JPH0618620A - 入力/出力接続部とデバイスの同時テスト方法とその装置 - Google Patents

入力/出力接続部とデバイスの同時テスト方法とその装置

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JPH0618620A
JPH0618620A JP5048747A JP4874793A JPH0618620A JP H0618620 A JPH0618620 A JP H0618620A JP 5048747 A JP5048747 A JP 5048747A JP 4874793 A JP4874793 A JP 4874793A JP H0618620 A JPH0618620 A JP H0618620A
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JP5048747A
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Najmi T Jarwala
ティー.ジャーワラ ナーミ
Chi W Yau
ワン ヨー チ
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 テスト信号と同期させる必要なしに、回路板
上の境界走査デバイスおよび回路板I/O接続の両方を
同時にテストする方法を提供する。 【構成】 この非同期同時テストは回路板と嵌合するシ
リアル・テスト・イクステンション・モジュール(ST
EM)を用いる境界走査技術により実施できる。STE
Mは、回路板と嵌合されたときに、別の回路板の入力/
出力接続と電気的接続を形成する境界走査レジスタを1
個以上含有する。STEM内の境界走査レジスタは鎖状
に直列に接続される。すなわち、境界走査デバイス内の
直列に接続された境界走査レジスタの鎖と直列に接続さ
れる。既知のビットストリームを境界走査レジスタの鎖
に発射し、その後、ビットをシフトアウトさせ、無欠陥
状態を示す基準ビットストリームと比較することによ
り、入力/出力接続およびデバイス内の欠陥を検出でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は境界走査技術を用いて回
路板の入力−出力接続部および回路板上のデバイスの両
方を電気的にテストする方法に関する。
【0002】
【従来の技術】回路板の完全なテストには、テストされ
るデバイスばかりでなく、同様にテストされる回路板に
対する入力/出力接続部も必要である。従来は、回路板
の入力および出力接続部(一般的に、回路板により支持
されるエッジコネクタの個別ピンにより形成されてい
る)は、エッジコネクタピンと並列にテスト刺激を加え
ることによりテストされていた。テスト刺激を加えた
後、テスト刺激に対して発生された応答を走査し、そし
て、分析する。
【0003】回路板上のデバイスおよび入力/出力(I
/O)接続部の両方を同時にテストするために、エッジ
コネクタに加えられるテスト刺激は、回路板上のデバイ
ス中の境界走査レジスタによりシフトされるビット列に
同期されなければならない。このような同期を得るには
極めて複雑なテストハードウエアとソフトウエアが必要
であり、回路板のテスト費用が大幅に増大する。更に、
並列テストハードウエア自体が高価である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、テスト信号と同期させる必要なしに、回路板上の境
界走査デバイスおよび回路板I/O接続部の両方を同時
にテストする方法を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、少なく
とも1個の第1境界走査レジスタを有する回路板上の少
なくとも1個のデバイスのテストと同時に、回路板の少
なくとも1個の入力/出力(I/O)接続部をテストす
る方法が提供される。
【0006】本発明の方法によれば、回路板に対する各
I/O接続部は別の第2境界走査レジスタに接続され
る。一般的に、第2境界走査レジスタの各々は、シリア
ル・テスト・イクステンション・モジュール(STE
M)により担持されている。このSTEMは回路板上の
エッジコネクタのピンと物理的に嵌合し、それにより回
路板に対するI/O接続部が形成される。第2境界走査
レジスタは、第1境界走査レジスタと共に、デージーチ
ェーンのように直列に接続され、1本のレジスタ連鎖を
形成する。
【0007】実際のテストは、第1および第2境界走査
