JPS5875073A - 直流特性測定システム - Google Patents
直流特性測定システムInfo
- Publication number
- JPS5875073A JPS5875073A JP56173654A JP17365481A JPS5875073A JP S5875073 A JPS5875073 A JP S5875073A JP 56173654 A JP56173654 A JP 56173654A JP 17365481 A JP17365481 A JP 17365481A JP S5875073 A JPS5875073 A JP S5875073A
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- analog
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- measurement
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明社、被測定素子の．直流電圧電陣特性をデジタル
的に測定す５る、シお７本に関する。
的に測定す５る、シお７本に関する。
半導体，電気、機器等の分１野κおいて直流特性を測定
するため種々の方法を用いられている。
するため種々の方法を用いられている。
が、主として直流電圧（又は電流）を被側定素、子に印
加して、竃ｆ！Ｌ（５１，は電圧）を直接的に測定する
という方法，が採られ、てき來。例えば半導体の直ｆＩ
！Ｌ特性，を測定するカーブトレーサにあっては、測定
された出力電流をブラウン管上に直接描かせている。と
ころがカーブトレーサはΦ測定結果の表示がアナログ的
に行われるためデータの読取りについて正一さ、分解能
に問題がある。■測定・回路にあわせて被測定素子のざ
し換え又はスイッチの切換えを行わなければならず、し
かも測定回路の種類が限定ざれている；■測定データを
直接的に記憶する手段を持たない；等の欠点を有してい
る。また複数の電圧源，電流源，電圧計，電流針及びこ
れらと被測定素子間の接続を切換えるためのマトリクス
拳スイッチ群すＥ’ｆｔコンピュータで制御する従来の
システムは測定機能の多様性という面から有用であって
本、大型化するため高価と表りしかも測定の高速化を図
ることは困難である。
加して、竃ｆ！Ｌ（５１，は電圧）を直接的に測定する
という方法，が採られ、てき來。例えば半導体の直ｆＩ
！Ｌ特性，を測定するカーブトレーサにあっては、測定
された出力電流をブラウン管上に直接描かせている。と
ころがカーブトレーサはΦ測定結果の表示がアナログ的
に行われるためデータの読取りについて正一さ、分解能
に問題がある。■測定・回路にあわせて被測定素子のざ
し換え又はスイッチの切換えを行わなければならず、し
かも測定回路の種類が限定ざれている；■測定データを
直接的に記憶する手段を持たない；等の欠点を有してい
る。また複数の電圧源，電流源，電圧計，電流針及びこ
れらと被測定素子間の接続を切換えるためのマトリクス
拳スイッチ群すＥ’ｆｔコンピュータで制御する従来の
システムは測定機能の多様性という面から有用であって
本、大型化するため高価と表りしかも測定の高速化を図
ることは困難である。
よって本発明の第１の目的は、被測定素子の直流特性を
高精度，高分解能で測定するシステムを提供せんとする
ものである。また本発明の第２の目的は、所望の測定回
路を容易に実現し得る直流特性測定システムを提供せん
とするものである。
高精度，高分解能で測定するシステムを提供せんとする
ものである。また本発明の第２の目的は、所望の測定回
路を容易に実現し得る直流特性測定システムを提供せん
とするものである。
更に本発明の第３の目的は、測定データに基づき表示管
面上に任意な図形表示をなし得る直流特性測定システム
を提供せんとするものである。
面上に任意な図形表示をなし得る直流特性測定システム
を提供せんとするものである。
本発明に係る測定システムは、被測定素子の各端子に接
続される複数の計測ユニットを含んで成る。そして前記
計測ユニットに含まれる電圧源及び電流源を制御して所
望の出力を得ると同時に１該計測ユニツト内に含まれる
電流計及び電圧針の読みをデジタル信号化し、もって所
定の演算処理を行う〇 以下、図面を用いて本発明を詳述する。、第１図は、本
発明において用いられる計測ユニットの機能を説明した
ブロック図である。図示された計測ｓ−二７ト２はＳ
ＭＵ （Ｓｔｉｍｊｌｕｓ ａｎｄ Ｍｅａｓｕｒｅ−
ｍｅｎｔ Ｕｎｉｔ）とも呼ばれ、可変電圧源４と電流
測定回路６との直列回路並びに可変電流源８と電圧測定
