JPH06111393A - 光磁気情報記録再生装置 - Google Patents

光磁気情報記録再生装置

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JPH06111393A
JPH06111393A JP4260073A JP26007392A JPH06111393A JP H06111393 A JPH06111393 A JP H06111393A JP 4260073 A JP4260073 A JP 4260073A JP 26007392 A JP26007392 A JP 26007392A JP H06111393 A JPH06111393 A JP H06111393A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】検出系集積型でS/N比の高い光磁気信号が検
出できる光磁気情報記録再生装置を提供する。 【構成】本発明は、所定の方向に偏光した入射光束を磁
気光学カー効果を利用して光磁気情報記録媒体5の記録
パターンに応じた偏光面回転により変調し、その変調光
束を検出系集積素子7により検出して前記記録パターン
(光磁気情報)を読み取る光磁気情報記録再生装置にお
いて、前記検出系集積素子7が、導波路型TE/TMモ
ード分離素子部とTEモード検出用導波路光検出器8a
とTMモード検出用導波路光検出器8bを有し、TEモ
ード検出用導波路光検出器8aの出力ITEとTMモード
検出用導波路光検出器8bの出力ITMがほぼ等しくなる
ようにする手段を備えたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光磁気ディスク、光磁
気カード、光磁気テープ等の記録再生装置に応用される
光磁気情報記録再生装置に関する。
【0002】
【従来の技術】光磁気情報記録再生装置(光磁気信号検
出光学系)に関する技術としては、例えば以下の〜
の文献に開示されているように種々のものが提案されて
いる。 今村監修、長尾著、”光磁気ディスク”、第5章、ト
リケップス(昭61)174-183. 電子通信学会量子エレクトロニクス研究会報告、OQ
E86−177. M.Aoki et.al.”TE/TM mode splitter in a slab wav
eguide with a taperedtransition",MOC'91 Technical
digest E3 60-63. 特開昭57−205840. 特公平2−37611.
【0003】図6に従来の光磁気ディスク用光磁気信号
検出光学系の基本構成を示す(文献)。図6におい
て、ディスク反射光はビームスプリッタで反射され検光
子を透過して偏光面の回転を強度変化に変換し、光検出
器で光磁気再生信号(以下、光磁気信号と略す)を得
る。ここでは検光子に入射する光強度をI0 、光磁気デ
ィスクによる偏光面の回転角を±θk 、検光子の消光軸
からの回転角をθa とし、光検出器の感度をηd 、内部
電流利得(増倍率)をMとすると、光検出器出力電流の
信号成分Sは、 S=I0・ηd・M[sin2(θa+θk)−sin2(θa−θk)] =I0・ηd・M・sin2θa・sin2θk ≒I0・ηd・M・sin2θa・2θk ・・・(1) (但し、θk<<1) となる。光磁気信号検出では、磁気カー効果による回転
角θk が小さく信号振幅が小さい。そこで、信号検出の
S/N比を大きくするために、光磁気差動検出法が用い
られている。図7に基本構成を示す。
【0004】図7において、ディスクよりの反射光はビ
ームスプリッタ1で反射され、さらにビームスプリッタ
2で二分割されて各々検光子を透過して光検出器1,2
で光電変換される。この時、検光子の消光軸は互いに直
交するように配置される。光検出器1,2の出力は差動
増幅されて光磁気信号となる。この時、光検出器1の信
号成分S1 は、(1) 式と同様に、 S1=I0・ηd・M[sin2(θa+θk)−sin2(θa−θk)] ≒I0・ηd・M・sin2θa・2θk ・・・(2) となる。また、消光軸が直交する検光子を透過した光の
光検出器2による信号成分S2 は、 S2=I0・ηd・M[cos2(θa+θk)−cos2(θa−θk)] ≒−I0・ηd・M・sin2θa・2θk ・・・(3) となる。光磁気信号は、二つの光検出器の出力の差動を