レジスタの結合連鎖からの既知のビットストリームをシ
フトし、ストリーム中の各ビットをレジスタのうちのそ
れぞれ1個にラッチさせることにより行われる。その
後、ビットをレジスタからシフトさせ、次いで、得られ
たビット連鎖を基準ビットストリームと比較する。この
基準ビットストリームは、デバイスまたはI/O接続部
欠陥が無い場合に得られるであろうビットストリームを
示す。I/O接続部またはデバイス内の欠陥は、実際に
シフトされたビットストリームと基準ビットストリーム
との間の相違として表される。
【0008】各エッジコネクタピンをSTEM上の別の
第2境界走査レジスタに結合させ、更に、一連の第2境
界走査レジスタをデバイス内の第1境界走査レジスタと
結合させることにより、エッジコネクタピンは、単一の
境界走査連鎖内の回路板上のデバイスと“集積”された
ことになる。このようにして、エッジコネクタピンによ
り形成されたI/O接続部は、境界走査技術を用いて、
回路板上のデバイスと同時にテストすることができ、そ
の結果、デバイスおよびエッジコネクタピンに加えられ
るテスト信号を同期させる必要がなくなる。
【0009】
【実施例】以下、図面を参照しながら本発明を更に詳細
に説明する。
【0010】図1は従来技術による回路板10の模式的
ブロック図である。この回路板は1個以上の電子デバイ
ス121 ,122 ,123 ・・・12n (nは1以上の
整数である)を帯有している。デバイス121 −12n
のうちの選択された何れか1個は少なくとも1本の外部
信号ライン14を有し、この信号ラインにより、入力お
よび/または出力信号がデバイスに搬送および/または
デバイスから搬出される。各信号ライン14は、回路板
10上のエッジコネクタ18の一組のピン16のうちの
それぞれ1個に接続されており、これにより、外部信号
は回路板に結合および/または回路板から離脱される。
【0011】図1に示された好ましい実施例では、各デ
バイス121 −12n は、ANSI/IEEE114
9.1テストアクセスポートおよび境界走査アーキテク
チャー標準に従って構成されており、少なくとも1個の
境界走査レジスタ20を組み込んでいる。一般的に、各
デバイス12i (i=1,2・・・n)は複数個の第1
境界走査レジスタ20を組み込むことができるが、図1
では簡略化のために、このようなレジスタは1個しか図
示されていない。(デバイス121 −12n はそれ自体
が境界走査レジスタを形成するが、回路板10は非境界
走査デバイス(図示されていない)も含むことができ
る。)各デバイス12i 内の各第1境界走査レジスタ2
0は、同じデバイス内の他のレジスタと、直列に、デー
ジーチェーンのように結合され、この連鎖は他のデバイ
ス内のレジスタ連鎖と結合され、境界走査連鎖を形成す
る。回路板10上に非境界走査デバイスがもし存在する
場合、これらのデバイスは走査連鎖の一部分にはならな
い。
【0012】レジスタ20の境界走査連鎖は公知の境界
走査テストシステム22によるデバイスのテストを容易
にする。このシステムは4本ワイヤテストアクセスポー
ト(TAP)により回路板10に結合される。このテス
トアクセスポート(TAP)はテストデータ入力(TD
I),テストデータ出力(TDO),テストクロック
(TCK)入力およびテストモードセレクト(TMS)
入力を有する。TDIおよび回路板のTMSとTCK入
力により、境界走査テストシステム22は回路板10
に、入力テストデータ、テストモード選択信号およびテ
ストクロック信号をそれぞれ供給し、下記に説明するよ
うな境界走査テストを行う。回路板10のTAP24の
TDOは、回路板からテストデータが抜かれ、そして、
テストシステム22のTDIに入力される出力として機
能する。
【0013】境界走査テストシステム22は、回路板1
0のTAP24のTDIに既知のビットストリームを発
射し、ストリーム中の各ビットを第1境界走査レジスタ
20のうちのそれぞれ一つにラッチさせることにより、
デバイス121 −12n のテストを行う。境界走査を体
現する各デバイス12i の内部構造および各デバイスが
他のデバイスと相互接続される態様に依存して、或るレ
ジスタ20内の特定の値のビットの存在は、デバイスが
適正に動作している場合、1個以上の他のデバイス内の
ビットの状態を変化させる。正しいビット遷移が生起し
たか否か決定するために、レジスタ20にラッチされた
ビットは、テストビットストリームが回路板10に入力
された後、所定の間隔をおいて、TAP24のTDOか
ら境界走査テストシステム22のTDIにシフトアウト
