JPH0548133Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本考案は半導体ウエハに形成された集積回路の
電気的特性の測定に使用されるプローブカード、
特に電極が集積回路の端縁部のみならず内側にま
でランダムに形成された集積回路の電気的特性を
測定する際に使用されるプローブカードに関す
る。

＜従来の技術＞ 集積回路の高密度化に伴つて、非常に多くの電
極が形成されるようになつている。そのため、電
極は集積回路の端縁部のみならず内側にまで形成
される傾向にある。

電極と探針との接触圧をどの部分においても常
に等しく設定することが、集積回路の電気的測定
を行う場合に大切なことである。

そこで本願出願人は電極と探針との接触圧をど
の部分においても常に等しく設定することができ
るプローブカードとして、第３図に示すような実
願昭62−117051の考案を出願した。この考案は、
集積回路５０の端縁部に形成された電極５１に接
触する第１探針３０ａと、集積回路５０の内側に
形成された電極５２に接触する第２探針３０ｂと
が開口部１１に突出する突出量を等しくして、両
電極５１，５２に対する接触圧を等しくするよう
にしている。両探針３０ａ，３０ｂの突出量を等
しく設定するために第２探針３０ｂの背面にブレ
ード４０の先端４２を当接させている。また、ブ
レード４０によつて第２探針３０ｂの横揺れを防
止して、確実に第２探針３０ｂが電極５２に接触
するようにしている。

＜考案が解決しようとする課題＞ しかしながら、このプローブカードは、以下の
ような問題点を有することが判明した。

プローブカードをプローバに取り付ける際にプ
リント基板が僅かに歪むことがある。この歪みは
プリント基板に取り付けられたブレードを介して
第２探針に伝わり、第２探針の先端、すなわち電
極と接触する部分が僅かながら歪みを生じる。そ
れに対して、第１探針はプリント基板の開口部に
取り付けられたリングに取り付けられている。リ
ングと開口部とは完全に固定した状態で取り付け
られているわけではないので、プリント基板の前
記歪みは第１探針には伝わらない。従つて、第１
探針の接触圧と第２探針の接触圧とは異なるもの
となり、集積回路の電気的特性の測定が正確に行
えない。

本考案は上記事情に鑑みて創案されたもので、
第１探針と第２探針との接触圧を等しくし、よつ
て集積回路の電気的特性の測定を正確に行うこと
ができるプローブカードを提供することを目的と
している。

＜課題を解決するための手段＞ 本考案に係るプローブカードは、中央部に開口
部を有するプリント基板と、開口部に嵌め込まれ
るリングと、このリングの端面に取り付けられる
ブレードと、集積回路の端縁部に形成された電極
に接触する複数本の第１探針と、集積回路の内側
に形成された電極に接触する複数本の第２探針と
を備えており、前記第１探針は前記リングにのみ
取り付けられて開口部に突出し、前記第２探針は
前記リング及びブレードに取り付けられて開口部
に突出しており、第１探針が開口部に突出する突
出量と第２探針が開口部に突出する突出量とは等
しく設定されている。

＜作用＞ 集積回路の電気的特性を測定する場合には、第
１探針と第２探針とをそれぞれが対応する電極に
接触させる。

＜実施例＞ 以下、図面を参照して本考案に係る一実施例を
説明する。

第１図は本考案に係るプローブカードの断面
図、第２図はこのプローブカードによつて電気的
特性を測定される集積回路の平面図である。な
お、従来のものと略同一の部品等には同一の符号
を付して説明を行う。

本考案に係るプローブカードは、中央部に開口
部１１を有するプリント基板１０と、開口部１１
に嵌め込まれるリング２０と、このリング２０の
端面２２に取り付けられるブレード４０と、集積
回路５０の端縁部に形成された電極５１に接触す
る複数本の第１探針３０ａと、集積回路５０の内
側に形成された電極５２に接触する複数本の第２
探針３０ｂとを備えている。

プリント基板１０は略中央部に開口部１１が開
設されており、裏面１３側の開口部１１の周囲に
は段部１１１が形成されている。

リング２０は前記段部１１１に嵌合するもので
あつて、テーパ面２１が形成されている。このリ
ング２０の厚さ寸法は、リング２０を段部１１１
に嵌合させると、テーパ面２１が裏面１３から若
干飛び出すように設定されている。

