランジスタ(TFT)を配置し、各画素電
極に出入りする電荷をTFTのスイッチング機能により
制御するものである。
み込まれ、一種のコンデンサを形成している。従って、
TFTによりこのコンデンサへの電荷の出入りを制御す
ることで液晶の電気光学特性を変化させ、液晶パネルを
透過する光を制御して画像表示を行うことができる。
象としてディスクリネーションと呼ばれる現象がある。
液晶は画素電極と対向電極との間にある規則性をもった
配向性をもって配列しているが、電極表面の凹凸に起因
するラビング不良によって配向性が乱れる場合がある。
この場合、その部分では正常な光シャッタとしての機能
が失われ、光漏れなどの表示不良を起こす。
るためにTFTを平坦化膜で覆う構成などの工夫が施さ
れたが、現状では必ずしも抜本的な解決策とはなってい
ない。なぜならば、如何に平坦化膜を利用しても最終的
に形成される画素電極のコンタクト部の段差は平坦化が
不可能だからである。
を鑑みてなされたものであり、完全に平坦な導電層を形
成するためのコンタクト部の構成に関する技術を提供す
る。
し、コンタクト部の段差に起因するディスクリネーショ
ンの発生を防止することを目的とする。そして、必要な
ブラックマスクの面積を低減することで有効画素面積を
拡大し、高精細かつ高コントラストなAMLCDを実現
する。
の構成は、1個乃至数個のTFTと当該TFTに接続さ
れた画素電極と、を備えた複数の画素で構成される画素
マトリクス回路を有する電気光学装置において、前記画
素電極の一部は前記TFTと電気的に接続するためのコ
ンタクト部を形成し、当該コンタクト部に生じる凹部に
は絶縁層が埋め込まれていることを特徴とする。
TFTと当該TFTに接続された画素電極と、を備えた
複数の画素で構成される画素マトリクス回路を有する電
気光学装置において、前記画素電極は第1の金属層と第
2の金属層との積層構造からなり、前記第1の金属層と
前記TFTとが接続するコンタクト部においては、前記
第1の金属層と前記第2の金属層との間に絶縁層が挟み
込まれていることを特徴とする。
TFTと当該TFTに接続された画素電極と、を備えた
複数の画素で構成される画素マトリクス回路を有する電
気光学装置において、前記画素電極は第1の金属層と第
2の金属層との積層構造からなり、前記第1の金属層が
形成する凹部には絶縁膜が埋め込まれ、当該第1の金属
層及び絶縁膜を覆って前記第2の金属層が形成されてい
ることを特徴とする。
2の金属層は単層であっても良いし、積層構造であって
も良い。
ン)、Cr(クロム)、Ta(タンタル)、W(タング
ステン)、Mo(モリブデン)、Nb(ニオブ)または
Si(シリコン)から選ばれた材料で構成すれば良い。
ニウム)、Cu(銅)、Ag(銀)またはそれらを主成
分とする金属膜から選ばれた材料で構成すれば、高反射
率の画素電極を形成することが可能である。
開孔部を形成する工程と、前記第1の絶縁層及び開孔部
を覆って第1の金属層を形成する工程と、前記第1の金
属層上に第2の絶縁層を形成する工程と、前記第2の絶
縁層をエッチングまたは研磨し、前記第1の金属層に形
成された凹部のみが当該第2の絶縁層で埋め込まれた状
態とする工程と、前記第1の金属層及び埋め込まれた前
記第2の絶縁層を覆って第2の金属層を形成する工程
と、を含むことを特徴とする。
開孔部を形成する工程と、前記第1の絶縁層及び開孔部
を覆って画素電極を形成する工程と、前記画素電極上に
第2の絶縁層を形成する工程と、前記第2の絶縁層をエ
ッチングまたは研磨し、前記画素電極に形成された凹部
のみが当該第2の絶縁層で埋め込まれた状態とする工程
と、を含むことを特徴とする。
1を用いて説明する。図1(A)において、100は下
地膜であり、絶縁層、半導体層又は導電層の如何なる場
合もありうる。その上には素子電極(TFTの一部とな
る電極)101がパターン形成されている。
