JPH076544Y2 - 差信号測定器 - Google Patents
差信号測定器Info
- Publication number
- JPH076544Y2 JPH076544Y2 JP2414988U JP2414988U JPH076544Y2 JP H076544 Y2 JPH076544 Y2 JP H076544Y2 JP 2414988 U JP2414988 U JP 2414988U JP 2414988 U JP2414988 U JP 2414988U JP H076544 Y2 JPH076544 Y2 JP H076544Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- difference
- signal
- data
- signal lines
- scanner
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はLSIテスタ等で要求される多数チャネル間の差
信号を高精度，安価，かつ簡単な構成で測定する手段に
関するものである。
信号を高精度，安価，かつ簡単な構成で測定する手段に
関するものである。
LSI等は多数の出力端子ピンがあるが、このLSIの良否を
判別する上において、検査対象のLSI（以下、DUTと記
す。DUT:Device Uuder Test）の各出力端子から出力さ
れる信号間の例えば電圧差を調べることで、良否判別に
役立てる場合がある。
判別する上において、検査対象のLSI（以下、DUTと記
す。DUT:Device Uuder Test）の各出力端子から出力さ
れる信号間の例えば電圧差を調べることで、良否判別に
役立てる場合がある。
第３図は、従来のLSIテスタに用いられる差信号測定器
の構成例を示す図である。同図において、DUT1からは複
数チャネルの信号（ch1,ch2,…）が出力されている。任
意のチャネル信号間の差電圧を測定するためには、従来
は第３図のように２組のスキャナ10,11と差動増幅器12
が必要であった。
の構成例を示す図である。同図において、DUT1からは複
数チャネルの信号（ch1,ch2,…）が出力されている。任
意のチャネル信号間の差電圧を測定するためには、従来
は第３図のように２組のスキャナ10,11と差動増幅器12
が必要であった。
その理由を第２図を用いて説明する。一般にLSIの各チ
ャネル信号には、第２図に示すようにコモンモード・ノ
イズNCが重畳されている。従って、もし１組のスキャナ
しか備えていないと、例えばch3信号とch4信号を同時刻
にサンプリングすることができない。即ち、交互にサン
プリングすることになる。同時刻にサンプリングできな
いと、各測定値に含まれているコモンモード・ノイズ成
分NCの電圧レベルが刻々と変化しているので、各サンプ
リングごとのデータについて差演算を行なっても正しい
差電圧を求めたことにならない。第２図で説明すると、
ch3信号のデータD31とch4信号のデータD41の差演算は、
同図に示す正しい差電圧VAとはならない。
ャネル信号には、第２図に示すようにコモンモード・ノ
イズNCが重畳されている。従って、もし１組のスキャナ
しか備えていないと、例えばch3信号とch4信号を同時刻
にサンプリングすることができない。即ち、交互にサン
プリングすることになる。同時刻にサンプリングできな
いと、各測定値に含まれているコモンモード・ノイズ成
分NCの電圧レベルが刻々と変化しているので、各サンプ
リングごとのデータについて差演算を行なっても正しい
差電圧を求めたことにならない。第２図で説明すると、
ch3信号のデータD31とch4信号のデータD41の差演算は、
同図に示す正しい差電圧VAとはならない。
以上の理由から従来は２つのスキャナと差動増幅器を備
えていた。２つのスキャナ10,11は、各信号線にそれぞ
れ接続されたスイッチ素子を有し、図示していない制御
機器からのコントロール信号によりどれか１つの信号線
の電圧を選択して取出し差動増幅器12の一方の入力端子
に導くことができる。従って、例えばch1とch2の差電圧
を得ようとする場合は、それぞれのスキャナ10,11の所
定のスイッチ素子がオンとなるように制御すれば、DUT1
から同時刻に出力された信号同士を差動増幅器12へ取込
むことができる。その後AD変換器３でデジタルデータへ
変換し、図示していない各種データ処理回路へ転送され
る。
えていた。２つのスキャナ10,11は、各信号線にそれぞ
れ接続されたスイッチ素子を有し、図示していない制御
機器からのコントロール信号によりどれか１つの信号線
の電圧を選択して取出し差動増幅器12の一方の入力端子
に導くことができる。従って、例えばch1とch2の差電圧
を得ようとする場合は、それぞれのスキャナ10,11の所
定のスイッチ素子がオンとなるように制御すれば、DUT1
から同時刻に出力された信号同士を差動増幅器12へ取込
むことができる。その後AD変換器３でデジタルデータへ
変換し、図示していない各種データ処理回路へ転送され
る。
以上のような従来の差信号測定器は、２組のスキャナと
差動増幅器が必要であり、部品点数が多くまた高価とな
る課題がある。
差動増幅器が必要であり、部品点数が多くまた高価とな
