JPH0656401B2

JPH0656401B2 - 検査装置

Info

Publication number: JPH0656401B2
Application number: JP61302944A
Authority: JP
Inventors: 隆伸田原; 良治東; 正一阿部
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1986-12-19
Filing date: 1986-12-19
Publication date: 1994-07-27
Anticipated expiration: 2009-07-27
Also published as: JPS63154971A

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、隣接する測定ピンのピッチよりも狭いピッチ
で隣接する基板の接点との電気的接続を行なう検査装置
を提供することにある。

（従来の技術）従来、例えばＩＣ等の接点は、０．１インチ（２．５４
ｍｍ）の所定のピッチで形成されるよう規格化されてお
り、プリント基板の試験測定を行なう検査装置には、こ
の所定ピッチで多数の測定ピンが配列されている。

そして、このような所定ピッチ以外のピッチで接点を形
成されたプリント基板の試験測定を行なう場合は、例え
ば第５図に示すようなプリント基板検査治具を用いて試
験測定を行なっている。

このようなプリント基板検査治具は、基板検査装置に
０．１インチの所定ピッチで多数配列された測定用ピン
１のピッチで配列された多数の透孔２ａを有し、例えば
アクリル、ポリカーボネート等から構成されるピン側板
部材２と、ピン側板部材２の上方に配置され、プリント
基板３に形成された接点３ａの位置に対応して形成され
た透孔４ａを備え、例えばアクリル、ポリカーボネート
等から構成される基板側板部材４と、透孔２ａおよび透
孔４ａに挿入されるプリント基板検査治具用ピン５とか
ら構成されている。

なお、プリント基板検査治具用ピン５は、例えば長さ８
１．５ｍｍ、直径１．５５ｍｍ程度の一様な太さのピン
本体５ａからなり、上端部に、先端に突起状のテーパ部
を有し例えば長さ２．５ｍｍ、直径１．９ｍｍ程度の大
径の基板側接続部５ｂを備え、反対側端部にテーパ状に
凹陥された測定ピン側接続部５ｃを備えた構成とされて
いる。

そして、プリント基板検査治具用ピン５は、基板側板部
材４の上方から透孔４ａに挿入され、透孔２ａに挿入さ
れる。このとき、大径の基板側接続部５ｂは、透孔４ａ
より大径とされており、例えばプリント基板検査治具を
持上げた時にこの基板側接続部５ｂが、基板側板部材４
上面に係止されて、プリント基板検査治具用ピン５の脱
落を防止している。

上記構成のプリント基板検査治具では、測定用ピン１の
ピッチと、プリント基板３に形成された接点３ａのピッ
チとが異なる場合でも、測定用ピン１と接点３ａとの間
にプリント基板検査治具用ピン５が斜めに配置されるこ
とにより、測定用ピン１と接点３ａとの電気的接続を行
い、測定可能とするものである。また、プリント基板検
査治具用ピン５は、容易に脱着が可能とされ、種類の異
なるプリント基板３の測定を行なう場合は、接点３ａに
対応した透孔４ａを備えた基板側板部材４のみを交換す
ることによって測定することができるよう構成されてい
る。

（発明が解決しようとする問題点）しかしながら近年は、高集積化のため、基板に形成され
る接点のピッチは、所定の検査装置の測定ピンの基準ピ
ッチより小さなピッチで形成される場合が多い。上記説
明の従来のプリント基板検査治具では、プリント基板検
査治具用ピンの基板側の端部に、基板側接触部および基
板側板部材に対する係止機構を兼ねた大径の基板側接続
部が形成されているため、隣接するこれらの基板側接続
部が接触し、所定の基準ピッチより小さなピッチで接点
を形成された基板の測定に限界が生じ、例えばピン本体
および基板側接続部を小径化しても、１．２７ｍｍ程度
のピッチまでしか測定することができないという問題が
ある。