される。回路板10からシフトされたビット列は、境界
走査テストシステム22により、基準ビット列と比較さ
れる。基準ビット列は、デバイス121 −12n 全てが
適正に動作しているときに得られると予想されるビット
列を示す。
【0014】回路板10を完全にテストするには、デバ
イス121 −12n 自体を前記の境界走査技術またはそ
の他の方法によりテストしなければならないばかりか、
エッジコネクタピン16により形成されている入力/出
力(I/O)接続部もテストしなければならない。たと
え各デバイス12i が適正に動作しているとしても、信
号ライン14の欠陥またはエッジコネクタピン16の欠
陥は回路板10を動作不良にすることがあるので、この
ようなテストが絶対に必要である。従来、回路板10の
I/O接続部のテストは、各信号搬送エッジコネクタピ
ン16を並列試験機26の対応するチャネルに接続する
ことにより行われてきた。並列試験機26は、テスト刺
激をピンと並列にピンに対して発射し、その後、刺激の
付加により発生された応答信号を回収し、そして、分析
することにより、エッジコネクタピン16により形成さ
れたI/O接続部のテストを行う。
【0015】この方法で回路板10をテストすることに
より被る欠点は、エッジコネクタピン16により形成さ
れたI/O接続部およびデバイス121 −12n の両方
の同時テストのために、境界走査試験機22から回路板
のTDIに発射されたビットストリームと並列試験機2
6によりピンに発射された刺激とを同期させなければな
らないことである。このような同期を得るためには、並
列試験機26および境界走査テストシステム22の両方
とも高度に複雑化させると共に、その動作ソフトウエア
も高度に複雑化させなければならない。更に、並列試験
機26の値段は高くなり易いので、I/O接続部のテス
トは高費用になる。
【0016】図2は本発明によるシリアル・テスト・イ
クステンション・モジュール(STEM)28の模式的
ブロック図である。このSTEM28は、同期させる必
要なしに、または、図1の境界走査テストシステム26
さえも必要とせずに、回路板10に対するI/O接続部
および回路板に実装されているデバイス121 −12n
の両方の同時テストを容易にすることができる。STE
M28は本体30を有する。本体30はソケット32を
実装している。このソケットは、回路板10上のエッジ
コネクタ18と相補的であり、ソケット32とエッジコ
ネクタ18は互いに嵌合しあう。ソケット32の内部に
は複数個の接点34が存在する。この接点は、ソケット
がエッジコネクタ18と嵌合されたとき、各接点は、エ
ッジコネクタピン16の対応する一つのピンと電気的な
接続を形成することができる。
【0017】STEM28の本体30内には、複数個の
第2境界走査レジスタ36が存在する。各レジスタは、
各デバイス12i 内の各第1境界走査レジスタ20と構
成的に類似している。ソケットとエッジコネクタ18と
が嵌合されたときに、対応するエッジコネクタピン16
においてI/O信号に応答するために、各第2境界走査
レジスタ36はソケット32の接点34のそれぞれ一つ
と電気的に接続される。デージーチェーン形式で直列に
接続される第1境界走査レジスタ20と同様に、第2境
界走査レジスタ36もデージーチェーン形式で直列に接
続される。
【0018】第2境界走査レジスタ36の連鎖はテスト
データ入力(TDI)およびテストデータ出力(TD
O)(同様に、図示されていないが、TMSとTCK入
力)を有する。本発明によれば、STEM28の第2境
界走査レジスタ36の連鎖に付随するTDIおよびTD
Oは、境界走査テストシステム22のTDOおよび回路
板10のTAP24のTDIにそれぞれ結合される。こ
のようにして、STEM28の第2境界走査レジスタ3
6の連鎖は、“積分”であるかのように、回路板10の
第1境界走査レジスタ20の連鎖と直列に結合される。
【0019】回路板10のデバイス121 −12n およ
びエッジコネクタピン16により回路板に対して形成さ
れたI/O接続部の両方をテストするために、境界走査
テストシステム22は既知のビット列をSTEM28の
TDIに発射する。STEM28に発射されたビットは
第2境界走査レジスタ36の連鎖を通して、かつ、デバ
イス121 −12n 内の第1境界走査レジスタ20の連
鎖を通してシフトされ、それにより、連鎖内のそれぞれ
のビットを対応するレジスタにラッチさせる。レジスタ
20および36内のビットを前記のように遷移させるた
