JPH0737535A - 電界放出型カソードを用いたフラットディスプレイ - Google Patents

電界放出型カソードを用いたフラットディスプレイ

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JPH0737535A
JPH0737535A JP18033293A JP18033293A JPH0737535A JP H0737535 A JPH0737535 A JP H0737535A JP 18033293 A JP18033293 A JP 18033293A JP 18033293 A JP18033293 A JP 18033293A JP H0737535 A JPH0737535 A JP H0737535A
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  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 黒マスク部のチャージアップや2次電子の迷
走による表示の不安定性を招くことなく蛍光体間の黒マ
スクを構成することによりコントラスト比を改善し、更
に電子ビームの利用率の改善をはかって高品位及び高解
像化をはかる。 【構成】 透明電極12上に、電界放出型カソードから
の電子ビームEBの衝撃によってその発光がなされる蛍
光体塗布部15が多数配列された蛍光面10を有し、こ
の蛍光面10の隣り合う蛍光体塗布部15間に、黒色絶
縁層13と、黒色絶縁層13によって透明電極12と電
気的に絶縁された導電層14とを積層形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、低速電子線蛍光体を電
界放出型カソードからの電子ビームを用いて蛍光面を発
光させて表示を行うフラットディスプレイに係わる。
【0002】
【従来の技術】従来、電子線励起型のフラットディスプ
レイには、低速電子線蛍光体を用いる蛍光表示管(VF
D)や、アイケン管・ゲイバー管などがあり、近年は2
次電子増倍管型のフラットディスプレイや、マトリクス
ドライブシステムによるディスプレイ等が知られてい
る。
【0003】これらのディスプレイの多くは高電圧励起
であり、従って低消費電力化をはかり難い。
【0004】低電圧励起型のディスプレイとしては上述
のVFDがあるが、このVFDは現状ではTV表示を行
う技術水準にはなく比較的解像度が粗いため、NTSC
やハイビジョンなどの高品位・高解像度化を意図してハ
イコントラスト化をはかる事例は報告されていない。
【0005】これに対し、低電圧励起で比較的解像度が
高いディスプレイとして、電界放出型マイクロカソード
を用いたいわゆるFED(フィールドエミッションディ
スプレイ)型のフラットディスプレイの研究開発が進め
られている。
【0006】このFED型のフラットディスプレイは、
微細加工によって作製した微細な円錐状のカソード、い
わゆるマイクロチップカソードから電子をとりだし、対
向する蛍光体を励起することによって信号の表示を行う
超薄型のディスプレイである。この一例の略線的拡大斜
視図を図5に示す。
【0007】図5において1はガラス等より成るカソー
ドパネルで、これの上に例えばストライプ状にCr等よ
り成るカソード電極2がパターニング形成され、SiO
2 等より成る絶縁層3を介して、Mo、W等より成るゲ
ート電極4が例えばカソード電極2と直交するストライ
プ状にパターニング形成される。そして、各カソード電
極2及びゲート電極4の交叉部に単数又は図示の例では
複数の微細な孔部5が設けられて、各孔部5の内部にカ
ソードが形成されて構成される。
【0008】このカソード部の略線的拡大断面図を図6
に示す。図6において、図5に対応する部分には同一符
号を付して重複説明を省略する。各電極2、4及び絶縁
層3がそれぞれスパッタリング、真空蒸着等により順次
積層形成された後、例えばウェットエッチングを施して
孔部5が設けられる。更にこの上に、斜め方向からの蒸
着、スパッタリング等を例えばパネル1を回転しながら
被着することにより、孔部5内にほぼ円錐状のW等より
成る電界放出型カソード6が形成される。
【0009】一方ガラス等より成る前面パネル11の内
側には、例えばカラー表示を行う場合は、ITO(I
n、Snの混合酸化物)等より成る透明電極12を介し
て各色即ちR(赤)、G(緑)及びB(青)の蛍光体が
例えばストライプ状に形成される。そして、図示しない
が各パネル1、11を、これらの間に所定の大きさ、例
えば数100μm程度のスペーサを介して、シール材等
により気密に封止して、所定の真空度に保持されたフラ
ットディスプレイが構成される。
【0010】この場合、電界放出型カソード6とゲート
電極4との間に電界強度で106 〜108 V/cm程
度、電圧で数10〜100V程度の電界を印加すると、