回路ｌＯとの並列回路、これら回−のいずれか一方を選
択するスイッチ１２を含む。また可変電圧源４及び可変
電流源８は、コントローラ（図示せず）Ｋよってその出
力電圧及び出力電流を変化させることが可能である。そ
して計測ユニット（以下、ＳＭＵという）２の出力端は
被測定素子１４に接続される。ここで被測定素子１４と
しては抵抗器、ダイオード等があげられる。
続される複数の計測ユニットを含んで成る。そして前記
計測ユニットに含まれる電圧源及び電流源を制御して所
望の出力を得ると同時に１該計測ユニツト内に含まれる
電流計及び電圧針の読みをデジタル信号化し、もって所
定の演算処理を行う〇 以下、図面を用いて本発明を詳述する。、第１図は、本
発明において用いられる計測ユニットの機能を説明した
ブロック図である。図示された計測ｓ−二７ト２はＳ
ＭＵ （Ｓｔｉｍｊｌｕｓ ａｎｄ Ｍｅａｓｕｒｅ−
ｍｅｎｔ Ｕｎｉｔ）とも呼ばれ、可変電圧源４と電流
測定回路６との直列回路並びに可変電流源８と電圧測定
回路ｌＯとの並列回路、これら回−のいずれか一方を選
択するスイッチ１２を含む。また可変電圧源４及び可変
電流源８は、コントローラ（図示せず）Ｋよってその出
力電圧及び出力電流を変化させることが可能である。そ
して計測ユニット（以下、ＳＭＵという）２の出力端は
被測定素子１４に接続される。ここで被測定素子１４と
しては抵抗器、ダイオード等があげられる。
第２図は、本発明の一実施例による直流特性測定システ
ム全体を示したブロック図である。本実施例においては
４個のＳＭＵ ２Ａ、２Ｂ、２０，２Ｄが被測定素子
（以下ＤＵＴという； Ｄｅｖｉｃｅ ＵｎｄｅｒＴｅ
ｓｔ ） ２０の各端子に接続される。各８ＭＵ ２
Ａ〜２Ｄはマルチプレクサ２２を介してデジタル・アナ
ログコンバータ（以下ＤＡＣという）２４及びアナログ
・デジタル・コンバータ（以下ＡＤＯとい・う）２６に
接続される。。またメモリ２８及び表示器３０はＤＡＯ
２４，ＡＤＯ２６と共にコントローラ３２に、接続され
る。
ム全体を示したブロック図である。本実施例においては
４個のＳＭＵ ２Ａ、２Ｂ、２０，２Ｄが被測定素子
（以下ＤＵＴという； Ｄｅｖｉｃｅ ＵｎｄｅｒＴｅ
ｓｔ ） ２０の各端子に接続される。各８ＭＵ ２
Ａ〜２Ｄはマルチプレクサ２２を介してデジタル・アナ
ログコンバータ（以下ＤＡＣという）２４及びアナログ
・デジタル・コンバータ（以下ＡＤＯとい・う）２６に
接続される。。またメモリ２８及び表示器３０はＤＡＯ
２４，ＡＤＯ２６と共にコントローラ３２に、接続され
る。
測定に４ｂｌ！な電圧又は電流をＤＵＴ２０に印加する
゛ため、コントローラ３２が送出する８ＭＵ設定信号３
４はＤＡＯ２４によりアナログ電圧に変換され、マルチ
プレクサ２２左を介して各１９ＭＵ −２Ａ〜２Ｄ
に印加される。また各８ＭＵ ２Ａ〜２Ｄにおいて測
定されたアナログの電圧、電流情報はマルチプレクサ２
２１を介してＡＤＯ２６に送られ、デジタル化された信
号３６がコントローラ３２に伝達される。かくしてデジ
タル化された信号３６はメモリ２８にストアされると同
時に、所定の演算が施され、表示器３０に送られる。
゛ため、コントローラ３２が送出する８ＭＵ設定信号３
４はＤＡＯ２４によりアナログ電圧に変換され、マルチ
プレクサ２２左を介して各１９ＭＵ −２Ａ〜２Ｄ
に印加される。また各８ＭＵ ２Ａ〜２Ｄにおいて測
定されたアナログの電圧、電流情報はマルチプレクサ２
２１を介してＡＤＯ２６に送られ、デジタル化された信
号３６がコントローラ３２に伝達される。かくしてデジ
タル化された信号３６はメモリ２８にストアされると同
時に、所定の演算が施され、表示器３０に送られる。
’＆オ８ＭＵ ２Ａ〜２Ｄ （７）各、４１に：ＤＡ
Ｏ及びＡＤＯを備え得る場合には、マルチプレクサ２２
左〒１を省略することができる。
Ｏ及びＡＤＯを備え得る場合には、マルチプレクサ２２
左〒１を省略することができる。
第３図ないし第５図は、種々のＤＵＴＫ８ＭＵを接続し
た実例を示す図である。
た実例を示す図である。
第３図においては被測定抵抗器４００両端子に２個の８
ＭＵ４２及び４４が接続されている。ここで一方の８Ｍ
Ｕ４２は電圧源として作動しく例えばＩＯＶの定電圧発
生）、また他方の８ＭＵ４４は出力電圧が０■であるた
め単表る接続用リード線として働く。従っていま抵抗器
４０が１ｋＱであるとすると、８ＭＵ４２に含まれる電
流測定回路からは、ｒｌｏｍＡＪに対応するアナログ電
圧が発生される。
ＭＵ４２及び４４が接続されている。ここで一方の８Ｍ
Ｕ４２は電圧源として作動しく例えばＩＯＶの定電圧発
生）、また他方の８ＭＵ４４は出力電圧が０■であるた