本発明は、隣接する検査装置の測定ピンのピッチよりも
狭いピッチで隣接する基板の接点との電気的接続を行な
う検査装置を提供することにある。

（問題を解決するための手段）所定ピッチで格子状に配列された測定ピンと基板接点と
の電気的接続を行なうプリント基板検査治具を具備した
検査装置において、前記プリント基板検査治具は、前記測定ピンのピッチで配列された多数の透孔を有する
測定ピン側板部材と、基板の接点位置に対応して配列された透孔を有する基板
側板部材と、前記基板側を小径部とされ前記測定ピン側を大径部とさ
れたピン本体と、前記測定ピン側板部材の透孔に押圧挿
入可能な如く僅かに前記ピン本体の中間部側壁から突出
し、該ピン本体の前記ピン側板部材からの脱落を防止す
る係止機構と、前記測定ピン側の端面をテーパ状に凹陥
して形成され前記測定ピンの頂部と係合される測定ピン
側接続部と、を具備したプリント基板検査治具用ピンとを備えたことを特徴とする検査装置。

ピン本体は、小径部から大径部へ向けて徐々に大径とさ
れた特許請求の範囲第１項記載の検査装置。

大径部先端は、外側部が先端部へ向けて小径とされ、内
側部がテーパ状に凹陥された形状である特許請求の範囲
第１項記載の検査装置。

（作用）本発明の検査装置によれば、プリント基板検査治具用ピ
ンの被試験基板側が小径部とされ、大径な部位がないの
で、小ピッチで隣接する接点を形成された基板でも、試
験測定を行なうことができる。

また、測定ピン側板部材の透孔に押圧挿入可能な如く僅
かにピン本体の中間部側壁から突出するように設けられ
た係止機構によって、ピン側板部材に係止されるので、
プリント基板検査治具を持ち上げた際等に、プリント基
板検査治具用ピンが抜けてしまうようなことを防止する
ことができ、さらに、プリント基板検査治具用ピンの測
定ピン側の端面が、テーパ状に凹陥して形成された測定
ピン側接続部とされているので、例えば、所定ピッチ以
外の測定のために基板検査治具用ピンが斜めに測定ピン
と接触するような場合でも、ピン同士がずれてしまうこ
とを防止することができ、電気的接触を確保することが
できる。

（実施例）以下本発明の検査装置を図面を参照して一実施例につい
て説明する。

第２図に示すプリント基板検査治具用ピン１０は、例え
ばＢｅＣｕ等からなり表面に例えばＮｉ、Ｒｈ等のメッ
キ処理が施されたピン本体１１と、このピン本体１１か
らわずかに突出する係止機構１２とから構成されてい
る。

ピン本体１１は、全長例えば８２．５ｍｍとされ、上端
から例えば４２．５ｍｍ程度が直径例えば０．７７ｍｍ
の小径部１１ａとされ、下端から例えば２１．５ｍｍが
直径例えば１．５５ｍｍの大径部１１ｂとされ、この間
で小径部１１ａから大径部１１ｂへ向けて徐々に大径と
されている。また、小径部１１ａの先端には、例えば９
０度等のテーパ状に突出する基板側接続部１１ｃが形成
されており、反対側の大径部１１ｂの先端には、外周部
直径が例えば１．８ｍｍとされ、内側に例えば直径１．
４ｍｍ、９０度等のテーパ状に凹陥された測定ピン側接
続部１１ｄが形成されている。

また、係止機構１２は、ピン本体１１下端から例えば１
０ｍｍの位置に幅３ｍｍに渡って例えばローレット加工
によって形成された突出部から構成され、その外周直径
は、例えば１．７７ｍｍ程度とされている。上記機構の
プリント基板検査治具用ピン１０は、第１図に示すプリ
ント基板検査治具１５に配置される。

プリント基板検査治具１５は、検査装置に０．１インチ
の所定ピッチで多数配列された測定用ピン１６のピッチ
で配列された多数の透孔１７ａを有し、例えばアクリ
ル、ポリカーボネート等から構成されるピン側板部材１
７と、ピン側板部材１７の上方に配置され、プリント基
板１８に形成された接点１８ａの位置に対応して形成さ
れた透孔１９ａを備え、例えばアクリル、ポリカーボネ
ート等から構成される基板側板部材１９を備えている。
なお、透孔１７ａは一様に直径１．７５ｍｍとされてお
り、透孔１９ａの直径は接点１８ａのピッチにより異な
り、少なくとも、プリント基板検査治具用ピン１０が配
置され部分の透孔１９ａは、直径０．９７ｍｍとされて
いる。