る課題がある。
本考案の目的は、従来例と比較してスキャナ１個と差動
増幅器を必要としない差信号測定器を提供することであ
る。
増幅器を必要としない差信号測定器を提供することであ
る。
本考案は、上記課題を解決するために 複数本の信号線を導入し、各信号線間の電気量の差を測
定する装置において、 各信号線にそれぞれ接続されたスイッチ素子を有し、任
意の２つの信号線の電気量を交互に繰返してサンプリン
グすることができるスキャナと、 前記スキャナの出力をデジタル信号のデータ（D31,D41,
D32,D42,…）へ変換するAD変換器と、 前記AD変換器のデータをそれぞれ記憶し、このデータか
ら２つの信号線の電気量の差の平均値を算出するコント
ローラと、 を備えるようにしたものである。
定する装置において、 各信号線にそれぞれ接続されたスイッチ素子を有し、任
意の２つの信号線の電気量を交互に繰返してサンプリン
グすることができるスキャナと、 前記スキャナの出力をデジタル信号のデータ（D31,D41,
D32,D42,…）へ変換するAD変換器と、 前記AD変換器のデータをそれぞれ記憶し、このデータか
ら２つの信号線の電気量の差の平均値を算出するコント
ローラと、 を備えるようにしたものである。
本考案では１個のスキャナを用いて交互にサンプリング
された電気量に基づくデータを一旦保存し、例えばこれ
の差演算を複数回行なうと共に、その結果得られた複数
個の値を更に平均演算して電気量の差の平均を算出する
コントローラを備えている。従って差動増幅器は必要と
せず、スキャナも１個で良い。
された電気量に基づくデータを一旦保存し、例えばこれ
の差演算を複数回行なうと共に、その結果得られた複数
個の値を更に平均演算して電気量の差の平均を算出する
コントローラを備えている。従って差動増幅器は必要と
せず、スキャナも１個で良い。
以下、図面を用いて本考案を詳しく説明する。
第１図は本考案に係る差信号測定器の一実施例を示す
図、第２図は第１図装置におけるチャネル信号の様子を
示す図である。
図、第２図は第１図装置におけるチャネル信号の様子を
示す図である。
第１図において、１はDUTであり第３図で説明したと同
様に複数の信号（ch1,ch2,…）を出力する。
様に複数の信号（ch1,ch2,…）を出力する。
２はスキャナであり、DUTからの信号線にそれぞれ接続
されたスイッチ素子（SW1,SW2,…）を有している。そし
て例えば後述するコントローラの制御により任意の２つ
の信号線の電気量を交互に繰返してサンプリングして次
段に取出すことができる。
されたスイッチ素子（SW1,SW2,…）を有している。そし
て例えば後述するコントローラの制御により任意の２つ
の信号線の電気量を交互に繰返してサンプリングして次
段に取出すことができる。
３はAD変換器であり、スキャナ２の出力をデジタル信号
のデータ（D31,D41,D32,D42,…）へ変換するものであ
る。
のデータ（D31,D41,D32,D42,…）へ変換するものであ
る。
４はコントローラであり、AD変換器３の出力データをそ
れぞれ記憶し、このデータから２つの信号線の電気量の
差の平均値を算出するものである。電気量の差の平均値
を算出する手段は幾つかあるが、例えば、前記交互にサ
ンプリングされた電気量に基づくAD変換器３のデータの
差演算を複数回行なうと共に、その結果得られた複数個
の値を更に平均演算して電気量の差の平均を算出する方
法がある。この場合は、コントローラ４はAD変換器３か
ら導入したデータ及び差演算した値を一旦記憶するメモ
リと、差演算部と、平均演算部と、を有している。もち
ろんコントローラ４の構成は差の平均値を得ることがで
きればどのようなものであっても良い。
れぞれ記憶し、このデータから２つの信号線の電気量の
差の平均値を算出するものである。電気量の差の平均値
を算出する手段は幾つかあるが、例えば、前記交互にサ
ンプリングされた電気量に基づくAD変換器３のデータの
差演算を複数回行なうと共に、その結果得られた複数個
の値を更に平均演算して電気量の差の平均を算出する方
法がある。この場合は、コントローラ４はAD変換器３か
ら導入したデータ及び差演算した値を一旦記憶するメモ
リと、差演算部と、平均演算部と、を有している。もち
ろんコントローラ４の構成は差の平均値を得ることがで
きればどのようなものであっても良い。
以上のように構成された第１図装置の動作を第２図を参
照しながら説明する。
照しながら説明する。
例えばch3信号とch4信号の差電圧（電圧に限定するもの
ではない）を得る動作を説明する。ch3とch4の信号には
第２図に示すようにコモンモード・ノイズNCが重畳され
ている。コントローラ４からの制御により、スキャナ２
のスイッチ素子SW3とSW4は交互にオン・オフをｎ回繰返
す。従って、AD変換器３からは第２図に示すようなデジ
タルデータD31→D41→D32→D42→D33→…→D3n→D4nが
順に出力される。そして、これらのデジタルデータD31,
D41,D32,D42,D33,…,D3n,D4nはコントローラ４に内蔵さ
れているメモリに一旦格納される。
ではない）を得る動作を説明する。ch3とch4の信号には
第２図に示すようにコモンモード・ノイズNCが重畳され
