JPH0574191A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH0574191A
JPH0574191A JP3258404A JP25840491A JPH0574191A JP H0574191 A JPH0574191 A JP H0574191A JP 3258404 A JP3258404 A JP 3258404A JP 25840491 A JP25840491 A JP 25840491A JP H0574191 A JPH0574191 A JP H0574191A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明の目的は冗長回路の占める面積を減少
させることである。 【構成】 複数に分割されたメモリセルアレイ107は
複数本の冗長メモリセル列103をそれぞれ備えてお
り、不良メモリセル列のアドレスは不良アドレスプログ
ラム回路110に保持される。不良メモリセル列がアク
セスされると、不良アドレスプログラム回路110はカ
ラムアドレスデコーダ回路108を不活性とし、冗長メ
モリセル列103を活性化する。ブロックデコーダ回路
109は相補信号AYj,AYj(オーハ゛ーライン)と禁止信号KL
と出力SY1〜SYnに基づきブロック選択信号BSmを
発生し、不良メモリセル列と置換された冗長メモリセル
列103からのデータを出力させる。したがって、冗長
メモリセル列毎に専用の行アドレスデコーダを設ける必
要がなく、冗長回路の占有面積を減少できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体記憶装置に関し、
特に不良メモリセルを救済する冗長回路を有する半導体
記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体記憶装置は絶え間なく大容量化、
微細化しており、かかる微細化に伴う不良メモリセルの
発生に対応すべく冗長回路技術を使うことにより、歩留
りの向上を計っている。
【0003】冗長回路を用いた半導体記憶装置の従来例
について図面を参照して説明する。図7は従来例の回路
構成を示すブロック図である。m個に分割されたメモリ
セルアレイ707はロウアドレスデコーダ回路706、
カラムスイッチ回路701、センスアンプ/ライトドラ
イバ回路703に各々伴われている。冗長メモリセルア
レイ708は、正規メモリアレイ707から独立して配
置されており、この冗長メモリセルアレイ708は、専
用のロウアドレスデコーダ回路706と、カラムスイッ
チ回路702とセンスアンプ/ライトドライバ回路70
4に伴われている。
【0004】次に、この半導体記憶装置の詳細構成を説
明する。ロウアドレス入力AXO〜AXiを受けてロウアド
レスバッファ回路705の出力AXi’,AXi’(オーハ゛ーライ
ン)がロウアドレスデコーダ回路706に入力し、後述す
るブロック選択信号BSmとの論理で1本のワード線が
選択され、選択されたワード線に接続されたメモリセル
のデータがビット線に出力される。
【0005】一方、カラムアドレス入力AyO〜Ayjをう
けてカラムアドレスバッファ回路712から出力信号A
yj’,Ayj’(オーハ゛ーライン)が出力される。この出力信号A
yj’,Ayj’(オーハ゛ーライン)の下位アドレスはカラムアドレ
スデコーダ回路709に入力し、デコードされ、各メモ
リセルアレイ706に付随したカラムスイッチ回路70
1内のスイッチを1つ選択状態にする。出力信号Ay
j’,Ayj’(オーハ゛ーライン)の上位アドレスはブロックデコ
ーダ回路710でデコードされ、1つのメモリセルアレ
イ706を活性化するブロック選択信号BSmが出力さ
れる。その結果、1つのメモリセルアレイ706が選択
され、その中の1本のワード線1組のビット線により特
定されたメモリセル内のデータがカラムスイッチ701
を通り、ブロック選択信号BSmにより活性化されたカ
ラムセンスアンプ/ライトドライバー回路703で増幅
された出力信号をリードバス線RBで入出力バッファ回
路713に伝え、入出力端子780から出力して読み出
し動作が完了する。
【0006】一方、書き込み動作は、入出力端子780
から入力したデータが入出力バッファ回路713、ライ
トバス線WBを伝わり、前記読み出し動作と同様にカラ
ムアドレス入力AyO〜Ayjで選択されたメモリセルアレ
イ707が活性化され、センスアンプ/ライトドライバ
回路703を活性化し、データはロウアドレス入力AXO
〜AXiとカラムアドレス入力AyO〜Ayjで選択されたワ