カソード6の先端部から電子が電界放出効果によって飛
び出して、対向する蛍光体側の透明電極12を所定の例
えば300V程度の電位とすることによって蛍光体に電
子が照射され、発光表示が行われる。
【0011】このようなFED型のフラットディスプレ
イにおいて、コントラストの向上をはかるために、例え
ば通常CRT(陰極線管)で黒マスクとして使われてい
る黒色カーボン層を設けようとすると、このカーボンペ
ーストが導電性を有するため、カラー蛍光体のRGBが
ショートしてしまうという問題がある。
【0012】また、絶縁層を用いるとこれに電子が衝撃
することによって、この絶縁層材料の2次電子放出比が
高ければ正に、低ければ負にチャージアップしてしまう
ことから、蛍光体の発光が経時変化してしまい表示が不
安定となってしまう。また、2次電子の迷走による電界
の乱れも生じる恐れがある。
【0013】更に、絶縁性があり、スクリーン印刷等に
用いられる通常の市販の黒色ガラスペーストでは、充分
に黒くならないという問題がある。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述したよ
うな電界放出型カソードを用いたフラットディスプレイ
において、表示の不安定性や、特にカラー表示を行う場
合の各蛍光体間のショート等の不都合を生じることなく
コントラスト比を改善すると共に、更に電子ビームの利
用率の改善をもはかって、高品位及び高解像化をはか
る。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明は、その一例の説
明図を図1に示すように、透明電極12上に、電界放出
型カソードからの電子ビームEBの衝撃によってその発
光がなされる蛍光体塗布部15が多数配列された蛍光面
10を有し、この蛍光面10の隣り合う蛍光体塗布部1
5間に、黒色絶縁層13と、黒色絶縁層13によって透
明電極12と電気的に絶縁された導電層14とを積層形
成する。
【0016】また本発明は、上述の構成において、導電
層14に、透明電極12に印加する蛍光電位Vpに対し
て、Vp>Vfを維持する所要の電位Vfを印加する。
【0017】更にまた本発明は、上述の構成において、
図2にその一例を示すように、蛍光体塗布部が各色のカ
ラー蛍光体R,G及びBの塗布部より成り、各色選別手
段のカラー蛍光体塗布部16への電子ビームの切り換え
に応じて上記導電層14に対する印加電圧Vfを変更す
る。
【0018】
【作用】上述したように本発明によれば、電界放出型カ
ソードを有するフラットディスプレイにおいて、その蛍
光体塗布部15の間に黒色絶縁層13を介して導電層1
4を設けることから、良好なコントラスト比を得ること
ができると共に、絶縁層のチャージアップや2次電子の
迷走等を回避することができる。
【0019】また、特に導電層14に、透明電極12の
電位より低い電圧を印加することによって、蛍光面に電
子を収束させる収束機能を有する電極を構成することが
できる。これにより、電子ビームの利用率を飛躍的に改
善することができる。
【0020】更にまた、カラー蛍光体R,G,Bによる
カラー蛍光体塗布部16を設け、この間の導電層14
に、色選別された例えばR(又はG、B)蛍光体の電位
Vpに比し低い電圧Vfを印加することによって、この
選別された蛍光体に向かう電子ビームを効率良く収束さ
せることができ、且つ発光の均一化をはかることができ
る。
【0021】
【実施例】以下本発明の各実施例を図面を参照して詳細
に説明する。各例共に、前述の図5及び図6において説
明した電界放出型カソード部を用いるもので、電界放出
型カソード6とゲート電極4との間に電界放出が可能な
例えば106 〜108 V/cm程度の強電界を与えるこ
とにより、真空障壁に打ち勝って真空中に放出されるト
ンネル電子を、蛍光パネルガラス内面に形成された蛍光
面に加速入射させて電子線励起し、発光表示を行うもの
である。
【0022】図1においては、電界放出型カソードを用
いたフラットディスプレイの特に蛍光面側の断面構成を
示す。この場合、単色表示を行う例で、ガラス等より成
る前方パネル11の内面側に、各蛍光体塗布部に共通の
ITO等より成る透明電極12が被着されて成る。そし
てこの上に、黒色の絶縁層13として例えば奥野製薬
(株)社製のG3−0428(商品名)等の絶縁ガラス
ペースとをメッシュ状やストライプ状に、例えば50μ
m未満の膜厚として印刷等によりパターニング形成す
る。更にその上に、例えば奥野製薬(株)社製のG6−
0082(商品名)等の導電性ペースト等より成る導電
層14を例えば同一のパターンとして印刷等によりパタ
ーニング形成する。
【0023】次に、図示しないがカソードパネルとこの
前方パネル11との間の真空を保持するための支柱部を
前方パネル11に印刷等により形成し、焼成する。その
後、透明電極12の上に蛍光体を電着により被着形成し