ブレード４０は、セラミツクで側面視略四角形
状に形成されており、その下辺４１は前記リング
２０のテーパ面２１と同一の傾きを有するように
形成されている。このブレード４０は、開口部１
１に取り付けられたリング２０の端面２２にエポ
キシ系樹脂で取り付けられる。

探針３０は、チツプ５０の端縁部に形成された
電極５１に接触する第１探針３０ａと、チツプ５
０の内側に形成された電極５２に接触する第２探
針３０ｂとから構成されている。これらの探針３
０の先端３１は略フツク状に折曲形成されてお
り、後端部３２はプリント基板１０の裏面１３に
形成されたパターン配線（図示省略）の１つには
んだ付け等で取り付けられており、このパターン
配線を介してプローバ（図示省略）に接続されて
いる。第２探針３０ｂは、リング２０のテーパ面
２１と、このテーパ面２１に続くブレード４０の
下辺４１とにエポキシ系樹脂６０，６１で取り付
けられている。なお、この第２探針３０ｂが開口
部１１に突出している突出量をL₂とする。また、
第１探針３０ａは、リング２０のテーパ面２１に
前記第２探針３０ｂに積層状態で取り付けられ
る。この第１探針３０ａが、開口部１１に突出し
ている突出量を前記L₂と等しいL₁とする。すな
わち、第１探針３０ａ及び第２探針３０ｂの突出
量は、等しく設定されているので、両探針３０
ａ，３０ｂの電極５１，５２に対する接触圧は等
しく設定されていることになる。

なお、上記実施例では、ブレード４０がセラミ
ツクで形成されているとして説明したが、本考案
がこれに限定されるわけではなく、金属で形成さ
れたブレードを使用してもよい。その場合には、
ブレードはリング２０にエポキシ系樹脂等に接着
剤で取り付けられ、第２探針３０ｂもはんだ又は
接着剤でブレードに取り付けられることになる。

＜考案の効果＞ 本考案に係るプローブカードは、中央部に開口
部を有するプリント基板と、開口部に嵌め込まれ
るリングと、このリングの端面に取り付けられる
ブレードと、集積回路の端縁部に形成された電極
に接触する複数本の第１探針と、集積回路の内側
に形成された電極に接触する複数本の第２探針と
を具備しており、前記第１探針はその略中央が前
記リングに取り付けられており、前記第２探針は
その中央部が前記リング及びブレードに取り付け
られており、第１探針が開口部に突出する突出量
とは等しく設定されている。従つて、第１探針が
チツプの端縁部に形成された電極に接触する接触
圧と、第２探針がチツプの内側に形成された電極
に接触する接触圧とは等しく設定することができ
るので、常に集積回路の電気的特性の測定を常に
正確に行うことができる。また、探針が測定中に
横揺れすることがない。

さらに、プローブカードをプローバに取り付け
てプリント基板が歪んだとしても、プリント基板
の開口部とリングとは完全に固定した状態で取り
付けられているわではないので、プリント基板の
歪みはリングには伝わらない。また、ブレードは
リングに取り付けられているので、プリント基板
の歪みはブレードには伝わらない。従つて、リン
グに取り付けられた第１探針と、リング及びブレ
ードに取り付けられた第２探針とは、プリント基
板が歪んでも、その影響を受けないことになる。
従つて、プリント基板が歪んだ場合でも、第１探
針の接触圧と第２探針の接触圧とは等しくなるの
で、集積回路の電気的特性の測定は正確に行うこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るプローブカードの断面
図、第２図はこのプローブカードによつて電気的
特性を測定される集積回路の平面図、第３図は従
来のプローブカードの断面図である。 １０……プリント基板、１１……開口部、２０
……リング、２２……端面、３０ａ……第１探
針、３０ｂ……第２探針、４０……ブレード、５
０……集積回路、５１……端縁部に形成された電
極、５２……内側に形成された電極、L₁……第
１探針の突出量、L₂……第２探針の突出量。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 中央部に開口部を有するプリント基板と、開口
   部に嵌め込まれるリングと、このリングの端面に
   取り付けられるブレードと、集積回路の端縁部に
   形成された電極に接触する複数本の第１探針と、
   集積回路の内側に形成された電極に接触する複数
   本の第２探針とを具備しており、前記第１探針は
   前記リングにのみ取り付けられて開口部に突出
   し、前記第２探針は前記リング及びブレードに取
   り付けられて開口部に突出しており、第１探針が
   開口部に突出する突出量と第２探針が開口部に突
   出する突出量とは等しく設定されていることを特
   徴とするプローブカード。