ード線,ビット線で特定されるメモリセルに書き込まれ
る。
【0007】次に不良アドレスプログラム回路711に
ついて説明する。図3は冗長プログラム回路421を表
しており、図において、Fはヒューズ、QN1,QN2、Q
N3はNチャネル型MOSトランジスタ、QP1,QP2はP
チャネル型MOSトランジスタ、301,302はイン
バータ、Ayj’,Ayj’(オーハ゛ーライン)はカラムアドレスバ
ッファ回路712の出力、OUTは出力ノードである。
【0008】不良アドレス番地の構成ビットが“0”の
時はヒューズFをそのままとし、“1”の時は、ヒュー
ズFを切断し、複数の冗長プログラム回路421を組み
合わせて不良アドレスをプログラムする。ヒューズFが
残っている場合はトランジスタQP1,QN2がオンして出
力信号Ayj(オーハ゛ーライン)が出力ノードOUTに出力され
る。一方、ヒューズFが切断されている場合はトランジ
スタQN3,QP2がオンして出力信号Ayj’が出力ノード
OUTに出力される。これでカラムアドレス入力AyO〜
Ayjと不良メモリセル列アドレスの一致を判定してい
る。
【0009】次に、図4において、421〜42jは図
3の冗長プログラム回路であり、カラムアドレス入力A
yO〜Ayjにそれぞれ対応して設けられている。冗長プロ
グラム回路421〜42jの出力はNANDゲート40
1に供給され、更にインバータ402の出力SY1〜S
Ynが冗長メモリセルアレイ708のカラムスイッチ回
路702と、センスアンプ/ライトドライバ回路704
と、ロウアドレスデコーダ回路706の選択信号とな
る。NANDゲート401の出力RYnが1本でも低レ
ベル、つまり1本でも冗長メモリセル列との置換が行わ
れていればNANDゲート403の出力KLは高レベル
となり、正規メモリセルアレイ707のカラムスイッチ
回路701の選択信号Yjとブロック選択信号BSmを禁
止して非選択状態とし、冗長メモリセルアレイ708の
みが活性化される。この動作により、正規メモリセルア
レイ707内にある任意アドレスの不良メモリセル列を
冗長メモリセルアレイ708にある冗長メモリセル列の
本数だけ置換できる。
【0010】図8は他の従来例を示すブロック図であ
る。図7の従来例と同一構成には同一符号を付して説明
は省略する。この従来例では、冗長メモリセル列803
が分割された各メモリセルアレイ707内に分散して配
置されている。この方式では図3の冗長プログラム回路
421がカラムスイッチを選択する下位のカラムアドレ
ス入力Ayjについてだけ設けられ、メモリセルアレイを
選択するカラムアドレス入力Ayjには設けていない。こ
れにより、図4中の出力KLは、ブロック選択を禁止す
る必要がなく、カラムスイッチ選択のみを禁止すればよ
い。すなわち、図7の従来例とは異なり、全メモリセル
アレイ707の任意の不良メモリセル列を置換すること
は不可能であり、冗長メモリセル列803が配置されて
いるメモリセルアレイ807内の不良メモリセルを置換
することのみできる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】これらの従来の半導体
記憶装置では、以下に述べる問題点があった。
【0012】まず、図7の従来例では、任意アドレスの
不良メモリセル列を冗長メモリセル列と置換することは
可能であるが、冗長メモリセル列専用のロウアドレスデ
コーダ回路706、センスアンプ/ライトドライバ回路
704などを設ける必要があり、冗長回路の占有面積が
大きくなり、半導体チップが大型化してしまうという問
題点があった。
【0013】一方、図8の従来例では、図7の従来例の
ように、冗長メモリセル列専用のロウアドレスデコーダ
回路706、センスアンプ/ライトドライバ回路704
は必要ないが、冗長メモリセル列に置換可能なメモリセ
ル列は分散配置されたブロックの内の1つに限定され
る。すなわち、複数本の冗長メモリセル列を設けても、
各メモリセルアレイに均等に分割配置されているので、
1つのメモリセルアレイ内にある冗長メモリセル列の本
数分だけ、そのメモリセルアレイ内の不良メモリセルを
置換できるが、それ以上不良メモリセルがあっても他の
メモリセルアレイ内にある冗長メモリセル列を使用でき
なく、冗長メモリセル列の本数分全てを不良メモリセル
と置換できないという問題点があった。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明の要旨は、複数の
メモリセルアレイと、該メモリセルアレイ中の不良メモ
リセル列と置換可能な予備メモリセル列群とを有する半