て、蛍光面側のパネルを形成することができる。
【0024】これにより、蛍光面10の直前に収束機能
を有する電極としての導電層14が構成される。図1に
おいては、透明電極12を介して蛍光体塗布部15に例
えば300Vの電圧を印加し、また導電層14に300
Vより低い例えば−50Vの電圧を印加したときの、電
子ビームの収束される様子を模式的に矢印EBで示す。
【0025】前述したように例えば蛍光体塗布部15の
間に、単に黒色絶縁ペーストを被着するのみでは、入射
する電子ビームによってチャージアップが起こり、蛍光
体への電子ビームの流入に大きく影響を及ぼす恐れがあ
る。
【0026】これに対し、本発明によれば黒色の絶縁層
13を設け且つその上に導電層14を形成することか
ら、コントラストの向上をはかると共に、特に上述した
ように導電層14に適切な電圧を印加することによって
電子ビームを効率良く蛍光体塗布部15に向かわせるこ
とができ、電子ビームの利用率を改善することができ
る。
【0027】尚、透明電極12と導電層14との間の絶
縁耐圧は、上述の効果を安定して得るために極めて重要
であり、絶縁層13の材料及びその膜厚を適切に選定す
ることが必要となる。例えば上述の構成において絶縁層
13としてSiO2 を用いる場合、50μmの厚さとし
たときに2kV以上の耐圧を確保することができた。
【0028】次に、図2を参照して本発明の他の実施例
を詳細に説明する。この例においては、カラー表示を行
う場合を示し、特に各カラー蛍光体に対し1体1対応で
カソードアレイが配置されず、RGB蛍光体群に対し1
つのカソード群が設けられる例を示す。このような構成
とする場合、例えば各色蛍光体を時分割で選択して発光
させることによってカラー表示を行うことができる。図
2において、図1に対応する部分には同一符号を付して
重複説明を省略する。
【0029】この場合においても上述の例と同様に、蛍
光体側のパネルに対向して、例えば前述の図5及び図6
において説明した例と同様の構成をもって電界放出型カ
ソード群が形成される。そして例えば107 〜108
/cm程度の電圧をゲート電極とカソード電極との間に
印加することによって、電界放出効果により放出される
電子を蛍光体に加速入射させて蛍光体の発光が行われ
る。
【0030】この例においては、図2に示すようにR,
G,Bの各色蛍光体が蛍光面10に所定の配列をもって
ストライプ状に配列された場合で、各色のカラー蛍光体
塗布部16と前方パネル11との間には、それぞれ独別
にITO等より成る透明電極22、23、24、‥‥が
設けられる(図2においては3本のみを示している)。
そしてこれらカラー蛍光体塗布部16の間を埋め込むよ
うに、絶縁層13及び導電層14を例えば印刷等により
パターニング形成する。これら絶縁層13及び導電層1
4の材料としては、例えば上述の図1において説明した
例と同様の材料を用いることができる。更に、透明電極
22〜24の上に、それぞれ各色蛍光体が電着等により
被着されて蛍光面パネルが構成される。
【0031】このような構成において、例えばR蛍光体
を選択する場合、その透明電極22を例えば+300
V、他のG及びB蛍光体の透明電極23及び24を−5
0Vの電位とすることにより、カソードからの電子ビー
ムEBをR蛍光体のみに向かわせることができる。
【0032】そして特に本発明においては、この場合導
電層14に、例えば非選択電極23及び24の電位−5
0V以上、またR蛍光体の電位300Vに比し小さい電
圧を印加することによって、効率良く電子ビームをR蛍
光体に集中して収束せしめることが可能となる。
【0033】この場合においても絶縁層13は上述した
ように透明電極22〜24と導電層14との絶縁耐圧を
保持する必要があり、また蛍光面の選択時の300V程
度の電位と、非選択時の例えば−50Vの電位との高速
スイッチングに耐えられる特性が要求される。
【0034】上述の実施例においては、黒色絶縁層13
を設けることからコントラスト比の向上をはかると共
に、透明電極のショートを回避しつつ上述したように電
子の利用効率を改善することができる。また絶縁層13
のチャージアップや2次電子の迷走等を回避することが
できる。
【0035】更に、このような構成において電子ビーム
軌道解析を行い、導電層14の電位を変調することで、
蛍光面10に入射する電子ビームの収束効果、いわゆる
ランディング特性を改善する効果が得られることを確認
した。
【0036】図3においては、有限要素法による電場計
算と軌道追跡の一般二次元での解析結果を示す。各蛍光
体を省略して、導電層14及び各色蛍光体に対応する透
明電極22〜24、更に電界放出型カソード群のゲート
電極4の配置構成を模式的に示し、これらの間における
等電位線を実線Ve、電子軌道をEoで示した。この例
では選択透明電極24に+300V、非選択透明電極2
2及び23に−50V、更に収束電極を構成する導電層