め単表る接続用リード線として働く。従っていま抵抗器
４０が１ｋＱであるとすると、８ＭＵ４２に含まれる電
流測定回路からは、ｒｌｏｍＡＪに対応するアナログ電
圧が発生される。
第４図では、ダイオード４６の両端子に８ＭＵ４８及び
５０が接続されている。これらＳＭＵ ４８．５０の
出力電圧又は出力電流を変更することにより、ダイオー
ド４６の順方向特性及び逆方向特性の両方を、接続方法
を変えることなく測定することが可能である。
５０が接続されている。これらＳＭＵ ４８．５０の
出力電圧又は出力電流を変更することにより、ダイオー
ド４６の順方向特性及び逆方向特性の両方を、接続方法
を変えることなく測定することが可能である。
第５図では、トランジスタ５２の静特性を測定するため
３個の８ＭＵ３４．５６．５８を各電極に！Ｉ続してい
る。そして各電極に印加する電圧。
３個の８ＭＵ３４．５６．５８を各電極に！Ｉ続してい
る。そして各電極に印加する電圧。
電流は８ＭＵｏ股定により任意に変化し得るから表示器
３０（第２図参照）に種々のパラメータを有したグラフ
を描かせることが可能である。しかも□単にＳＭＵの設
定を変えるだけでトランジスタ５２の接地方式を変更す
ることも可能である、例えばペースＩＩ−の測定を行う
場合には、５ＭＵ３４を電圧源表して作動させ、その出
力電圧をＯｖＫ設定することが考えられる。またＮＰＮ
）ランジスタをＰＮＰ ）ランージスタに変更する場合
本、単にＳＭＵの設定値の極性を変更するだけでよい。
３０（第２図参照）に種々のパラメータを有したグラフ
を描かせることが可能である。しかも□単にＳＭＵの設
定を変えるだけでトランジスタ５２の接地方式を変更す
ることも可能である、例えばペースＩＩ−の測定を行う
場合には、５ＭＵ３４を電圧源表して作動させ、その出
力電圧をＯｖＫ設定することが考えられる。またＮＰＮ
）ランジスタをＰＮＰ ）ランージスタに変更する場合
本、単にＳＭＵの設定値の極性を変更するだけでよい。
＃！６図は、本発明の他実施例による直流特性測定シス
テムを示したブロック図である。本実施例と第２図との
相違はマルチプレクサを２個に分け、一方のマルチプレ
クサ２２Ａを設定系マルチプレクサとし、他方のマルチ
プクサ２２Ｂを測定系１ルチグレクサとした点にある。
テムを示したブロック図である。本実施例と第２図との
相違はマルチプレクサを２個に分け、一方のマルチプレ
クサ２２Ａを設定系マルチプレクサとし、他方のマルチ
プクサ２２Ｂを測定系１ルチグレクサとした点にある。
その他の構成要素は、全て第２図に示した場合と同様で
あるから説明を省略する。
あるから説明を省略する。
以上詳述した如（、ＳＭＵはコントローラにより任意に
設定され得るため、ＤＵＴとの接続を容易に行うことが
できる。なぜなら測定回路の変りに際してもＤＵＴ自体
の接続を変更することはなく、単にＳＭＵの設定を変更
すればよいからである。このように回路切換用のスイッ
チが必要ないことから、本発明に係るシステムは信頼性
においても優るものである。
設定され得るため、ＤＵＴとの接続を容易に行うことが
できる。なぜなら測定回路の変りに際してもＤＵＴ自体
の接続を変更することはなく、単にＳＭＵの設定を変更
すればよいからである。このように回路切換用のスイッ
チが必要ないことから、本発明に係るシステムは信頼性
においても優るものである。
また本システムにおける測定の正確さはＡＤＯ及びＤＡ
Ｃの正確さに依存するが、従来から知られているカーブ
トレーサ等のアナｐグ機器に比べて格段の正確さを有す
ることができる。しかも測定結果がデジタル置きして記
録されているため■測定結果をグラフ、表など所望の形
で表示させることができる；■更に表示され念グラフ等
を見ながら別個の演算処理を行うなど、より詳細な解析
が可能である；０同様に図形の拡大。
Ｃの正確さに依存するが、従来から知られているカーブ
トレーサ等のアナｐグ機器に比べて格段の正確さを有す
ることができる。しかも測定結果がデジタル置きして記
録されているため■測定結果をグラフ、表など所望の形
で表示させることができる；■更に表示され念グラフ等
を見ながら別個の演算処理を行うなど、より詳細な解析
が可能である；０同様に図形の拡大。
移動、マーカにより座標の読み取りを行うことができる
：０インターフェイスを介して他の機器との接続が可能
であるため、集中的な制御ができる；等の長所を有する
。
：０インターフェイスを介して他の機器との接続が可能
であるため、集中的な制御ができる；等の長所を有する
。
第１図は本発明において用いられる計測ユニットの機能
を説明したブロック図、第２図は本発明の一実施例によ