とるので、 S=S1−S2 =I0・ηd・M・sin2θa・4θk ・・・(4) となる。(4) 式からわかるように、差動検出の場合、
(1) 式の単一検出に比べて信号振幅が二倍になる。ま
た、差動検出方式では、レーザ雑音、ディスク雑音、媒
体雑音のうち、偏光依存性の無い光強度変化に基づく成
分は、図7の検出系においては同相成分として出力され
るので、差動をとることによりキャンセルされる。
【0005】実際の光学系としては、図8に示すよう
に、光磁気ディスクからの反射光をビームスプリッタで
反射し、1/2波長板で偏光の振動面を変換して θa=
45°となるように設定する。この光を偏光ビームスプリ
ッタ(PBS)により偏光分離する。1/2波長板で
θa=45°とするのは、偏光性の無い雑音成分が光検出
器1,2で同振幅となり、完全にキャンセルさせるため
と、(4) 式の信号振幅を大きくするためである。光磁気
材料の磁気カー効果による偏光面のカー回転角は、1°
以下と微小であり、高S/N化のためには前述の光磁気
差動検出法と併用して光学的にカー回転角を増大して高
S/N化することが行なわれている(文献,)。こ
れは、図8の光学系中のビームスプリッタのP,S偏光
反射率を異ならせて、ビームスプリッタ反射後のカー回
転角を増大させるものである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところで、現在の光磁
気ディスクピックアップにおける光磁気信号検出光学系
は、図8に示したように沢山のバルクの光学素子のアセ
ンブリであり、コストが高く、厳しい組み付け精度も要
求されることから、バルクの光学素子の機能と光検出器
をSi基板上に集積化した検出系集積デバイスが提案さ
れている。この検出系集積デバイスとしては、阪大の西
原研から提案されている三つの面分割型フォーカシング
グレーティングカプラを使ったもの(文献)や、本発
明者らが提案しているテーパ結合部を持つTE/TMモ
ードスプリッタを使ったもの(文献)が知られている
が、いずれも前述のような現在の光磁気ディスクピック
アップにおける光磁気信号検出光学系において行なわれ
ている高S/N化の手段は用いられていない。そこで、
本発明では、検出系集積型でS/N比の高い光磁気信号
が検出できる光学系を備えた光磁気情報記録再生装置を
提供することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、所定の方向に偏光した入射光束
を磁気光学カー効果を利用して光磁気情報記録媒体の記
録パターンに応じた偏光面回転により変調し、その変調
光束を検出系集積素子により検出して前記記録パターン
(光磁気情報記録)を読み取る光磁気情報記録再生装置
において、前記検出系集積素子が、導波路型TE/TM
モード分離素子とTEモード検出用導波路光検出器とT
Mモード検出用導波路光検出器を有し、前記TEモード
検出用導波路光検出器の出力ITEとTMモード検出用導
波路光検出器の出力ITMがほぼ等しくなるようにする手
段を設けたことを特徴とする。
【0008】請求項2の発明では、請求項1の光磁気情
報記録再生装置において、前記ITEとITMがほぼ等しく
なるようにする手段が、前記変調光束の偏光方向を前記
検出系集積素子の直交するTEモードとTMモードの偏
光方向に対して回転させるようにしたことを特徴とす
る。請求項3の発明では、請求項1の光磁気情報記録再
生装置において、前記ITEとITMがほぼ等しくなるよう
にする手段が、前記変調光束を前記検出系集積素子に結
合させる際の結合効率が前記変調光束の偏光方向に依存
するようにしたことを特徴とする。
【0009】請求項4の発明では、請求項1の光磁気情
報記録再生装置において、前記ITEとITMがほぼ等しく
なるようにする手段が、前記検出系集積素子において、
導波路伝搬損失がTEモードとTMモードによって異な
るようにしたことを特徴とする。請求項5の発明では、
請求項1の光磁気情報記録再生装置において、前記ITE
とITMがほぼ等しくなるようにする手段が、前記検出系
集積素子において、TEモード検出用導波路光検出器に
TEモードが結合する結合効率とTMモード検出用導波
路光検出器にTMモードが結合する結合効率が異なるよ
うにしたことを特徴とする。請求項6の発明では、請求
項3,4,5記載の光磁気情報記録再生装置において、