ている。コントローラ４からの制御により、スキャナ２
のスイッチ素子SW3とSW4は交互にオン・オフをｎ回繰返
す。従って、AD変換器３からは第２図に示すようなデジ
タルデータD31→D41→D32→D42→D33→…→D3n→D4nが
順に出力される。そして、これらのデジタルデータD31,
D41,D32,D42,D33,…,D3n,D4nはコントローラ４に内蔵さ
れているメモリに一旦格納される。
その後、（１）式又は（２）式に示す演算をコントロー
ラ４にて行い、２つの信号ch3とch4の差電圧の平均値VA
を得る。
ラ４にて行い、２つの信号ch3とch4の差電圧の平均値VA
を得る。
この（１）式の方法は、ch3とch4のデータ（第２図参
照）の総和をそれぞれ得て、これの差を求め、これを繰
返し回数ｎで除算したものである。
照）の総和をそれぞれ得て、これの差を求め、これを繰
返し回数ｎで除算したものである。
この（２）式の方法は交互にサンプリングされた電気量
に基づくAD変換器のデータの差演算をｎ回行なうと共
に、その結果得られたｎ個の値を更に平均演算してVAを
求めるようにしたものである。
に基づくAD変換器のデータの差演算をｎ回行なうと共
に、その結果得られたｎ個の値を更に平均演算してVAを
求めるようにしたものである。
なお、上述では電気量の差として差電圧で説明したが、
これに限らず電気信号として取込みAD変換できる信号
（例えば電流値，抵抗値，周波数値等）であればどのよ
うなものでもでも良い。
これに限らず電気信号として取込みAD変換できる信号
（例えば電流値，抵抗値，周波数値等）であればどのよ
うなものでもでも良い。
また、２チャネル間と限定せず、より多数点のシーケン
シャル測定を行い、測定点間の差計算を行なうこともで
きる。
シャル測定を行い、測定点間の差計算を行なうこともで
きる。
以上述べたように本考案によれば従来手段と比べてスキ
ャナを１個と差動増幅器１個を必要とすることなく、差
信号を測定することができ、安価かつ簡単な構成の差信
号測定器を実現できる。
ャナを１個と差動増幅器１個を必要とすることなく、差
信号を測定することができ、安価かつ簡単な構成の差信
号測定器を実現できる。
第１図は本考案に係る差信号測定器の一実施例を示す
図、第２図は第１図装置におけるチャネル信号の様子を
示す図、第３図は従来の構成例を示す図である。 １……DUT、２……スキャナ、３……AD変換器、４……
コントローラ。
図、第２図は第１図装置におけるチャネル信号の様子を
示す図、第３図は従来の構成例を示す図である。 １……DUT、２……スキャナ、３……AD変換器、４……
コントローラ。
Claims (1)
- 【請求項１】複数本の信号線を導入し、各信号線間の電
気量の差を測定する装置において、 各信号線にそれぞれ接続されたスイッチ素子を有し、任
意の２つの信号線の電気量を交互に繰返してサンプリン
グすることができるスキャナと、 前記スキャナの出力をデジタル信号のデータ（D31,D41,
D32,D42,…）へ変換するAD変換器と、 前記AD変換器のデータをそれぞれ記憶し、このデータか
ら２つの信号線の電気量の差の平均値を算出するコント
ローラと、 を備えたことを特徴とする差信号測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2414988U JPH076544Y2 (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 差信号測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2414988U JPH076544Y2 (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 差信号測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128183U JPH01128183U (ja) | 1989-09-01 |
| JPH076544Y2 true JPH076544Y2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=31243748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2414988U Expired - Lifetime JPH076544Y2 (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 | 差信号測定器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076544Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-02-25 JP JP2414988U patent/JPH076544Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01128183U (ja) | 1989-09-01 |
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