JP7425480B2 - 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス - Google Patents

核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス Download PDF

Info

Publication number
JP7425480B2
JP7425480B2 JP2020541978A JP2020541978A JP7425480B2 JP 7425480 B2 JP7425480 B2 JP 7425480B2 JP 2020541978 A JP2020541978 A JP 2020541978A JP 2020541978 A JP2020541978 A JP 2020541978A JP 7425480 B2 JP7425480 B2 JP 7425480B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coating
nucleation
conductive coating
electrode
optoelectronic device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020541978A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2021512467A (ja
JPWO2019150327A5 (ja
Inventor
イー-ルー チャン,
チー ワン,
スコット ニコラス ゲニン,
マイケル ヘランダー,
ジャッキー チウ,
ジビン ワン,
ブノワ エイチ. ルサール,
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
OTI Lumionics Inc
Original Assignee
OTI Lumionics Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by OTI Lumionics Inc filed Critical OTI Lumionics Inc
Publication of JP2021512467A publication Critical patent/JP2021512467A/ja
Publication of JPWO2019150327A5 publication Critical patent/JPWO2019150327A5/ja
Priority to JP2022184850A priority Critical patent/JP2023018039A/ja
Priority to JP2024002635A priority patent/JP2024038340A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7425480B2 publication Critical patent/JP7425480B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/80Constructional details
    • H10K50/805Electrodes
    • H10K50/82Cathodes
    • H10K50/824Cathodes combined with auxiliary electrodes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D7/00Features of coating compositions, not provided for in group C09D5/00; Processes for incorporating ingredients in coating compositions
    • C09D7/40Additives
    • C09D7/60Additives non-macromolecular
    • C09D7/63Additives non-macromolecular organic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09BORGANIC DYES OR CLOSELY-RELATED COMPOUNDS FOR PRODUCING DYES, e.g. PIGMENTS; MORDANTS; LAKES
    • C09B1/00Dyes with anthracene nucleus not condensed with any other ring
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C15/00Cyclic hydrocarbons containing only six-membered aromatic rings as cyclic parts
    • C07C15/20Polycyclic condensed hydrocarbons
    • C07C15/27Polycyclic condensed hydrocarbons containing three rings
    • C07C15/28Anthracenes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C22/00Cyclic compounds containing halogen atoms bound to an acyclic carbon atom
    • C07C22/02Cyclic compounds containing halogen atoms bound to an acyclic carbon atom having unsaturation in the rings
    • C07C22/04Cyclic compounds containing halogen atoms bound to an acyclic carbon atom having unsaturation in the rings containing six-membered aromatic rings
    • C07C22/08Cyclic compounds containing halogen atoms bound to an acyclic carbon atom having unsaturation in the rings containing six-membered aromatic rings containing fluorine
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C43/00Ethers; Compounds having groups, groups or groups
    • C07C43/02Ethers
    • C07C43/20Ethers having an ether-oxygen atom bound to a carbon atom of a six-membered aromatic ring
    • C07C43/205Ethers having an ether-oxygen atom bound to a carbon atom of a six-membered aromatic ring the aromatic ring being a non-condensed ring
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D201/00Coating compositions based on unspecified macromolecular compounds
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09DCOATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D5/00Coating compositions, e.g. paints, varnishes or lacquers, characterised by their physical nature or the effects produced; Filling pastes
    • C09D5/24Electrically-conducting paints
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/44Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/80Constructional details
    • H10K59/805Electrodes
    • H10K59/8052Cathodes
    • H10K59/80522Cathodes combined with auxiliary electrodes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/621Providing a shape to conductive layers, e.g. patterning or selective deposition
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K85/00Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
    • H10K85/60Organic compounds having low molecular weight
    • H10K85/615Polycyclic condensed aromatic hydrocarbons, e.g. anthracene
    • H10K85/622Polycyclic condensed aromatic hydrocarbons, e.g. anthracene containing four rings, e.g. pyrene
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/549Organic PV cells

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)

Description

関連出願の相互参照
本出願は、2018年2月2日に出願された米国特許仮出願第62/625,710号、2018年2月2日に出願された同第62/625,722号、2018年11月21日に出願された同第62/770,360号に対する優先権の利益を主張するものであり、それらの開示は、あらゆる目的のためにその全体が参照により本明細書に組み込まれる。
以下は、概して、表面上に導電性コーティングを選択的に堆積させる際に使用するための核生成抑制コーティングを形成するための材料に関する。具体的には、そのような核生成抑制コーティングおよび導電性コーティングを組み込んだ光電子デバイスが説明される。
有機発光ダイオード(OLED)は、通常、導電性薄膜電極の間に挿入された有機材料のいくつかの層を含み、その有機層のうちの少なくとも1つはエレクトロルミネセント層である。電極に電圧を印加すると、アノードから正孔が、カソードから電子がそれぞれ注入される。電極によって注入された正孔と電子は、有機層を通って移動し、エレクトロルミネセント層に到達する。正孔と電子が近接しているとき、クーロン力により互いに引き付けられる。次に、正孔と電子が結合して、励起子と呼ばれる束縛状態を形成することができる。励起子は、光子が放出される輻射再結合プロセスを通じて減衰する場合がある。あるいは、励起子は、光子が放出されない非輻射再結合プロセスを通じて減衰する場合がある。本明細書で使用する場合、内部量子効率(IQE)は、輻射再結合プロセスを通じて減衰する、デバイスで生成される全ての電子正孔対の割合であると理解されることに留意されたい。
輻射再結合プロセスは、電子正孔対(つまり、励起子)のスピン状態に応じて、蛍光またはリン光プロセスとして発生し得る。具体的には、電子正孔対によって形成される励起子は、一重項または三重項スピン状態を有するものとして特徴付けられ得る。概して、一重項励起子の輻射減衰により蛍光が発生し、三重項励起子の輻射減衰によりリン光が発生する。
より最近では、熱活性化遅延蛍光(TADF)を含む、OLEDの他の発光メカニズムが提案および調査されている。簡単に言えば、TADF放出は、熱エネルギーを利用した逆項間交差プロセスを介した三重項励起子の一重項励起子への変換と、それに続く一重項励起子の輻射減衰によって発生する。
OLEDデバイスの外部量子効率(EQE)は、デバイスによって放出される光子の数に対する、OLEDデバイスに提供される電荷キャリアの比率を指す場合がある。例えば、EQEが100%の場合、デバイスに注入される電子ごとに1つの光子が放出されることを示す。理解されるように、デバイスのEQEは、概して、デバイスのIQEよりも実質的に低い。EQEとIQEの違いは、概して、デバイスの様々な構成要素によって引き起こされる光の吸収および反射など、多くの要因に起因し得る。
OLEDデバイスは、通常、デバイスから光が放出される相対的な方向に応じて、「ボトムエミッション」デバイスまたは「トップエミッション」デバイスとして分類できる。ボトムエミッションデバイスでは、輻射再結合プロセスの結果として生成された光は、デバイスのベース基板に向かう方向に放出されるが、トップエミッションデバイスでは、光はベース基板から離れる方向に放出される。したがって、ベース基板の近位にある電極は、概して、ボトムエミッションデバイスでは光透過性(例えば、実質的に透明または半透明)になるように作られるが、トップエミッションデバイスでは、ベース基板の遠位にある電極が、概して、光の減衰を低減するために光透過性になるように作られる。特定のデバイス構造に応じて、アノードまたはカソードのいずれかが、トップエミッションデバイスおよびボトムエミッションデバイスの透過電極として機能することができる。
OLEDデバイスは、ベース基板に対して両方向に光を放出するように構成された両面発光デバイスであってもよい。例えば、両面発光デバイスは、各ピクセルからの光が両方向に放出されるように、透過性アノードおよび透過性カソードを含むことができる。別の例では、両面発光ディスプレイデバイスは、各ピクセルからの単一の電極が透過性であるように、一方の方向に光を放出するように構成された第1のピクセルセットと、他方の方向に光を放出するように構成された第2のピクセルセットとを含むことができる。
上記のデバイス構成に加えて、透明または半透明のOLEDデバイスを実装することもでき、デバイスは、外部光をデバイスに透過させる透明部分を含む。例えば、透明OLEDディスプレイデバイスでは、透明部分は、各隣接するピクセル間の非発光領域に設けられてもよい。別の例では、パネルの発光領域の間に複数の透明領域を設けることにより、透明OLED照明パネルを形成することができる。透明または半透明のOLEDデバイスは、ボトムエミッション、トップエミッション、または両面発光のデバイスであってもよい。