前記変調光束の偏光方向を、前記検出系集積素子の直交
するTEモードとTMモードの偏光方向に対して45°
以外の方向になるようにしたことを特徴とする。
【0010】
【作用】本発明の光磁気情報記録再生装置においては、
従来のバルクの光学素子のアセンブリである光磁気情報
記録再生装置(光磁気信号検出光学系)と比べると、偏
光分離素子である導波路型TE/TMモードスプリッタ
とTEモード検出用導波路光検出器とTMモード検出用
導波路光検出器を一つの基板上に集積化しているため、
小型・軽量であり、組み付け調整が簡単になる。また、
このような利点を持つ従来の検出系集積素子を用いた光
磁気信号検出光学系と比べると、本発明では、TEモー
ド検出用導波路光検出器の出力ITEとTMモード検出用
導波路光検出器の出力ITMがほぼ等しくなるようにする
手段を設けたことにより、S/N比の高い光磁気信号が
得られる。
【0011】
【実施例】以下、本発明の構成、動作を図示の実施例に
基づいて詳細に説明する。図1(a),(b)は請求項
1の光磁気情報記録再生装置の一実施例を説明するため
の構成図であって、(a)は光源とその光源からの光を
光磁気情報記録媒体上に集光させる集光光学系と前記光
磁気情報記録媒体からの反射光を検出する検出系集積素
子の断面図であり、(b)は検出系集積素子の平面図で
ある。図1(b)において、点々を付した部分は第二光
導波路(領域)9bであり、白地で示された部分は第一
光導波路(領域)9aである。第一光導波路9aにおけ
るTE0 モードとTM0 モードの等価屈折率をそれぞれ
Ne1,Nm1とし、第二光導波路9bにおけるTE0 モー
ドとTM0 モードの等価屈折率をそれぞれNe2,Nm2
すると、Ne1とNm1はほぼ等しく、Ne2とNm2は異なっ
ている。尚、図1(a)において、符号1は光源、2は
コリメートレンズ、3はビームスプリッタ、4は対物レ
ンズ、5は光磁気情報記録媒体、6はプリズムカプラ
ー、7が検出系集積素子である。また、図1(b)にお
いて8a,8bは光検出器であり、9cは第三光導波路
である。
【0012】図1(a),(b)において、光源1から
の出射光はコリメートレンズ2により収束され、ビーム
スプリッタ3を通って対物レンズ4により光磁気情報記
録媒体5に集光する。光磁気情報記録媒体5からの反射
戻り光は対物レンズ4により再び収束されてビームスプ
リッタ3により反射され、プリズムカプラー6に入射
し、第一光導波路9aにカップリングし、導波光とな
る。この時、プリズムカプラー6の直前で図1(a)の
Es の方向に電界が振動している偏光成分が導波路では
TEモードとなり、Ep の方向に電界が振動している偏
光成分が導波路ではTMモードとなる。第一光導波路9
aを導波した光は、第二光導波路9bに結合し、TEモ
ードを反射させTMモードを屈折させるTE/TMモー
ド分離素子部で分離した後、TEモードを検出する光検
出器8a、TMモードを検出する光検出器8bで検出さ
れる。
【0013】次に、TE/TMモード分離素子部のモー
ド分離の原理を説明する。TE/TMモード分離素子部
は、第二光導波路9bと、第三光導波路9cと、第二光
導波路から第三光導波路への結合部(第二結合部)から
なっており、第二結合部では、光導波層の膜厚が光の波
長に対して十分に緩やかに変化している。ここで、第三
光導波路9cにおけるTE0 モードとTM0 モードの等
価屈折率をそれぞれNe3,Nm3とすると、Ne2,Nm2
Ne3,Nm3は次のような関係を満足している。 Ne2>Ne3 Nm2>Nm3 Nm3/Nm2>Ne3/Ne2 従って、モード分離素子部に導波してきた光束が第二結
合部に入射する時の入射角αが、第二結合部におけるT
0 モードの臨界角θe=sin(Ne3/Ne2)と、TM0
ードの臨界角θm=sin(Nm3/Nm2)の間に設定されてい
れば、第二結合部において、TE0 モードは全反射して
光検出器8aで検出され、TM0 モードは第三光導波路
に屈折して光検出器8bで検出される。
【0014】ここで、図2に示すように、光磁気情報記
録媒体5からの反射光の偏光方向が、プリズムカプラ直
前でEs 方向に対してθa 回転していて、磁気カー効果
による回転角が±θk であるとする。プリズムカプラ6
に入射する直前の入射光強度をI0 、プリズムカプラ6
の導波路へのカップリング効率をγ、導波路伝搬損失を