02によって覆われる。層間膜102としては、酸化珪
素、窒化珪素、酸化窒化珪素等の珪素を含む絶縁膜や有
機樹脂膜を単層又は積層で用いる。ここでは有機樹脂膜
を単層で設けた場合を例にとって説明する。
より開孔部(コンタクトホール)103を形成する。エ
ッチングの方法はウェットエッチング法でもドライエッ
チング法でも良い。また、開孔部103の断面形状をテ
ーパー状にすることで、次に成膜する薄膜のカバレッジ
を改善することも有効である。
の金属層104を形成する。第1の金属層104として
は、Ti(チタン)、Cr(クロム)、Ta(タンタ
ル)、W(タングステン)、Mo(モリブデン)、Nb
(ニオブ)またはSi(シリコン)から選ばれた材料を
用いる。勿論、単層で用いても積層で用いても良い。こ
の金属層は素子電極101との電気的接続を行うために
機能する。
ら、埋め込み絶縁層105を形成する。埋め込み絶縁層
105としては有機性樹脂膜又は無機膜を用いる。
ド、ポリイミドアミド、アクリルから選ばれた一種また
は複数種を用いることができる。これらの膜はスピンコ
ート法で形成されるため、被覆性が良く、膜厚を容易に
厚くすることができるという利点を有する。
膜または酸化窒化珪素膜等を用いることができる。な
お、より好ましくはSOG(スピンオングラス)と呼ば
れる溶液塗布系材料を用いると良い。
工業株式会社のOCD(Ohka Coatimg Diffusin sourc
e)や一般的なシリケートガラス(PSG、BSG、B
PSG)などが挙げられる。これら溶液塗布系材料もス
ピンコート法で形成されるため、有機性樹脂膜と同様の
利点を得ることができる。
5を形成したら、必要に応じて焼成(キュア)工程を施
して余分な溶媒を飛ばし、膜質を向上させる。キュア工
程の条件は様々であるが、 300℃30min 程度のベーク
(熱処理)が必要である。
着色が容易である点が挙げられる。例えば、カーボン系
材料を分散させて黒色にした有機樹脂膜はブラックマス
クとして利用されている。即ち、本願発明ではコンタク
ト部における光漏れを埋め込み絶縁層で防ぐことも可能
である。
(A)の状態が得られる。この状態が得られたら、次
に、ドライエッチング法により埋め込み絶縁層105を
エッチバック処理して開孔部103によって第1の金属
層104に形成された凹部のみを充填する様な埋め込み
絶縁層106を形成する。(図1(B))
絶縁層105のオーバーエッチングに注意する必要があ
る。即ち、この工程ではコンタクト部108以外の領域
で第1の金属層104が完全に露出した時にエッチバッ
クを完了しなければならない。過剰なオーバーエッチン
グを行ってしまうと、開孔部内の埋め込み絶縁層106
が掘られて段差を生じてしまう。
る。エッチバック工程はプラズマエッチングで行われる
ためエッチング条件によっては第1の金属層104の表
面を荒らしてしまうことになる。この事は画素電極の白
濁等の不具合を招くため好ましくない。なお、プラズマ
エッチングの最適条件は第1の絶縁層や埋め込み絶縁層
の膜質によって異なるので実施者が適宜決定すれば良
い。
あたってスピンコート法を用いることは膜厚を容易に厚
くできるという点で重要なである。図1(A)において
埋め込み絶縁層105の膜厚は、少なくとも層間膜10
2の膜厚と同等かそれ以上としなければならない。従っ
て、CVD法やスパッタ法で形成するよりははるかに高
いスループットが実現できる。
第1の金属層104及び埋め込み絶縁層106を覆って
第2の金属層107を成膜し、パターン形成する。この
様にして、素子電極101と第2の金属層107とが電
気的に接続される。
層104に形成される凹部が埋め込み絶縁層106によ
って埋め込まれている。そのため、第2の金属層107
はコンタクト部108においても完全に平坦性を確保す
ることができる。
に記載する実施例でもって詳細な説明を行なうこととす
る。
駆動するアクティブマトリクス型液晶表示装置(AML
