JPH01187469A - 漏れ電流試験装置 - Google Patents
漏れ電流試験装置Info
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- JPH01187469A JPH01187469A JP63275982A JP27598288A JPH01187469A JP H01187469 A JPH01187469 A JP H01187469A JP 63275982 A JP63275982 A JP 63275982A JP 27598288 A JP27598288 A JP 27598288A JP H01187469 A JPH01187469 A JP H01187469A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/50—Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
- G01R31/66—Testing of connections, e.g. of plugs or non-disconnectable joints
-
- G—PHYSICS
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/30—Marginal testing, e.g. by varying supply voltage
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
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- G01R31/31908—Tester set-up, e.g. configuring the tester to the device under test [DUT], down loading test patterns
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-
- G—PHYSICS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
この発明は被記憶装置の入力ピンの漏れ′電流を測定す
る技術に関する。
る技術に関する。
発明の背景
電子装置を試験するとき、装置の入力ピンの漏れ電流を
測定して所定の範囲内にあるかどうか乞調べることがよ
く行われる。
測定して所定の範囲内にあるかどうか乞調べることがよ
く行われる。
漏れ電流の試験を行う従来例では1つの高精度電流測定
回路を使ってすべてのピンを調べる。測定回路を1つの
ピンに接続して測定を行い、その後、そのピンから測定
回路をはずして次に試験するピンに接続する。この手順
を基板上の全部のピンについて繰り返し行う0 も51つの従来の漏れ電流測定技術では入力ピンごとに
1つの高精度電流測定回路ヶ使用している0 発明の概要 この発明の1つの特徴によれば、複数の電流測定回路を
被試験用の装置の入力ピンの′電流測定に使用し、これ
らの電流測定回路のアナログ出力信号を、マルチプレク
サ出力して1個のアナログ/デジタル(A/’D )変
換器に順次入力することにより、入力ピンの漏れ電流乞
迅速かつ正確に測定できるようにしている。好ましい構
成例では入力ピンごとに独立の電流測定回路が設けられ
るとともに、出力されるデジタル信号を記憶する測定結
果メモリが使用される。このメモリと上記マルチプレク
サはカウンタにより同期がとられる。各′電流測定回路
はオペアンプ(演算増幅器)とオペアンプの入出力間を
接続するコンデンサとから構成され、周囲の゛醒力線の
周波数の整数倍に等しい時間間隔で漏れ電流を積分する
。
回路を使ってすべてのピンを調べる。測定回路を1つの
ピンに接続して測定を行い、その後、そのピンから測定
回路をはずして次に試験するピンに接続する。この手順
を基板上の全部のピンについて繰り返し行う0 も51つの従来の漏れ電流測定技術では入力ピンごとに
1つの高精度電流測定回路ヶ使用している0 発明の概要 この発明の1つの特徴によれば、複数の電流測定回路を
被試験用の装置の入力ピンの′電流測定に使用し、これ
らの電流測定回路のアナログ出力信号を、マルチプレク
サ出力して1個のアナログ/デジタル(A/’D )変
換器に順次入力することにより、入力ピンの漏れ電流乞
迅速かつ正確に測定できるようにしている。好ましい構
成例では入力ピンごとに独立の電流測定回路が設けられ
るとともに、出力されるデジタル信号を記憶する測定結
果メモリが使用される。このメモリと上記マルチプレク
サはカウンタにより同期がとられる。各′電流測定回路
はオペアンプ(演算増幅器)とオペアンプの入出力間を
接続するコンデンサとから構成され、周囲の゛醒力線の
周波数の整数倍に等しい時間間隔で漏れ電流を積分する
。
この発明のもう1つの特徴によれば、複数の電流測定回
路とこの複数の電流測定回路の出力な選択するマルチプ