δ、導波光の導波路光検出器へのカップリング効率を
ζ、導波路光検出器の感度をηd 、内部電流利得(増倍
率)をMとすると、導波路光検出器出力電流の信号成分
Sは、 S=I0・γ・δ・ζ・ηd・M[sin2(θa+θk)−sin2(θa−θk)] =I0・γ・δ・ζ・ηd・M・sin2θa・sin2θk ・・・(5) (但し、θk<<1) となる。
【0015】ところが、プリズムカプラの導波路へのカ
ップリング効率γ、導波路伝搬損失δ、導波光の導波路
光検出器へのカップリング効率ζは、それぞれ偏光依存
性がある、すなわちTEモードとTMモードで異なるた
め、TEモードについては添字のe、TMモードについ
ては添字のmを付けて表わす(尚、導波路伝搬損失は、
普通dB/cmという単位で表わすが、ここでは導波路にカ
ップリングした直後の光量に対する導波路光検出器に結
合する直前の光量の割合を表わす)。すると、TMモー
ド検出用光検出器8bの信号成分Sm は、(5) 式と同様
に、 Sm=I0・γm・δm・ζm・ηd・M[sin2(θa+θk)−sin2(θa−θk)] =I0・γm・δm・ζm・ηd・M・sin2θa・sin2θk ・・・(6) となる。また、TEモード検出用光検出器8aによる信
号成分Se は、 Se=I0・γe・δe・ζe・ηd・M[cos2(θa+θk)−cos2(θa−θk)] =−I0・γe・δe・ζe・ηd・M・sin2θa・sin2θk ・・・(7) となる。また、光検出器8a,8bの出力のDC成分を
それぞれHe,Hmとすると、He,Hmはそれぞれ次のよ
うに表わされる。 Hm=I0・γm・δm・ζm・ηd・M・sin2θa ・・・(8) He=I0・γe・δe・ζe・ηd・M・cos2θa ・・・(9)
【0016】従って、光磁気差動信号のDC成分に対す
る変調度は、次式で表わされる。
【数1】 ここで、γm・δm・ζm=Xm、γe・δe・ζe=Xeとする
と、
【数2】 となる。上式をθaで偏微分すると、
【数3】 となるので、θaが次のような条件を満足しているとき
変調度は最大となる。 tan2θa=Xe/Xm ・・・(13) これは、(13)式を(8) 式、(9) 式に代入すればわかるよ
うに、光検出器8a,8bの出力のDC成分He ,Hm
が等しいという条件である。従って、TEモード検出用
導波路光検出器の出力とTMモード検出用導波路光検出
器の出力がほぼ等しくなるような手段を設ければ、変調
度の大きい、即ち、S/N比の高い光磁気信号が得られ
る(請求項1)。
【0017】次に、TEモード検出用導波路光検出器の
出力とTMモード検出用導波路光検出器の出力がほぼ等
しくなるような手段について述べる。このためには、(1
3)式の関係が満たされていれば良いので、(13)式を以下
のように書き直すとわかるように、 tan2θa=(γe・δe・ζe)/(γm・δm・ζm) となるので、以下のような手段が考えられる。 1.θa を変える(回転する)(請求項2)。 2.プリズムカプラの導波路へのカップリング効率γを
TEモードとTMモードで異なるようにする(請求項
3)。 3.導波路伝搬損失δをTEモードとTMモードで異な
るようにする(請求項4)。 4.導波光の導波路光検出器へのカップリング効率ζを
TEモードとTMモードで異なるようにする(請求項
5)。
【0018】また、θa を45°以外の角度にして、上記
2または3または4の手段を用いた場合、以下に示すよ
うな変調度増幅効果がある(請求項6)。 今、変調度を表わす(11)式に、(13)式を代入すると、
【数4】 となる。(15)式よりy=1の時変調度は最小値となる。
すなわち、Xe≠Xmとすることによって、Xe=Xmの時
よりも変調度が増幅される。
【0019】次に、請求項2,3,4,5,6記載の手
段を具体的な実施例を用いて説明する。先ず、検出系集
積素子の具体的な一実施例を図1(a),(b)を用い
て説明する。図1において、Si基板10に導波路光検
出器8a,8b(8aがTEモード検出用、8bがTM
モード検出用)が形成されており、その上にバッファ層
11が形成されている。さらに、第一光導波路9aのコ
ア層である光導波層12及び第二光導波路9bのコア層
である光導波層13の上に導波路へのカップリング効率
を調整するための第一ギャップ層14及び第二ギャップ
層15が成膜されている。そして、その上にプリズム6