CD)の画素マトリクス回路を構成する単位画素(単位
絵素)の作製方法について図2を用いて説明する。
板201を用意する。本実施例では後に 900〜1100℃の
熱処理が行われるので耐熱性の高い材料を用いる必要が
ある。他にも下地膜を設けた結晶化ガラス(ガラスセラ
ミクス)や熱酸化膜を設けたシリコン基板等を用いるこ
ともできる。
成し、この非晶質珪素膜202を特開平8−78329
号公報記載の技術を用いて結晶化する。同公報記載の技
術は結晶化を助長する触媒元素を用いて選択的な結晶化
を行う技術である。
的に触媒元素(本実施例ではニッケル)を添加するため
にマスク絶縁膜203を形成する。また、マスク絶縁膜
203には開口部204が設けられている。
有したニッケル酢酸塩溶液をスピンコート法により塗布
し、触媒元素含有層205を形成する。
450 ℃1時間の水素出し工程の後、570 ℃14時間の加熱
処理を窒素雰囲気中で施し、横成長領域206を得る。
こうして結晶化工程が終了したら、マスク絶縁膜203
をそのままマスクとしてリンの添加工程を行う。この工
程によりリン添加領域207が形成される。
次に 600℃12時間の加熱処理を行い、横成長領域206
に残留していたニッケルをリン添加領域207にゲッタ
リングさせる。こうしてニッケル濃度が 5×1017atoms/
cm3 以下にまで低減された領域(被ゲッタリング領域と
呼ぶ)208が得られる。(図2(C))
領域208のみで構成される活性層209、210を形
成する。そして、 120nm厚のゲイト絶縁膜211を形成
する。ゲイト絶縁膜211としては、酸化珪素膜、窒化
珪素膜、酸化窒化珪素膜或いはそれらの積層膜で構成さ
れる。
ら、酸素雰囲気中において 950℃30分の加熱処理を行
い、活性層/ゲイト絶縁膜界面に熱酸化膜を形成する。
こうすることで界面特性を大幅に向上させることができ
る。
0が酸化されて薄膜化される。本実施例では最終的な活
性層膜厚が50nmとなる様に調節する。即ち、出発膜(非
晶質珪素膜)が65nmであったので、15nmの酸化が行わ
れ、30nmの熱酸化膜が形成されることになる(ゲイト絶
縁膜211はトータルで 150nm厚となる) 。
アルミニウム膜(図示せず)を成膜し、パターニングに
よりゲイト電極の原型となる島状パターンを形成する。
島状パターンを形成したら、特開平7−135318号
公報に記載された技術を利用する。なお、詳細は同公報
を参考にすると良い。
で使用したレジストマスクを残したまま、3%のシュウ
酸水溶液中で陽極酸化を行う。この時、白金電極を陰極
として2〜3mVの化成電流を流し、到達電圧は8Vと
する。こうして、多孔性陽極酸化膜212、213が形
成される。
%の酒石酸のエチレングリコール溶液をアンモニア水で
中和した溶液中で陽極酸化を行う。この時、化成電流は
5〜6mVとし、到達電圧は100Vとすれば良い。こ
うして、緻密な無孔性陽極酸化膜214、215が形成
される。
6、217が画定する。なお、画素マトリクス回路では
ゲイト電極の形成と同時に1ライン毎に各ゲイト電極を
接続するゲイト線も形成されている。(図3(A))
としてゲイト絶縁膜211をエッチングする。エッチン
グはCF4 ガスを用いたドライエッチング法により行
う。これにより218、219で示される様な形状のゲ
イト絶縁膜が形成される。
純物イオンをイオン注入法またはプラズマドーピング法
により添加する。この場合、画素マトリクス回路をN型
TFTで構成するならばP(リン)イオンを、P型TF
Tで構成するならばB(ボロン)イオンを添加すれば良
い。
に分けて行う。1度目は80keV程度の高加速電圧で
行い、ゲイト絶縁膜218、219の端部(突出部)の
下に不純物イオンのピークがくる様に調節する。そし
て、2度目は5keV程度の低加速電圧で行い、ゲイト
絶縁膜218、219の端部(突出部)の下には不純物