カソードまたはアノードのいずれかを透過性電極として選択することができるが、典型的なトップエミッションデバイスは、光透過性カソードを含む。透過性カソードの形成に通常使用される材料には、インジウムスズ酸化物(ITO)および酸化亜鉛(ZnO)などの透明導電性酸化物(TCO)、ならびに、銀(Ag)、アルミニウム(Al)、または、マグネシウム銀(Mg:Ag)合金およびイッテルビウム銀(Yb:Ag)合金などの、体積で約1:9から約9:1の範囲の組成の様々な金属合金の薄層を堆積して形成される薄膜が含まれる。2層以上のTCOおよび/または金属薄膜を含む多層カソードも使用することができる。
特に薄膜の場合、最大約数十ナノメートルの比較的薄い層の厚さが、OLEDで使用するための透明度の向上と好ましい光学特性(例えば、マイクロキャビティ効果の低減)に寄与する。しかしながら、透過電極の厚さの減少は、そのシート抵抗の増加を伴う。高いシート抵抗を持つ電極は、デバイスの使用時に大きな電流抵抗(IR)ドロップを引き起こし、OLEDの性能と効率に悪影響を与えるため、概してOLEDでの使用には望ましくない。IRドロップは、電源レベルを上げることである程度補償することができるが、1つのピクセルの電源レベルが増加すると、デバイスの適切な動作を維持するために他のコンポーネントに供給される電圧も増加するため、好ましくない。
トップエミッションOLEDデバイスの電源仕様を削減するために、デバイスにバスバー構造または補助電極を形成するソリューションが提案されている。例えば、そのような補助電極は、OLEDデバイスの透過性電極と電気的に連絡する導電性コーティングを堆積させることによって形成することができる。そのような補助電極は、透過電極のシート抵抗および関連するIRドロップを低減させることにより、電流がデバイスの様々な領域により効果的に流すことを可能にし得る。
補助電極は通常、アノード、1つ以上の有機層、およびカソードを含むOLEDスタックの上に設けられるため、補助電極のパターニングは、従来から、例えば物理蒸着(PVD)プロセスによって導電性コーティングが選択的に堆積されるマスクアパーチャを備えたシャドウマスクを使用して実現される。しかしながら、マスクは通常、金属マスクであるため、高温堆積プロセス中に反り、それによってマスクのアパーチャおよび得られた堆積パターンが歪む傾向がある。さらに、導電性コーティングがマスクに付着し、マスクの特徴部を見えにくくするため、マスクは通常、連続的な堆積によって劣化する。その結果、そのようなマスクは、時間および費用のかかるプロセスを使用して洗浄するか、または、マスクが目的のパターンの生成に効果がないとみなされた場合には処分する必要がある。したがって、このようなプロセスは非常に高価で複雑となる。したがって、シャドウマスクプロセスは、OLEDデバイスの大量生産には商業的に実現できない可能性がある。さらに、大きな金属マスクは通常、シャドウマスクの堆積プロセス中に引き伸ばされるため、シャドウマスクプロセスを使用して生成できる特徴部のアスペクト比は通常、シャドウイング効果およびメタルマスクの機械的(例えば、引張り)強度によって制約を受ける。
シャドウマスクを介して表面上に導電性コーティングをパターニングする際の別の課題は、特定のパターンが、全てではないが、単一のマスクを使用して実現され得るということである。マスクの各部分は物理的にサポートされているため、全てのパターンが単一の処理段階で可能であるとは限らない。例えば、パターンが孤立した特徴部を指定する場合、単一のマスク処理段階は、通常、所望のパターンを実現するために使用することができない。さらに、デバイス表面全体に広がる繰り返し構造(例えば、バスバー構造または補助電極)を生成するために使用されるマスクは、マスク上に形成された多数の穿孔またはアパーチャを含む。しかしながら、マスク上に多数のアパーチャを形成すると、マスクの構造的完全性が損なわれる可能性があり、これにより、処理中にマスクの顕著な反りまたは変形が生じ、堆積構造のパターンが歪む可能性がある。
上記に加えて、実質的に均一な厚さを有する共通電極がOLEDディスプレイデバイスのトップエミッションカソードとして設けられる場合、デバイスの光学性能は、各サブピクセルに関連するエミッションスペクトルに従って微調整することは容易ではない。典型的なOLEDディスプレイデバイスでは、赤、緑、青のサブピクセルが設けられて、ディスプレイデバイスのピクセルを形成する。そのようなOLEDディスプレイデバイスで使用されるトップエミッション電極は、通常、複数のピクセルをコーティングする共通電極である。例えば、そのような共通電極は、デバイス全体にわたって実質的に均一な厚さを有する比較的薄い導電層である場合がある。異なるサブピクセル内に配設された有機層の厚さを変化させることによって、各サブピクセルの色に関連した光マイクロキャビティ効果を調整する努力がなされてきたが、そのようなアプローチは、少なくとも一部の場合には、光マイクロキャビティ効果の十分な調整の程度を提供しない場合がある。さらに、そのようなアプローチは、OLEDディスプレイの生産環境で実装するのが難しい場合がある。
次に、一部の実施形態を、添付の図面を参照して例として説明する。
一実施形態による、核生成抑制コーティングのシャドウマスク堆積を示す概略図である。 一実施形態による、核生成抑制コーティングのマイクロコンタクト転写印刷プロセスを示す概略図である。 一実施形態による、核生成抑制コーティングのマイクロコンタクト転写印刷プロセスを示す概略図である。 一実施形態による、核生成抑制コーティングのマイクロコンタクト転写印刷プロセスを示す概略図である。 一実施形態による、パターニング表面上への導電性コーティングの堆積を示す概略図である。 プロセスの一実施形態に従って製造されたデバイスを示す図である。 一実施形態による、導電性コーティングを選択的に堆積させるプロセスを示す概略図である。 一実施形態による、導電性コーティングを選択的に堆積させるプロセスを示す概略図である。 一実施形態による、導電性コーティングを選択的に堆積させるプロセスを示す概略図である。 別の実施形態による、導電性コーティングを選択的に堆積させるプロセスを示す概略図である。 別の実施形態による、導電性コーティングを選択的に堆積させるプロセスを示す概略図である。 別の実施形態による、導電性コーティングを選択的に堆積させるプロセスを示す概略図である。 一実施形態による、エレクトロルミネセントデバイスを示す図である。 一実施形態による、プロセス段階を示すフロー図である。 一例による、オープンマスクを示す上面図である。 別の例による、オープンマスクを示す上面図である。 さらに別の例による、オープンマスクを示す上面図である。 さらに別の例による、オープンマスクを示す上面図である。 一実施形態による、OLEDデバイスの上面図である。 図14のOLEDデバイスの断面図である。 別の実施形態によるOLEDデバイスの断面図である。 一実施形態による、パッシブマトリクスOLEDデバイスの上面図を示す概略図である。 図17AのパッシブマトリクスOLEDデバイスの概略断面図である。 封入後の図17BのパッシブマトリクスOLEDデバイスの概略断面図である。 比較のパッシブマトリクスOLEDデバイスの概略断面図である。 様々な実施形態による、補助電極の一部分を示す。 様々な実施形態による、補助電極の一部分を示す。 様々な実施形態による、補助電極の一部分を示す。 様々な実施形態による、補助電極の一部分を示す。 一実施形態による、OLEDデバイス上に形成された補助電極パターンを示す。 一実施形態による、ピクセル配置を有するデバイスの一部分を示す。 図15によるデバイスのA-A線に沿った断面図である。 図15によるデバイスのB-B線に沿った断面図である。 一実施形態による、導電性コーティングと核生成抑制コーティングとの界面の周りの断面プロファイルを示す図である。 別の実施形態による、導電性コーティングと核生成抑制コーティングとの界面の周りの断面プロファイルを示す図である。 一実施形態による、導電性コーティング、核生成抑制コーティング、および核生成促進コーティングの界面の周りの断面プロファイルを示す図である。 別の実施形態による、導電性コーティング、核生成抑制コーティング、および核生成促進コーティングの界面の周りの断面プロファイルを示す図である。 さらに別の実施形態による、導電性コーティングと核生成抑制コーティングとの界面の周りの断面プロファイルを示す図である。 さらに別の実施形態による、導電性コーティングと核生成抑制コーティングとの界面付近の断面プロファイルを示す図である。 さらに別の実施形態による、導電性コーティングと核生成抑制コーティングとの界面付近の断面プロファイルを示す図である。 さらに別の実施形態による、導電性コーティングと核生成抑制コーティングとの界面付近の断面プロファイルを示す図である。 さらに別の実施形態による、導電性コーティングと核生成抑制コーティングとの界面付近の断面プロファイルを示す図である。 一実施形態による、導電性コーティングの堆積後の核生成抑制コーティングを除去するためのプロセスを示す。 一実施形態による、導電性コーティングの堆積後の核生成抑制コーティングを除去するためのプロセスを示す。 一実施形態による、アクティブマトリクスOLEDデバイスの断面プロファイルを示す図である。 別の実施形態による、アクティブマトリクスOLEDデバイスの断面プロファイルを示す図である。 さらに別の実施形態による、アクティブマトリクスOLEDデバイスの断面プロファイルを示す図である。 さらに別の実施形態による、アクティブマトリクスOLEDデバイスの断面プロファイルを示す図である。 一実施形態による、透明アクティブマトリクスOLEDデバイスを示す図である。 図28Aによる、デバイスの断面プロファイルを示す図である。 一実施形態による、透明アクティブマトリクスOLEDデバイスを示す図である。 図29Aの一実施形態によるデバイスの断面プロファイルを示す図である。 図29Aの別の実施形態によるデバイスの断面プロファイルを示す図である。 一実施形態による、デバイスを製造するための段階を示すフロー図である。 図30の実施形態による、デバイス製造の様々な段階を示す概略図である。 図30の実施形態による、デバイス製造の様々な段階を示す概略図である。 図30の実施形態による、デバイス製造の様々な段階を示す概略図である。 図30の実施形態による、デバイス製造の様々な段階を示す概略図である。 さらに別の実施形態による、AMOLEDデバイスの断面を示す概略図である。 さらに別の実施形態による、AMOLEDデバイスの断面を示す概略図である。 さらに別の実施形態による、AMOLEDデバイスの断面を示す概略図である。 さらに別の実施形態による、AMOLEDデバイスの断面を示す概略図である。 一実施形態による、AMOLEDデバイスの断面プロファイルを示す概略図である。 膜核の形成を示す模式図である。 吸着原子の相対エネルギー状態を示す模式図である。 シミュレーションモデル例で考慮された様々な事象を説明する概略図である。
図示の簡略化と明確化のために、適切であるとみなされる場合には、対応する構成要素または類似する構成要素を示すために、参照番号が図面間で繰り返され得ることが理解されよう。さらに、本明細書で説明される例示的な実施形態の完全な理解を提供するために、多数の特定の詳細が記載されている。しかしながら、本明細書に記載されている例示的な実施形態は、それらの特定の詳細の一部がなくても実施できることが当業者には理解されよう。他の例では、本明細書で説明される例示的な実施形態を不明瞭にしないように、特定の方法、手順、および構成要素は詳細には説明されていない。
一部の実施形態による一態様では、表面上に導電性コーティングを堆積させる方法が提供される。一部の実施形態では、方法は、光電子デバイスの製造方法に関連して実行される。一部の実施形態では、方法は、別のデバイスの製造方法に関連して実行される。一部の実施形態では、方法は、基板の第1の領域上に核生成抑制コーティングを堆積させて、パターニング基板を作製することを含む。パターニング基板は、核生成抑制コーティングによって被覆された第1の領域と、核生成抑制コーティングから露出しているか、あるいは核生成抑制コーティングが実質的に存在しないか、または核生成抑制コーティングによって実質的に被覆されていない基板の第2の領域とを含む。本方法はまた、パターニング基板を処理して、基板の第2の領域上に導電性コーティングを堆積させることを含む。一部の実施形態では、導電性コーティングの材料はマグネシウムを含む。一部の実施形態では、パターニング基板を処理することは、核生成抑制コーティングと基板の第2の領域の両方を処理して、基板の第2の領域に導電性コーティングを堆積させることを含み、一方、核生成抑制コーティングは、導電性コーティングから露出したままであるか、あるいは導電性コーティングが実質的に存在しないか、または導電性コーティングによって実質的に被覆されていない。一部の実施形態では、パターニング基板を処理することは、導電性コーティングを形成するために使用される源材料の蒸発または昇華を実行すること、および核生成抑制コーティングと基板の第2の領域の両方を蒸発した源材料に曝すことを含む。
本明細書で使用する場合、「核生成抑制」という用語は、表面への導電性材料の堆積が抑制されるように、導電性材料の堆積に対して比較的低い親和性を示す表面を有する材料のコーティングまたは層を指すために使用され、一方、「核生成促進」という用語は、表面への導電性材料の堆積が促進されるように、導電性材料の堆積に対して比較的高い親和性を示す表面を有する材料のコーティングまたは層を指すために使用される。表面の核生成抑制特性または核生成促進特性の1つの尺度は、マグネシウムなどの導電性材料の表面の初期付着確率である。例えば、マグネシウムに関する核生成抑制コーティングは、表面へのマグネシウムの堆積が抑制されるように、マグネシウム蒸気に対して比較的低い初期付着確率を示す表面を有するコーティングを指すことができ、一方、マグネシウムに関する核生成促進コーティングは、表面へのマグネシウムの堆積が促進されるように、マグネシウム蒸気に対して比較的高い初期付着確率を示す表面を有するコーティングを指すことができる。本明細書で使用する場合、「付着確率」および「付着係数」という用語は、互換的に使用され得る。表面の核生成抑制特性または核生成促進特性の別の尺度は、別の(基準)表面上の導電性材料の初期堆積速度に対する、表面上のマグネシウムなどの導電性材料の初期堆積速度であり、両方の表面は、導電性材料の蒸発フラックスに曝すか、または露出される。
本明細書で使用する場合、「蒸発」および「昇華」という用語は互換的に使用され、概して、源材料が(例えば、加熱によって)蒸気に変換されて、例えば、固体状態でターゲット表面上に堆積される堆積プロセスを指す。
本明細書で使用する場合、材料が「実質的に存在しない」または「実質的に被覆されていない」表面(または表面の特定の領域)は、表面(または表面の特定の領域)に材料が実質的に存在しないことを指す。具体的には、導電性コーティングに関して、マグネシウムを含む金属などの導電性材料は光を減衰させ、かつ/または光を吸収するので、表面上の導電性材料の量の1つの尺度は光透過率となる。したがって、電磁スペクトルの可視部分で光透過率が90%を超える、92%を超える、95%を超える、または98%を超える場合、表面には導電性材料が実質的に存在しないとみなすことができる。表面上の材料の量の別の尺度は、材料による表面の被覆率であり、例えば、材料による被覆率が10%以下、8%以下、5%以下、3%以下、または1%以下の場合、表面には材料が実質的に存在しないとみなすことができる。表面の被覆は、透過型電子顕微鏡、原子間力顕微鏡、または走査型電子顕微鏡などの画像技術を使用して評価できる。