導体記憶装置において、上記予備メモリセル列群を複数
の予備メモリセル列に分割し該複数の予備メモリセル列
を上記複数のメモリセルアレイの選択されたアレイにそ
れぞれ配分し、不良メモリセル列のアドレスを記憶し、
不良メモリセル列のアドレスが指定されると不良メモリ
セル列からのデータの読み出しを禁止すると共に予備メ
モリセル列を活性化する不良アドレスプログラム回路
と、アドレス指定された不良メモリセル列に置換された
予備メモリセル列からのデータの読み出しを許容するブ
ロックデコーダ回路とを設けたことである。
【0015】
【発明の作用】不良メモリセル列へのアクセスがある
と、不良アドレスプログラム回路は不良メモリセル列か
らのデータの読み出しを禁止すると共に、予備メモリセ
ル列を活性化し、読み出しデータを準備させる。次に、
ブロックデコーダはアクセスされた不良メモリセル列と
置換された予備メモリセル列からの読み出しを許容する
ので、不良メモリセル列はいずれのメモリセルアレイに
分配されている予備メモリセル列とも置換できる。
【0016】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。図1は本発明の第1実施例の半導体記憶装置
の回路構成を示すブロック図である。R本のワード線と
l本のビット線に接続されているメモリセルアレイ10
7はm個存在しており、各メモリセルアレイ107に
は、ロウアドレスデコーダ回路106と、カラムスイッ
チ回路101と、センスアンプ/ライトドライバ回路1
02が付随して設けられている。また、各メモリセルア
レイ107には1本の冗長メモリセル列103が各メモ
リセルアレイ107のワード線に接続されて配置されて
おり、各々の冗長メモリセル列103には専用のカラム
スイッチ104が設けられている。アドレス入力信号は
ロウアドレス入力AXO〜AXi(単にAXiと述べるといず
れかのビットを示す)とカラムアドレス入力AyO〜Ayj
(単にAyjと述べたときはいずれかのビットを示す)が
あり、カラムアドレス入力AyO〜Ayjはカラムアドレス
バッファ回路111で相補出力信号Ayj’とAyj’(オーハ
゛ーライン)が出力される。下位アドレスビットから得られる
相補出力信号Ayj’とAyj’(オーハ゛ーライン)がカラムアドレ
スデコーダ回路108に供給され、上位アドレスビット
から得られる相補出力信号Ayj’とAyj’(オーハ゛ーライン)は
ブロックデコーダ回路109に供給される。また全相補
出力信号が不良アドレスプログラム回路110に供給さ
れ、ブロックデコーダ回路109で1つのメモリセルア
レイ107に関してロウアドレスデコーダ回路106
と、センスアンプ/ライトドライバ回路102を活性化
するブロック選択信号BSmを出力する。
【0017】カラムアドレスデコーダ回路108は、各
メモリセルアレイ107のカラムスイッチを1つ選択す
る信号Yjを出力する。これらの動作により、1つのメ
モリセルアレイ107が活性化され1組のビット線が選
択される。
【0018】一方、ロウアドレス入力AXO〜AXiはロウ
アドレスバッファ回路105で相補出力信号AXi’とA
Xi’(オーハ゛ーライン)となり、ロウアドレスデコーダ回路10
6において、ブロック選択信号BSmと論理をとって前
述のメモリセルアレイ107中の1本のワード線を選択
する。その結果、前述の選択されたワード線と選択され
たビット線とで1個のメモリセルが選択される。
【0019】読み出し動作ではメモリセルから読み出さ
れたデータがセンスアンプ回路102で増幅され、リー
ドバス線RBを伝わって入出力バッファ回路112から
入出力端子180に出力される。
【0020】一方、書き込み動作では、入力データが入
出力バッファ回路112を通ってライトバス線WBを伝
わり、選択されているライトドライバ回路102、カラ
ムスイッチ回路101を通って選択されているメモリセ
ルに書き込まれる。
【0021】次に不良メモリセルを冗長ビット線列10
3と置換する動作について説明する。不良アドレスプロ
グラム回路110は図3,図4に示された構成である。
冗長プログラム回路(図3)の動作は従来例で説明した
ので省略する。
【0022】図4に示す不良アドレスプログラム回路1
10において、相補出力信号Ayj’,Ayj’(オーハ゛ーライン)
を入力とする冗長プログラム回路群421〜42jが不
良メモリセル列へのアクセスを検出した場合には、NA
NDゲート401の入力はすべて高レベルとなり、その
出力RY1〜RYnは低レベルとなる。したがって、イン
バータ402の出力SY1〜SYnは高レベルとなる。つ