イオンが添加されない様に調節する。
1、ドレイン領域222、223、低濃度不純物領域
(LDD領域とも呼ばれる)224、225、チャネル
形成領域226、227が形成される。(図3(B))
0 Ω/□のシート抵抗が得られる程度に不純物イオンを
添加することが好ましい。また、低濃度不純物領域はT
FTの性能に合わせて最適化を行う必要がある。また、
不純物イオンの添加工程が終了したら熱処理を行い、不
純物イオンの活性化を行う。
珪素膜を 400nmの厚さに形成し、その上にソース電極2
29、230、ドレイン電極231、232を形成す
る。なお、本実施例ではドレイン電極228を画素内に
広げて形成する。
極として用いるため、可能な限り大きい容量を確保する
ための工夫である。本実施例は反射型の例であるため、
後に画素電極が配置される領域の下も開口率を気にせず
自由に使える。
ソース/ドレイン電極を覆って50nm厚の窒化珪素膜23
3を形成する。そして、その上に容量電極としてチタン
膜234を形成する。本実施例では窒化珪素膜233を
誘電体としてドレイン電極231と容量電極234との
間で補助容量を形成している。
μm厚のアクリル樹脂膜を形成する。勿論、アクリル以
外にもポリイミド等の有機性樹脂膜を用いても良い。そ
して、第2の層間絶縁膜235の上にブラックマスク2
36を形成する。
しての機能以外に電界遮蔽膜としての機能も持ってい
る。即ち、ソース/ドレイン配線から生じる電界が後に
形成する画素電極に影響するのを防ぐ効果を持つ。
第3の層間絶縁膜237として再び1μm厚のアクリル
樹脂膜を設け、それに対して開孔部238、239を形
成する。そして、第3の層間絶縁膜237及び開孔部2
38、239を被覆する様にしてチタン膜(第1の金属
層)240を形成する。
ル、タングステン、モリブデン、ニオブまたはシリコン
(ただし導電性を付与したシリコン)から選ばれた材料
を用いることができる。また、これらから選ばれた材料
で積層構造としても良い。
込み絶縁層としてアクリル樹脂膜241を2μmの厚さ
に形成する。この時、アクリル樹脂膜241はスピンコ
ート法で形成されるため、開孔部238、239によっ
て第1の金属層240に形成された凹部の内部まで十分
に被覆することができる。(図4(A))
法によりエッチバック処理を行い、アクリル樹脂膜24
1をエッチングする。そして開孔部238、239が埋
め込み絶縁層242、243で充填された状態を実現す
る。(図4(B))
よって完全に平坦化されたチタン膜240上にアルミニ
ウムを主成分とする材料(第2の金属層)を400 nmの厚
さに成膜し、パターニングして画素電極244、245
を形成する。
パターニングする。こうすることで各画素電極を物理的
に絶縁することができる。なお、パターニング端面には
二層の金属層の膜厚分だけ段差が生じるが、ソース電極
229、230の上に配置しておけば結局ブラックマス
クで遮光されるので問題とはならない。むしろディスク
リネーションの発生位置をこの場所に固定できるので都
合が良い。
合、開孔部238、239の内部は埋め込み絶縁層24
2、243で充填されているので、画素電極244、2
45は平坦性を確保したままドレイン電極との電気的な
接続が実現される。
ニウムを主成分とする材料を用いているが、銅や銀また
はそれらを主成分とする材料を用いることもできる。そ
の他、反射率の高い材料であれば画素電極としての使用
が可能である。
地として他の導電膜(チタン、クロム、タンタル等)を
積層させた構造としても良い。アルミニウム、銅、銀と
いった材料は反応性も高いので、他の導電膜(特にシリ
コン膜)とのオーミック接触をとるにはチタン膜などの
下地膜を設けた方が良い場合もある。
いて画素電極244、245に段差が生じないため、画
素電極の全面を有効に利用できる点にある。即ち、有効
画素面積を拡大させることで、光の利用効率が大幅に向