レクサと、各入力ピンの漏れ電流の限界値ケ記憶する限
界値メモリと、ピンの漏れ区流ヲ表わすマルチプレクサ
の各出力を各限界値と比較する比較回路とが使用される
。好ましい構成例には合格/不合格の情報乞記憶する合
否メモリと入力ピンにつながっていない′電流測定回路
による誤動作の表示を防止するマスクメモリも設けられ
ている。
路とこの複数の電流測定回路の出力な選択するマルチプ
レクサと、各入力ピンの漏れ電流の限界値ケ記憶する限
界値メモリと、ピンの漏れ区流ヲ表わすマルチプレクサ
の各出力を各限界値と比較する比較回路とが使用される
。好ましい構成例には合格/不合格の情報乞記憶する合
否メモリと入力ピンにつながっていない′電流測定回路
による誤動作の表示を防止するマスクメモリも設けられ
ている。
更に、この発明の特徴によれば複数の電流測定回路とピ
ンに対する所望の入力を選択的に供給する複数のデジタ
ル/アナログ変換器が使用される。
ンに対する所望の入力を選択的に供給する複数のデジタ
ル/アナログ変換器が使用される。
更に、この発明の!+!?徴によれば、複数の電流測定
回路と、この被数の測定回路の出力を選択的に取り出す
マルチプレクサと、各電流a11定回路に関する修正値
を記憶する修正メモリと、各修正値に基づいてマルチプ
レクサの出力を修正する手段とが使用される。好ましい
構成例では修正値としてオフセット修正値とゲイン修正
値の両方があり、これらの情報はそれぞれ、オフセット
メモリとゲインメモリに記憶されている0 実施例 以下、図面を参照してこの発明の好ましい実施例につい
て説明する。
回路と、この被数の測定回路の出力を選択的に取り出す
マルチプレクサと、各電流a11定回路に関する修正値
を記憶する修正メモリと、各修正値に基づいてマルチプ
レクサの出力を修正する手段とが使用される。好ましい
構成例では修正値としてオフセット修正値とゲイン修正
値の両方があり、これらの情報はそれぞれ、オフセット
メモリとゲインメモリに記憶されている0 実施例 以下、図面を参照してこの発明の好ましい実施例につい
て説明する。
構成
第1図に4tL試験装rt (DUT ) 2 o ノ
入7[tLt流を検査する漏れ′覗流試M装置lOを示
す0複数の’a流測測定回路24コネクタの端子22を
介してDOT20の入カビ7tlC接続されるo ’電
流測定回路(CMC)24のアナログ出力は256:l
のアナログマルチプレクサ26に入力され、その出力は
加算器28にてゲインとオフセクトの修正値を加え、す
/プル・ホールド回路47でサンプリングした後にアナ
ログ/デジタル(A/D)変換器48に入力される。
入7[tLt流を検査する漏れ′覗流試M装置lOを示
す0複数の’a流測測定回路24コネクタの端子22を
介してDOT20の入カビ7tlC接続されるo ’電
流測定回路(CMC)24のアナログ出力は256:l
のアナログマルチプレクサ26に入力され、その出力は
加算器28にてゲインとオフセクトの修正値を加え、す
/プル・ホールド回路47でサンプリングした後にアナ
ログ/デジタル(A/D)変換器48に入力される。
マルチプレクサ26のアナログ出力はアナログ加′w−
′528とゲイン修正回路(GCC)300両方に入力
される。このゲイン修正回路30にはゲインメモリ32
のデジタル修正出力も入力される。
′528とゲイン修正回路(GCC)300両方に入力
される。このゲイン修正回路30にはゲインメモリ32
のデジタル修正出力も入力される。
更に、加算器28にはゲイン修正回路30のアナログ出
力と、オフセクトメモリ34のデジタルオフセット修正
出力が入力されるデジタル/アナログCD/A )変換
r331からのアナログ出力が人力される。
力と、オフセクトメモリ34のデジタルオフセット修正
出力が入力されるデジタル/アナログCD/A )変換
r331からのアナログ出力が人力される。
ゲインメモリ32、オフセクトメモリ34、上限/下限
の限界メモリ36、マスクメモリ38、合/否メモリ4
0、測定結果メモリ42はいずれもランダムアクセスメ
モリであり、アドレスバス45を介して与えられる状態
カウンタ46のデジタル出力でアドレス指定される。状
態カウンタ46はプログラム可能な周波数発生器50に
よって与えられるクロックで動作する。アナログ/デジ
タル(A/D)変換器48へのデータを入力するサンプ
ルホールド回路は状態カウンタ46の別の出力によって
クロクク動作する0漏れ電流の測定値を表わすA/l)
変換器48の出力は所定の限界値との比較のために比較
論理回路52に入力されるとともに、記憶及び後での検
査のために測定結果メモリ42に入力される。ゲインメ
モリ32、オフセットメモリ34、上限/下限メモリ3
6.マスクメモリ38、合否メモリ40、測定結果メモ
リ42、プログラマプル周波数発生器50、装置無効フ
リツプフロップ51はいずれモデータバス54&C[絖
されている。
の限界メモリ36、マスクメモリ38、合/否メモリ4
0、測定結果メモリ42はいずれもランダムアクセスメ