めの所定の間隔の後に、ビットは、第1および第2境界
走査レジスタ20および36から回路板TAP24のT
DOを通してシフトアウトされ、そのTDIとして境界
走査テストシステム22に入力される。その後、境界走
査テストシステム22はシフトアウトされたビットを基
準ストリーム(欠陥が存在しない場合にシフトアウトさ
れたであろうと予想されるビットストリームに相当す
る)と比較し、若し存在すれば、デバイス121 −12
n およびI/O接続部内の欠陥の存在を明示する。
【0020】回路板10に対するI/O接続部のテスト
を行うためにSTEM28を使用する利点は、同期をと
る必要性が排除されることである。第1境界走査レジス
タ20の連鎖に直列に結合された第2境界走査レジスタ
の組み合わせを使用することにより、STEM28はデ
バイス121 −12n をエッジコネクタピン16と効果
的に集積する。このようにして、デバイス121 −12
n およびエッジコネクタピン16により形成されるI/
O接続部は境界走査技術を用いることにより同時にテス
トすることができる。かくして、図1のシステム26の
ような高価な並列テストシステムを使用する必要性が排
除される。
【0021】図3は本発明によるSTEMの別の実施例
を示す模式的ブロック図である。図3のSTEM28´
は複数個の分離したソケット321 ,322 ・・・32
k (kは整数である)が設けられている点で、STEM
28と異なる。各ソケット321 ,322 ・・・32k
は、特定の形態のエッジコネクタ18と嵌合する異なる
物理形状を有するので、異なるタイプの回路板をSTE
M28´と嵌合させることができる。各ソケット32i
(i=1,2,...k)内には、一組の接点が存在す
る。各ソケットは、他の各ソケットの対応する接点を有
する別の第2境界走査レジスタ36と並列に結合され
る。図示されていないが、各ソケットの各接点34は、
接点が特定の論理レベル(TTL,ECL,CMOSな
ど)で信号を受信できるようにするため、これらに付随
する回路を有する。図2のSTEM28と同様に、図3
のSTEM28´の第2境界走査レジスタ36はデージ
ーチェーン形式で、デバイス121 −12n の第1境界
走査レジスタ20の連鎖と直列に結合されている。
【0022】図3のSTEM28´による図3の回路板
10のテストは、図2のSTEM28と同じ方法で、境
界走査テストシステム22により行われる。ビットスト
リームは図3の境界走査テストシステム22によりST
EM28´のTDIに発射され、そして、ビットは第2
および第1境界走査レジスタ36および20を通してシ
フトされ、それぞれのビットを対応するレジスタの一つ
にラッチさせる。その後、第2および第1境界走査レジ
スタ36および20にそれぞれシフトされたビットは回
路板10のTDOからシフトアウトされる。STEM2
8´とSTEM28との唯一の相違点は、STEM28
´が異なるタイプのエッジコネクタ形状にも適応できる
融通性をもたらすことであり、これは決定的な利点であ
る。
【0023】図4は本発明によるSTEMの好ましい別
の実施例28´´を示す模式的ブロック図である。図4
のSTEM28´´は、回路板10のデバイス121
12n およびエッジコネクタピン16により形成された
I/O接続部の両方の境界走査テストを容易にする。図
4のSTEM28´´は、複数個の分離したモジュール
またはカード31´´1 −31´´m (mは整数であ
り、一般的に、10である)を実装する本体30´´を
有する。各モジュール31´´1 −31´´m は複数個
の個別接点34´´(一般的に、96個)を有する。各
接点は、回路板のエッジコネクタ18のエッジコネクタ
ピン16のうちの対応する一つと嵌合することができ
る。実際、各モジュール31´´1 −31´´m が本体
30´´内に挿入された場合、モジュールの接点34´
´は互いに心合わせされる。その結果、エッジコネクタ
ピン16の長いアレーを有する回路板10は1個以上の
モジュールの接点により適合させることができる。図示
されていないが、回路には各モジュール31´´1 −3
1´´m の各接点34´´が設けられており、このモジ
ュールの接点が、対応するエッジコネクタピン16から
特定の論理レベル信号(TTL,ECL,CMOSな
ど)を処理できるようにする。
【0024】各モジュールの各接点34´´は別々の境
界走査レジスタ36´´に結合される。各モジュール内
のレジスタ36´´はデージーチェーン状に直列に接続
され、TDIおよびTDOを有する。第1モジュール3
