JPH0621025Y2 - 隣接する２つのチップを同時に測定するプローブカード - Google Patents
隣接する２つのチップを同時に測定するプローブカードInfo
- Publication number
- JPH0621025Y2 JPH0621025Y2 JP1988117135U JP11713588U JPH0621025Y2 JP H0621025 Y2 JPH0621025 Y2 JP H0621025Y2 JP 1988117135 U JP1988117135 U JP 1988117135U JP 11713588 U JP11713588 U JP 11713588U JP H0621025 Y2 JPH0621025 Y2 JP H0621025Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- insulating holder
- chips
- adjacent
- bridge portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案はプローブカード、特に２つの隣接するチップを
同時に測定することができるプローブカードに関する。
同時に測定することができるプローブカードに関する。
〈従来の技術〉 プローブカードとは、ウエハ40に形成された複数個のチ
ップの電気的特性を測定する際に、チップとプローバと
を電気的に接続するものであって、開口11が開設された
プリント基板10と、基端側がプリント基板10に形成され
たパターン配線（図示省略）に接続され、先端側が開口
11側に突出した探針20とを備えている。測定作業の際に
は、各探針20と各電極との接触圧を常に等しくしなけれ
ば、正確な測定を行うことができない。そこで、各探針
20が開口11に突出する突出長は、すべての探針20で等し
く設定されている。
ップの電気的特性を測定する際に、チップとプローバと
を電気的に接続するものであって、開口11が開設された
プリント基板10と、基端側がプリント基板10に形成され
たパターン配線（図示省略）に接続され、先端側が開口
11側に突出した探針20とを備えている。測定作業の際に
は、各探針20と各電極との接触圧を常に等しくしなけれ
ば、正確な測定を行うことができない。そこで、各探針
20が開口11に突出する突出長は、すべての探針20で等し
く設定されている。
最近、測定作業の効率を高めるために、２つのチップを
同時に測定することができるプローブカードが考案実施
されている。
同時に測定することができるプローブカードが考案実施
されている。
２つのチップを測定する場合にも、各探針20と各電極と
の接触圧はすべて等しく設定されなければならない。そ
こで、プリント基板10には略瓢箪型の開口11を開設し
て、対角の位置にある２つのチップ41c、41dを同時に測
定している。すると、２つのチップ41c、41dを構成する
辺はすべて独立の辺となるので、この辺に沿って形成さ
れた電極43cと開口11の端縁部との間の距離はすべての
部分において等しくなり、探針20の突出長も等しく設定
することができる（第４図参照）。
の接触圧はすべて等しく設定されなければならない。そ
こで、プリント基板10には略瓢箪型の開口11を開設し
て、対角の位置にある２つのチップ41c、41dを同時に測
定している。すると、２つのチップ41c、41dを構成する
辺はすべて独立の辺となるので、この辺に沿って形成さ
れた電極43cと開口11の端縁部との間の距離はすべての
部分において等しくなり、探針20の突出長も等しく設定
することができる（第４図参照）。
〈考案が解決しようとする課題〉 上述したような対角の位置にある２つのチップを同時に
測定する従来のプローブカードは、チップサイズが数ミ
リメートル以下で正方形に近い場合には、瓢箪形の開口
部も円形に近くなり、円で代用しても大きな不都合は生
じないが、第２図のように縦横の比が大きくなり、しか
も長辺が10数ミリメートルに及ぶような場合には、この
方法は実施困難となる。このような場合は、最近製造さ
れることの多い大容量メモリ素子の測定の場合に生ず
る。この場合、第５図のように隣接するチップを同時に
測定するように構成するならば、長短の比も正方形に近
くなり、プローブカードの構成上有利である。
測定する従来のプローブカードは、チップサイズが数ミ
リメートル以下で正方形に近い場合には、瓢箪形の開口
部も円形に近くなり、円で代用しても大きな不都合は生
じないが、第２図のように縦横の比が大きくなり、しか
も長辺が10数ミリメートルに及ぶような場合には、この
方法は実施困難となる。このような場合は、最近製造さ
れることの多い大容量メモリ素子の測定の場合に生ず
る。この場合、第５図のように隣接するチップを同時に
測定するように構成するならば、長短の比も正方形に近
くなり、プローブカードの構成上有利である。
本考案は上記事情に鑑みて創案されたもので、隣接する
２つのチップを同時に測定することができるプローブカ
ードを提供することを目的としている。