モリであり、アドレスバス45を介して与えられる状態
カウンタ46のデジタル出力でアドレス指定される。状
態カウンタ46はプログラム可能な周波数発生器50に
よって与えられるクロックで動作する。アナログ/デジ
タル(A/D)変換器48へのデータを入力するサンプ
ルホールド回路は状態カウンタ46の別の出力によって
クロクク動作する0漏れ電流の測定値を表わすA/l)
変換器48の出力は所定の限界値との比較のために比較
論理回路52に入力されるとともに、記憶及び後での検
査のために測定結果メモリ42に入力される。ゲインメ
モリ32、オフセットメモリ34、上限/下限メモリ3
6.マスクメモリ38、合否メモリ40、測定結果メモ
リ42、プログラマプル周波数発生器50、装置無効フ
リツプフロップ51はいずれモデータバス54&C[絖
されている。
第2図に示すように、電流測定回路24はオペアンプ2
7を有し、このオペアンプ270入出力間にコンデンサ
25とスイッチ72が並列に接続され、このスイッチ7
2と直列に抵抗73が接続されるOD[JT20の入力
ピンに接続されるコネクタ端子22はライン60.Y通
って第2図で3位置スイッチとして示すスイッチ回路6
20)−ドロ1に接続される。スイッチ620ノード6
3はオペアンプ27の反転入力に接続され、同スイッチ
620ノード64は開いており、同スイクチ62のノー
ド66は制御′電圧が加えられる高精度抵抗68に接続
される。D/A変換器29は入力ピンに所望の電圧(例
えば、高または低)を供給するのに使用されるもので、
オペアンプ27の非反転入力に接続される。更に、オペ
アンプ27の出力とD/A変換器29の出力は差動アン
プ74の非反転入力と反転入力にそれぞれ接続さねるq
動作 ンステムの較正作業時に、各電流測定回路24のゲイン
とオフセットの修正電圧を調べて電流測定回路24を較
正する。ゲイン修正電田とオフセット修正電圧は次のよ
うにして決められる0各々の電流測定回路24について
、スイッチ62をノード64に接続してライン60かも
電流が測定回路に入力されないようにする。D/A変換
器29を所望の入力電EEに設定する0その後、差動ア
ップ74の出力(充゛区用コンデンサ25の積分に比例
する電[E)を特定のタイミングで測定するOjなわち
、サンプル・ホールド回路47で出力をサンプリングし
、A/D本換器48でデジタル値に変換する0このデジ
タル値は電流測定回路24乞入カピンからはずした状態
(もれ電流なしの状態)で発生する測定回路の電lE(
オフセノ)’KE)を表わす。このオフセント値が各々
の電流測定回路に対応するオフセットメモリ34のアド
レスに記憶される。
7を有し、このオペアンプ270入出力間にコンデンサ
25とスイッチ72が並列に接続され、このスイッチ7
2と直列に抵抗73が接続されるOD[JT20の入力
ピンに接続されるコネクタ端子22はライン60.Y通
って第2図で3位置スイッチとして示すスイッチ回路6
20)−ドロ1に接続される。スイッチ620ノード6
3はオペアンプ27の反転入力に接続され、同スイッチ
620ノード64は開いており、同スイクチ62のノー
ド66は制御′電圧が加えられる高精度抵抗68に接続
される。D/A変換器29は入力ピンに所望の電圧(例
えば、高または低)を供給するのに使用されるもので、
オペアンプ27の非反転入力に接続される。更に、オペ
アンプ27の出力とD/A変換器29の出力は差動アン
プ74の非反転入力と反転入力にそれぞれ接続さねるq
動作 ンステムの較正作業時に、各電流測定回路24のゲイン
とオフセットの修正電圧を調べて電流測定回路24を較
正する。ゲイン修正電田とオフセット修正電圧は次のよ
うにして決められる0各々の電流測定回路24について
、スイッチ62をノード64に接続してライン60かも
電流が測定回路に入力されないようにする。D/A変換
器29を所望の入力電EEに設定する0その後、差動ア
ップ74の出力(充゛区用コンデンサ25の積分に比例
する電[E)を特定のタイミングで測定するOjなわち
、サンプル・ホールド回路47で出力をサンプリングし
、A/D本換器48でデジタル値に変換する0このデジ
タル値は電流測定回路24乞入カピンからはずした状態
(もれ電流なしの状態)で発生する測定回路の電lE(
オフセノ)’KE)を表わす。このオフセント値が各々
の電流測定回路に対応するオフセットメモリ34のアド
レスに記憶される。
オフセノ)%圧の測定が完了したら、スイッチ62をノ
ード661J4+1に切り換えて、高精度抵抗68をオ
ペアンプ27に接続する。高精度抵抗68には定′電圧
が加わるので、コンデンサ25とオペアンプ270反転
入力に既知の入力電流が与えられることになる。D/A
変換器29の出力は差動アンプ74でオペアンプ27の
出力から差し引かれ、この差動アンプ74の出力(電流
に比例する速度で上昇づ−る電EE)とD/A変換器3
1の出力するオフセット修正電圧とが加算器28で加算
され、その結果得られる屯田が特定のタイミングでサン