1´´1 内のレジスタ36´´の境界走査連鎖のTDI
は境界走査テストシステム22のTDOと結合される。
各モジュール31´´1 −31´´m が本体30´´に
嵌合された場合、各モジュール31´i (1<i<m)
は、モジュール31´i-1 のTDOに自動的に結合され
たそのTDIおよびモジュール31´i+1 のTDIに結
合されたそのTDOを有する。このようにして、本体3
0´´内に収容されているモジュールのレジスタ36´
´の境界走査連鎖は単一走査連鎖状に接続される。
【0025】更に、各モジュール31´´1 −31´´
m は、境界走査レジスタ36´´の連鎖のTDOに結合
される個別ポート38も有する。各モジュール31´´
1 −31´´m のTDOポート38は、回路板10のT
DIを接続することができるノードを与える。例えば、
回路板10が第1モジュール31´´1 の接点34´´
と同数または少ない個数のエッジコネクタピン16を有
し、これにより、機械的係合および電気的接続が可能に
なる場合、第1モジュールのTDOポート38は回路板
のTDIに接続される。しかし、回路板10が多数のエ
ッジコネクタピン16を有し、全てのピンに適合させる
ための幾つかのモジュール31´´1 −31´´m が必
要になる場合、回路板に係合する最後のモジュールは回
路板のTDIに結合されるTDOポート38を有する。
STEM内のTDO復帰ラインを通してテストシステム
22のTDI入力に結合させるために、回路板のTDO
はSTEM28´´に接続されている。
【0026】STEM28´´は基本的に、図2および
図3のSTEM28および28´´とそれぞれ同じ方法
で動作する。境界走査テスト中に、モジュール31´´
1 −31´´m 内の境界走査セル36´´を通してシフ
トされる。モジュールの対応する接点34´´は対応す
るエッジコネクタピン16に嵌合されている。次いで、
同じテスト信号が回路板10の境界走査セル20を通し
てシフトされる。テスト信号が境界走査レジスタ36´
´および20を通してシフトされた後、レジスタ内に記
憶されたビットをシフトアウトさせ、そして、基準信号
列と比較する。シフトアウトビットと基準信号列間の相
違は、回路板10のデバイス121 −12n のうちの一
つ、または、エッジコネクタピン16のうちの一つによ
り形成されたI/O接続部の何れかに付随する欠陥の存
在を指示する。
【0027】以上、回路板10のI/O接続部を回路板
の境界走査デバイス121 −12nと集積し、境界走査
テスト技術を用いてデバイスおよびI/O接続部の両方
を同時にテストできるようにするシリアル・テスト・イ
クステンション・モジュールの様々な実施例(28,2
8´および28´´)について説明した。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、第1境界走査レジ
スタの連鎖に直列に結合された第2境界走査レジスタの
組み合わせを使用することにより、本発明のSTEMは
デバイス121 −12n をエッジコネクタピン16と効
果的に集積する。これにより、境界走査テスト技術を用
いてデバイスおよびI/O接続部の両方を同時にテスト
でき、従来のような同期をとる必要性が排除されるばか
りか、高価な並列テストシステムを使用する必要性が排
除される。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来技術により回路板のデバイスと回路板に対
するI/O接続部を同時にテストする方法を示す、回路
板の模式的ブロック図である。
【図2】I/O接続部および回路板のデバイスを境界走
査テスト技術を用いて同時にテストするための、本発明
による装置に結合された図1の回路板の模式的ブロック
図である。
【図3】図2の装置の好ましい別の実施例の模式的ブロ
ック図である。
【図4】図2の装置の好ましい他の実施例の模式的ブロ
ック図である。
【符号の説明】
10 回路板 12 電子デバイス 16 エッジコネクタピン 18 エッジコネクタ 20 第1境界走査レジスタ 22 境界走査テストシステム 24 テストアクセスポート(TAP) 26 並列試験機 28 STEM 30 STEM本体 32 ソケット 34 接点 36 第2境界走査レジスタ
フロントページの続き (72)発明者 ナーミ ティー.ジャーワラ アメリカ合衆国 08648 ニュージャージ ー ローレンスヴィル、ナッソー ドライ ヴ 25 (72)発明者 チ ワン ヨー アメリカ合衆国 18966 ペンシルヴェニ ア ホーランド、ヴァン ホーン プレー ス 3