そして、プリント基板検査治具用ピン１０は、ピン側板
部材１７の下方から透孔１７ａ内に挿入され、透孔１７
ａに対応する透孔１９ａに挿入される。この時、係止機
構１２は、透孔１７ａよりわずかに突出しているため、
プリント基板検査治具用ピン１０の下部を押圧すること
により透孔１７ａを貫通するように挿入され、挿入後
は、ピン側板部材１７の上面に係止されて、プリント基
板検査治具用ピン１０のプリント基板検査治具１５から
の脱落を防止する。また、同様にして上部から押圧する
ことによって、プリント基板検査治具１５から取り外す
ことができる。

こうして、プリント基板検査治具１５に配置されたプリ
ント基板検査治具用ピン１０は、透孔１７ａと透孔１９
ａとの間に斜めに配置されるとともに、主に小径部１１
ａの部分で撓み、測定用ピン１６と接点１８ａとの電気
的接続を行い、基板１８の試験測定が行われる。

上記構成のこの実施例のプリント基板検査治具１５で
は、基板側接続部に大径な部位がないため、例えば１．
２７ｍｍ未満の少ピッチで接点１８ａを形成された基板
１８でも、隣接するプリント基板検査治具用ピン１０が
接触することがなく、試験測定を行なうことができる。

なお、第３図ないし第４図に示すように、測定ピン側接
続部１１ｄを、外側部が先端部へ向けて小径とされ、内
側部がテーパ状に凹陥された形状とすることにより、測
定装置の測定ピン先端が、突出した形状とされたもので
も、凹陥された形状とされたものでも、どちらの形状の
ものにでも使用することができる。また係止部１２は、
ローレット加工により形成したが、例えばピン本体に溝
を形成し、この溝にＯリング等を配置して構成してもよ
い。

［発明の効果］本発明の検査装置によれば、検査治具用ピンの被測定基
板側の隣接するピンとのピッチが、測定ピン側の隣接す
るピンとのピッチよりも小さいので、測定ピンのピッチ
よりも小さい基板の接点の試験測定を行なうことができ
る。

また、測定ピン側板部材の透明に押圧挿入可能な如く僅
かにピン本体の中間部側壁から突出するように設けられ
た係止機構によって、ピン側板部材に係止されるので、
プリン基板検査治具を持ち上げた際等に、プリント基板
検査治具用ピンが抜けてしまうようなことを防止するこ
とができ、さらに、プリント基板検査治具用ピンの測定
ピン側の端面が、テーパ状に凹陥して形成された測定ピ
ン側接続部とされているので、例えば、所定ピッチ以外
の測定のために基板検査治具用ピンが斜めに測定ピンと
接触するような場合でも、ピン同士がずれてしまうこと
を防止することができ、電気的接触を確保することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のプリント基板検査治具を示
す縦断面図、第２図はプリント基板検査治具用ピンを示
す側面図、第３図ないし第４図は第２図に示すプリント
基板検査治具用ピンの変型例の要部を示す側面図、第５
図は従来のプリント基板検査治具を示す縦断面図であ
る。１０……プリント基板検査治具用ピン、１１……ピン本
体、１１ａ……小径部、１１ｂ……大径部、１２……係
止機構、１５……プリント基板検査治具、１６……測定
ピン、１７……ピン側板部材、１７ａ……透孔、１８…
…プリント基板、１８ａ……接点、１９……基板側板部
材、１９ａ……透孔。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定ピッチで格子状に配列された測定ピン
と基板接点との電気的接続を行なうプリント基板検査治
具を具備した検査装置において、前記プリント基板検査治具は、前記測定ピンのピッチで配列された多数の透孔を有する
測定ピン側板部材と、基板の接点位置に対応して配列された透孔を有する基板
側板部材と、前記基板側を小径部とされ前記測定ピン側を大径部とさ
れたピン本体と、前記測定ピン側板部材の透孔に押圧挿
入可能な如く僅かに前記ピン本体の中間部側壁から突出
し、該ピン本体の前記ピン側板部材からの脱落を防止す
る係止機構と、前記測定ピン側の端面をテーパ状に凹陥
して形成され前記測定ピンの頂部と係合される測定ピン
側接続部と、を具備したプリント基板検査治具用ピンとを備えたことを特徴とする検査装置。
【請求項２】ピン本体は、小径部から大径部へ向けて徐
々に大径とされた特許請求の範囲第１項記載の検査装
置。
【請求項３】大径部先端は、外側部が先端部へ向けて小
径とされ、内側部がテーパ状に凹陥された形状である特
許請求の範囲第１項記載の検査装置。