２つのチップを同時に測定することができるプローブカ
ードを提供することを目的としている。
〈課題を解決するための手段〉 円形又は略長方形状の開口が設けられたプリント基板
と、外形が円形又は長方形の絶縁体で構成され、前記開
口に装着される略リング状の絶縁保持体と、前記絶縁保
持体に橋渡しされて取り付けられる一対の橋部と、隣接
する２つのチップの非隣接辺に沿って形成された電極に
接触する第１探針と、同様に前記絶縁体に接着され、隣
接辺に沿って形成された電極に接触する第２探針とを備
えており、前記橋部は隣接する２つのチップの隣接辺に
平行になっており、第１探針は絶縁保持体の下端面であ
るテーパ面でのみ保持され、第２探針は前記絶縁保持体
のテーパ面と橋部の下端面であるテーパ面とに保持さ
れ、第１探針の絶縁保持体からの突出長と、第２探針の
橋部からの突出長とが等しく設定されており、かつ絶縁
保持体のテーパ面と橋部のテーパ面とは同一の傾斜角度
を有している。
と、外形が円形又は長方形の絶縁体で構成され、前記開
口に装着される略リング状の絶縁保持体と、前記絶縁保
持体に橋渡しされて取り付けられる一対の橋部と、隣接
する２つのチップの非隣接辺に沿って形成された電極に
接触する第１探針と、同様に前記絶縁体に接着され、隣
接辺に沿って形成された電極に接触する第２探針とを備
えており、前記橋部は隣接する２つのチップの隣接辺に
平行になっており、第１探針は絶縁保持体の下端面であ
るテーパ面でのみ保持され、第２探針は前記絶縁保持体
のテーパ面と橋部の下端面であるテーパ面とに保持さ
れ、第１探針の絶縁保持体からの突出長と、第２探針の
橋部からの突出長とが等しく設定されており、かつ絶縁
保持体のテーパ面と橋部のテーパ面とは同一の傾斜角度
を有している。
〈作用〉 第１探針は非隣接辺に沿って形成された電極に、第２探
針は隣接辺に沿って形成された電極にそれぞれ接触す
る。第１探針と第２探針との突出長は等しく設定されて
いるので、接触圧も等しくなる。
針は隣接辺に沿って形成された電極にそれぞれ接触す
る。第１探針と第２探針との突出長は等しく設定されて
いるので、接触圧も等しくなる。
〈実施例〉 以下、図面を参照して本考案に係る一実施例を説明す
る。
る。
第１図は第２図のＡ−Ａ線断面図であって、本考案に係
るプローブカードの断面図、第２図はその平面図であ
る。なお、図示の都合上、第１図においてウエハ40に関
しては実際のものよりかなり小さく示している。また、
従来のものと略同一の部品等には同一の符号を付して説
明を行う。
るプローブカードの断面図、第２図はその平面図であ
る。なお、図示の都合上、第１図においてウエハ40に関
しては実際のものよりかなり小さく示している。また、
従来のものと略同一の部品等には同一の符号を付して説
明を行う。
本考案に係るプローブカードは、隣接する２つのチップ
41a、41bを同時に測定するプローブカードであって、円
形状の開口11が開設されたプリント基板10と、前記開口
11に装着された絶縁保持体50の端縁部から突出されてお
り、かつ前記隣接する２つのチップ41a、41bの非隣接辺4
2aに沿って形成された電極43aに接触する第１探針21
と、前記絶縁保持体50に固定され、２つのチップ41a、41
bの隣接辺42bと平行に橋渡しされた橋部30に固定され、
この橋部30からチップの電極43bに向かって突出されて
おり、かつ前記隣接する２つのチップ41a、41bの隣接辺4
2bに沿って形成された電極43bに接触する第２探針22と
を備えており、前記第１探針21と第２探針22との突出長
は等しく設定されている。
41a、41bを同時に測定するプローブカードであって、円
形状の開口11が開設されたプリント基板10と、前記開口
11に装着された絶縁保持体50の端縁部から突出されてお
り、かつ前記隣接する２つのチップ41a、41bの非隣接辺4
2aに沿って形成された電極43aに接触する第１探針21
と、前記絶縁保持体50に固定され、２つのチップ41a、41
bの隣接辺42bと平行に橋渡しされた橋部30に固定され、
この橋部30からチップの電極43bに向かって突出されて
おり、かつ前記隣接する２つのチップ41a、41bの隣接辺4
2bに沿って形成された電極43bに接触する第２探針22と
を備えており、前記第１探針21と第２探針22との突出長
は等しく設定されている。
プリント基板10の略中央部には、開口11が開設されてい
る。この開口11の端縁部には、段差111が形成されてお
り、この段差111には絶縁保持体50が取り付けられてい
る。この絶縁保持体50は後述する第１探針21をウエハ40
側に傾けるためのテーパ面51を有している。さらに、開
口11には隣接する２つのチップ41a、41bの隣接辺42bに平
行になるように、橋部30が橋渡しされている。この橋部
30は、後述する第２探針22を第１探針21と同様に傾ける
ためのテーパ面31を有している。そして、このテーパ面
31は前記テーパ面51と同一の傾斜角度を有している。な
お、このプリント基板10には図示しないパターン配線が