がプリズムと屈折率がほぼ等しい誘電性接着剤16で接
着されている。尚、第三光導波路9cは第一光導波路と
同じ層構成である。前記光磁気情報記録媒体5によって
変調を受けた光束の偏光方向が図1(a)のEs 方向と
なす角度θa は、検出系集積素子全体を図1(a)のE
s−Ep平面内で回転させる治具を用いるか、または検出
系集積素子の直前にλ/2板などの偏光方向回転素子等
を用いることによって回転することができる(請求項
2)。
【0020】次に、図1の導波路カップリング部を拡大
した図が図3である。請求項3に記載した光磁気情報記
録媒体によって変調された光束を検出系集積素子に結合
させる際の結合効率は、例えば光導波層12の屈折率や
膜厚、第一ギャップ層14の屈折率や膜厚、プリズム6
への入射角度θ0 等によって変化する。従ってそれらを
適当に設定すれば、前記変調光束の偏光方向によって導
波路への結合効率を異なるようにすることができる。す
なわち、TEモードとTMモードの導波路へのカップリ
ング効率γe、γmを違うようにすることができる(請求
項3)。
【0021】また、図1のTE/TMモード分離部を拡
大した図が図4であり、(a)が断面図、(b)が平面
図である。最初はTEモード、TMモードとも第二光導
波路を導波し、第一光導波路(第三光導波路)との結合
部(テーパ結合部)において、TEモードは全反射し第
二光導波路を導波し、TMモードは全透過して第一光導
波路(第三光導波路)を導波する。第一光導波路(第三
光導波路)の光導波層12と第二光導波路の光導波層1
3は、異なる屈折率または異なる膜厚を持っているの
で、TEモードの導波路伝搬損失(導波路にカップリン
グした直後の光量に対する導波路光検出器に結合する直
前の光量)δe とTMモードの導波路伝搬損失δm は容
易に異なるようにすることができる(請求項4)。
【0022】次に、導波路光検出器8aの断面を拡大し
た図が図6(a)であり、導波路光検出器8bの断面を
拡大した図が図6(b)である。導波光の導波路光検出
器へのカップリング効率ζは、光検出器上のバッファ層
11の膜厚や光検出器の長さ(Le,Lm)によるので、導
波路光検出器8aの上のバッファ層11の膜厚と導波路
光検出器8bの上のバッファ層11の膜厚を違うように
したり、LeとLmの長さを変えたりして、TEモードのカ
ップリング効率ζe とTMモードのカップリング効率ζ
m が異なるようにすることができる(請求項5)。ま
た、前に説明したとおり、TEモード検出用導波路光検
出器8aの出力とTMモード検出用導波路光検出器8b
の出力がほぼ等しくなるようにするということは、下式
が成り立つようにするということなので、下式の関係、 tan2θa=(γe・δe・ζe)/(γm・δm・ζm) を満足していれば、導波路へのカップリング効率γ、導
波路伝搬損失δ、導波光の導波路光検出器へのカップリ
ング効率ζのうち一つだけがTEモードとTMモードで
異なっていてもよいし、二つが異なっていてもよいし、
三つとも異なっていてもよい。また、三つとも等しいと
きには、θa=45°となる。
【0023】次に、図1(a)の各層の屈折率n、膜厚
dが、具体的に以下のような値であったとする。 波長:633nm 基板10:Si(n=3.858-0.018i) バッファ層11:SiO2(nb=1.460,db=1.000μm)熱
酸化により成膜 光導波層12:SiON(nf=1.530,df=1.500μm)C
VDにより成膜 光導波層13:SiN(nf=1.860,df=0.300μm)CV
Dにより成膜 第一ギャップ層14:SiO2(ng1=1.470,dg1=0.500
μm)スパッタにより成膜 第二ギャップ層15:OCD(dg2=0.700μm)SiO2
系塗布膜、東京応化製 プリズム 6:高屈折率光学ガラス(np=1.800) 誘電性接着剤16:光学的に透明な高屈折率材料。例え
ばポリイミド系樹脂。 ここでは、デュポン社製パイラリン2555(na=1.72
0)
【0024】この場合、第一光導波路におけるTE0
ード、TM0 モードの等価屈折率はそれぞれ1.517,1.5
17となり、両モードともプリズムカプラ6の導波路への
カップリング効率γは80%である。また、導波路伝搬損
失δも、導波光の導波路光検出器へのカップリング効率
ζがTEモードとTMモードで異なっており、以下のよ