選択的堆積
図1は、一実施形態による、核生成抑制コーティング140を基板100の表面102上に堆積させるプロセスを示す概略図である。図1の実施形態では、源材料を含むソース120が真空下で加熱されて、源材料を蒸発または昇華させる。源材料は、核生成抑制コーティング140を形成するために使用される材料を含むか、または実質的にその材料から構成される。次に、蒸発した源材料は、矢印122によって示される方向に基板100に向かって進行する。アパーチャまたはスリット112を有するシャドウマスク110は、アパーチャ112を通って進行するフラックスの一部分が基板100の表面102の領域に選択的に入射するように、蒸発した源材料の経路に配設され、それにより、その上に核生成抑制コーティング140を形成する。
図2A~図2Cは、一実施形態において、基板の表面上に核生成抑制コーティングを堆積させるためのマイクロコンタクト転写印刷プロセスを示す。シャドウマスクプロセスと同様に、マイクロコンタクト印刷プロセスを使用して、核生成抑制コーティングを基板表面の領域に選択的に堆積させることができる。
図2Aは、マイクロコンタクト転写印刷プロセスの第1の段階を示しており、突起212を含むスタンプ210には、突起212の表面上に核生成抑制コーティング240が設けられる。当業者によって理解されるように、核生成抑制コーティング240は、様々な適切なプロセスを使用して、突起212の表面上に堆積させることができる。
図2Bに示されるように、次に、突起212の表面上に堆積された核生成抑制コーティング240が基板100の表面102と接触するように、スタンプ210を基板100に近接させる。核生成抑制コーティング240が表面102に接触すると、核生成抑制コーティング240は、基板100の表面102に付着する。
したがって、図2Cに示すように、スタンプ210が基板100から離れるように移動すると、核生成抑制コーティング240は、基板100の表面102上に効果的に転写される。
核生成抑制コーティングが基板の表面の領域に堆積されると、核生成抑制コーティングが存在しない表面の残りの非被覆領域に導電性コーティングを堆積させることができる。図3を参照すると、導電性コーティング源410は、蒸発した導電性材料を基板100の表面102に方向付けるように示されている。図3に示すように、導電性コーティング源410は、被覆または処理された領域(すなわち、核生成抑制コーティング140がその上に堆積された表面102の領域)と、表面102の被覆されていないか、または処理されていない領域の両方に入射するように、蒸発した導電性材料を方向付けることができる。しかしながら、核生成抑制コーティング140の表面は、基板100の非被覆表面102の表面と比較して比較的小さい初期付着係数を示すので、導電性コーティング440は、核生成抑制コーティング140が存在しない表面102の領域に選択的に堆積させる。例えば、表面102の非被覆領域上の蒸発した導電性材料の初期堆積速度は、核生成抑制コーティング140の表面上での蒸発した導電性材料の初期堆積速度の少なくとも約80倍以上、少なくとも約100倍以上、少なくとも約200倍以上、少なくとも約500倍以上、少なくとも約700倍以上、少なくとも約1000倍以上、少なくとも約1500倍以上、少なくとも約1700倍以上、または少なくとも約2000倍以上であり得る。導電性コーティング440は、例えば、純粋なマグネシウム、または実質的に純粋なマグネシウムを含み得る。
シャドウマスクのパターニングおよびマイクロコンタクト転写印刷プロセスを図示し説明してきたが、核生成抑制材料を堆積させることによって基板を選択的にパターニングするために他のプロセスを使用できることが理解されよう。核生成抑制コーティングを選択的に堆積させるために、表面をパターニングする様々な加法プロセスおよび減法プロセスを使用することができる。このようなプロセスの例には、フォトリソグラフィ、印刷(インクまたは蒸気ジェット印刷およびリールツーリール印刷を含む)、有機気相堆積(OVPD)、およびレーザ誘起サーマルイメージング(LITI)パターニング、ならびにそれらの組み合わせが含まれるが、これらに限定されない。
一部の用途では、導電性コーティングを容易に堆積し得ない基板表面上に、特定の材料特性を有する導電性コーティングを堆積させることが望ましい場合がある。例えば、純粋なマグネシウムまたは実質的に純粋なマグネシウムは、一部の有機表面上のマグネシウムの付着係数が小さいため、通常、一部の有機表面上に容易に堆積させることができない。したがって、一部の実施形態では、導電性コーティングを堆積させる前に、その上に核生成促進コーティングを堆積させることによって、基板表面がさらに処理される。
発見および実験的観察に基づいて、本明細書でさらに説明するように、フラーレンおよび他の核生成促進材料は、マグネシウムを含む導電性コーティングの堆積のための核生成部位として機能すると想定される。例えば、マグネシウムがフラーレン処理された表面に蒸発プロセスを使用して堆積される場合、フラーレン分子は、マグネシウム堆積のための安定した核の形成を促進する核生成部位として機能する。場合によっては、マグネシウムの堆積のための核生成部位として機能するように、処理された表面に単分子層未満のフラーレンまたは他の核生成促進材料を設けることができる。理解されるように、核生成促進材料のいくつかの単分子層を堆積させることにより表面を処理すると、核生成部位の数を多くすることができ、これにより、初期付着確率が高くなる。核生成促進材料の他の例には、AgおよびYbなどの金属、ならびにITO(インジウムスズ酸化物)およびIZO(インジウム亜鉛酸化物)などの金属酸化物が含まれるが、これらに限定されない。
表面上に堆積されたフラーレンまたは他の材料の量は、1単分子層よりも多くてもよく、または少なくてもよいことが理解されよう。例えば、表面は、0.1単分子層、1単分子層、10単分子層、またはそれ以上の核生成促進材料または核生成抑制材料を堆積させることにより処理されてもよい。本明細書で使用されるように、1単分子層の材料を堆積させることは、材料の構成分子または原子の単層で表面の所望の領域を被覆する材料の量を指す。同様に、本明細書で使用されるように、0.1単分子層の材料を堆積させることは、材料の構成分子または原子の単層で表面の所望の領域の10%を被覆する材料の量を指す。例えば、分子または原子のスタッキングまたはクラスタリングの可能性があるため、堆積された材料の実際の厚さは不均一になる可能性がある。例えば、1単分子層の材料を堆積させると、表面の一部の領域が材料で被覆されなくなり、表面の他の領域は、その上に堆積される複数の原子層または分子層を有する場合がある。一部の実施形態では、核生成促進コーティングの厚さは、約1nm~約5nm、または約1nm~約3nmであってもよい。
本明細書で使用する場合、「フラーレン」という用語は、炭素分子を含む材料を指す。フラーレン分子の例には、閉殻を形成し、形状が球形または半球形であり得る、複数の炭素原子を含む三次元骨格を含む炭素ケージ分子が含まれる。フラーレン分子はCとして指定でき、ここで、nはフラーレン分子の炭素骨格に含まれる炭素原子の数に対応する整数である。フラーレン分子の例には、Cが含まれ、ここで、nは、C60、C70、C72、C74、C76、C78、C80、C82、およびC84などの50~250の範囲である。フラーレン分子のさらなる例には、単分子層カーボンナノチューブおよび多層カーボンナノチューブなど、チューブ状または円筒状の炭素分子が含まれる。
図4は、導電性コーティング440の堆積の前に核生成促進コーティング160が堆積されるデバイスの実施形態を示す。図4に示すように、核生成促進コーティング160は、核生成抑制コーティング140によって被覆されていない基板100の領域の上に堆積される。したがって、導電性コーティング440が堆積されると、導電性コーティング440は、核生成促進コーティング160よりも優先的に形成される。例えば、核生成促進コーティング160の表面上の導電性コーティング440の材料の初期堆積速度は、核生成抑制コーティング140の表面上の材料の初期堆積速度の少なくとも約80倍以上、少なくとも約100倍以上、少なくとも約200倍以上、少なくとも約500倍以上、少なくとも約700倍以上、少なくとも約1000倍以上、少なくとも約1500倍以上、少なくとも約1700倍以上、または少なくとも約2000倍以上であり得る。概して、核生成促進コーティング160は、核生成抑制コーティング140の堆積の前または後に、基板100上に堆積され得る。表面上に材料を選択的に堆積させるための様々なプロセスを使用して、蒸発(熱蒸発および電子ビーム蒸発を含む)、フォトリソグラフィ、印刷(インクまたは蒸気ジェット印刷、リールツーリール印刷、およびマイクロコンタクト転写印刷を含む)、OVPD、LITIパターニング、およびそれらの組み合わせを含むがこれらに限定されない、核生成促進コーティング160を堆積させることができる。
図5A~図5Cは、一実施形態における、基板の表面上に導電性コーティングを堆積させるためのプロセスを示す。
図5Aでは、基板100の表面102は、その上に核生成抑制コーティング140を堆積させることによって処理される。具体的には、図示の実施形態では、堆積は、ソース120の内部で源材料を蒸発させ、蒸発した源材料を表面102に方向付け、その上に堆積させることによって実現される。蒸発したフラックスが表面102に方向付けられる一般的な方向は、矢印122で示されている。図示のように、核生成抑制コーティング140の堆積は、核生成抑制コーティング140が実質的に表面102全体を被覆して処理表面142を生成するように、オープンマスクを使用して、またはマスクなしで、実行することができる。あるいは、核生成抑制コーティング140は、例えば、上記の選択的堆積技術を使用して、表面102の領域上に選択的に堆積されてもよい。
核生成抑制コーティング140は、蒸発によって堆積されるものとして示されているが、スピンコーティング、ディップコーティング、印刷、スプレーコーティング、OVPD、LITIパターニング、物理蒸着(PVD)(スパッタリングを含む)、化学蒸着(CVD)、およびそれらの組み合わせを含むがこれらに限定されない、他の堆積および表面コーティング技術が使用され得ることが理解されよう。
図5Bでは、シャドウマスク110は、処理された表面142上に核生成促進コーティング160を選択的に堆積させるために使用される。図示のように、ソース120から進行する蒸発した源材料は、マスク110を介して基板100に方向付けられる。マスクは、マスク110に入射する蒸発した源材料の一部分がマスク110を進行して通過するのを防止されるように、アパーチャまたはスリット112を含み、マスク110のアパーチャ112を通して方向付けられる蒸発した源材料の別の部分は、処理された表面142上に選択的に堆積して、核生成促進コーティング160を形成する。したがって、核生成促進コーティング160の堆積が完了すると、パターニング表面144が生成される。
図5Cは、パターニング表面144上に導電性コーティング440を堆積させる段階を示す。導電性コーティング440は、例えば、純粋なマグネシウム、または実質的に純粋なマグネシウムを含み得る。以下でさらに説明するように、導電性コーティング440の材料は、核生成抑制コーティング140に対して比較的小さい初期付着係数、および核生成促進コーティング160に対して比較的高い初期付着係数を示す。したがって、オープンマスクを使用して、またはマスクなしで堆積を実行して、核生成促進コーティング160が存在する基板100の領域上に導電性コーティング440を選択的に堆積させることができる。図5Cに示すように、核生成抑制コーティング140の表面に入射する導電性コーティング440の蒸発した材料は、核生成抑制コーティング140上に堆積されるのを大幅に防止するか、または実質的に防止することができる。
図5D~図5Fは、別の実施形態において、基板の表面上に導電性コーティングを堆積させるためのプロセスを示す。
図5Dでは、核生成促進コーティング160が、基板100の表面102上に堆積される。例えば、核生成促進コーティング160は、オープンマスクを使用して、またはマスクなしで、熱蒸発によって堆積させることができる。あるいは、スピンコーティング、ディップコーティング、印刷、スプレーコーティング、OVPD、LITIパターニング、PVD(スパッタリングを含む)、CVD、およびそれらの組み合わせを含むがこれらに限定されない、他の堆積および表面コーティング技術を使用してもよい。
図5Eでは、核生成抑制コーティング140は、シャドウマスク110を使用して核生成促進コーティング160の領域の上に選択的に堆積される。したがって、核生成抑制コーティング140の堆積が完了すると、パターニング表面が生成される。次に、図5Fでは、導電性コーティング440が核生成促進コーティング160の露出領域上に形成されるように、導電性コーティング440がオープンマスク堆積プロセスまたはマスクフリー堆積プロセスを使用してパターニング表面上に堆積される。
前述の実施形態では、プロセスによって形成された導電性コーティング440は、電子デバイスの電極または導電性構造として使用できることが理解されよう。例えば、導電性コーティング440は、OLEDデバイスまたは有機光起電性(OPV)デバイスなどの有機光電子デバイスのアノードまたはカソードであってもよい。さらに、導電性コーティング440はまた、活性層材料として量子ドットを含む光電子デバイスの電極として使用されてもよい。例えば、そのようなデバイスは、一対の電極間に配設された活性層を含むことができ、活性層は、量子ドットを含む。デバイスは、例えば、電極によって提供される電流の結果として光が量子ドット活性層から放出される、エレクトロルミネセント量子ドットディスプレイデバイスであってもよい。導電性コーティング440は、前述のデバイスのいずれかのためのバスバーまたは補助電極であってもよい。
したがって、様々なコーティングが堆積される基板100は、前述の実施形態で具体的に図示または説明されていない1つ以上の追加の有機層および/または無機層を含むことができることが理解されよう。例えば、OLEDデバイスの場合、基板100は、1つ以上の電極(例えば、アノードおよび/またはカソード)、電荷注入および/または輸送層、およびエレクトロルミネセント層を含み得る。基板100は、アクティブマトリクスまたはパッシブマトリクスOLEDデバイスに含まれる、抵抗器およびコンデンサなどの1つ以上のトランジスタおよび他の電子構成要素をさらに含むことができる。例えば、基板100は、1つ以上のトップゲート薄膜トランジスタ(TFT)、1つ以上のボトムゲートTFT、および/または他のTFT構造を含むことができる。TFTは、n型TFTまたはp型TFTであってもよい。TFT構造の例には、アモルファスシリコン(a-Si)、インジウムガリウム亜鉛酸化物(IGZO)、および低温多結晶シリコン(LTPS)などが含まれる。
基板100はまた、上記で特定された追加の有機層および/または無機層を支持するためのベース基板を含み得る。例えば、ベース基板は、可撓性または剛性の基板であってもよい。ベース基板は、例えば、シリコン、ガラス、金属、ポリマー(例えば、ポリイミド)、サファイア、またはベース基板としての使用に適した他の材料を含み得る。