プリングされる。この測定値と既知の入力電流とを比較
することによりオペアンプのゲインが求められる。この
ゲイン修正値は電流測定回路24別にゲインメモリ32
に記憶される。
ード661J4+1に切り換えて、高精度抵抗68をオ
ペアンプ27に接続する。高精度抵抗68には定′電圧
が加わるので、コンデンサ25とオペアンプ270反転
入力に既知の入力電流が与えられることになる。D/A
変換器29の出力は差動アンプ74でオペアンプ27の
出力から差し引かれ、この差動アンプ74の出力(電流
に比例する速度で上昇づ−る電EE)とD/A変換器3
1の出力するオフセット修正電圧とが加算器28で加算
され、その結果得られる屯田が特定のタイミングでサン
プリングされる。この測定値と既知の入力電流とを比較
することによりオペアンプのゲインが求められる。この
ゲイン修正値は電流測定回路24別にゲインメモリ32
に記憶される。
実際の漏れ電流試験7行う前に上限/下限メモリ36と
マスクメモリ38にデータバス54を介してデータをロ
ードする。上限/下限メモリ36にはDUT20の各入
力ピンの上限と下限の値(例えばメーカー規定値)を設
定する。マスクメモリ38にはDUT20のピンパター
ンを設定して使用していない電流測定回路24による誤
表示が行われないようにする0 メモリ36と38の設定とD/Aコンバータ29の設定
完了後、カウンタ46は1から256までをカウントア
ツプしその出力はアドレスバス43に与えられる。この
結果、1 : 256デマルチプレクサ44を介して、
電流測定回路24が順次動作してスインチア2が開く。
マスクメモリ38にデータバス54を介してデータをロ
ードする。上限/下限メモリ36にはDUT20の各入
力ピンの上限と下限の値(例えばメーカー規定値)を設
定する。マスクメモリ38にはDUT20のピンパター
ンを設定して使用していない電流測定回路24による誤
表示が行われないようにする0 メモリ36と38の設定とD/Aコンバータ29の設定
完了後、カウンタ46は1から256までをカウントア
ツプしその出力はアドレスバス43に与えられる。この
結果、1 : 256デマルチプレクサ44を介して、
電流測定回路24が順次動作してスインチア2が開く。
これにより、コンデンサ25が充′亀され、差動アンプ
74かもピンの漏れ′電流(I)に比例する速度で増大
する電圧(V)が発生する。すなわち、V=I/CX時
間となる。
74かもピンの漏れ′電流(I)に比例する速度で増大
する電圧(V)が発生する。すなわち、V=I/CX時
間となる。
この電流測定回路24の電圧上昇期間(電流積分期間)
は60H2の電力線、周波数の場合には1/6o秒ある
いは1/6秒、50Hzの電力線周波数の場合には10
00秒あるいは115秒というように背景の電力周波数
の整数倍に設定される。ただし、時間の長さは漏れ電流
の大きさと所要の精度に依存する。このように、電圧上
昇期間を電力線周波数の整数倍に選定することにより、
電力源から生じる電磁ノイズの積分値がゼロになる0上
昇期間の長さによって分解能と測定範囲が変わる0例え
ば、1/6秒の上昇期間では、測定範囲は±200ナノ
アンペアで分解能(12ビツトで与えられる)は100
ピコアンペアである。1/60 秒の上昇期間では測定
範囲は±2マイクロアンペアであり、分解能は1ナノア
ンペアとなる。上昇期間が短くなるにつれ分解能が低下
するが、この点は、測定する電流も多分大きくなり、大
きな電流は周囲の電磁ノイズによる電流の影響を受けに
くくなるのである程度は補償される。2マイクロアンペ
アより大きな電流を測定するのに、上昇期間を1/60
秒あるいは1750秒より短くする必要のある場合(例
えば、1/6oo秒、’1500秒)、ノイズ電流は小
さな値で開始する。より高い電流を測定する場合にはス
イッチ72は閉じた”J!となり、積分なしで差動アン
プ74の電圧出力(漏れ電流×抵抗73の抵抗値に比例
する直圧出力)を単に(修正後に)サンプリングする。
は60H2の電力線、周波数の場合には1/6o秒ある
いは1/6秒、50Hzの電力線周波数の場合には10
00秒あるいは115秒というように背景の電力周波数
の整数倍に設定される。ただし、時間の長さは漏れ電流
の大きさと所要の精度に依存する。このように、電圧上
昇期間を電力線周波数の整数倍に選定することにより、
電力源から生じる電磁ノイズの積分値がゼロになる0上
昇期間の長さによって分解能と測定範囲が変わる0例え
ば、1/6秒の上昇期間では、測定範囲は±200ナノ
アンペアで分解能(12ビツトで与えられる)は100
ピコアンペアである。1/60 秒の上昇期間では測定
範囲は±2マイクロアンペアであり、分解能は1ナノア
ンペアとなる。上昇期間が短くなるにつれ分解能が低下
するが、この点は、測定する電流も多分大きくなり、大
きな電流は周囲の電磁ノイズによる電流の影響を受けに
くくなるのである程度は補償される。2マイクロアンペ
アより大きな電流を測定するのに、上昇期間を1/60
