JPH0214384B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は粘着シートに関し、さらに詳しくは、
半導体ウエハを小片に切断分離する際に用いられ
る粘着シートに関する。

発明の技術的背景ならびにその問題点 シリコン、ガリウムヒ素などの半導体ウエハは
大径の状態で製造され、このウエハは素子小片に
切断分離（ダイシング）された後に次の工程であ
るマウント工程に移されている。この際、半導体
ウエハは予じめ粘着シートに貼着された状態でダ
イシング、洗浄、乾燥、エキスパンデイング、ピ
ツクアツプ、マウンテイングの各工程が加えられ
ている。

このような半導体ウエハのダイシング工程で用
いられている粘着シートとしては、従来、ポリ塩
化ビニル、ポリプロピレンなどの汎用の重合体フ
イルムからなる基材面上にアクリル系などの粘着
剤層が設けられたものが用いられてきた。ところ
がこのようなアクリル系の粘着剤層を有する粘着
シートでは、ダイシングされた半導体ウエハの各
チツプをピツクアツプする際にチツプ面に粘着剤
が残存してチツプが汚染されてしまうという問題
点があつた。

このような問題点を解決するため、従来、基材
面へ粘着剤を全面的に塗布するのではなく部分的
に塗布して粘着剤の量を少なくする方法が提案さ
れている。この方法によれば、全体のチツプ数に
対する粘着剤量は減少してチツプ面の粘着剤によ
る汚染はある程度減少させることはできるが、ウ
エハチツプと粘着シートとの接着力は減少するた
め、ダイシング工程に引続いて行なわれる洗浄、
乾燥、エキスパンデイングの各工程中にウエハチ
ツプが粘着シートから脱離してしまうという新た
な問題点が生じている。

このような半導体ウエハのダイシング工程から
ピツクアツプ工程に至る工程で用いられる粘着シ
ートとしては、ダイシング工程からエキスパンデ
イング工程までではウエハチツプに対して充分な
接着力を有しており、ピツクアツプ時にはウエハ
チツプに粘着剤が付着しない程度の接着力を有し
ているものが望まれている。

このような粘着シートとしては、特開昭60−
196956号公報および特開昭60−223139号公報に、
基材面に、光照射によつて三次元網状化しうる分
子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくとも
２個以上有する低分子量化合物からなる粘着剤を
塗布した粘着シートが提案されている。そして該
公報では、分子内に光重合性炭素−炭素二重結合
を少なくとも２個以上有する低分子量化合物とし
ては、トリメチロールプロパントリアクリレー
ト、テトラメチロールメタンテトラアクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペ
ンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペン
タエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレ
ート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
トあるいは１，４−ブチレングリコールジアクリ
レート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレー
ト、ポリエチレングリコールジアクリレート、市
販のオリゴエステルアクリレートなどが例示され
ている。

上記に例示されたような分子内に光重合性炭素
−炭素二重結合を少なくとも２個以上有する低分
子量化合物からなる粘着剤層を塗布した粘着シー
トは、次のような問題点があることが本発明者ら
によつて見出された。粘着シート上に半導体ウエ
ハを点着して該ウエハにダイシング工程を施こ
し、次いで切断分離されたウエハチツプをピツク
アツプするが、この際にチツプの位置は光センサ
ーなどによつて検出されていた。ところが上記の
ような粘着シートでは、チツプ位置の検出光が粘
着シートによつて反射されることがあるため、精
度よくチツプの位置を検出することができなくな
り、ピツクアツプ時に誤動作がよく発生すること
があるという問題点があることが本発明者らによ
つて見出された。また上記のような粘着シートで
は紫外線を照射した場合に、一応粘着力は低下す
るが最適値までは粘着力が低下せず、大チツプに
なるほどピツクアツプできないという問題点があ
ることが本発明者らによつて見出された。

本発明者らは、このような従来技術に伴なう問
題点を解決すべく鋭意検討したところ、基材面に
放射線照射により着色する化合物を塗布するか、
あるいは基材中に放射線照射により着色する化合
物を添加すればよいことを見出して本発明を完成
するに至つた。また光重合性化合物としてウレタ
ンアクリレート系オリゴマーを用いれば、極めて
優れた特性を有する粘着シートが得られることを
見出した。