14に−50V以上300V未満の例えば−50Vの電
圧を印加した場合を示す。
【0037】また比較例として、このような収束電極と
しての導電層14を設けない場合の電子軌道解析計算結
果を図4に示す。図4において、図3に対応する部分に
は同一符号を付して重複説明を省略する。また、図3及
び図4の各例共に、ゲート電極4には+100Vの電圧
を印加した。
【0038】これらの結果を比較すると、本発明による
場合は所望の蛍光体電極に集中して、効率良く且つ均一
に電子ビームが収束されており、比較例においては選択
蛍光体の周辺部にわたって電子が広く入射されており、
その利用効率は格段に低下してしまうことがわかる。特
に図示の如くカソード群に対向して選択された蛍光体が
斜め方向となる場合においても、本発明によればその蛍
光体に対し全面にわたって電子が均一に照射されてい
る。
【0039】即ち本発明によれば、透明電極とは独別の
収束電極として導電層14を用い、これに適切な電位を
印加することによって、無駄になる電子即ち無効電流を
低減化して選択的に所要の蛍光体に電子を照射すること
ができると共に、そのランディング調整が可能となり、
蛍光面発光時の均質さいわゆるユニホミティの改善をは
かることができることがわかる。
【0040】これにより、RGB蛍光体の高精細度化
(ファイン化)による高品位化、高解像度化をはかる際
に、表示品位を最適に保つ簡便な調整機能を提供するこ
とがき、ディスプレイ設計時の自由度を飛躍的に向上さ
せることが可能となる。
【0041】尚、本発明は上述の各例に限定されること
なく、本発明構成を逸脱しない範囲で、例えば絶縁層1
3及び導電層14の材料構成、又蛍光体やカソードのパ
ターン等において種々の変形変更が可能であることはい
うまでもない。
【0042】
【発明の効果】上述したように本発明によれば、黒マス
クを構成する絶縁層を導入することによりコントラスト
比が向上し、またこの絶縁層の上に導電層を設けること
から、チャージアップや2次電子の迷走を回避して、安
定な表示を行うことができる。
【0043】また、特に導電層を蛍光体塗布部の透明電
極と絶縁して設けることから、特にカラー表示を行う場
合の蛍光体間のショートを回避でき、且つ透明電極とは
独別の電極として用いて、例えば蛍光面に比し低い電圧
を印加することによって、蛍光面に入射する電子ビーム
の利用率を格段に向上させることができる。またこの導
電層に印加する電圧を変化させることにより、ランディ
ング調整が可能となり、蛍光面発光時の均質さを改善す
ることができる。
【0044】更にまた、RGB蛍光体のファイン化によ
る高品位化、高解像度化に際し表示品位を最適に保持す
ることができ、例えばNTSCやハイビジョンTVなど
への適用により、格段の効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の説明図である。
【図2】本発明の他の実施例の説明図である。
【図3】本発明実施例における電子軌道計算解析結果を
示す図である。
【図4】比較例における電子軌道計算解析結果を示す図
である。
【図5】電界放出型カソードを用いたフラットディスプ
レイの一例の略線的拡大斜視図である。
【図6】電界放出型カソードの一例の略線的拡大斜視図
である。
【符号の説明】
1 カソードパネル 2 カソード電極 3 絶縁層 4 ゲート電極 5 孔部 6 電界放出型カソード 10 蛍光面 11 前方パネル 12 透明電極 13 絶縁層 14 導電層 15 蛍光体塗布部 16 カラー蛍光体塗布部 22 透明電極 23 透明電極 24 透明電極

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明電極上に、電界放出型カソードから
    の電子ビームの衝撃によってその発光がなされる蛍光体
    塗布部が多数配列された蛍光面を有し、 該蛍光面の隣り合う上記蛍光体塗布部間に、黒色絶縁層
    と、該黒色絶縁層によって上記透明電極と電気的に絶縁
    された導電層とが積層形成されたことを特徴とする電界
    放出型カソードを用いたフラットディスプレイ。
  2. 【請求項2】 上記導電層に、上記透明電極に印加する
    蛍光電位Vpに対して、Vp>Vfを維持する所要の電
    位Vfが印加されることを特徴とする上記請求項1に記
    載の電界放出型カソードを用いたフラットディスプレ
    イ。
  3. 【請求項3】 上記蛍光体塗布部が各色のカラー蛍光体
    塗布部より成り、 上記色選別手段のカラー蛍光体塗布部への電子ビームの
    切り換えに応じて、上記導電層に対する印加電圧Vfが
    変調されることを特徴とする上記請求項1に記載の電界
    放出型カソードを用いたフラットディスプレイ。
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