基板100の表面102は、有機表面または無機表面であり得る。例えば、導電性コーティング440がOLEDデバイスのカソードとして使用するためのものである場合、表面102は、有機層のスタック(例えば、電子注入層の表面)の上面であってもよい。別の例では、導電性コーティング440がトップエミッションOLEDデバイスの補助電極として使用するためのものである場合、表面102は、電極(例えば、共通カソード)の上面であってもよい。あるいは、そのような補助電極は、有機層のスタックの上の透過性電極の直下に形成されてもよい。
図6は、一実施形態によるエレクトロルミネセント(EL)デバイス600を示す。ELデバイス600は、例えば、OLEDデバイスまたはエレクトロルミネセンス量子ドットデバイスであり得る。一実施形態では、デバイス600は、ベース基板616、アノード614、半導電性層630、およびカソード602を含むOLEDデバイスである。図示の実施形態では、半導電性層630は、正孔注入層612、正孔輸送層610、エレクトロルミネセント層608、電子輸送層606、および電子注入層604を含む。OLEDデバイスの半導電性層630は、通常、有機半導電性材料を含むので、半導電性層630は、本明細書では互換的に有機層と呼ばれる場合がある。
正孔注入層612は、アノード614による正孔の注入を概して促進する正孔注入材料を使用して形成することができる。正孔輸送層610は、概して高い正孔移動度を示す材料である正孔輸送材料を使用して形成することができる。
エレクトロルミネセント層608は、例えば、ホスト材料にエミッタ材料をドープすることによって形成することができる。エミッタ材料は、例えば、蛍光エミッタ、リン光エミッタ、またはTADFエミッタであってもよい。複数のエミッタ材料をホスト材料にドープして、エレクトロルミネセント層608を形成することもできる。
電子輸送層606は、概して高い電子移動度を示す電子輸送材料を使用して形成することができる。電子注入層604は、カソード602による電子の注入を概して促進するように作用する電子注入材料を使用して形成することができる。
デバイス600の構造は、1つ以上の層を省略または組み合わせることによって変化させてもよいことが理解されよう。具体的には、正孔注入層612、正孔輸送層610、電子輸送層606、および電子注入層604のうちの1つ以上は、デバイス構造から省略されてもよい。1つ以上の追加の層がデバイス構造内に存在してもよい。そのような追加の層には、例えば、正孔阻止層、電子阻止層、ならびに追加の電荷輸送および/または注入層が含まれる。各層は、任意の数の副層をさらに含むことができ、各層および/または副層は、様々な混合物および組成勾配を含むことができる。また、デバイス600は、無機材料および/または有機金属材料を含む1つ以上の層を含むことができ、有機材料のみから構成されるデバイスに限定されないことも理解されよう。例えば、デバイス600は、量子ドットを含んでもよい。
デバイス600は、デバイス600に電流を供給するための電源620に接続されてもよい。
デバイス600がEL量子ドットデバイスである別の実施形態では、EL層608は概して、電流が供給されると発光する量子ドットを含む。
図7は、一実施形態によるOLEDデバイスを製造する段階の概要を示すフロー図である。704では、有機層がターゲット表面に堆積される。例えば、ターゲット表面は、例えば、ガラス、ポリマー、および/または金属箔を含み得る、ベース基板の上に堆積されたアノードの表面であり得る。上述のように、有機層は、例えば、正孔注入層、正孔輸送層、エレクトロルミネセント層、電子輸送層、および電子注入層を含むことができる。次に、核生成抑制コーティングが、選択的堆積またはパターニングプロセスを使用して、段階706で有機層の上に堆積される。段階708では、核生成促進コーティングが核生成抑制コーティング上に選択的に堆積され、パターニング表面を生成する。例えば、核生成促進コーティングおよび核生成抑制コーティングは、マスク、マイクロコンタクト転写印刷プロセス、フォトリソグラフィ、印刷(インクまたは蒸気ジェット印刷およびリールツーリール印刷を含む)、OVPD、またはLITIパターニングを使用した蒸発によって選択的に堆積させることができる。次に、段階710で、オープンマスク堆積プロセスまたはマスクフリー堆積プロセスを使用して、パターニング表面に導電性コーティングを堆積させる。導電性コーティングは、OLEDデバイスのカソードまたは別の導電性構造として機能することができる。
別の実施形態では、段階706での核生成抑制コーティングの堆積は、オープンマスクを使用して、またはマスクなしで実施することができる。さらに別の実施形態では、ステップ706における核生成抑制コーティングの堆積の前に、ステップ708における核生成促進コーティングの堆積が実施されてもよい。さらに別の実施形態では、ステップ706での核生成抑制コーティングの選択的堆積の前に、ステップ708における核生成促進コーティングの堆積を、オープンマスクを使用して、またはマスクなしで実施することができる。
簡略化および明確化のために、厚さプロファイルと縁部プロファイルを含む堆積材料の詳細はプロセス図から省略されている。
上述の実施形態によれば、導電性コーティングは、核生成抑制コーティングまたは核生成抑制コーティングと核生成促進コーティングとの組み合わせを使用することにより、オープンマスク堆積プロセスまたはマスクフリー堆積プロセスを使用してターゲット領域に選択的に堆積され得る。
導電性コーティング、核生成抑制コーティング、および核生成促進コーティングを含む、様々な層またはコーティングのいずれかの堆積に使用されるオープンマスクは、基板の特定の領域への材料の堆積を「マスクキング」するか、または防止することができることも理解されよう。ただし、特徴部のサイズが数十ミクロン以下の比較的小さな特徴部を形成するために使用されるファインメタルマスク(FMM)とは異なり、オープンマスクの特徴部のサイズは、概して、製造されるOLEDデバイスのサイズにほぼ相当する。例えば、オープンマスクは、製造中にディスプレイデバイスの縁部をマスクすることができ、これにより、オープンマスクは、ディスプレイデバイスのサイズにほぼ対応するアパーチャ(例えば、マイクロディスプレイの場合は約1インチ、モバイルディスプレイの場合は約4~6インチ、ラップトップまたはタブレットのディスプレイの場合は約8~17インチなど)を有することになる。例えば、オープンマスクの特徴部のサイズは、約1cm以上のオーダーであってもよい。したがって、オープンマスクに形成されたアパーチャは、通常、一緒にディスプレイデバイスを形成する複数の発光領域またはピクセルを包含するようなサイズである。
図8Aは、その中に形成されたアパーチャ1734を有するか、または画定するオープンマスク1731の例を示す。図示の例では、マスク1731のアパーチャ1734は、デバイス1721のサイズよりも小さいので、マスク1731が重ね合わされると、マスク1731は、デバイス1721の縁部を被覆する。具体的には、図示の実施形態では、デバイス1721の全てか、または実質的に全ての発光領域またはピクセル1723がアパーチャ1734を通して露出され、一方、非露出領域1727がデバイス1721の外縁部1725とアパーチャ1734との間に形成される。理解されるように、電気接点または他のデバイス構成要素は、これらの構成要素がオープンマスク堆積プロセスを通じて影響を受けないままであるように、非露出領域1727に位置してもよい。
図8Bは、マスク1731のアパーチャ1734が図16Bのアパーチャよりも小さく、その結果、マスク1731が重ね合わされたときにデバイス1721の少なくとも一部の発光領域またはピクセル1723を被覆するオープンマスク1731の別の例を示す。具体的には、最も外側のピクセル1723’は、マスク1731のアパーチャ1734とデバイス1721の外縁部1725との間に形成されたデバイス1721の非露出領域1727内に位置するものとして示されている。
図8Cは、マスク1731のアパーチャ1734が、デバイス1721の他のピクセル1723を露出しながら、いくつかのピクセル1723’を被覆するパターンを画定する、オープンマスク1731のさらに別の例を示す。具体的には、デバイス1721の(アパーチャ1734と外縁部1725との間に形成される)非露出領域1727内に位置するピクセル1723’は、堆積プロセス中にマスキングされ、蒸気フラックスが非露出領域1727に入射するのを抑制する。
図8A~図8Cの例では、最も外側のピクセルがマスキングされているように示されているが、オープンマスクのアパーチャは、デバイスの他の発光領域および非発光領域をマスキングするように形作られてもよいことが理解されよう。さらに、オープンマスクは、前述の例では1つのアパーチャを有するものとして示されているが、オープンマスクは、基板またはデバイスの複数の領域を露出させるための追加のアパーチャも含むことができる。
図8Dは、マスク1731が複数のアパーチャ1734a~1734dを有するか、または複数のアパーチャ1734a~1734dを画定する、オープンマスク1731の別の例を示す。アパーチャ1734a~1734dは、他の領域をマスキングしながらデバイス1721の特定の領域を選択的に露出させるように位置付けられる。例えば、特定の発光領域またはピクセル1723は、アパーチャ1734a~dを介して露出され、一方、非露出領域1727内に位置する他のピクセル1723’はマスキングされる。
本明細書で説明する様々な実施形態では、必要に応じて、オープンマスクの使用を省略できることが理解されよう。具体的には、本明細書に記載のオープンマスク堆積プロセスは、代替的に、マスクを使用せずに実行されて、ターゲット表面全体が露出されるようにしてもよい。
上記の実施形態の少なくともいくつかは、蒸発プロセスを使用して形成される、核生成促進コーティング、核生成抑制コーティング、および導電性コーティングを含む様々な層またはコーティングを参照して説明されている。理解されるように、蒸発プロセスは、PVDプロセスの一種であり、1つ以上の源材料が低圧(真空など)環境で蒸発または昇華し、1つ以上の蒸発した源材料の(逆)昇華によってターゲット表面に堆積させる。源材料を加熱するために様々な異なる蒸発源を使用することができ、これにより、源材料を様々な方法で加熱することができることが理解されよう。例えば、源材料は、電気フィラメント、電子ビーム、誘導加熱、または抵抗加熱によって加熱されてもよい。さらに、そのような層またはコーティングは、フォトリソグラフィ、印刷、OVPD、LITIパターニング、およびそれらの組み合わせを含む他の適切なプロセスを使用して堆積および/またはパターニングすることができる。これらのプロセスは、様々なパターンを実現するためにシャドウマスクと組み合わせて使用することもできる。
核生成促進材料、核生成抑制材料、および導電性コーティングを堆積させる目的で蒸発に関して特定のプロセスを説明してきたが、これらの材料を堆積させるために様々な他のプロセスを使用できることが理解されよう。例えば、堆積は、他のPVDプロセス(スパッタリングを含む)、CVDプロセス(プラズマ強化化学気相堆積(PECVD)を含む)、またはそのような材料を堆積させるための他の適切なプロセスを使用して行われ得る。一部の実施形態では、導電性コーティングは、抵抗性ヒーターを使用して導電性コーティングを形成するための源材料を加熱することによって堆積される。他の実施形態では、導電性コーティング源材料は、加熱されたるつぼ、加熱されたボート、クヌーセンセル(例えば、エフュージョン蒸発源)、または任意の他のタイプの蒸発源に装填されてもよい。
導電性コーティングを堆積させるために使用される堆積源材料は、混合物または化合物であり得、一部の実施形態では、混合物または化合物のうちの少なくとも1つの成分は、堆積中に基板に堆積されない(または、例えば、マグネシウムと比較して比較的少量で堆積される)。一部の実施形態では、源材料は、銅-マグネシウム(Cu-Mg)混合物またはCu-Mg化合物であってもよい。一部の実施形態では、マグネシウム堆積源の源材料は、マグネシウムと、例えばCuなどのマグネシウムよりも蒸気圧が低い材料とを含む。他の実施形態では、マグネシウム堆積源の源材料は、実質的に純粋なマグネシウムである。具体的には、実質的に純粋なマグネシウムは、純粋なマグネシウム(99.99%以上の純度のマグネシウム)と比較して、実質的に同様の特性(例えば、核生成を抑制および促進するコーティングの初期付着確率)を示すことができる。例えば、核生成抑制コーティング上の実質的に純粋なマグネシウムの初期付着確率は、核生成抑制コーティング上の99.99%純度マグネシウムの初期付着確率の±10%以内または±5%以内であり得る。マグネシウムの純度は、約95%以上、約98%以上、約99%以上、または約99.9%以上であってもよい。導電性コーティングを堆積させるために使用される堆積源材料は、マグネシウムの代わりに、またはマグネシウムと組み合わせて、他の金属を含むことができる。例えば、源材料は、イッテルビウム(Yb)、カドミウム(Cd)、亜鉛(Zn)、またはそれらの任意の組み合わせなどの高蒸気圧材料を含んでもよい。
さらに、様々な実施形態のプロセスは、有機光電子デバイスの電子注入層、電子輸送層、エレクトロルミネセント層、および/またはピクセル画定層(PDL)として使用される他の様々な有機材料または無機材料の表面上で実行できることが理解されよう。そのような材料の例には、PCT公開第WO2012/016074号に記載されているような有機分子ならびに有機ポリマーが含まれる。様々な元素および/または無機化合物でドープされた有機材料が依然として有機材料であるとみなされてもよいことも当業者には理解されよう。様々な有機材料が使用されてもよく、本明細書に記載されるプロセスは、概して、そのような有機材料の全範囲に適用可能であることが、当業者にさらに理解されよう。
また、無機基板または無機表面は、主に無機材料を含む基板または表面を指すことができることも理解されよう。より明確にするために、無機材料は、概して、有機材料とはみなされない任意の材料であると理解されよう。無機材料の例としては、金属、ガラス、および鉱物がある。具体的には、マグネシウムを含む導電性コーティングは、本開示によるプロセスを使用して、フッ化リチウム(LiF)、ガラスおよびシリコン(Si)の表面上に堆積され得る。本開示によるプロセスが適用され得る他の表面には、シリコンまたはシリコーンベースのポリマー、無機半導電性材料、電子注入材料、塩、金属、および金属酸化物の表面が含まれる。
基板は半導電性材料を含んでもよく、これにより、そのような基板の表面は半導電性表面であってもよいことが理解されよう。半導電性材料は、概してバンドギャップを示す材料として説明することができる。例えば、そのようなバンドギャップは、最高占有分子軌道(HOMO)と最低非占有分子軌道(LUMO)との間に形成され得る。したがって、半導電性材料は、概して、導電性材料(例えば、金属)の導電率よりは低いが、絶縁材料(例えば、ガラス)の導電率よりも高い導電率を有する。半導電性材料は、有機半導電性材料または無機半導電性材料であってもよいことが理解されよう。
電極の選択的堆積