上する。
たら、その上に配向膜(図示せず)を形成すれば液晶表
示装置の一方の基板であるアクティブマトリクス基板が
完成する。その後は公知の手段によって対向基板を用意
し、セル組み工程を施してアクティブマトリクス型液晶
表示装置が完成する。
液晶表示装置は、高精細でありながら輝度が高く、コン
トラストの高い映像表示が可能である。
層に対してエッチバック処理を行って開孔部の充填を行
っているが、エッチバック処理の代わりに研磨処理を行
うことも可能である。代表的にはCMP(ケミカルメカ
ニカルポリッシング)と呼ばれる技術を採用することも
できる。
必要があるが、この技術を用いれば開孔部内における過
剰なオーバーエッチングの恐れがない。また、第1の金
属層が研磨ストッパーとして機能しうるので優れた平坦
性を実現できる。
異なる構成で反射型のAMLCDを作製する技術につい
て図5を用いて説明する。
層間絶縁膜237を形成し、開孔部501を形成する。
そして、第3の層間絶縁膜237及び開孔部501を被
覆する様に画素電極502を形成する。(図5(A))
縁層503を2μmの厚さに形成する。本実施例では埋
め込み絶縁層としてポリイミド樹脂膜を用いる。(図5
(B))
ク法または研磨法により後退(膜厚を薄くするという意
味)させ、開孔部501によって画素電極502上に形
成された凹部に埋め込み絶縁層504を形成する。ま
た、同時に画素電極と画素電極との隙間にも埋め込み絶
縁層505が形成される。こうして図5(C)に示す様
な平坦面が得られる。
顔料やカーボン系材料(グラファイト等)を分散させて
おくことで埋め込み絶縁層504、505を黒色に着色
することができる。
埋め込み絶縁層504、505を光吸収層とすれば凹部
における光の乱反射を防ぐことができるため、コントラ
ストの高い液晶表示装置を作製することができる。
ることも可能である。
ト構造(ここではプレーナ型)のTFTを例にとって説
明したが、トップゲイト構造の代わりにボトムゲイト構
造(代表的には逆スタガ型)のTFTを用いても同様の
効果を得ることができる。
イッチング素子として単結晶シリコンウェハ上に形成さ
れたMOSFETを用いる場合においても適用すること
が可能である。
電気光学装置であれば如何なる構造のデバイス素子に対
しても適用することが可能である。
気光学装置において、画素電極の表面を電解メッキによ
り被覆して反射率を高めることも可能である。
で画素電極を形成した後、陽極酸化を行って電極表面に
多孔質状の陽極酸化膜を形成する。こうすることでメッ
キの密着性が高まり、非常に反射率の高い画素電極が実
現できる。メッキ材料としては反射率の高い銀を用いる
ことが好ましい。
用しうる金属膜の種類も大幅に広がり、プロセスマージ
ンも広がる。また、銀電極を利用するよりは安価な製造
コストで銀の反射率を活かした画素電極が形成できる。
ドで駆動するAMLCDを例にとって説明しているが、
透過型モードで駆動するAMLCDに本願発明を適用す
ることも可能である。その場合は補助容量の配置やブラ
ックマスクの配置を変えて光透過窓を確保した上で画素
電極を透明導電膜(代表的にはITO)とすれば良い。
電極(透明導電膜)と活性層とを直接接続させようとす
ると、コンタクト部からの光漏れが問題となりうる。こ
の様な場合においても埋め込み絶縁層を着色して光吸収
性を持たせておけば効果的に光漏れを防ぐことができ
る。
示した構成のアクティブマトリクス基板(素子形成側基
板)を用いてAMLCDを構成した場合の例について説
明する。ここで本実施例のAMLCDの外観を図6に示
す。
マトリクス基板であり、画素マトリクス回路602、ソ
ース側駆動回路603、ゲイト側駆動回路604が形成
されている。駆動回路はN型TFTとP型TFTとを相
補的に組み合わせたCMOS回路で構成することが好ま
しい。また、605は対向基板である。
マトリクス基板601と対向基板605とが端面を揃え