発明の目的 本発明は、上記のような従来技術に伴なう問題
点を一挙に解決しようとするものであつて、ウエ
ハチツプを粘着シートからピツクアツプする際に
光センサーによる検出を精度よく行なうことがで
き、したがつてウエハチツプの位置決め行程で誤
動作が生ずることがなく、しかも放射線の照射前
には充分な接着力を有するとともに放射線の照射
後にはその接着力が充分に低下してウエハチツプ
の裏表面に粘着剤が付着することがなく、その上
ダイシング行程を管理する作業者が粘着シートに
放射線が照射されたか否かを容易に確難でき、工
程上のトラブルを未然に防止できるような、半導
体ウエハをダイシング工程に付する際に特に好ま
しく用いられる粘着シートを提供することを目的
としている 発明の概要 本発明に係る第１の態様の粘着シートは、基材
面上に粘着剤と放射線重合性化合物とからなる粘
着剤層を塗布してなる粘着シートにおいて、基材
面の少なくとも一面に放射線照射により着色する
化合物を塗布したことを特徴としている。

また本発明に係る第２の態様の粘着シートは、
基材面上に粘着剤と放射線重合性化合物とからな
る粘着剤層を塗布してなる粘着シートにおいて、
基材中に放射線照射により着色する化合物を添加
したことを特徴としている。

本発明に係る粘着シートでは、放射線照射によ
り着色する化合物が基材面に少なくとも一面に塗
布されるか、あるいは基材中に添加されているた
め、粘着シートに放射線が照射された後には該シ
ートは着色されており、したがつて光センサーに
よつてウエハチツプを検出する際に検出精度が高
まり、ウエハチツプのピツクアツプ時に誤動作が
生ずることがない。また粘着シートに放射線が照
射されたか否かが目視により直ちに判明する。さ
らに粘着シート中の放射線重合性化合物としてウ
レタンアクリレート系オリゴマーを用いると、極
めて優れた性能を有する粘着シートが得られる。

発明の具体的説明 本発明に係る粘着シート１は、その断面図が第
１図に示されるように、基材２とこの表面に塗着
された粘着剤層３とから一般になつており、本発
明に係る第１の態様の粘着シート１では、基材２
の表裏面の少なくとも一面に放射線照射により着
色する化合物が含まれた放射線照射着色層４が塗
布されている。また本発明に係る第２の態様の粘
着シート１では、基材２中に放射線照射により着
色する化合物が添加されている。

放射線照射による着色する化合物が含まれた放
射線照射着色層４は、第１図に示すように基材２
の粘着層３が設けられていない面上に形成されて
いてもよく、また第２図に示すように基材２と粘
着剤層３との間に形成されていていもよい。なお
使用前にはこの粘着剤層３を保護するため、粘着
剤３の上面に剥離性シート（図示せず）を仮粘着
しておくことが好ましい。

本発明に係る粘着シートの形状は、テープ状、
ラベル状などあらゆる形状をとりうる。基材２と
しては、耐水性および耐熱性に優れているものが
適し、特に合成樹脂フイルムが適する。本発明の
粘着シートでは、後記するように、その使用に当
り、EBやUVなどの放射線照射が行なわれてい
るので、EB照射の場合は、該基材２は透明であ
る必要はないが、UV照射をして用いる場合は、
透明な材料である必要がある。

このような基材２としては、具体的に、ポリエ
チレンフイルム、ポリプロピレンフイルム、ポリ
塩化ビニルフイルム、ポリエチレンテレフタレー
トフイルム、ポリブチレンテレフタレートフイル
ム、ポリブテンフイルム、ポリブタジエンフイル
ム、ポリウレタンフイルム、ポリメチルペンテン
フイルム、エチレン酢ビフイルムなどが用いられ
る。また基材２として、架橋ポリオレフインを用
いると、後述するウエハのダイシング工程での基
材２の伸びあるいはたわみが防止できる。

粘着剤としては従来公知のものが広く用いられ
うるが、アクリル系粘着剤が好ましく、具体的に
は、アクリル酸エステルを主たる構成単量体単位
とする単独重合体および共重合体から選ばれたア
クリル系重合体その他の管能性単量体との共重合
体およびこれら重合体の混合物である。たとえ
ば、モノマーのアクリル酸エステルとして、メタ
アクリル酸エチル、メタアクリル酸ブチル、メタ
アクリル酸−２−エチルヘキシル、メタアクリル
酸グリシジル、メタアクリル酸−２−ヒドロキシ
エチルなど、また上記のメタアクリル酸をたとえ
ばアクリル酸に代えたものなども好ましく使用で
きる。