図9および図10は、一実施形態によるOLEDデバイス1500を示す。具体的には、図9はOLEDデバイス1500の上面図を示し、図10はOLEDデバイス1500の構造の断面図を示す。図9では、カソード1550は、その中に形成された複数のアパーチャまたは正孔1560を有するか、または画定する単一のモノリシック構造または連続構造として示され、これらは、カソード材料が堆積されなかったデバイス1500の領域に対応する。これは、ベース基板1510、アノード1520、有機層1530、核生成促進コーティング1540、核生成促進コーティング1540の特定の領域上に選択的に堆積された核生成抑制コーティング1570、および核生成抑制コーティング1570が存在しない核生成促進コーティング1540の他の領域の上に堆積されたカソード1550を含むOLEDデバイス1500を示す図10にさらに示される。より具体的には、デバイス1500の製造中に核生成促進コーティング1540の表面の特定の領域を被覆するように核生成抑制コーティング1570を選択的に堆積させることにより、カソード材料は、オープンマスク堆積プロセスまたはマスクフリー堆積プロセスを使用して、核生成促進コーティング1540の表面の露出領域に選択的に堆積される。OLEDデバイス1500の透明度または透過率は、穴1560の平均サイズおよびカソード1550に形成された穴1560の密度など、与えられたパターンの様々なパラメータを変更することによって調整または変更できる。したがって、OLEDデバイス1500は、実質的に透明なOLEDデバイスであり得、これは、OLEDデバイスに入射する外部光の少なくとも一部分がそこを透過することを可能にする。例えば、OLEDデバイス1500は、実質的に透明なOLED照明パネルであってもよい。このようなOLED照明パネルは、例えば、一方向(例えば、ベース基板1510に向かうか、または離れる)または両方向(例えば、ベース基板1510に向かい、かつ離れる)に光を放出するように構成され得る。
図11は、カソード1650がデバイス領域全体を実質的に被覆する別の実施形態によるOLEDデバイス1600を示す。具体的には、OLEDデバイス1600は、ベース基板1610、アノード1620、有機層1630、核生成促進コーティング1640、カソード1650、カソード1650の特定の領域の上に選択的に堆積された核生成抑制コーティング1660、および核生成抑制コーティング1660が存在しないカソード1650の他の領域の上に堆積された補助電極1670を含む。
補助電極1670は、カソード1650に電気的に接続されている。特にトップエミッション構成では、カソード1650の存在による光学干渉(例えば、減衰、反射、拡散など)を低減するために、比較的薄いカソード1650の層を堆積させることが望ましい。しかしながら、カソード1650の厚さが減少すると、概して、カソード1650のシート抵抗が増加し、これにより、OLEDデバイス1600の性能および効率が低下する。カソード1650に電気的に接続される補助電極1670を設けることにより、シート抵抗、したがってカソード1650に関連するIRドロップを減少させることができる。さらに、補助電極1670を選択的に堆積して、デバイス領域の特定の領域を被覆し、他の領域は被覆されないままにすることにより、補助電極1670の存在による光学干渉を制御および/または低減することができる。
補助電極の利点がトップエミッションOLEDデバイスを参照して説明されてきたが、ボトムエミッションまたは両面発光OLEDデバイスのカソードの上に補助電極を選択的に堆積させることも有利であり得る。例えば、カソードは、デバイスの光学特性に実質的に影響を与えることなく、ボトムエミッションOLEDデバイスにおいて比較的厚い層として形成されてもよいが、比較的薄いカソードを形成することは依然として有利であり得る。例えば、透明または半透明のディスプレイデバイスでは、カソードを含むデバイス全体の層を、実質的に透明または半透明になるように形成することができる。したがって、典型的な観察距離から肉眼で容易に検出できないパターニングされた補助電極を設けることは有益であり得る。説明したプロセスは、OLEDデバイス以外のデバイスの電極の抵抗を低減するためのバスバーまたは補助電極を形成するために使用できることも理解されよう。
図12Aは、一実施形態によるパターニングされたカソード1712を示し、カソード1712は、複数の離間した細長い導電性ストリップを含む。例えば、カソード1712は、パッシブマトリクスOLEDデバイス(PMOLED)1715で使用されてもよい。PMOLEDデバイス1715では、発光領域またはピクセルは、概して、対向電極が重なる領域に形成される。したがって、図12Aの実施形態では、発光領域またはピクセル1751は、複数の離間した細長い導電性ストリップを含む、カソード1712とアノード1741の重複領域に形成される。非発光領域1755は、カソード1712とアノード1741が重ならない領域に形成される。概して、カソード1712のストリップおよびアノード1741のストリップは、図示されるように、PMOLEDデバイス1715において互いに実質的に垂直に配向される。カソード1712およびアノード1741は、それぞれの電極に電流を供給するための電源および関連する駆動回路に接続されてもよい。
図12Bは、図12AのA-A線に沿った断面図を示す。図12Bでは、例えば透明基板であり得るベース基板1702が提供される。アノード1741は、図12Aに示されるように、ストリップの形態でベース基板1702上に設けられる。1つ以上の有機層1761が、アノード1741の上に堆積される。例えば、有機層1761は、デバイス全体にわたって共通の層として設けられてもよく、正孔注入および輸送層、エレクトロルミネセント層、ならびに電子輸送および注入層などの、本明細書に記載の任意の数の有機材料および/または無機材料の層を含んでもよい。有機層1761の上面の特定の領域は、上記の堆積プロセスに従ってカソード1712を選択的にパターニングするために使用される核生成抑制コーティング1771によって被覆されているものとして示されている。カソード1712およびアノード1741は、ピクセル1751からの光の放出を制御するそれぞれの駆動回路(図示せず)に接続されてもよい。
核生成抑制コーティング1771およびカソード1712の厚さは、所望の用途および性能に応じて変えることができるが、少なくとも一部の実施形態では、図12Bに示されるように、核生成抑制コーティング1771の厚さは、カソード1712の厚さに相当するか、または実質的にカソード1712の厚さよりも小さくてよい。カソードのパターニングを実現するための比較的薄い核生成抑制コーティングの使用により、バリアコーティングが塗布され得る比較的平坦な表面を提供することができるので、可撓性PMOLEDデバイスにとって特に有利であり得る。
図12Cは、カソード1712および核生成抑制コーティング1771の上に塗布されたバリアコーティング1775を有する図12BのPMOLEDデバイス1715を示す。理解されるように、バリアコーティング1775は、概して、有機層および酸化されやすい可能性があるカソード1712を含む様々なデバイス層が、水分および周囲空気に曝されるのを抑制するために設けられる。例えば、バリアコーティング1775は、印刷、CVD、スパッタリング、原子層堆積(ALD)、前述の任意の組み合わせによって、または任意の他の適切な方法によって形成された薄膜封入であり得る。バリアコーティング1775は、予め形成されたバリア膜を、接着剤(図示せず)を使用してデバイス1715上に積層することによって設けられてもよい。例えば、バリアコーティング1775は、有機材料、無機材料、または両方の組み合わせを含む多層コーティングであってもよい。バリアコーティング1775は、ゲッター材料および/または乾燥剤をさらに含んでもよい。
比較のために、比較のPMOLEDデバイス1719の例が図12Dに示されている。図12Dの比較例では、デバイス1719の非発光領域に複数のピクセル画定構造1783が設けられているため、オープンマスク堆積プロセスまたはマスクフリー堆積プロセスを使用して導電性材料が堆積されると、導電性材料は、隣接するピクセル画定構造1783の間に位置する両方の発光領域上に堆積されてカソード1712を形成するとともに、ピクセル画定構造1783の上に堆積されて導電性ストリップ1718を形成する。しかしながら、カソード1712の各セグメントが導電性ストリップ1718から電気的に絶縁されることを確実にするために、ピクセル画定構造1783の厚さまたは高さは、カソード1712の厚さよりも大きくなるように形成される。ピクセル画定構造1783は、カソード1712が導電性ストリップ1718と電気的に接触する可能性をさらに低減するために、アンダーカットプロファイルを有することもできる。バリアコーティング1775は、カソード1712、ピクセル画定構造1783、および導電性ストリップ1718を含むPMOLEDデバイス1719を被覆するために設けられる。
図12Dに示される比較のPMOLEDデバイス1719では、バリアコーティング1775が塗布される表面は、ピクセル画定構造1783の存在のために不均一となる。これにより、バリアコーティング1775の塗布が困難になり、バリアコーティング1775を塗布した場合でも、その下にある表面へのバリアコーティング1775の接着力が比較的低くなる場合がある。接着力が弱いと、特に、デバイス1719が屈曲するか、または曲がっている場合、バリアコーティング1775がデバイス1719から剥離する可能性が高くなる。さらに、表面が不均一であるため、塗布手順中にバリアコーティング1775とその下の表面の間にエアポケットが閉じ込められる可能性が比較的高くなる。エアポケットの存在および/またはバリアコーティング1775の剥離は、欠陥および部分的または全体的なデバイスの故障を引き起こすか、または寄与する可能性があるため、非常に望ましくない。これらの要因は、図12Cの実施形態において軽減または低減される。
図12Aに示されるパターニングされたカソード1712は、OLEDデバイスのカソードを形成するために使用され得るが、同様のパターニングまたは選択的堆積技術がOLEDデバイスのための補助電極を形成するために使用され得ることが理解されよう。具体的には、そのようなOLEDデバイスは、共通カソードと、補助電極が共通カソードと電気的に連絡するように、共通カソードの上または下に堆積された補助電極とを備えることができる。例えば、そのような補助電極は、複数の発光領域を含むOLEDデバイス(例えば、AMOLEDデバイス)に実装され得、それにより、補助電極は、発光領域の上ではなく非発光領域の上に形成される。別の例では、OLEDデバイスの非発光領域ならびに少なくとも一部の発光領域を被覆するために、補助電極が設けられてもよい。
補助電極の選択的堆積
図13Aは、複数の発光領域1810a~1810fおよび非発光領域1820を含むOLEDデバイス1800の一部分を示す。例えば、OLEDデバイス1800はAMOLEDデバイスであってもよく、発光領域1810a~1810fのそれぞれは、そのようなデバイスのピクセルまたはサブピクセルに対応してもよい。簡略化のために、図13B~図13Dは、OLEDデバイス1800の一部分を示す。具体的には、図13B~図13Dは、2つの隣接する発光領域である、第1の発光領域1810aおよび第2の発光領域1810bを囲む領域を示す。明示的には示されていないが、デバイス1800の発光領域と非発光領域の両方を実質的に被覆する共通カソードが設けられてもよい。
図13Bには、一実施形態による補助電極1830が示されており、補助電極1830は、2つの隣接する発光領域1810aと1810bとの間に配設されている。補助電極1830は、共通カソード(図示せず)に電気的に接続されている。具体的には、補助電極1830は、隣接する発光領域1810aと1810bとの間の分離距離(d)よりも小さい幅(α)を有するものとして示され、これにより、補助電極1830の両側に非発光ギャップ領域が作成される。非発光ギャップ領域を設けることによって、補助電極1830がデバイス1800の光出力と干渉する可能性を低減できるため、例えば、隣接する発光領域1810aと1810bとの間の分離距離が十分な幅の補助電極1830を収容するのに十分であるデバイス1800では、このような配置が望ましい場合がある。さらに、このような配置は、補助電極1830が比較的厚い場合(例えば、数百ナノメートルを超えるか、数ミクロンの厚さ程度)に特に有益である可能性がある。例えば、その幅に対する補助電極1830の高さまたは厚さの比(すなわち、アスペクト比)は、約0.05以上、例えば、約0.1以上、約0.2以上、約0.5以上、約0.8以上、約1以上、または約2以上であってもよい。例えば、補助電極1830の高さまたは厚さは、約50nmより大きく、例えば、約80nm以上、約100nm以上、約200nm以上、約500nm以上、約700nm以上、約1000nm以上、約1500nm以上、約1700nm以上、または約2000nm以上であってもよい。
図13Cには、別の実施形態による補助電極1832が示されている。補助電極1832は、共通カソード(図示せず)に電気的に接続されている。図示されるように、補助電極1832は、2つの隣接する発光領域1810aおよび1810b間の分離距離と実質的に同じ幅を有し、それにより、補助電極1832は、隣接する発光領域1810aと1810bとの間に設けられる非発光領域全体を実質的に完全に占有する。このような配置は、例えば、高ピクセル密度のディスプレイデバイスのように、2つの隣接する発光領域1810aと1810bとの間の分離距離が比較的小さい場合に望ましい場合がある。
図13Dには、さらに別の実施形態による補助電極1834が示されている。補助電極1834は、共通カソード(図示せず)に電気的に接続されている。補助電極1834は、2つの隣接する発光領域1810aと1810bとの間の分離距離(d)よりも大きい幅(α)を有するものとして示されている。したがって、補助電極1834の一部分は、第1の発光領域1810aの一部分および第2の発光領域1810bの一部分と重なる。このような配置は、例えば、隣接する発光領域1810aと1810bとの間の非発光領域が、所望の幅の補助電極1834を完全に収容するのに十分でない場合に望ましい場合がある。補助電極1834は、第2の発光領域1810bと実質的に同じ程度に第1の発光領域1810aと重なるものとして図13Dに示されているが、補助電極1834が隣接する発光領域と重なる程度は、他の実施形態では変調されてもよい。例えば、他の実施形態では、補助電極1834は、第2の発光領域1810bよりも第1の発光領域1810aとより大きく重なってもよく、逆もまた同様である。さらに、補助電極1834と発光領域との間の重複のプロファイルも変化させることができる。例えば、補助電極1834の重複部分は、補助電極1834が、同じ発光領域の別の部分と比べて、発光領域の一部分とより大きく重なり、不均一な重複領域を作成するように形作られてもよい。
図14は、補助電極2530がOLEDデバイス2500の上にグリッドとして形成される実施形態を示す。図示のように、補助電極2530は、デバイス2500の非発光領域2520の上に設けられており、それにより、発光領域2510のいかなる部分も実質的に被覆しない。例えば、発光領域2510は、OLEDデバイス2500のピクセルまたはサブピクセルに対応することができる。