形成されており、前記第１探針21及び第２探針22が接続
されているものとする。
る。この開口11の端縁部には、段差111が形成されてお
り、この段差111には絶縁保持体50が取り付けられてい
る。この絶縁保持体50は後述する第１探針21をウエハ40
側に傾けるためのテーパ面51を有している。さらに、開
口11には隣接する２つのチップ41a、41bの隣接辺42bに平
行になるように、橋部30が橋渡しされている。この橋部
30は、後述する第２探針22を第１探針21と同様に傾ける
ためのテーパ面31を有している。そして、このテーパ面
31は前記テーパ面51と同一の傾斜角度を有している。な
お、このプリント基板10には図示しないパターン配線が
形成されており、前記第１探針21及び第２探針22が接続
されているものとする。
第１探針21及び第２探針22は、タングステン等からなっ
ており、絶縁性接着剤であるエポキシ系樹脂等で、絶縁
保持体50のテーパ面51及び橋部30のテーパ面31に接着固
定されている。従って、第２探針22は、折曲されること
なるく真っ直ぐの状態で取り付けられることになる。第
１探針21は、隣接する２つのチップ41a、41bの非隣接辺4
2aに沿って形成された電極43aに、第２探針22は、隣接
辺42bに沿って形成された電極43bにそれぞれ接触するよ
うに構成されている。そして、第１探針21が開口11側に
突出している突出長Ｌ１と、第２探針22が開口11側に突
出している突出長Ｌ２とは等しく設定されている。従っ
て、第１探針21が電極43aに接触する際の接触圧と、第
２探針22が電極43bに接触する際の接触圧とは等しくな
っている。
ており、絶縁性接着剤であるエポキシ系樹脂等で、絶縁
保持体50のテーパ面51及び橋部30のテーパ面31に接着固
定されている。従って、第２探針22は、折曲されること
なるく真っ直ぐの状態で取り付けられることになる。第
１探針21は、隣接する２つのチップ41a、41bの非隣接辺4
2aに沿って形成された電極43aに、第２探針22は、隣接
辺42bに沿って形成された電極43bにそれぞれ接触するよ
うに構成されている。そして、第１探針21が開口11側に
突出している突出長Ｌ１と、第２探針22が開口11側に突
出している突出長Ｌ２とは等しく設定されている。従っ
て、第１探針21が電極43aに接触する際の接触圧と、第
２探針22が電極43bに接触する際の接触圧とは等しくな
っている。
次に、本考案に係るプローブカードの作用について説明
する。
する。
第１探針21は電極43aに、第２探針22は電極43bにそれぞ
れ接触する。第１探針21と第２探針22との突出長Ｌ１と
Ｌ２とは等しく設定されているので、接触圧も等しくな
る。しかも、隣接する２つのチップ41a、41bを同時に測
定することになる。
れ接触する。第１探針21と第２探針22との突出長Ｌ１と
Ｌ２とは等しく設定されているので、接触圧も等しくな
る。しかも、隣接する２つのチップ41a、41bを同時に測
定することになる。
〈考案の効果〉 本考案に係るプローブカードは、絶縁保持体の形状を単
純化し、開口に橋渡しされる橋部を非隣接辺と平行に設
けることによって、第１探針と第２探針との突出長を等
しく、すなわち接触圧を一定に設定し、かつ隣接する２
つのチップを同時に測定することができるようになって
いるので、プローブカードの製造が容易で、ウエハ測定
の信頼性が高く、作業効率のよいプローブカードを得る
ことができる。
純化し、開口に橋渡しされる橋部を非隣接辺と平行に設
けることによって、第１探針と第２探針との突出長を等
しく、すなわち接触圧を一定に設定し、かつ隣接する２
つのチップを同時に測定することができるようになって
いるので、プローブカードの製造が容易で、ウエハ測定
の信頼性が高く、作業効率のよいプローブカードを得る
ことができる。
また、橋部は開口に橋渡しされて取り付けれらるため、
開口と橋部との間の隙間があり、この隙間からウエハを
視認することができる。このため、容易にアライメント
を行うことができる。さらに、橋部を開口に取り付けた
だけであるので、全体としてプローブカードの重量の増
加は少ないという効果もある。従って、プローバの負担
増が少なくですみ、従来からのプローバが流用可能とな
る。
開口と橋部との間の隙間があり、この隙間からウエハを
視認することができる。このため、容易にアライメント
を行うことができる。さらに、橋部を開口に取り付けた
だけであるので、全体としてプローブカードの重量の増
加は少ないという効果もある。従って、プローバの負担
増が少なくですみ、従来からのプローバが流用可能とな
る。
第１図は第２図のＡ−Ａ線断面図であって、本考案に係
るプローブカードの断面図、第２図はその平面図、第３
図は縦横比の大きいチップの平面図、第４図は従来のプ
ローブカードを示す平面図、断面図、第５図は縦横比の
大きいチップを２つ並べた状態を示す平面図である。 10……プリント基板、11……開口、21……第１探針、22
……第２探針、30……橋部、41a、41b……隣接する２つ