さらに後述するオリゴマーとの相溶性を高める
ため、（メタ）アクリル酸、アクリロニトリル、
酢酸ビニルなどのモノマーを共重合させてもよ
い。これらのモノマーから重合して得られるアク
リル系重合体の分子量は、2.0×10⁵〜10.0×10⁵で
あり、好ましくは、4.0×10⁵〜8.0×10⁵である。

また放射線重合性化合物としては、たとえば特
開昭60−196956号公報および特開昭60−223139号
公報に開示されているような光照射によつて三次
元網状化しうる分子内に光重合性炭素−炭素二重
結合を少なくとも２個以上有する低分子量化合物
が広く用いられ、具体的には、トリメチロールプ
ロパントリアクリレート、テトラメチロールメタ
ンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールト
リアクリレート、ペンタエリスリトールテトラア
クリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロ
キシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレートあるいは１，４−ブチレン
グリコールジアクリレート、１，６−ヘキサンジ
オールジアクリレート、ポリエチレングリコール
ジアクリレート、市販のオリゴエステルアクリレ
ートなどが用いられる。

さらに放射線重合性化合物として、上記のよう
なアクリレート系化合物のほかに、ウレタンアク
リレート系オリゴマーを用いることもできる。ウ
レタンアクリレート系オリゴマーは、ポリエステ
ル型またはポリエーテル型などのポリオール化合
物と、多価イソシアナート化合物たとえば２，４
−トリレンジイソシアナート、２，６−トリレン
ジイソシアナート、１，３−キシリレンジイソシ
アナート、１，４−キシリレンジイソシアナー
ト、ジフエニルメタン４，４−ジイソシアナート
などを反応させて得られる末端イソシアナートウ
レタンプレポリマーに、ヒドロキシル基を有する
（メタ）アクリレートたとえば２−ヒドロキシエ
チル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロ
ピル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコ
ール（メタ）アクリレートなどを反応させて得ら
れる。このウレタンアクリレート系オリゴマー
は、炭素−炭素二重結合を少なくとも１個以上有
する放射線重合性化合物である。

このようなウレタンアクリレート系オリゴマー
として、特に分子量が3000〜10000好ましくは
4000〜8000であるものを用いると、半導体ウエハ
表面が粗い場合にも、ウエハチツプのピツクアツ
プ時にチツプ面に粘着剤が付着することがないた
め好ましい。またウレタンアクリレート系オリゴ
マーを放射線重合性化合物として用いる場合に
は、特開昭60−196956号公報に開示されたような
分子内に光重合性炭素−炭素二重結合を少なくと
も２個以上有する低分子量化合物を用いた場合と
比較して、粘着シートとした極めて優れたものが
得られる。すなわち粘着シートの放射線照射前の
接着力は充分に大きく、また放射線照射後には接
着力が充分に低下してウエハチツプのピツクアツ
プ時にチツプ面に粘着剤が残存することはない。

本発明における粘着剤中のアクリル系粘着剤と
ウレタンアクリレート系オリゴマーの配合比は、
アクリル系粘着剤100重量部に対してウレタンア
クリレート系オリゴマーは50〜900重量部の範囲
の量で用いられることが好ましい。この場合に
は、得られる粘着シートは初期の接着力が大きく
しかも放射線照射後には粘着力は大きく低下し、
容易にウエハチツプを該粘着シートからピツクア
ツプすることができる。

本発明で用いられる放射線照射により着色する
化合物は、放射線の照射前には無色または淡色で
あるが、放射線の照射により有色となる化合物で
あつて、この化合物の好ましい具体例としてはロ
イコ染料が挙げられる。ロイコ染料としては、慣
用のトリフエニルメタン系、フルオラン系、フエ
ノチアジン系、オーラミン系、スピロピラン系の
ものが好ましく用いられる。具体的には３−［Ｎ
−（ｐ−トリルアミノ）］−７−アニリノフルオラ
ン、３−［Ｎ−（ｐ−トリル）−Ｎ−メチルアミノ］
−７−アニリノフルオラン、３−［Ｎ−（ｐ−トリ
ル）−Ｎ−エチルアミノ］−７−アニリノフルオラ
ン、３−ジエチルアミノ−６−メチル−７−アニ
リノフルオラン、クリスタルバイオレツトラクト
ン、４，4′，4″−トリスジメチルアミノトリフエ
ニルメタノール、４，4′，4″−トリスジメチルア
ミノトリフエニルメタンなどが挙げられる。