補助電極は、図14の実施形態では接続された連続構造として形成されるものとして示されているが、一部の実施形態では、補助電極は、個別の補助電極ユニットが互いに物理的に接続されていない個別の補助電極ユニットの形態で設けられてもよいことが理解されよう。しかしながら、そのような場合であっても、補助電極ユニットは、それにもかかわらず、共通電極を介して互いに電気的に連絡している場合がある。例えば、共通電極を介して互いに間接的に接続される個別の補助電極ユニットを設けることは、依然としてシート抵抗を実質的に低下させ、これにより、デバイスの光学特性を実質的に妨げることなくOLEDデバイスの効率を高め得る。
補助電極は、様々なピクセルまたはサブピクセル配置のディスプレイデバイスで使用できる。例えば、補助電極は、ダイヤモンドピクセル配置が使用されるディスプレイデバイス上に設けることができる。図15~図17にそのようなピクセル配置の例が示されている。
図15は、一実施形態による、ダイヤモンドピクセル配置を有するOLEDデバイス2900の概略図である。OLEDデバイス2900は、複数のピクセル画定層(PDL)2930と、隣接するPDL2930との間に配設された発光領域2912(サブピクセル)を含む。発光領域2912は、例えば緑のサブピクセルに対応し得る第1のサブピクセル2912a、例えば青のサブピクセルに対応し得る第2のサブピクセル2912b、および例えば赤のサブピクセルに対応し得る第3のサブピクセル2912cに対応するものを含む。
図16は、図15に示される線A-Aに沿ったOLEDデバイス2900の概略図である。図16により明確に示されるように、デバイス2900は、基板2903と、ベース基板2903の表面上に形成された複数のアノードユニット2921とを含む。基板2903は、複数のトランジスタおよびベース基板をさらに含むことができ、これらは簡略化のために図から省略されている。有機層2915は、隣接するPDL2930間の領域内の各アノードユニット2921の上部に設けられ、共通カソード2942は、有機層2915およびPDL2930上に設けられて、第1のサブピクセル2912aを形成する。有機層2915は、複数の有機層および/または無機層を含むことができる。例えば、そのような層は、正孔輸送層、正孔注入層、エレクトロルミネセント層、電子注入層、および/または電子輸送層を含むことができる。核生成抑制コーティング2945は、第1のサブピクセル2912aに対応する共通カソード2942の領域上に設けられ、PDL2930の実質的に平坦な領域に対応する共通カソード2942の非被覆領域上に補助電極2951を選択的に堆積させる。核生成抑制コーティング2945は、屈折率整合コーティングまたは取り出し層としても機能し得る。デバイス2900を封入するために、薄膜封入層2961が任意に設けられてもよい。
図17は、図15に示される線B-Bに沿ったOLEDデバイス2900の概略図を示す。デバイス2900は、基板2903の表面上に形成された複数のアノードユニット2921と、隣接するPDL2930との間の領域内の各アノードユニット2921の上に設けられた有機層2916または2917とを含む。共通カソード2942は、有機層2916および2917およびPDL2930の上に設けられ、それぞれ第2のサブピクセル2912bおよび第3のサブピクセル2912cを形成する。核生成抑制コーティング2945は、サブピクセル2912bおよび2912cに対応する共通カソード2942の領域上に設けられ、PDL2930の実質的に平坦な領域に対応する共通カソード2942の非被覆領域上に補助電極2951を選択的に堆積させる。核生成抑制コーティング2945は、屈折率整合コーティングとしても機能し得る。デバイス2900を封入するために、薄膜封入層2961が任意に設けられてもよい。
一部の実施形態による別の態様では、デバイスが提供される。一部の実施形態では、デバイスは光電子デバイスである。一部の実施形態では、デバイスは、別の電子デバイスまたは他の製品である。一部の実施形態では、デバイスは、基板、核生成抑制コーティング、および導電性コーティングを含む。核生成抑制コーティングは、基板の第1の領域を被覆する。導電性コーティングは、基板の第2の領域を被覆し、核生成抑制コーティングの少なくとも一部分が導電性コーティングから露出しているか、あるいは実質的に導電性コーティングが存在しないか、または導電性コーティングによって実質的に被覆されないように、核生成抑制コーティングと部分的に重なる。一部の実施形態では、導電性コーティングは第1の部分と第2の部分を含み、導電性コーティングの第1の部分は基板の第2の領域を被覆し、導電性コーティングの第2の部分は核生成抑制コーティングの一部分と重なる。一部の実施形態では、導電性コーティングの第2の部分は、ギャップによって核生成抑制コーティングから離間される。一部の実施形態では、核生成抑制コーティングは有機材料を含む。一部の実施形態では、導電性コーティングの第1の部分および導電性コーティングの第2の部分は、互いに一体的または連続的に形成されて、単一のモノリシック構造を提供する。
一部の実施形態による別の態様では、デバイスが提供される。一部の実施形態では、デバイスは光電子デバイスである。一部の実施形態では、デバイスは、別の電子デバイスまたは他の製品である。一部の実施形態では、デバイスは、基板および導電性コーティングを含む。基板は、第1の領域および第2の領域を含む。導電性コーティングは、基板の第2の領域を被覆し、基板の第1の領域の少なくとも一部分が導電性コーティングから露出しているか、あるいは実質的に導電性コーティングが存在しないか、または導電性コーティングによって実質的に被覆されないように、基板の第1の領域と部分的に重なる。一部の実施形態では、導電性コーティングは第1の部分と第2の部分を含み、導電性コーティングの第1の部分は基板の第2の領域を被覆し、導電性コーティングの第2の部分は基板の第1の領域の一部分と重なる。一部の実施形態では、導電性コーティングの第2の部分は、ギャップによって基板の第1の領域から離間している。一部の実施形態では、導電性コーティングの第1の部分および導電性コーティングの第2の部分は、互いに一体的に形成される。
図18は、一実施形態によるデバイスの一部分を示す。デバイスは、表面3417を有する基板3410を含む。核生成抑制コーティング3420は、基板3410の表面3417の第1の領域3415を被覆し、導電性コーティング3430は、基板3410の表面3417の第2の領域3412を被覆する。図18に示すように、第1の領域3415および第2の領域3412は、基板3410の表面3417の別個の非重複領域である。導電性コーティング3430は、第1の部分3432および第2の部分3434を含む。図に示すように、導電性コーティング3430の第1の部分3432は、基板3410の第2の領域3412を被覆し、導電性コーティング3430の第2の部分3434は、核生成抑制コーティング3420の一部分と部分的に重なる。具体的には、第2の部分3434は、その下にある基板表面3417に垂直な(または鉛直な)方向に核生成抑制コーティング3420の部分と重なるように示されている。
特に、核生成抑制コーティング3420が、その表面3422が導電性コーティング3430を形成するために使用される材料に対して比較的低い親和性または初期付着確率を示すように形成される場合、導電性コーティング3430の重複する第2の部分3434と核生成抑制コーティング3420の表面3422との間に形成されたギャップ3441が存在する。したがって、導電性コーティング3430の第2の部分3434は、核生成抑制コーティング3420と直接物理的に接触していないが、矢印3490で示されるように、基板3410の表面3417に垂直な方向に沿ってギャップ3441によって核生成抑制コーティング3420から離間している。それにもかかわらず、導電性コーティング3430の第1の部分3432は、基板3410の第1の領域3415と第2の領域3412との間の境界または境界で核生成抑制コーティング3420と直接物理的に接触してもよい。
一部の実施形態では、導電性コーティング3430の重複する第2の部分3434は、導電性コーティング3430の厚さと同程度に核生成抑制コーティング3420の上を横方向に延在することができる。例えば、図18を参照すると、第2の部分3434の幅w(または基板3410の表面3417に平行な方向に沿った寸法)は、導電性コーティング3430の第1の部分3432の厚さt(または基板3410の表面3417に垂直な方向に沿った寸法)に相当し得る。例えばw:tの比は、約1:1~約1:3、約1:1~約1:1.5、または約1:1~約1:2の範囲であってもよい。厚さtは、概して導電性コーティング3430全体で比較的均一であるが、第2の部分3434が核生成抑制コーティング3420(すなわち、w)と重なる程度は、表面3417の異なる部分全体である程度変化し得る。
図19に示す別の実施形態では、導電性コーティング3430は、第2の部分3434と核生成抑制コーティング3420との間に配設された第3の部分3436をさらに含む。図示されるように、導電性コーティング3430の第2の部分3434は、横方向に延在し、導電性コーティング3430の第3の部分3436から離間し、第3の部分3436は、核生成抑制コーティング3420の表面3422と直接物理的に接触し得る。第3の部分3436の厚さtは、導電性コーティング3430の第1の部分3432の厚さtよりも小さくてもよく、場合によっては実質的に小さくてもよい。さらに、少なくとも一部の実施形態では、第3の部分3436の幅wは、第2の部分3434の幅wより大きくてもよい。したがって、第3の部分3436は、第2の部分3434より大きく核生成抑制コーティング3420と重なるように横方向に延在することができる。例えばw:tの比は、約1:2から約3:1または約1:1.2から約2.5:1の範囲であってもよい。厚さtは、概して導電性コーティング3430全体で比較的均一であるが、第3の部分3436が核生成抑制コーティング3420(すなわち、w)と重なる程度は、表面3417の異なる部分全体である程度変化し得る。第3の部分3436の厚さtは、第1の部分3432の厚さtの約5%以下または約5%未満であり得る。例えば、tは、tの約4%以下、約3%以下、約2%以下、約1%以下、または約0.5%以下であってもよい。図19に示すように第3の部分3436の代わりに、またはそれに加えて、薄膜として形成される導電性コーティング3430の材料は、核生成抑制コーティング3420の一部分に島または切り離されたクラスタとして形成することができる。例えば、そのような島または切り離されたクラスタは、島またはクラスタが連続的な層として形成されないように、互いに物理的に分離された特徴部を含み得る。
図20Aに示されるさらに別の実施形態では、核生成促進コーティング3451は、基板3410と導電性コーティング3430との間に配設される。具体的には、核生成促進コーティング3451は、導電性コーティング3430の第1の部分3432と基板3410の第2の領域3412との間に配設される。核生成促進コーティング3451は、核生成抑制コーティング3420が堆積される第1の領域3415上ではなく、基板3410の第2の領域3412上に配設されるものとして示されている。核生成促進コーティング3451は、核生成促進コーティング3451と導電性コーティング3430との間の界面または境界において、核生成促進コーティング3451の表面が、導電性コーティング3430の材料に対して比較的高い親和性または初期付着確率を示すように形成され得る。したがって、核生成促進コーティング3451の存在により、堆積中の導電性コーティング3430の形成および成長を促進することができる。図20Aの導電性コーティング3430(第1の部分3432および第2の部分3434の寸法を含む)および他のコーティングの様々な特徴は、図18~19について上述したものと同様であり、簡潔にするために繰り返されない。
図20Bに示されるさらに別の実施形態では、核生成促進コーティング3451は、基板3410の第1の領域3415および第2の領域3412の両方に配設置され、核生成抑制コーティング3420は、第1の領域3415上に配設された核生成促進コーティング3451の一部分を被覆する。核生成促進コーティング3451の別の部分は、核生成抑制コーティング3420から露出しているか、あるいは実質的に核生成抑制コーティング3420が存在しないか、または核生成抑制コーティング3420によって実質的に被覆されず、導電性コーティング3430は、核生成促進コーティング3451の露出部分を被覆する。図20Bの導電性コーティング3430および他のコーティングの様々な特徴は、図18~図19について上述したものと同様であり得、簡潔にするために繰り返されない。
図21は、導電性コーティング3430が基板3410の第3の領域3419内の核生成抑制コーティング3420の一部分と部分的に重なるさらに別の実施形態を示す。具体的には、第1の部分3432および第2の部分3434に加えて、導電性コーティング3430は、第3の部分3480をさらに含む。図に示すように、導電性コーティング3430の第3の部分3480は、導電性コーティング3430の第1の部分3432と第2の部分3434との間に配設され、第3の部分3480は、核生成抑制コーティング3420の表面3422と直接物理的に接触し得る。これに関して、第3の領域3419における重複は、オープンマスク堆積プロセスまたはマスクフリー堆積プロセス中の導電性コーティング3430の横方向成長の結果として形成され得る。より具体的には、核生成抑制コーティング3420の表面3422は、導電性コーティング3430の材料に対して比較的低い初期付着確率を示し得、これにより、導電性コーティング3430が成長するにつれて、材料が表面3422上で核生成する確率は低くなるが、図21に示すように、厚さにおいて、コーティング3430も横方向に成長し得、核生成抑制コーティング3420の一部分を被覆し得る。
デバイスおよび導電性コーティング3430の特定の特徴に関する詳細は、図20~図21の実施形態に関する上記の説明では省略されているが、図18および図19に関して説明された導電性コーティング3430のギャップ3441、第2の部分3434、および第3の部分3436を含む様々な特徴の説明は、そのような実施形態にも同様に適用されることが理解されよう。
図22Aは、基板3410の第1の領域3415が核生成抑制コーティング3420でコーティングされ、第1の領域3415に隣接する第2の領域3412が導電性コーティング3430でコーティングされるさらに別の実施形態を示す。
少なくとも一部の場合において、核生成抑制コーティング3420で部分的にコーティングされた基板表面上に導電性コーティング3430のオープンマスク堆積またはマスクフリー堆積を実施すると、導電性コーティング3430と核生成抑制コーティング3420との間の界面またはその近傍でテーパ状断面プロファイルを示す導電性コーティング3430の形成をもたらし得ることが観察されている。
図22Aは、導電性コーティング3430のテーパ状プロファイルにより、導電性コーティング3430と核生成抑制コーティング3420との間の界面またはその近傍で導電性コーティング3430の厚さが減少する一実施形態を示す。具体的には、界面またはその近傍の導電性コーティング3430の厚さは、導電性コーティング3430の平均厚さよりも薄い。図22Aの実施形態では、導電性コーティング3430のテーパ状プロファイルが湾曲またはアーチ状として示されているが、他の実施形態では、プロファイルは実質的に線形または非線形であってもよい。例えば、導電性コーティング3430の厚さは、境界面に近い領域で、実質的に直線的、指数関数的、二次的、または他の方法で減少し得る。