る直流特性測定システム全体を示したブロック図、第３
図ないし第５図は種々の被測定素子に複数の計測ユニッ
トを接続した実例を示す図、第６図は本発明の他実施例
による直流特性測定システム全体を示したブロック図で
ある。２，２Ａ、２Ｂ、２０，２Ｄ：計測ユニｙ ）
（ＳＭＵ ）、１４，２０：被測定素子（ＤＵＴ）、２
２：マルチプレクサ、２４：デジタル・アナログ・コン
バータ、２６：アナログ脅デジタル・コンバータ、２８
：メモリ、３０：表示器、３２：コントローラ。 出願人 横筒・ヒユーレット・パラカード・株式会社
代理人 弁理士 要否用 次 男
を説明したブロック図、第２図は本発明の一実施例によ
る直流特性測定システム全体を示したブロック図、第３
図ないし第５図は種々の被測定素子に複数の計測ユニッ
トを接続した実例を示す図、第６図は本発明の他実施例
による直流特性測定システム全体を示したブロック図で
ある。２，２Ａ、２Ｂ、２０，２Ｄ：計測ユニｙ ）
（ＳＭＵ ）、１４，２０：被測定素子（ＤＵＴ）、２
２：マルチプレクサ、２４：デジタル・アナログ・コン
バータ、２６：アナログ脅デジタル・コンバータ、２８
：メモリ、３０：表示器、３２：コントローラ。 出願人 横筒・ヒユーレット・パラカード・株式会社
代理人 弁理士 要否用 次 男
Claims (1)
- １、コントローラからの制御信５、号に応答して定電圧
ま九社定電流を供給すると同時に、出力電流または電圧
を測定する回路を備えてなる計測ユニットを被一定素子
の各端子に接続し、前記計測ユニットから得られたアナ
ログ情報をデジタル信号化した後に所定の演算処理を行
い、きって出力信号を送用することを５％徴とした直流
特性測定システム。 、 、
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56173654A JPS5875073A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | 直流特性測定システム |
| US06/434,657 US4467275A (en) | 1981-10-29 | 1982-10-15 | DC characteristics measuring system |
| US06/591,347 US4544879A (en) | 1981-10-29 | 1984-03-19 | Stimulus/measuring unit for DC characteristics measuring |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56173654A JPS5875073A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | 直流特性測定システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5875073A true JPS5875073A (ja) | 1983-05-06 |
| JPH0472195B2 JPH0472195B2 (ja) | 1992-11-17 |
Family
ID=15964618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56173654A Granted JPS5875073A (ja) | 1981-10-29 | 1981-10-29 | 直流特性測定システム |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US4467275A (ja) |
| JP (1) | JPS5875073A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01187469A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-07-26 | Teledyne Inc | 漏れ電流試験装置 |
| JP2013044751A (ja) * | 2011-08-22 | 2013-03-04 | Keithley Instruments Inc | インピーダンス測定方法 |
Families Citing this family (21)
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|---|---|---|---|---|
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