これらロイコ染料とともに好ましく用いられる
顕色剤としては、従来から用いられているフエノ
ールホルマリン樹脂の初期重合体、芳香族カルボ
ン酸透導体、活性白土などの電了受容体が挙げら
れ、さらに、色調を変化させる場合は種々公知の
発色剤組合せて用いることもできる。

このように放射線照射によつて着色する化合物
を一旦有機溶媒などに溶解させて後、得られた溶
液を、基材２の表裏面のいづれか一方あるいは両
方に塗布すれば、基材２の表裏面の少なくとも一
面に、放射線照射により着色する化合物が含まれ
た放射線照射着色層４を形成することができる。

また放射線照射によつて着色する化合物を、下
塗り用組成物中に含ませて、この下塗り用組成物
を基材２の表裏面の少なくとも一面に塗布するこ
とによつて放射線照射着色層４を形成してもよ
い。このような下塗り用組成物としては、酢酸ビ
ニル−塩化ビニル共重合体を主成分とするもの、
ポリウレタン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリ
アミド系樹脂、エポキシ系樹脂などが用いられ
る。これらの下塗り用組成物は、基材２の種類に
応じて適宜選択して使用される。

一方上記のような放射線によつて着色する化合
物を有機溶媒などに溶解させて得られる溶液を、
基材２をシート状に形成する際に用いて、基材２
中に放射線照射により着色する化合物を添加して
もよい。場合によつては、放射線照射によつて着
色する化合物を微粉末にして基材２中に添加させ
てもよい。

このように、放射線照射によつて着色する化合
物を基材２の表裏面の少なくとも一面上に塗布す
るか、あるいは基材２中に含ませることによつ
て、本発明に係る粘着シート１に放射線を照射す
ると充分着色し、光センサーによつてウエハチツ
プを検出する際の検出精度が高まりウエハチツプ
のピツクアツプ時に誤動作が生ずることが防止さ
れる。しかも本発明では、放射線照射によつて着
色する化合物を粘着剤層中には含ませていないた
め、放射線照射による粘着剤層３の接着力の低下
に悪影響が出る恐れがないという効果も得られ
る。

また上記の粘着剤中に、イソシアナート系硬化
剤を混合することにより、初期の接着力を任意の
値に設定することができる。このような硬化剤と
しては、具体的には多価イソシアナート化合物、
たとえば２，４−トリレンジイソシアナート、
２，６−トリレンジイソシアナート、１，３−キ
シレンジイソシアナート、１，４−キシレンジイ
ソシアナート、ジフエニルメタン−４，4′−ジイ
ソシアナート、ジフエニルメタン−２，4′−ジイ
ソシアナート、３−メチルジフエニルメタンジイ
ソシアナート、ヘキサメチレンジイソシアナー
ト、イソホロンジイソシアナート、ジシクロヘキ
シルメタン−４，4′−ジイソシアナート、ジシク
ロヘキシルメタン−２，4′−ジイソシアナート、
リジンイソシアナートなどが用いられる。

さらに上記の粘着剤中に、UV照射用の場合に
は、UV開始剤を混入することにより、UV照射
による重合硬化時間ならびにUV照射を少なくな
ることができる。

このようなUV開始剤としては、具体的には、
ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエ
ーテル、ベンジルジフエニルサルフアイド、テト
ラメチルチウラムモノサルフアイド、アゾビスイ
ソブチロニトリル、ジベンジル、ジアセチル、β
−クロールアンスラキノンなどが挙げられる。