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1境界走査レジスタ(20)を含有す
    る回路板(10)上のデバイス(12i )と回路板(1
    0)の入力/出力接続部(16)とをテストする方法に
    おいて、 前記各入力/出力接続部(16)を別の第2境界走査レ
    ジスタ(36)に結合するステップと、 前記各第2境界走査レジスタ(36)を各第1境界走査
    レジスタ(20)と直列に接続して連鎖を形成するステ
    ップと、 既知のビットストリームを前記連鎖に入力し、前記ビッ
    トストリーム中のビットを連鎖内のレジスタの一つにラ
    ッチさせるステップと、 前記連鎖にラッチされたビットをシフトアウトさせるス
    テップと、 前記連鎖からシフトアウトされたビットを、無欠陥条件
    下における前記連鎖からシフトアウトされたビットに相
    当する基準ビットストリームと比較するステップとから
    なることを特徴とする入力/出力接続部とバイスの同時
    テスト方法。
  2. 【請求項2】 前記入力/出力接続部は、回路板が搭載
    するエッジコネクタ(18)上の個別ピン(16)によ
    り形成され、 前記第2境界走査レジスタは、エッジコネクタ(18)
    と相補的なソケット(32)の個別接点(34)に接続
    部され、 前記各入力/出力接続部と各第2境界走査レジスタとの
    結合は、第2境界走査レジスタに付属するソケットを回
    路板上のエッジコネクタと嵌合させることにより行うこ
    とを特徴とする請求項1の方法。
  3. 【請求項3】 第1境界走査レジスタ(20)を個含有
    する回路板上のデバイス(12)と、回路板(10)上
    の入力/出力接続部(16)とを同時にテストする装置
    において、 前記第1境界走査レジスタと直列に結合された第2境界
    走査レジスタ(36)と;前記第2境界走査レジスタを
    回路板の個別入力/出力接続部に結合する手段(32,
    34)と;既知のビットストリームを第1および第2境
    界走査レジスタに入力し、このレジスタからビットスト
    リームをシフトさせ、これを、無欠陥条件下第1および
    第2境界走査レジスタからシフトされたビットストリー
    ムを示す基準ビットストリームと比較する境界走査テス
    トシステム(22)とからなることを特徴とする入力/
    出力接続部およびデバイスの同時テスト装置。
  4. 【請求項4】 前記結合手段は、回路板と嵌合するため
    のソケット(32)からなり、 該ソケットは、複数個の接点(34)を含有し、 各接点は第2境界走査レジスタ(36)のそれぞれ一つ
    に接続部され、 前記各接点は、回路板がソケットに嵌合したときに、個
    別回路板入力/出力接続部と電気的な接続を形成するこ
    とを特徴とする請求項3の装置。
  5. 【請求項5】 複数個のソケット(321 ,32
    2 ...32n )を更に含有し、 各ソケットは、異なる形状の回路板と嵌合し、 各ソケットは、複数個の接点(34)を含有し、 各ソケットの各接点は、他の各ソケットの対応する接点
    と共に、第2境界走査レジスタのそれぞれ一つと並列に
    接続され、 各接点は、回路板が前記接点を含有するソケットに嵌合
    したとき、個別回路板入力/出力接続部と電気的接続を
    形成することを特徴とする請求項3の装置。
  6. 【請求項6】 回路板の入力/出力接続部と、第1境界
    走査レジスタを含有する回路板上の境界走査デバイスを
    テストする装置において、 閉鎖容器と、 該閉鎖容器に嵌合できる少なくとも1個のモジュール
    と,を有し、 前記モジュールは、入力/出力接続部と嵌合する接点
    と、該接点に結合される第2境界走査セルとを含有し、 前記各第2境界走査セルは、第1境界走査セルと直列に
    結合されることを特徴とする入力/出力接続部および境
    界走査デバイスのテスト装置。
  7. 【請求項7】 複数個のモジュールを更に含有し、 各モジュールは、閉鎖容器と嵌合することができ、 各モジュールは、第1境界走査セルと直列に結合された
    各第2境界走査セルを有することを特徴とする請求項6
    の装置。
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