秒あるいは1750秒より短くする必要のある場合(例
えば、1/6oo秒、’1500秒)、ノイズ電流は小
さな値で開始する。より高い電流を測定する場合にはス
イッチ72は閉じた”J!となり、積分なしで差動アン
プ74の電圧出力(漏れ電流×抵抗73の抵抗値に比例
する直圧出力)を単に(修正後に)サンプリングする。
測定回路24の積分動作を始動するために、状態カウン
タ46よりアドレスバス43を介してデマルチプレクサ
44にデジタル出力が与えられ、このデジタル出力は積
分期間の間に1から256までを一巡する。256番目
の測定回路24の始動後、カウンタ46は再び1から2
56fでをカウントするが、今度はその出力はバス47
.45を介して与えられるため、各電流測定回路24の
出力がマルチプレクサ26に通されるとともに、メモリ
32〜42の各記憶場所がアドレス指定される。
タ46よりアドレスバス43を介してデマルチプレクサ
44にデジタル出力が与えられ、このデジタル出力は積
分期間の間に1から256までを一巡する。256番目
の測定回路24の始動後、カウンタ46は再び1から2
56fでをカウントするが、今度はその出力はバス47
.45を介して与えられるため、各電流測定回路24の
出力がマルチプレクサ26に通されるとともに、メモリ
32〜42の各記憶場所がアドレス指定される。
状態カウンタ46はプログラム可能な周波数発生器・5
0でクロック動作するので、その計数速度したかつて積
分期間は周波数発生器50の出力周波数を変えるだけで
容易に変更できる。このようにして、各電流測定回路2
4の出力が順次A/D変換器48に入力され、順次測定
が行われる。256:1マルチプレクサ26とメモリ3
2〜42は状態カウンタ46により同時にアドレッシン
グされるため、すべての信号修正とデータ転送は同期し
ている。各電流測定回路24のアドレスがアドレスバス
47,45に現われると、その測定回路24のアナログ
出力が256 : 1マルチプレクサ26を通過する。
0でクロック動作するので、その計数速度したかつて積
分期間は周波数発生器50の出力周波数を変えるだけで
容易に変更できる。このようにして、各電流測定回路2
4の出力が順次A/D変換器48に入力され、順次測定
が行われる。256:1マルチプレクサ26とメモリ3
2〜42は状態カウンタ46により同時にアドレッシン
グされるため、すべての信号修正とデータ転送は同期し
ている。各電流測定回路24のアドレスがアドレスバス
47,45に現われると、その測定回路24のアナログ
出力が256 : 1マルチプレクサ26を通過する。
また、ゲインメモリ32とオフセットメモリ34からは
修正値が読み出され、上限/下限メモリ36とマスクメ
モリ38からは適正な限界値とマスク情報が読み出され
、合否メモリ40と測定結果メモリ42には合格/不合
格情報と測定電流値が書き込まれる。256 : 1マ
ルチプレクサ26のアナログ出力はゲイン修正回路30
に入力され、ここでゲインメモリ32からの情報が利用
されてゲイン修正藏圧、すなわち、電流測定回路の測定
出力に加えることによってオペアンプ27のゲインを修
正することになる電圧が形成される。
修正値が読み出され、上限/下限メモリ36とマスクメ
モリ38からは適正な限界値とマスク情報が読み出され
、合否メモリ40と測定結果メモリ42には合格/不合
格情報と測定電流値が書き込まれる。256 : 1マ
ルチプレクサ26のアナログ出力はゲイン修正回路30
に入力され、ここでゲインメモリ32からの情報が利用
されてゲイン修正藏圧、すなわち、電流測定回路の測定
出力に加えることによってオペアンプ27のゲインを修
正することになる電圧が形成される。
このゲイン修正屯田は加算器28においてオフセット修
正’tEE(オフセットメモリ34に記憶される値に基
づくものでD/A変換器31から与える)とともにマル
チプレクサ26のアナログ出力に加算される。したがっ
て、加算器28の出力は端子22に接続される入力ピン
の漏れ電流に対応する修正電圧となっている。加算器2
8の修正電圧出力は上昇し、上昇期間(積分期間)の完
了時点にサンプル・ホールド回路47でサンプリングさ
れる。サンプル・ホールド回路47はサンプリングした
電圧をA/D変換器48のデジタルへの変換に十分な間
保持する。サンプル・ホールド回路47とA/D変換器
48は状態カウンタ46からのタイミング信号により適
正なタイミングで作動される。A/D変換器48のデジ
タル漏れ電流信号は(実際の漏れ電流値を得るため)測
定結果メモリ42に記憶されるとともに、比較論理回路
52にてnその入力ピンに対する上限、下限値と比較さ
れる。この比較結果は合否メモリ40に記憶されるとと
もに、誤動作の場合には装置無効フリップフロップ51
ケセツトする。したがって、フリップフロップ51の出
力を調べるだけでDUT 20が仕様、通常の条件を満
たしているかどうかがわかる。
正’tEE(オフセットメモリ34に記憶される値に基