のチップ、42a……非隣接辺、42b……隣接辺、43a……
非隣接辺に沿って形成された電極、43b……隣接辺に沿
って形成された電極、50……絶縁保持体。
るプローブカードの断面図、第２図はその平面図、第３
図は縦横比の大きいチップの平面図、第４図は従来のプ
ローブカードを示す平面図、断面図、第５図は縦横比の
大きいチップを２つ並べた状態を示す平面図である。 10……プリント基板、11……開口、21……第１探針、22
……第２探針、30……橋部、41a、41b……隣接する２つ
のチップ、42a……非隣接辺、42b……隣接辺、43a……
非隣接辺に沿って形成された電極、43b……隣接辺に沿
って形成された電極、50……絶縁保持体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−260650（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−201166（ＪＰ，Ａ) 特公 昭58−32782（ＪＰ，Ｂ２)
Claims (1)
- 【請求項１】円形又は略長方形状の開口が設けられたプ
リント基板と、外形が円形又は長方形の絶縁体で構成さ
れ、前記開口に装着される略リング状の絶縁保持体と、
前記絶縁保持体に橋渡しされて取り付けられる一対の橋
部と、隣接する２つのチップの非隣接辺に沿って形成さ
れた電極に接触する第１探針と、同様に前記絶縁体に接
着され、隣接辺に沿って形成された電極に接触する第２
探針とを具備しており、前記橋部は隣接する２つのチッ
プの隣接辺に平行になっており、第１探針は絶縁保持体
の下端面であるテーパ面でのみ保持され、第２探針は前
記絶縁保持体のテーパ面と橋部の下端面であるテーパ面
とに保持され、第１探針の絶縁保持体からの突出長と、
第２探針の橋部からの突出長とが等しく設定されてお
り、かつ絶縁保持体のテーパ面と橋部のテーパ面とは同
一の傾斜角度を有していることを特徴とする隣接する２
つのチップを同時に測定するプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988117135U JPH0621025Y2 (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | 隣接する２つのチップを同時に測定するプローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988117135U JPH0621025Y2 (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | 隣接する２つのチップを同時に測定するプローブカード |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0237378U JPH0237378U (ja) | 1990-03-12 |
| JPH0621025Y2 true JPH0621025Y2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=31360310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988117135U Expired - Lifetime JPH0621025Y2 (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | 隣接する２つのチップを同時に測定するプローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0621025Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3550225B2 (ja) * | 1995-08-24 | 2004-08-04 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブカード |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5832782A (ja) * | 1981-08-20 | 1983-02-25 | 池田 与作 | 卓球ラケツトの製造方法 |
| JPS61260650A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体試験装置 |
| JP2559129B2 (ja) * | 1988-02-05 | 1996-12-04 | 株式会社東京カソード研究所 | プローブカード |
-
1988
- 1988-09-06 JP JP1988117135U patent/JPH0621025Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0237378U (ja) | 1990-03-12 |
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