以下本発明に係る粘着シートの使用方法につい
て説明する。

本発明に係る粘着シート１の上面に剥離性シー
トが設けられている場合には、該シートを除去
し、次いで粘着シート１の粘着剤層３を上向きに
して載置し、第３図に示すようにして、この粘着
剤層３の上面にダイシング加工すべき半導体ウエ
ハＡを粘着する。この貼着状態でウエハＡにダイ
シング、洗浄、乾燥、エキスパンデイングの諸工
程が加えられる。この際、粘着剤層３によりウエ
ハチツプは粘着シートに充分に接着保持されてい
るので、上記各工程の間にウエハチツプが脱落す
ることはない。

次に、各ウエハチツプを粘着シートからピツク
アツプして所定に基台上にマウンテイングする
が、この際、ピツクアツプに先立つてあるいはピ
ツクアツプ時に、第４図に示すようにして、紫外
線（UV）あるいは電子線（EB）などの電離性
放射線Ｂを粘着シート１の粘着剤層３に照射し、
粘着剤層３中に含まれる放射線重合性化合物を重
合硬化せしめる。

このように粘着剤層３に放射線を照射して放射
線重合性化合物を重合硬化せしめると、粘着剤の
有する接着力は大きく低下し、わずかの接着力が
残存するのみとなる。

粘着シート１への放射線照射は、基材２の粘着
剤層が設けられていない面から行なうことが好ま
しい。したがつて前述のように、放射線として
UVを用いる場合には基材２は光透過性であるこ
とが必要であるが、放射線としてEBを用いる場
合には基材２は必ずしも光透過性である必要はな
い。

このようにウエハチツプA₁，A₂，……が設け
られた部分の粘着剤層３に放射線を照射して、粘
着剤層３の接着力を低下せしめた後、この粘着シ
ートをピツクアツプステーシヨン（図示せず）に
移送し、第５図に示すように、ここで常法にした
がつて基材２の下面から突き上げ針扞５によりピ
ツクアツプすべきチツプA₁……を突き上げ、こ
のチツプA₁……をたとえばエアピンセツト６に
よりピツクアツプし、これを所定の基台上にマウ
ンテイングする。このようにしてウエハチツプ
A₁，A₂……のピツクアツプを行なうと、ウエハ
チツプ面上には粘着剤が全く付着せずに簡単にピ
ツクアツプすることができ、汚染のない良好な品
質のチツプが得られる。なお放射線照射は、ピツ
クアツプステーシヨンにおいて行なうこともでき
る。

放射線照射は、ウエハＡの貼着面の全面にわた
つて一度に照射する必要は必ずしもなく、部分的
には何回にも分けて照射するようにしてもよく、
たとえば、ピツクアツプすべきウエハチツプA₁，
A₂……の一個ごとに、これに対応する裏面にの
み照射する放射線照射管により照射しその部分の
粘着剤のみの接着力を低下させた後、付き上げ針
扞５によりウエハチツプA₁，A₂……を突き上げ
て順次ピツクアツプを行なうこともできる。第６
図には、上記の放射線照射方法の変形例を示す
が、この場合には、突き上げ針扞５の内部を中空
とし、その中空部に放射線発生源７を設けて放射
線照射とピツクアツプとを同時に行なえるように
しており、このようにすると装置を簡単化できる
と同時にピツクアツプ操作時間を短縮することが
できる。

なお上記の半導体ウエハの処理において、エキ
スパンデイング工程を行なわず、ダイシング、洗
浄、乾燥後直ちにウエハチツプA₁，A₂……にピ
ツクアツプ処理を行なうこともできる。

本発明に係る粘着シート１は、上記のように半
導体ウエハにダイシング工程からピツクアツプ工
程を施す際に時に好ましく用いられるが、この粘
着シート１はまた被塗装物をマスキングする際に
用いることもできる。

発明の効果 本発明に係る粘着シートでは、粘着剤層には、
粘着剤と放射線重合性化合物とに加えて、放射線
照射により着色する化合物が基材の表裏面の少な
くとも一面に設けられるか、あるいは基材中に添
加されているため粘着シート放射線が照射された
後には該シートは着色されており、したがつて光
センサーによつてウエハチツプを検出する際に検
出精度が高まり、ウエハチツプのピツクアツプ時
に誤動作が生ずることがない。また粘着シートに
放射線が照射されたか否かが目視により直ちに判
明する。さらに粘着シート中の放射線重合性化合
物としてウレタンアクリレート系オリゴマーを用
いると、極めて優れた性能を有する粘着シートが
得られる。