まり、411〜41nがn本の冗長メモリセル列に対す
る冗長カラムプログラム回路となる。この例ではメモリ
セルアレイがm分割に対し、各メモリセルアレイに冗長
メモリセル列は1本なのでm=nである。つまり、n個
の不良メモリセル列までは冗長メモリセル列と置換可能
であり、各々冗長カラムプログラム回路411〜41n
で不良アドレスがプログラムされることとなる。
【0023】冗長メモリセル列と置換された場合は出力
RY1〜RYnのいずれかが高レベル状態から低レベル状
態に変化し、NANDゲート403の出力KLは高レベ
ル状態となる。この出力KLは、不良メモリセル列を含
むメモリセルアレイの活性化を禁止する出力SY1〜S
Ynと出力KLはブロックデコーダ回路109で不良の
メモリセル列を含むメモリセルアレイ107を禁止し、
冗長メモリセル列103のあるメモリセルアレイ107
を選択する。
【0024】このブロックデコーダ回路109中のデコ
ーダを図5に示す。デコーダはメモリセルアレイ107
毎に設けられている。NANDゲート501にブロック
選択用の相補出力信号Ayj’とAyj’(オーハ゛ーライン)が入力
し、これらがすべて高レベルの場合、選択状態となり、
低レベルが出力される。ここで置換がない場合、出力K
Lは低レベル出力SY1〜SYnは低レベルであるので、
NORゲート502の出力は高レベル、NORゲート5
03の出力は低レベル、インバータ504の出力ブロッ
ク選択信号BSmは高レベルとなり、メモリセルアレイ
107が1つ活性化される。
【0025】一方、置換がなされた場合、出力KLが高
レベルとなるのは、NORゲート502の出力が低レベ
ルで、置換された冗長メモリセル列がこのアドレスのブ
ロックの配置されていれば、SYnは高レベルであり、
ブロック選択信号BSmは高レベルで出力される。
【0026】一方、置換された冗長メモリセル列がこの
メモリセルアレイ102に付随して配置されていなけれ
ば、出力SYnは低レベルであり、ブロック選択信号B
Smは低レベルとなり、非選択状態となる。このよう
に、冗長メモリセル列と置換される場合、ブロックデコ
ーダ回路109の出力を出力KLにより禁止し、出力S
Ynにより置換される冗長メモリセル列を含むメモリセ
ルアレイ107を選択状態にしている。更に、1つのメ
モリセルアレイ内に不良メモリセル列がm本とあったと
しても、他のメモリセルアレイに配属されている冗長メ
モリセル列と置換することができる。
【0027】以上説明したように、本実施例では冗長メ
モリセル列専用のロウアドレスデコーダ回路やセンスア
ンプ回路を設ける必要がないので、半導体チップ面積を
増大させることがなく、不良メモリセル列をいずれのメ
モリセルアレイ107に付随している冗長メモリセル列
と置換することができる。
【0028】次に本発明の第2実施例について図面を参
照して説明する。第2実施例の構成中、第1実施例と同
一部分には、同一符号のみ伏して説明は省略する。
【0029】本実施例は、冗長メモリセル列の本数nが
メモリセルアレイの分割数mよりも少ない場合の例であ
る。本実施例の通常の読み出し及び書き込み動作は第1
実施例と同一である。
【0030】冗長メモリセル列を含むメモリセルアレイ
107を選択するブロックデコーダ回路209は図5に
示されており、第1実施例と同一である。一方、冗長メ
モリセル列を含まないメモリセルアレイ107を選択す
るブロックデコーダ回路209は図6に示されており、
冗長メモリセル列を含むメモリセルアレイ107を選
択、非選択とするのは第1実施例で説明した通りであ
る。すなわち、禁止信号KLによりNANDゲート50
1の出力を禁止し、出力SYnが選択状態か、非選択状
態かによりブロック選択出力BSmが選択状態か非選択
状態となる。この時、冗長メモリセル列を含まないメモ
リセルアレイ107のブロック選択は図6の回路で行わ
れる。NANDゲート601の入力(相補出力信号AY
j’(オーハ゛ーライン)とAYj’)がすべて高レベルで選択状態
となると、インバータ602の出力は高レベルとなる。
不良アドレスプログラム回路110の禁止出力KLが高
レベル、つまり、アクセスされたメモリセル列が冗長メ
モリセル列に置換されているときは、インバータ605
の出力は低レベルとなり、NANDゲート603の出力
は高レベルに、インバータ604の出力(すなわち、ブ
ロック選択信号BSm)は低レベルとなり非選択とな
る。
【0031】一方、禁止出力KLが低レベル、すなわ
ち、冗長メモリセル列に置換されていないメモリセル列
が選択された場合は、インバータ605の出力は高レベ