づくものでD/A変換器31から与える)とともにマル
チプレクサ26のアナログ出力に加算される。したがっ
て、加算器28の出力は端子22に接続される入力ピン
の漏れ電流に対応する修正電圧となっている。加算器2
8の修正電圧出力は上昇し、上昇期間(積分期間)の完
了時点にサンプル・ホールド回路47でサンプリングさ
れる。サンプル・ホールド回路47はサンプリングした
電圧をA/D変換器48のデジタルへの変換に十分な間
保持する。サンプル・ホールド回路47とA/D変換器
48は状態カウンタ46からのタイミング信号により適
正なタイミングで作動される。A/D変換器48のデジ
タル漏れ電流信号は(実際の漏れ電流値を得るため)測
定結果メモリ42に記憶されるとともに、比較論理回路
52にてnその入力ピンに対する上限、下限値と比較さ
れる。この比較結果は合否メモリ40に記憶されるとと
もに、誤動作の場合には装置無効フリップフロップ51
ケセツトする。したがって、フリップフロップ51の出
力を調べるだけでDUT 20が仕様、通常の条件を満
たしているかどうかがわかる。
異なる入力電圧レベルで漏れ電流の試験を行いたい場合
には、これに合わせてD/A変換器29を設定し直し、
上記の手順を繰り返えせばよい。
には、これに合わせてD/A変換器29を設定し直し、
上記の手順を繰り返えせばよい。
すべての入力ピンが各電流測定回路に同時に接続されて
おり、すべての電流測定回路の電圧が同時に上昇するの
で、各デバイスを別々に接続するような場合(したがっ
て落ち着くのを待つ)や、電流を1つずつ測定する場合
に比べはるかに速く試験が行える。種々の電流測定回路
を次々と接続するマルチプレクサを使用しているので全
入力ピンに対し1個のA/D変換器、単一のサンプル・
ホールド回路、単一の修正回路、単一の比較回路が使用
できる。漏れ電流の測定値は記憶されるの疼 でウマ<いかなかったピンについて例えば別のm界値を
用いるなどして漏れ′電流の大きさを測定し@す必要は
なくなる。個々にD/A変換器29を使用しているので
各電流測定回路24はそれぞれの端子22に異なるレベ
ルの入力電FE?与えることができる(例えば、高、低
の入力をピン類に交能である。例えば、各電流測定回路
24を選択的に接続される少数の入力ピンの間で共用す
るようにしでもよい。
おり、すべての電流測定回路の電圧が同時に上昇するの
で、各デバイスを別々に接続するような場合(したがっ
て落ち着くのを待つ)や、電流を1つずつ測定する場合
に比べはるかに速く試験が行える。種々の電流測定回路
を次々と接続するマルチプレクサを使用しているので全
入力ピンに対し1個のA/D変換器、単一のサンプル・
ホールド回路、単一の修正回路、単一の比較回路が使用
できる。漏れ電流の測定値は記憶されるの疼 でウマ<いかなかったピンについて例えば別のm界値を
用いるなどして漏れ′電流の大きさを測定し@す必要は
なくなる。個々にD/A変換器29を使用しているので
各電流測定回路24はそれぞれの端子22に異なるレベ
ルの入力電FE?与えることができる(例えば、高、低
の入力をピン類に交能である。例えば、各電流測定回路
24を選択的に接続される少数の入力ピンの間で共用す
るようにしでもよい。
第1図は本発明による漏れ電流記憶装置のブロック図、
第2図は第1図の装置における電流測定回路の簡略化し
た構成図である。 20:被記憶装置 22:コネクタ端子24:電流
測定回路 26:マルチプレクサ32ニゲインメモリ
34:オフセットメモリ36:上限/下限メモリ
38:マスクメモリ40:合否メモリ 42:
測定結果メモリ44:デマルチプレクサ 48 : A
/])変換器46:状態カウンタ 50:プログラマル周波数発生器 (外4名) 手続補正書 23発明の名称 漏れ電流記憶装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 テラダイン・インコーホレーテッド4、代理
人 住 所 東京都千代田区大手町二丁目2番1号新大手
町ビル 206区 5、補正の対象
た構成図である。 20:被記憶装置 22:コネクタ端子24:電流
測定回路 26:マルチプレクサ32ニゲインメモリ
34:オフセットメモリ36:上限/下限メモリ
38:マスクメモリ40:合否メモリ 42:
測定結果メモリ44:デマルチプレクサ 48 : A
/])変換器46:状態カウンタ 50:プログラマル周波数発生器 (外4名) 手続補正書 23発明の名称 漏れ電流記憶装置 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名 称 テラダイン・インコーホレーテッド4、代理
人 住 所 東京都千代田区大手町二丁目2番1号新大手
町ビル 206区 5、補正の対象
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 被試験電子装置の入力ピンの漏れ電流を試験する漏
れ電流試験装置において、 前記入力ピンの各々に電気接触する複数の端子を有する