うな値であったとすると、 (δe・ζe)/(δm・ζm)≒2.04 この時、θa を55°にすると(13)式が成り立つ。すなわ
ちTEモード検出用導波路光検出器8aの出力のDC成
分He と、TMモード検出用導波路光検出器8bの出力
Hm が等しくなる。この時、θk=0.5°として(11)式で
表わされる変調度を計算すると、
【数5】 であり、約 3.7%の変調度である。これは、Xe=Xmで
θaが45°の場合の変調度 3.5%に比べて明らかに変調
度が大きくなっている(請求項6)。この変調度は、θ
a,Xe,Xm が(13)式を満たしていて、かつXe,Xmの
違いが大きければ大きいほど大きくなる。しかし、X
e,Xmの違いがあまりにも大きいと、それに比例してそ
れぞれのモードの出力のノイズ成分の違いも大きくなっ
てしまい、差動信号をとることによる無偏光同相成分除
去の効果が無くなり、かえって光磁気信号のS/N比が
悪くなってしまうため、Xe,Xmの違いはあまり大きく
しない方が良い。
【0025】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1の光磁気
情報記録再生装置においては、従来のバルクの光学素子
のアセンブリである光磁気情報記録再生装置(光磁気信
号検出光学系)と比べると、偏光分離素子である導波路
型TE/TMモードスプリッタとTEモード検出用導波
路光検出器とTMモード検出用導波路光検出器を一つの
基板上に集積化しているため、小型・軽量であり、組み
付け調整が簡単になる。また、このような利点を持つ従
来の検出系集積素子を用いた光磁気信号検出光学系と比
べると、本発明では、TEモード検出用導波路光検出器
の出力ITEとTMモード検出用導波路光検出器の出力I
TMがほぼ等しくなるようにする手段を設けたことによ
り、S/N比の高い光磁気信号が得られる。
【0026】請求項2の光磁気情報記録再生装置におい
ては、前記ITEとITMをほぼ等しくする手段が、光磁気
情報記録媒体によって変調を受けた光束の偏光方向を、
前記検出系集積素子の直交するTEモードとTMモード
の偏光方向に対して回転させるようにしたことによっ
て、前記検出系集積素子が作成の際の誤差によって設計
値から外れたような場合でも設計値通りの高いS/N比
を持つ光磁気信号が得られるように組み付け時に調節で
きる。
【0027】請求項3の光磁気情報記録再生装置におい
ては、前記ITEとITMをほぼ等しくする手段が、前記変
調光束を前記検出系集積素子に結合させる際の結合効率
が、TEモードとTMモードで違うようにすることとす
ると、結合効率は光導波路の材料(屈折率)や膜厚意外
にも入射させるときの角度にもよるため、設計の自由度
が大きくなる。
【0028】請求項4の光磁気情報記録再生装置におい
ては、前記ITEとITMをほぼ等しくする手段が、前記検
出系集積素子において、導波路伝搬損失がTEモードと
TMモードによって異なるようにすることとすると、前
記検出系集積素子においては、TEモードとTMモード
が導波路型TE/TMモードスプリッタで分離された後
それぞれ違う光導波路を伝搬するので、容易にTEモー
ドとTMモードの導波路伝搬損失を異なるようにでき、
高いS/N比を持つ光磁気信号が得られる。
【0029】請求項5の光磁気情報記録再生装置におい
ては、前記ITEとITMをほぼ等しくする手段が、前記検
出系集積素子において、TEモード検出用導波路光検出
器にTEモードが結合する結合効率とTMモード検出用
導波路光検出器にTMモードが結合する結合効率が異な
るようにすることとすると、前記検出系集積素子内の散
乱光によるノイズの少ない光磁気信号が得られる。
【0030】請求項6の光磁気情報記録再生装置におい
ては、請求項3,4,5に記載の光磁気情報記録再生装
置において、前記変調光束の偏光方向を、前記検出系集
積素子の直交するTEモードとTMモードの偏光方向に
対して45°以外の方向になるようにすることによって、
45°にしたときに比べて、光磁気差動信号のDC成分に
対する変調度が大きくなる。すなわちS/N比の高い光
磁気信号が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1の光磁気情報記録再生装置の一実施例
を説明するための構成図であって、(a)は光源とその
光源からの光を光磁気情報記録媒体上に集光させる集光