て貼り合わされている。ただし、ある一部だけは対向基
板605を取り除き、露出したアクティブマトリクス基
板に対してFPC(フレキシブル・プリント・サーキッ
ト)606を接続してある。このFPC606によって
外部信号を回路内部へと伝達する。
してICチップ607、608が取り付けられている。
これらのICチップはビデオ信号の処理回路、タイミン
グパルス発生回路、γ補正回路、メモリ回路、演算回路
など、様々な回路をシリコン基板上に形成して構成され
る。図6(A)では2個取り付けられているが、1個で
も良いし、さらに複数個であっても良い。
図6(B)において図6(A)と同一の部分は同じ符号
を付してある。ここでは図6(A)でICチップが行っ
ていた信号処理を、同一基板上にTFTでもって形成さ
れたロジック回路609によって行う例を示している。
この場合、ロジック回路609も駆動回路603、60
4と同様にCMOS回路を基本として構成される。
スクをアクティブマトリクス基板に設ける構成(BM o
n TFT)を採用するが、それに加えて対向側にブラッ
クマスクを設ける構成とすることも可能である。
示を行っても良いし、ECB(電界制御複屈折)モー
ド、GH(ゲストホスト)モードなどで液晶を駆動し、
カラーフィルターを用いない構成としても良い。
技術の様に、マイクロレンズアレイを用いる構成にして
も良い。
AMLCDは、様々な電子機器の表示用ディスプレイと
して利用される。その様な電子機器としては、ビデオカ
メラ、スチルカメラ、プロジェクター、プロジェクショ
ンTV、ヘッドマウントディスプレイ、カーナビゲーシ
ョン、パーソナルコンピュータ(ノート型を含む)、携
帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話等)など
が挙げられる。それらの一例を図7に示す。
1、音声出力部2002、音声入力部2003、表示装
置2004、操作スイッチ2005、アンテナ2006
で構成される。本願発明は表示装置2004等に適用す
ることができる。
101、表示装置2102、音声入力部2103、操作
スイッチ2104、バッテリー2105、受像部210
6で構成される。本願発明は表示装置2102に適用す
ることができる。
ビルコンピュータ)であり、本体2201、カメラ部2
202、受像部2203、操作スイッチ2204、表示
装置2205で構成される。本願発明は表示装置220
5等に適用できる。
であり、本体2301、表示装置2302、バンド部2
303で構成される。本発明は表示装置2302に適用
することができる。
り、本体2401、光源2402、表示装置2403、
偏光ビームスプリッタ2404、リフレクター240
5、2406、スクリーン2407で構成される。本発
明は表示装置2403に適用することができる。
あり、本体2501、光源2502、表示装置250
3、光学系2504、スクリーン2505で構成され
る。本発明は表示装置2503に適用することができ
る。
広く、あらゆる分野の電子機器に適用することが可能で
ある。また、他にも電光掲示盤、宣伝公告用ディスプレ
イなどにも活用することができる。
画素電極を形成することが可能となり、その結果、画素
電極のコンタクト部(凹部)に起因するディスクリネー
ションを防ぐことができる。のため、有効表示領域が大
幅に拡大し、より高精細な電子光学装置を高いコントラ
ストで実現することが可能となる。
Claims (15)
- 【請求項1】1個乃至数個のTFTと当該TFTに接続
された画素電極と、を備えた複数の画素で構成される画
素マトリクス回路を有する電気光学装置において、 前記画素電極の一部は前記TFTと電気的に接続するた
めのコンタクト部を形成し、当該コンタクト部に生じる
凹部には絶縁層が埋め込まれていることを特徴とする電
気光学装置。 - 【請求項2】1個乃至数個のTFTと当該TFTに接続