コネクタと、 前記コネクタの各端子に接続され、漏れ電流を検出して
該電流を表わすアナログ出力を得る複数の電流測定回路
と、 前記アナログ出力を選択してマルチプレクサ出力として
出力するマルチプレクサと、 前記マルチプレクサ出力を受け、漏れ電流を表わすデジ
タル出力を得るアナログデジタル変換器と、 から成る漏れ電流試験装置。 2 被試験電子装置の入力ピンの漏れ電流を試験する漏
れ電流試験装置において、 前記入力ピンの各々に電気接触する複数の端子を有する
コネクタと、 前記コネクタの各端子に接続され、漏れ電流を検出して
該電流を表わすアナログ出力を得る複数の電流測定回路
と、 前記アナログ出力を選択してマルチプレクサ出力として
出力するマルチプレクサと、 前記入力ピンの各々に関する限界値を記憶し、選択的に
アドレッシングされて前記マルチプレクサ出力に対応す
る入力ピンに関する限界値を出力する限界メモリと、 前記限界値と前記マルチプレクサ出力とを受け、両者を
比較する比較回路と、 から成る漏れ電流試験装置。 3 被試験電子装置の入力ピンの漏れ電流を試験する漏
れ電流試験装置において、 前記入力ピンの各々に電気接触する複数の端子を有する
コネクタと、 前記コネクタの各端子に接続され、漏れ電流を検出して
該電流を表わすアナログ出力を得る複数の電流測定回路
と、 前記アナログ出力を選択してマルチプレクサ出力として
出力するマルチプレクサと、 前記コネクタの各端子に接続され、前記入力ピンに所望
の入力を選択的に与える複数のデジタル/アナログ変換
器と、 から成る漏れ電流試験装置。 4 被試験電子装置の入力ピンの漏れ電流を試験する漏
れ電流試験装置において、 前記入力ピンの各々に電気接触する複数の端子を有する
コネクタと、 前記コネクタの各端子に接続され、漏れ電流を検出して
該電流を表わすアナログ出力を得る複数の電流測定回路
と、 前記アナログ出力を選択してマルチプレクサ出力として
出力するマルチプレクサと、 前記入力ピンの各々に関する修正値を記憶し、選択的に
アドレス指定されて前記マルチプレクサ出力を与えた電
流測定回路に対応する修正値を出力する修正メモリと、 前記マルチプレクサ出力を前記修正値に基づいて修正す
る手段と、 から成る漏れ電流試験装置。 5 請求項4に記載の漏れ電流試験装置において、前記
電流測定回路の各々は対応するアナログオフセットをも
っており、前記修正値にはこのアナログオフセットを修
正するオフセット信号を与えるオフセット値が含まれる
漏れ電流試験装置。 6 請求項4または5に記載の漏れ電流試験装置におい
て、前記電流測定回路の各々は対応するゲインをもって
おり、前記修正値にはこのゲインを修正するゲイン信号
を与えるゲイン値が含まれる漏れ電流試験装置。 7 請求項4記載の漏れ電流試験装置において、前記複
数の電流測定回路の各々に関する前記修正値を発生し前
記修正メモリに記憶する手段を更に有する漏れ電流記憶
装置。 8 請求項2記載の漏れ電流試験装置において、合格/
不合格情報を記憶する合否メモリと、入力ピンに接続さ
れて電流測定回路をマスクするマスク情報を記憶し、選
択的にアドレス指定されて前記比較回路にマスク情報を
与えることにより、入力ピンに接続されていないコネク
タ端子による誤表示を防止するマスクメモリと、 を更に有する漏れ電流試験装置。 9 請求項1、2、3、4、8のいずれかに記載の漏れ
電流試験装置において、前記マルチプレクサに順次作動
される漏れ電流試験装置。 10 請求項2、4、5、6、8のいずれかに記載の漏
れ電流試験装置において、前記メモリの各々は前記マル
チプレクサと同期して動作する漏れ電流試験装置。 11 請求項1、2、3、4のいずれかに記載の漏れ電
流試験装置において、 前記電流測定回路の各々は漏れ電流を積分し、更に、周
囲の電力線周波数の整数倍に等しい時間だけ前記積分が
行われた時点で前記マルチプレクサ出力をサンプリング
することにより、電力源からの電磁界によるクイズをキ
ャンセルする手段を更に有する漏れ電流装置。 12 請求項1記載の漏れ電流試験装置において、前記
入力ピンの各々に関する限界値を記憶し、選択的にアド
レッシングされて前記マルチプレクサ出力に対応する入
力ピンに関する限界値を出力する限界メモリと、 前記限界値と前記マルチプレクサ出力とを受け、両者を
比較する比較回路と、 を更に有する漏れ電流試験装置。 13 請求項1記載の漏れ電流試験装置において、前記
コネクタの各端子に接続され、前記入力ピンに所望の入
力を選択的に与える複数のデジタル/アナログ変換器を
更に有する漏れ電流試験装置。 14 請求項1記載の漏れ電流試験装置において、前記
入力ピンの各々に関する修正値を記憶し、選択的にアド
レス指定されて前記マルチプレクサ出力を与えた電流測
定回路に対応する修正値を出力する修正メモリと、 前記マルチプレクサ出力を前記修正値に基づいて修正す
る手段と、 を更に有する漏れ電流試験装置。 15 請求項12記載の漏れ電流試験装置において、前