以下本発明を実施例により説明するが、本発明
はこれら実施例に限定されるものてはない。

実施例 １ 主成分が酢酸ビニル−塩化ビニル共重合体であ
る下塗り用組成物100重量部に対し紫外線照射に
より着色するロイコ染料の一種として、４，4′，
4″−トリスジメチルアミノトリフエニルメタンを
５重量部添加した後、それを基材である厚さ50μ
ｍのポリエチレンテレフタレートフイルムの片面
に乾燥厚さ１〜2μｍとなるように塗布乾燥させ、
下塗り層を形成した。

下塗り層上に、アクリル系粘着剤（ｎ−ブチル
アクリレートとアクリル酸の共重合体）100重量
部と、分子量3000〜10000のウレタンアクリレー
ト系オリゴマー100重量部と、硬化剤（ジイソシ
アナート系）25重量部とUV硬化反応開始剤（ベ
ンゾフエノン系）10重量部とを混合し、粘着剤層
として乾燥厚さ10μｍとなるように塗布し、100
℃で１分間加熱して、三層構造を有る本発明の粘
着シートを得た。

得られた粘着シートの粘着剤層に紫外線
（UV）を空冷式高圧水銀灯（80W／cm、照射距
離10cm）により２秒間照射した。UV照射によつ
て透明であつた粘着シートは青紫色に着色した。
UV照射時の色差ΔE（L^*a^*b^*）をSMカラーコン
ピユーター（スガ試験機製）で、測定したとこ
ろ、色差は21.6であつた。

また、この粘着シートにシリコンウエハを貼着
し、ダイシングした後、上記のような条件で紫外
線照射を行ない、光センサー（SX−23R、サン
クス(株)製）により検出を行なつたところ、容易に
ウエハチツプを検出することができた。更にウエ
ハチツプを光センサーを用いながらピツクアツプ
を行なつたところ、誤動作は全く生じなかつた。

比較例 １ 上記実施例１において、紫外線照射により着色
する下塗り層を形成しなかつた以外は、実施例１
と同様にして、粘着シートを形成して、紫外線に
よる色差を調べた。得られた粘着シートの紫外線
照射前後の色差ΔE（L^*a^*b^*）は、2.0以下であり
紫外線照射による着色は認められなかつた。

また、この粘着シート上にシリコンウエハを貼
着し、ダイシング後、紫外線照射を行ない光セン
サーにより検出を行なつたところ、充分には検出
できない場合があつた。

さらに、ウエハチツプを光センサーを用いなが
ら、ピツクアツプしたところ、誤動作を起こすこ
とがあつた。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明に係る粘着シート
の断面図であり、第３図〜第６図は該粘着シート
を半導体ウエハのダイシング工程からピツクアツ
プ工程までに用いた場合の説明図である。 １……粘着シート、２……基材、３……粘着剤
層、４……放射線照射着色層、Ａ……ウエハ、Ｂ
……放射線。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 基材面上に粘着剤と放射線重合性化合物とか
   らなる粘着剤層を塗布してなる粘着シートにおい
   て、基材面の少なくとも一面に放射線照射により
   着色する化合物を塗布したことを特徴とする粘着
   シート。 ２ 放射線照射により着色する化合物がロイコ染
   料である特許請求の範囲第１項に記載の粘着シー
   ト。 ３ ロイコ染料が４，4′，4″−トリスジメチルア
   ミノトリフエニルメタンである特許請求の範囲第
   ２項に記載の粘着シート。 ４ 放射線重合性化合物がウレタンアクリレート
   系オリゴマーである特許請求の範囲第１項に記載
   の粘着シート。 ５ 基材面に粘着剤と放射線重合性化合物とから
   なる粘着財層を塗布してかる粘着シートにおい
   て、基材中に放射線照射により着色する化合物を
   添加したことを特徴とする粘着シート。 ６ 放射線照射により着色する化合物がロイコ染
   料である特許請求の範囲第５項に記載の粘着シー
   ト。 ７ ロイコ染料が４，4′，4″−トリスジメチルア
   ミノトリフエニルメタンである特許請求の範囲第
   ５項に記載の粘着シート。 ８ 放射線重合性化合物がウレタンアクリレート
   系オリゴマーである特許請求の範囲第５項に記載
   の粘着シート。