光学系と前記光磁気情報記録媒体からの反射光を検出す
る検出系集積素子の断面図であり、(b)は検出系集積
素子の平面図である。
【図2】光磁気記録媒体からの反射光の偏光方向と磁気
カー効果による回転角の説明図である。
【図3】図1に示す光磁気情報記録再生装置の導波路カ
ップリング部の拡大断面図である。
【図4】図1に示す光磁気情報記録再生装置における検
出系集積素子のTE/TMモード分離部の説明図であっ
て、(a)はTE/TMモード分離部の断面図、(b)
はTE/TMモード分離部の平面図である。
【図5】図1に示す光磁気情報記録再生装置における検
出系集積素子の導波路光検出器の説明図であって、
(a)はTEモード検出用の導波路光検出器の断面図、
(b)はTMモード検出用の導波路光検出器の断面図で
ある。
【図6】従来技術の一例を示す図であって、光磁気ディ
スク用光磁気信号検出光学系の基本構成を示す図であ
る。
【図7】従来技術の別の例を示す図であって、光磁気差
動検出法を用いた光磁気ディスク用光磁気信号検出光学
系の基本構成を示す図である。
【図8】従来技術のさらに別の例を示す図であって、実
際の光磁気ディスク用光磁気信号検出光学系の一構成例
を示す図である。
【符号の説明】
1・・・光源 2・・・コリメートレンズ 3・・・ビームスプリッタ 4・・・対物レンズ 5・・・光磁気情報記録媒体 6・・・プリズムカプラー 7・・・検出系集積素子 8a・・・TEモード検出用導波路光検出器 8b・・・TMモード検出用導波路光検出器 9a・・・第一光導波路 9b・・・第二光導波路 9c・・・第三光導波路 10・・・基板 11・・・バッファ層 12・・・光導波層 13・・・光導波層 14・・・第一ギャップ層 15・・・第二ギャップ層 16・・・誘電性接着剤

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】所定の方向に偏光した入射光束を磁気光学
    カー効果を利用して光磁気情報記録媒体の記録パターン
    に応じた偏光面回転により変調し、その変調光束を検出
    系集積素子により検出して前記記録パターン(光磁気情
    報記録)を読み取る光磁気情報記録再生装置において、 前記検出系集積素子が、導波路型TE/TMモード分離
    素子とTEモード検出用導波路光検出器とTMモード検
    出用導波路光検出器を有し、前記TEモード検出用導波
    路光検出器の出力ITEとTMモード検出用導波路光検出
    器の出力ITMがほぼ等しくなるようにする手段を設けた
    ことを特徴とする光磁気情報記録再生装置。
  2. 【請求項2】前記ITEとITMがほぼ等しくなるようにす
    る手段が、前記変調光束の偏光方向を前記検出系集積素
    子の直交するTEモードとTMモードの偏光方向に対し
    て回転させるようにしたことを特徴とする請求項1記載
    の光磁気情報記録再生装置。
  3. 【請求項3】前記ITEとITMがほぼ等しくなるようにす
    る手段が、前記変調光束を前記検出系集積素子に結合さ
    せる際の結合効率が前記変調光束の偏光方向に依存する
    ようにしたことを特徴とする請求項1記載の光磁気情報
    記録再生装置。
  4. 【請求項4】前記ITEとITMがほぼ等しくなるようにす
    る手段が、前記検出系集積素子において、導波路伝搬損
    失がTEモードとTMモードによって異なるようにした
    ことを特徴とする請求項1記載の光磁気情報記録再生装
    置。
  5. 【請求項5】前記ITEとITMがほぼ等しくなるようにす
    る手段が、前記検出系集積素子において、TEモード検
    出用導波路光検出器にTEモードが結合する結合効率と
    TMモード検出用導波路光検出器にTMモードが結合す
    る結合効率が異なるようにしたことを特徴とする請求項
    1記載の光磁気情報記録再生装置。
  6. 【請求項6】請求項3,4,5記載の光磁気情報記録再
    生装置において、前記変調光束の偏光方向を、前記検出
    系集積素子の直交するTEモードとTMモードの偏光方
    向に対して45°以外の方向になるようにしたことを特
    徴とする光磁気情報記録再生装置。
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