された画素電極と、を備えた複数の画素で構成される画
素マトリクス回路を有する電気光学装置において、 前記画素電極は第1の金属層と第2の金属層との積層構
造からなり、 前記第1の金属層と前記TFTとが接続するコンタクト
部においては、前記第1の金属層と前記第2の金属層と
の間に絶縁層が挟み込まれていることを特徴とする電気
光学装置。 - 【請求項3】1個乃至数個のTFTと当該TFTに接続
された画素電極と、を備えた複数の画素で構成される画
素マトリクス回路を有する電気光学装置において、 前記画素電極は第1の金属層と第2の金属層との積層構
造からなり、 前記第1の金属層が形成する凹部には絶縁膜が埋め込ま
れ、当該第1の金属層及び絶縁膜を覆って前記第2の金
属層が形成されていることを特徴とする電気光学装置。 - 【請求項4】請求項2または請求項3において、前記第
1及び/又は第2の金属層は単層または積層構造からな
ることを特徴とする電気光学装置。 - 【請求項5】請求項2乃至請求項4において、前記第1
の金属層はTi、Cr、Ta、W、Mo、NbまたはS
iから選ばれた材料で構成され、前記第2の金属層はA
l、Cu、Agまたはそれらを主成分とする金属膜から
選ばれた材料で構成されることを特徴とする電気光学装
置。 - 【請求項6】請求項1乃至請求項4において、前記絶縁
層とはポリイミド、ポリアミド、ポリイミドアミド、ア
クリルから選ばれた一種または複数種の有機性樹脂膜で
あることを特徴とする電気光学装置。 - 【請求項7】請求項1乃至請求項4において、前記絶縁
層は光吸収層であることを特徴とする電気光学装置。 - 【請求項8】請求項1乃至請求項7に記載の電気光学装
置を表示用ディスプレイとして搭載していることを特徴
とする電子機器。 - 【請求項9】第1の絶縁層に開孔部を形成する工程と、 前記第1の絶縁層及び開孔部を覆って第1の金属層を形
成する工程と、 前記第1の金属層上に第2の絶縁層を形成する工程と、 前記第2の絶縁層をエッチングまたは研磨し、前記第1
の金属層に形成された凹部のみが当該第2の絶縁層で埋
め込まれた状態とする工程と、 前記第1の金属層及び埋め込まれた前記第2の絶縁層を
覆って第2の金属層を形成する工程と、 を含むことを特徴とする電気光学装置の作製方法。 - 【請求項10】請求項9において、前記第1及び/又は
第2の金属層は単層または積層構造からなることを特徴
とする電気光学装置の作製方法。 - 【請求項11】請求項9において、前記第1の金属層は
Ti、Cr、Ta、W、Mo、NbまたはSiから選ば
れた材料で構成され、前記第2の金属層はAl、Cu、
Agまたはそれらを主成分とする金属膜から選ばれた材
料で構成されることを特徴とする電気光学装置の作製方
法。 - 【請求項12】第1の絶縁層に開孔部を形成する工程
と、 前記第1の絶縁層及び開孔部を覆って画素電極を形成す
る工程と、 前記画素電極上に第2の絶縁層を形成する工程と、 前記第2の絶縁層をエッチングまたは研磨し、前記画素
電極に形成された凹部のみが当該第2の絶縁層で埋め込
まれた状態とする工程と、 を含むことを特徴とする電気光学装置の作製方法。 - 【請求項13】請求項12において、前記画素電極はA
l、Cu、Agまたはそれらを主成分とする金属膜から
選ばれた単層または積層構造で構成されることを特徴と
する電気光学装置の作製方法。 - 【請求項14】請求項9乃至請求項13において、前記
第2の絶縁層とはポリイミド、ポリアミド、ポリイミド
アミド、アクリルから選ばれた一種または複数種の有機
性樹脂膜であることを特徴とする電気光学装置の作製方
法。 - 【請求項15】請求項9乃至請求項13において、前記
第2の絶縁層は光吸収層であることを特徴とする電気光
学装置の作製方法。
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