薄膜形成プロセスの核生成段階では、気相の分子が基板の表面に凝縮して核を形成する。特定の理論に拘束されることを望むものではないが、これらの核の形状およびサイズ、ならびにこれらの核の島へのその後の薄膜へのその後の成長は、蒸気、基板、および凝縮した膜核の間の界面張力などの多くの要因に依存すると想定されている。さらに、基板の露出表面と核生成抑制コーティングとの間の界面での、またはその近傍での薄膜の核生成および成長中に、核生成抑制コーティングによる薄膜の固体表面の「ディウェッティング」により、膜の縁部と基板との間の比較的高い接触角が観察されると想定されている。このディウェッティング特性は、基板、薄膜、蒸気、および核生成抑制層の間の表面エネルギーの最小化によって促進される。したがって、核生成抑制コーティングの存在および核生成抑制コーティングの特性は、導電性コーティングの縁部の核生成および成長モードに大きな影響を与えると想定される。
導電性コーティング3430と核生成抑制コーティング3420との間の界面またはその近傍の導電性コーティング3430の「接触角」は、相対親和性または初期付着確率などの核生成抑制コーティング3420の特性に応じて変化することが確認されている。さらに、核の接触角は、堆積によって形成された導電性コーティングの薄膜接触角を決定づけ得ると想定されている。例えば、図22Aを参照すると、接触角θは、導電性コーティング3430および3420を核生成抑制コーティングとの間の界面またはその近傍の導電性コーティング3430の接線の傾きを測定することによって決定することができる。導電性コーティング3430の断面テーパプロファイルが実質的に線形である他の例では、接触角は、界面またはその近傍の導電性コーティング3430の勾配を測定することによって決定され得る。理解されるように、接触角は概して、その下にある表面の角度に対して測定される。簡略化のために、本明細書で提供される実施形態は、平面上に堆積されたコーティングを示すように示されているが、コーティングは非平面上に堆積されてもよいことが理解されよう。
一部の実施形態では、導電性コーティング3430の接触角は、約90度より大きくてもよい。次に、図22Bを参照すると、導電性コーティング3430が核生成抑制コーティング3420と導電性コーティング3430との間の界面を越えて延在する部分を含み、ギャップ3441によって核生成抑制コーティング3420から離間されている実施形態が示されている。このような実施形態では、例えば、接触角θは、約90度より大きくてもよい。
少なくとも一部の用途では、比較的高い接触角を示す導電性コーティング3430を形成することが特に有利な場合がある。例えば、約10度超、約15度超、約20度超、約25度超、約30度超、約35度超、約40度超、約50度超、約60度超、約70度超、約75度超、または約80度超の接触角である。例えば、比較的高い接触角を有する導電性コーティング3430は、比較的高いアスペクト比を維持しながら、微細にパターニングされた特徴部を作成するために特に有利であり得る。一部の用途では、約90度超の接触角を示す導電性コーティング3430を形成することが好ましい場合がある。例えば、約90度超、約95度超、約100度超、約105度超、約110度超、約120度超、約130度超、約135度超、約140度超、約145度超、約150度超、または約160度超の接触角である。
上述のように、導電性コーティングの接触角は、導電性コーティングが形成される領域に隣接して配設される核生成抑制コーティングの特性(例えば、初期付着確率)に少なくとも部分的に基づいて決定されると想定される。したがって、比較的高い接触角を示す導電性コーティングの選択的堆積を可能にする核生成抑制コーティング材料は、特定の用途において特に有用であり得る。
特定の理論に拘束されることを望むものではないが、核生成および成長中に存在する様々な界面張力間の関係は、毛管現象理論ではヤングの式とも呼ばれる次の式に従って決定されると想定されている。
γsv=γfs+γvfcosθ
式中、γsvは基板と蒸気との間の界面張力に対応し、γfsは膜と基板との間の界面張力に対応し、γvfは蒸気と膜との間の界面張力に対応し、θは膜核の接触角である。図37は、上記のヤングの式で表された様々なパラメータ間の関係を示している。
ヤングの式に基づいて、島の成長の場合、膜核の接触角θはゼロより大きく、したがってγsv<γfs+γvfであると導出することができる。
堆積された膜が基板を「濡らす」層成長の場合、核接触角θ=0であり、したがってγsv=γfs+γvfである。
Stranski-Krastanov(S-K)成長の場合、膜の異常成長の単位面積あたりのひずみエネルギーは、蒸気と膜との間の界面張力に対して大きく、γsv>γfs+γvfである。
核生成抑制コーティングと露出した基板表面との間の界面における導電性コーティングの核生成および成長モードは、θ>0である島成長モデルに従うと想定される。特に、核生成抑制コーティングが、導電性コーティングを形成するために使用される材料に対して比較的低い親和性または低い初期付着確率(すなわち、ディウェッティング)を示し、導電性コーティングの比較的高い薄膜接触角をもたらす場合である。反対に、例えばシャドウマスクを使用することにより、核生成抑制コーティングを使用せずに導電性コーティングを表面に選択的に堆積させると、導電性コーティングの核生成および成長モードが異なる場合がある。特に、シャドウマスクパターニングプロセスを使用して形成された導電性コーティングは、少なくとも一部の場合において、約10度未満の比較的低い薄膜接触角を示し得ることが観察されている。
明確には図示されていないが、核生成抑制コーティング3420を形成するために使用される材料は、導電性コーティング3430とその下にある表面(例えば、核生成促進層3451または基板3410の表面)との間の界面にもある程度存在し得ることが理解されよう。そのような材料は、シャドウイング効果の結果として堆積される可能性があり、その場合、堆積したパターンはマスクのパターンと同一ではなく、蒸発した材料がターゲット表面のマスキングされた部分に堆積される可能性がある。例えば、そのような材料は、島または切り離されたクラスタとして、または核生成抑制コーティング3420の平均厚さより実質的に薄い厚さを有する薄膜として形成することができる。
図22Cおよび図22Dは、導電性コーティング3430が、第1の領域3415と第2の領域3412との間に配設された第3の領域3419の核生成抑制コーティング3420の一部分と部分的に重なるさらに別の実施形態を示す。図に示されるように、核生成抑制コーティング3420の一部分と部分的に重なる導電性コーティングの一部は、核生成抑制コーティング3420の表面3422と直接物理的に接触することができる。これに関して、第3の領域3419における重複は、オープンマスク堆積プロセスまたはマスクフリー堆積プロセス中の導電性コーティング3430の横方向成長の結果として形成され得る。より具体的には、核生成抑制コーティング3420の表面3422は、導電性コーティング3430の材料に対して比較的低い親和性または初期付着確率を示し得、これにより、導電性コーティング3430が成長するにつれて、材料が表面3422上で核生成する確率は低くなるが、厚さにおいて、コーティング3430も横方向に成長し得、核生成抑制コーティング3420の一部を被覆し得る。
図に示すように図22Cおよび図22Dの場合には、導電性コーティング3430の接触角θは、導電性コーティング3430および3420を核生成抑制コーティングとの間の界面付近の導電性コーティングの縁部で測定することができる。特に図22Dを参照すると、接触角θは、約90度より大きくてもよく、これにより、導電性コーティング3430の一部分が、ギャップ3441によって核生成抑制コーティング3420から離間される。
一部の実施形態では、核生成抑制コーティング3420は、導電性コーティング3430の堆積に続いて除去され得、その結果、図18~図22Dの実施形態における核生成抑制コーティング3420によって被覆されるその下にある表面の少なくとも一部分が露出される。例えば、核生成抑制コーティング3420は、核生成抑制コーティング3420をエッチングまたは溶解することにより、または導電性コーティング3430に実質的に影響または浸食することなくプラズマまたは溶媒処理技術を使用することにより選択的に除去され得る。
図23Aは、一実施形態によるデバイス5901を示し、これは、基板5910と、基板5910の表面のそれぞれの領域の上に堆積された核生成抑制コーティング5920および導電性コーティング5915(例えば、マグネシウムコーティング)とを含む。
図23Bは、デバイス5901に存在する核生成抑制コーティング5920が基板5910の表面から除去された後のデバイス5902を示しており、導電性コーティング5915が基板5910上に残り、核生成抑制コーティング5920によって被覆されていた基板5910の領域が露出または被覆されないようにする。例えば、デバイス5901の核生成抑制コーティング5920は、導電性コーティング5915に実質的に影響を与えることなく核生成抑制コーティング5920を優先的に反応および/またはエッチング除去する溶媒またはプラズマに基板5910を曝すことによって除去され得る。
一部の実施形態のデバイスは、電子デバイスであり得、より具体的には、光電子デバイスであり得る。光電子デバイスは概して、電気信号を光子に、またはその逆に変換する任意のデバイスを包含する。したがって、有機光電子デバイスは、デバイスの1つ以上の活性層が主に有機材料、より具体的には有機半導電性材料で形成される任意の光電子デバイスを包含することができる。有機光電子デバイスの例には、OLEDデバイスおよびOPVデバイスが含まれるが、これらに限定されない。
有機光電子デバイスが様々なタイプのベース基板上に形成されてもよいことも理解されよう。例えば、ベース基板は、可撓性または剛性の基板であってもよい。ベース基板は、例えば、シリコン、ガラス、金属、ポリマー(例えば、ポリイミド)、サファイア、またはベース基板としての使用に適した他の材料を含み得る。
デバイスの様々な構成要素は、蒸着、スピンコーティング、ラインコーティング、印刷、および様々な他の堆積技術を含む、多種多様な技術を使用して堆積され得ることも理解されよう。
一部の実施形態では、有機光電子デバイスはOLEDデバイスであり、有機半導電性層はエレクトロルミネセント層を含む。一部の実施形態では、有機半導電性層は、電子注入層、電子輸送層、正孔輸送層、および/または正孔注入層などの追加の層を含むことができる。例えば、OLEDデバイスは、AMOLEDデバイス、PMOLEDデバイス、またはOLED照明パネルまたはモジュールであってもよい。さらに、光電子デバイスは、電子デバイスの一部であってもよい。例えば、光電子デバイスは、スマートフォン、タブレット、ラップトップなどのコンピューティングデバイスのOLEDディスプレイモジュール、またはモニターもしくはテレビなどの他の電子デバイスであってもよい。
一部の実施形態では、光電子デバイスはOLEDデバイスであり、デバイスは概してアノード、有機半導電性層およびカソードを含む。
図24~図27は、アクティブマトリクスOLED(AMOLED)ディスプレイデバイスの様々な実施形態を示している。簡略化のために、図18~図22Dを参照して上述した導電性コーティングと核生成抑制コーティングとの間の境界面またはその近傍の導電性コーティングの様々な詳細および特性は省略されている。しかしながら、図18~図22Dを参照して説明される特徴は、図24~図27の実施形態にも適用可能であり得ることが理解されよう。
図24は、一実施形態によるAMOLEDデバイス3802の構造を示す概略図である。
デバイス3802は、ベース基板3810と、ベース基板3810の表面上に堆積されたバッファ層3812とを含む。次に、薄膜トランジスタ(TFT)3804がバッファ層3812の上に形成される。具体的には、半導電性活性領域3814は、バッファ層3812の一部分の上に形成され、ゲート絶縁層3816は、半導電性活性領域3814を実質的に被覆するように堆積される。次に、ゲート電極3818がゲート絶縁層3816の上に形成され、層間絶縁層3820が堆積される。ソース電極3824およびドレイン電極3822は、層間絶縁層3820およびゲート絶縁層3816に形成された開口部を通って延在し、半導電性活性層3814と接触するように形成されている。次に、絶縁層3842がTFT3804の上に形成される。次に、絶縁層3842の一部分の上に第1の電極3844が形成される。図24に示されるように、第1の電極3844は、ドレイン電極3822と電気的に連絡するように、絶縁層3842の開口部を通って延在する。次に、ピクセル画定層(PDL)3846が、その外縁部を含む第1の電極3844の少なくとも一部分を被覆するように形成される。例えば、PDL3846は、絶縁有機材料または絶縁無機材料を含み得る。次に、特に隣接するPDL3846の間の領域において、第1の電極3844の上に有機層3848が堆積される。第2の電極3850は、有機層3848およびPDL3846の両方を実質的に被覆するように堆積される。次に、第2の電極3850の表面は、核生成促進コーティング3852で実質的に被覆される。例えば、核生成促進コーティング3852は、オープンマスク堆積またはマスクフリー堆積技術を使用して堆積されてもよい。核生成抑制コーティング3854は、核生成促進コーティング3852の一部分の上に選択的に堆積される。例えば、核生成抑制コーティング3854は、シャドウマスクを使用して選択的に堆積されてもよい。したがって、補助電極3856は、オープンマスク堆積プロセスまたはマスクフリー堆積プロセスを使用して、核生成促進コーティング3852の露出表面上に選択的に堆積される。さらに具体的には、オープンマスクを使用して、またはマスクを使用して補助電極3856(例えば、マグネシウムを含む)の熱堆積を実施することにより、補助電極3856は、核生成促進コーティング3852の露出表面上に選択的に堆積され、一方、核生成抑制コーティング3854の表面には、補助電極3856の材料が実質的に存在しないままである。
図25は、核生成促進コーティングが省略された別の実施形態によるAMOLEDデバイス3902の構造を示す。例えば、補助電極が堆積される表面が補助電極の材料に対して比較的高い初期付着確率を有する場合、核生成促進コーティングは省略されてもよい。換言すれば、比較的高い初期付着確率を有する表面の場合、核生成促進コーティングは省略されてもよく、導電性コーティングが依然としてその上に堆積されてもよい。簡略化のために、以下の実施形態の説明では、TFTに関するものを含むバックプレーンの特定の詳細は省略されている。