記コネクタの各端子に接続され、前記入力ピンに所望の
入力を選択的に与える複数のデジタル/アナログ変換器
と、 前記入力ピンの各々に関する修正値を記憶し、選択的に
アドレス指定されて前記マルチプレクサ出力を与えた電
流測定回路に対応する修正値を出力する修正メモリと、 前記マルチプレクサ出力を前記修正値に基づいて修正す
る手段と、 を更に有する漏れ電流試験装置。 16 請求項1、12、15のいずれかに記載の漏れ電
流試験装置において、 前記入力ピンの各々に係る前記アナログ/デジタル変換
器のデジタル出力を記憶する測定結果メモリを更に有す
る漏れ電流試験装置。 17 請求項1、12、15のいずれかに記載の漏れ電
流試験装置において、 前記メモリと前記マルチプレクサはカウンタによって同
期がとられている漏れ電流試験装置。 18 請求項1、2、3、4のいずれかに記載の漏れ電
流試験装置において、 前記電流測定回路の各々は、 オペアンプと、 前記オペアンプの入出力間に接続されたコンデンサと、 を有する漏れ電流試験装置。 19 請求項1、2、3、4のいずれかに記載の漏れ電
流試験装置において、 前記電流測定回路に接続され、該電流測定回路の起動を
制御するデマルチプレクサ、 を更に有する漏れ電流試験装置。 20 請求項1、2、3、4のいずれかに記載の漏れ電
流試験装置において、 入力ピンごとに別の電流測定回路が使用される漏れ電流
試験装置。 21 請求項1、2、3、4のいずれかに記載の漏れ電
流試験装置において、 前記各電流測定回路は漏れ電流を積分し、 更に、所望の時間だけこの積分が行われた時点で前記マ
ルチプレクサ出力をサンプリングするサンプリング手段
と、このサンプリング手段によるサンプリングを制御す
る状態カウンタと、この状態カウンタにクロックを与え
てサンプリングの時間がクロックの周波数の関数で与え
られるようにするプログラム可能な周波数発生器とを更
に有する漏れ電流試験装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US115156 | 1987-10-30 | ||
US07/115,156 US4862070A (en) | 1987-10-30 | 1987-10-30 | Apparatus for testing input pin leakage current of a device under test |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01187469A true JPH01187469A (ja) | 1989-07-26 |
JP2539897B2 JP2539897B2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=22359621
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63275982A Expired - Fee Related JP2539897B2 (ja) | 1987-10-30 | 1988-10-31 | 漏れ電流試験装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4862070A (ja) |
JP (1) | JP2539897B2 (ja) |
CA (1) | CA1300228C (ja) |
DE (1) | DE3836813A1 (ja) |
FR (1) | FR2622702B1 (ja) |
GB (1) | GB2211951B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1988-10-28 GB GB8825319A patent/GB2211951B/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-28 CA CA000581588A patent/CA1300228C/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-10-28 DE DE3836813A patent/DE3836813A1/de active Granted
- 1988-10-31 JP JP63275982A patent/JP2539897B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1988-11-02 FR FR888814278A patent/FR2622702B1/fr not_active Expired - Lifetime
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FR2622702A1 (fr) | 1989-05-05 |
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