ルとなり、NANDゲート603の出力は低レベルに、
インバータ604の出力BSmは高レベルとなり、ブロ
ック選択状態となる。
【0032】本実施例では、メモリセルアレイ分割数よ
り、冗長メモリセル列数が少ない場合、つまりチップ面
積の関係で冗長メモリセル列全てのメモリセルアレイ1
07に設けることができない場合でも、図5,図6のデ
コーダを選択的に用いてブロックデコーダ回路209を
構成でき、不良メモリセル列を任意の冗長メモリセル列
と置換することができる。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、分割され
たメモリセルアレイに複数本の冗長メモリセル列を分割
配置し、いずれのメモリセルアレイ中の不良メモリセル
列と置換可能にしたので、冗長メモリセル列専用のロウ
アドレスデコーダやセンスアンプ回路等を設ける必要が
なくなり、チップ面積を増大させることなく、多数の不
良メモリセルの含む半導体記憶装置を救済できるという
効果を有する。例えば、専用ロウアドレスデコーダが必
要ないことにより、ワード線方向のチップ長さが100
μm〜200μm程度短くすることができる。また、10
24ワード×512ビット構成で8分割されているSR
AMの場合、1ブロック内では64ビットとなり、ブロ
ック内でのみ置換可能の場合、1本で置換可能なビット
線は64本であるが、本発明では512本となり8倍の
自由度を有することとなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示すブロック図である。
【図2】本発明の第2実施例を示すブロック図である。
【図3】冗長プログラム回路の回路図である。
【図4】不良アドレスプログラム回路の回路図である。
【図5】ブロックデコーダ回路内のデコーダを示す回路
図である。
【図6】ブロックデコーダ回路内の他のデコーダを示す
回路図である。
【図7】従来例を示すブロック図である。
【図8】他の従来例を示すブロック図である。
【符号の説明】
101,701 カラムスイッチ回路 102,703 センスアンプ/ライトドライバ回路 103,803 冗長メモリセル列 104,804 冗長カラムスイッチ回路 F ヒューズ QN1,QN2,QN3 Nチャネル型MOSトランジスタ QP1,QP2 Pチャネル型MOSトランジスタ 301,302,402,504,602,605,6
04 インバータ 401,403,501,601,603 NANDゲ
ート 502,503 NORゲート 411〜41n 冗長カラムプログラム回路 421〜42j 冗長プログラム回路 105,705 ロウアドレスバッファ回路 106,706 ロウアドレスデコーダ回路 107,707 メモリセルアレイ 708 冗長メモリセルアレイ 108,709 カラムアドレスデコーダ回路 109,209,710 ブロックデコーダ回路 110,711 不良アドレスプログラム回路 111,712 カラムアドレスバッファ回路 112,713 入出力バッファ回路

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のメモリセルアレイと、該メモリセ
    ルアレイ中の不良メモリセル列と置換可能な予備メモリ
    セル列群とを有する半導体記憶装置において、上記予備
    メモリセル列群を複数の予備メモリセル列に分割し該複
    数の予備メモリセル列を上記複数のメモリセルアレイの
    選択されたアレイにそれぞれ配分し、不良メモリセル列
    のアドレスを記憶し、不良メモリセル列のアドレスが指
    定されると不良メモリセル列からのデータの読み出しを
    禁止すると共に予備メモリセル列を活性化する不良アド
    レスプログラム回路と、アドレス指定された不良メモリ
    セル列に置換された予備メモリセル列からのデータの読
    み出しを許容するブロックデコーダ回路とを設けたこと
    を特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 上記複数のメモリセルアレイの全てに上
    記複数の予備メモリセル列を配分した請求項1記載の半
    導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 上記複数のメモリセルアレイの一部に上
    記複数の予備メモリセル列を配分した請求項1記載の半
    導体記憶装置。
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