図25では、第1の電極3944と第2の電極3950との間に有機層3948が堆積される。有機層3948は、PDL3946の一部分と部分的に重なり得る。核生成抑制コーティング3954は、第2の電極3950の一部分(例えば、発光領域に対応する)の上に堆積され、それにより、補助電極3956を形成するために使用される材料に対して比較的低い初期付着確率(例えば、比較的低い脱離エネルギー)を有する表面を提供する。したがって、補助電極3956は、核生成抑制コーティング3954から露出される第2の電極3950の一部分の上に選択的に堆積される。理解されるように、補助電極3956は、その下にある第2の電極3950と電気的に連絡して、第2の電極3950のシート抵抗を低減する。例えば、第2の電極3950および補助電極3956は、補助電極3956の材料の高い初期付着確率を確実にするために、実質的に同じ材料を含むことができる。具体的には、第2の電極3950は、実質的に純粋なマグネシウム(Mg)またはマグネシウムと銀(Ag)などの別の金属との合金を含むことができる。Mg:Ag合金の場合、合金組成は、体積で約1:9~約9:1の範囲であってもよい。他の例では、第2の電極3950は、ITOおよびIZOなどの金属酸化物、または金属と金属酸化物の組み合わせを含むことができる。補助電極3956は、実質的に純粋なマグネシウムを含んでもよい。
図26は、さらに別の実施形態によるAMOLEDデバイス4002の構造を示す。図示の実施形態では、有機層4048は、PDL4046の一部分と部分的に重なるように、第1の電極4044と第2の電極4050との間に堆積される。核生成抑制コーティング4054は、第2の電極4050の表面を実質的に被覆するように堆積され、核生成促進コーティング4052は、核生成抑制コーティング4054の一部分に選択的に堆積される。次に、補助電極4056が核生成促進コーティング4052の上に形成される。任意で、核生成抑制コーティング4054および補助電極4056の露出表面を被覆するために、キャッピング層4058が堆積されてもよい。
補助電極3856または4056は、図24および図26の実施形態では第2の電極3850または4050と直接物理的に接触していないように示されているが、それにもかかわらず、補助電極3856または4056および第2の電極3850または4050は、電気的に連絡していてもよいことが理解されよう。例えば、補助電極3856または4056と第2の電極3850または4050との間に核生成促進材料または核生成抑制材料の比較的薄い膜(例えば、最大約100nm)が存在しても、電流がそこを通過することにより、第2の電極3850または4050のシート抵抗を低減することができる。
図27は、核生成抑制コーティング4154と補助電極4156との間の界面がPDL4146によって作成された傾斜表面上に形成される、さらに別の実施形態によるAMOLEDデバイス4102の構造を示す。デバイス4102は、第1の電極4144と第2の電極4150との間に堆積された有機層4148を含み、核生成抑制コーティング4154は、デバイス4102の発光領域に対応する第2の電極4150の一部分の上に堆積される。補助電極4156は、核生成抑制コーティング4154から露出される第2の電極4150の部分の上に堆積される。
図示されていないが、図27のAMOLEDデバイス4102は、補助電極4156と第2の電極4150との間に配設された核生成促進コーティングをさらに含み得る。核生成促進コーティングは、特に核生成促進コーティングがオープンマスク堆積プロセスまたはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積される場合、核生成抑制コーティング4154と第2の電極4150との間に配設されてもよい。
図28Aは、AMOLEDデバイス4300が複数の光透過性領域を含む、さらに別の実施形態によるAMOLEDデバイス4300の一部分を示す。図示のように、AMOLEDデバイス4300は、複数のピクセル4321と、隣接するピクセル4321との間に配設された補助電極4361とを含む。各ピクセル4321は、複数のサブピクセル4333、4335、4337、および光透過領域4351をさらに含むサブピクセル領域4331を含む。例えば、サブピクセル4333は、赤のサブピクセルに対応してもよく、サブピクセル4335は、緑のサブピクセルに対応してもよく、サブピクセル4337は、青のサブピクセルに対応してもよい。説明するように、光透過領域4351は、実質的に透明であり、光がデバイス4300を通過することを可能にする。
図28Bは、図28Aに示されている線A-Aに沿ったデバイス4300の断面図を示している。簡単に言えば、デバイス4300は、ベース基板4310、TFT4308、絶縁層4342、および絶縁層4342上に形成され、TFT4308と電気的に連絡するアノード4344を含む。第1のPDL4346aおよび第2のPDL4346bは、絶縁層4342の上に形成され、アノード4344の縁部を被覆する。アノード4344の露出領域およびPDL4346a、4346bの部分を被覆するために、1つ以上の有機層4348が堆積される。次に、カソード4350が、1つ以上の有機層4348の上に堆積される。次に、核生成抑制コーティング4354が、光透過領域4351およびサブピクセル領域4331に対応するデバイス4300の部分を被覆するように堆積される。次に、デバイスの表面全体がマグネシウム蒸気フラックスに曝され、カソード4350のコーティングされていない領域にマグネシウムが選択的に堆積される。このようにして、その下にあるカソード4350と電気的に接触する補助電極4361が形成される。
デバイス4300では、光透過領域4351には、そこを通る光の透過に実質的に影響を及ぼし得るいかなる材料も実質的に存在しない。特に、TFT4308、アノード4344、および補助電極4361は、これらの構成要素が光を減衰させたり、光透過領域4351を透過するのを妨げたりしないように、全てサブピクセル領域4331内に位置付けられる。このような配置により、典型的な観察距離からデバイス4300を見る観察者は、ピクセルがオフであるか、または非発光である場合にデバイス4300を通して見ることができ、これにより、透明なAMOLEDディスプレイが作成される。
図示されていないが、図28BのAMOLEDデバイス4300は、補助電極4361とカソード4350との間に配設された核生成促進コーティングをさらに含むことができる。核生成促進コーティングはまた、核生成抑制コーティング4354とカソード4350との間に配設されてもよい。
他の実施形態では、有機層4348およびカソード4350を含む様々な層またはコーティングは、そのような層またはコーティングが実質的に透明である場合、光透過領域4351の一部分を被覆することができる。あるいは、必要に応じて、PDL4346a、4346bを光透過領域4351に設けなくてもよい。
図28Aおよび図28Bに示される配置以外のピクセルおよびサブピクセル配置も使用されてもよく、補助電極4361は、ピクセルの他の領域に設けられてもよいことが理解されよう。例えば、補助電極4361は、サブピクセル領域4331と光透過領域4351との間の領域に設けられてもよく、かつ/または必要に応じて、隣接するサブピクセル間に設けられてもよい。
図29Aは、AMOLEDデバイス4300が複数の光透過性領域を含む実施形態によるAMOLEDデバイス4300の一部分を示す。図示のように、AMOLEDデバイス4300は、複数のピクセル4321を含む。各ピクセル4321は、複数のサブピクセル4333、4335、4337、および光透過領域4351をさらに含むサブピクセル領域4331を含む。例えば、サブピクセル4333は、赤のサブピクセルに対応してもよく、サブピクセル4335は、緑のサブピクセルに対応してもよく、サブピクセル4337は、青のサブピクセルに対応してもよい。説明するように、光透過領域4351は、実質的に透明であり、光がデバイス4300を通過することを可能にする。
図29Bは、一実施形態による、線B-Bに沿ったデバイス4300の断面図を示す。デバイス4300は、ベース基板4310、TFT4308、絶縁層4342、および絶縁層4342上に形成され、TFT4308と電気的に連絡するアノード4344を含む。第1のPDL4346aおよび第2のPDL4346bは、絶縁層4342の上に形成され、アノード4344の縁部を被覆する。アノード4344の露出領域およびPDL4346a、4346bの部分を被覆するために、1つ以上の有機層4348が堆積される。次に、第1の導電性コーティング4350が、1つ以上の有機層4348の上に堆積される。図示の実施形態では、第1の導電性コーティング4350は、サブピクセル領域4331と光透過領域4351の両方の上に配設される。そのような実施形態では、第1の導電性コーティング4350は、実質的に透明または光透過性であってもよい。例えば、第1の導電性コーティング4350の厚さは、第1の導電性コーティング4350の存在が光透過領域4351を通る光の透過を実質的に減衰させないように比較的薄くてもよい。第1の導電性コーティング4350は、例えば、オープンマスク堆積プロセスまたはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積されてもよい。次に、核生成抑制コーティング4362が、光透過領域4351に対応するデバイス4300の部分を被覆するように堆積される。次いで、デバイス表面全体が、第2の導電性コーティング4352を形成するための材料の蒸気フラックスに曝され、これにより、第1の導電性コーティング4350のコーティングされていない領域上に第2の導電性コーティング4352を選択的に堆積させる。具体的には、第2の導電性コーティング4352は、サブピクセル領域4331に対応するデバイス4300の一部分の上に配設される。このようにして、デバイス4300のカソードは、第1の導電性コーティング4350と第2の導電性コーティング4352との組み合わせによって形成される。
一部の実施形態では、第1の導電性コーティング4350の厚さは、第2の導電性コーティング4352の厚さよりも薄い。このようにして、光透過領域4351において比較的高い光透過率を維持することができる。例えば、第1の導電性コーティング4350の厚さは、例えば、約30nm未満、約25nm未満、約20nm未満、約15nm未満、約10nm未満、約8nm未満、または約5nm未満であってもよく、第2の導電性コーティング4352の厚さは、例えば、約30nm未満、約25nm未満、約20nm未満、約15nm未満、約10nm未満、または約8nm未満であってもよい。他の実施形態では、第1の導電性コーティング4350の厚さは、第2の導電性コーティング4352の厚さより大きい。さらに別の実施形態では、第1の導電性コーティング4350の厚さおよび第2の導電性コーティング4352の厚さは、実質的に同じであってもよい。
第1の導電性コーティング4350および第2の導電性コーティング4352を形成するために使用され得る材料は、第1の導電性コーティング1371および第2の導電性コーティング1372をそれぞれ形成するために使用されるものと実質的に同じであってもよい。そのような材料は、他の実施形態に関連して上述されているので、これらの材料の説明は、簡潔にするために省略されている。
デバイス4300では、光透過領域4351には、そこを通る光の透過に実質的に影響を及ぼし得るいかなる材料も実質的に存在しない。特に、TFT4308、アノード4344、および補助電極は、これらの構成要素が光を減衰させたり、光透過領域4351を透過するのを妨げたりしないように、全てサブピクセル領域4331内に位置付けられる。このような配置により、典型的な観察距離からデバイス4300を見る観察者は、ピクセルがオフであるか、または非発光である場合にデバイス4300を通して見ることができ、これにより、透明なAMOLEDディスプレイが作成される。
一部の実施形態では、AMOLEDデバイスの電極がパターニングされてもよい。例えば、様々な実施形態において上記のプロセスを使用して選択的に堆積された導電性コーティングは、AMOLEDデバイスの電極(例えば、カソード)として機能することができる。
したがって、一実施形態では、発光する光電子デバイスが提供され、デバイスは、発光領域および非発光領域と、非発光領域の少なくとも一部分に配設された核生成抑制コーティングと、発光領域に配設された導電性コーティングとを含む。さらなる実施形態では、発光領域は、第1の電極と、第1の電極の上に配設された半導電性層と、半導電性層の上に配設された導電性コーティングとを含む。このようにして、例えば、第1の電極は、アノードとして機能することができ、導電性コーティングは、光電子デバイスのカソードとして機能することができる。そのような実施形態では、非発光領域内の核生成抑制コーティングの表面は、導電性コーティングが実質的に存在しないか、または導電性コーティングから露出され得る。さらなる実施形態では、核生成促進コーティングを半導電性層と導電性コーティングとの間に配設することができる。発光光電子デバイスはAMOLEDデバイスであってもよく、そのようなデバイスに関連して本明細書に記載されている他の層、コーティング、および構成要素(TFT、封入などを含むがこれらに限定されない)をさらに含み得ることが理解されよう。例えば、発光領域に配設された導電性コーティングは、約40nm未満、例えば約5nm~約30nm、約10nm~約25nm、または約15nm~約25nmの厚さを有することができる。いくつかの例では、非発光領域は、光透過領域を含むことができる。
図29Cは、一実施形態によるデバイス4300’の断面図を示しており、第1の導電性コーティング4350’はサブピクセル領域4331に選択的に配設され、光透過領域4351は、第1の導電性コーティング4350’を形成するために使用される材料が実質的に存在しないか、またはその材料から露出している。例えば、デバイス4300’の製造中に、核生成抑制コーティング4362は、第1の導電性コーティング4350’を堆積させる前に、光透過領域4351に堆積されてもよい。このようにして、第1の導電性コーティング4350’は、オープンマスク堆積プロセスまたはマスクフリー堆積プロセスを使用してサブピクセル領域4331に選択的に堆積され得る。上述したように、第1の導電性コーティング4350’を形成するために使用される材料は、概して、核生成抑制コーティング4362の表面上に堆積させることに対して、比較的低い親和性(例えば、低い初期付着確率)を示す。例えば、第1の導電性コーティング4350’は、イッテルビウム(Yb)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)およびマグネシウム(Mg)などの高蒸気圧材料を含み得る。一部の実施形態では、第1の導電性コーティング4350’は、純粋なマグネシウムまたは実質的に純粋なマグネシウムを含んでもよい。第1の導電性コーティング4350’が存在しない、または第1の導電性コーティング4350’が実質的に存在しない光透過領域4351を設けることにより、そのような領域の光透過率は、例えば図29Bのデバイス4300と比較して、一部の場合に有利に高められ得る。一部の実施形態では、核生成促進コーティングは、第1の導電性コーティング4350’と半導電性層4348との間の界面に配置されてもよい。
図示されていないが、図29BのAMOLEDデバイス4300および図29CのAMOLEDデバイス4300’はそれぞれ、第1の導電性コーティング4350または4350’とその下にある表面(例えば、有機層4348)との間に配設された核生成促進コーティングをさらに含み得る。このような核生成促進コーティングはまた、核生成抑制コーティング4362とその下にある表面(例えば、PDL4346a~b)との間に配設されてもよい。
一部の実施形態では、核生成抑制コーティング4362は、有機層4348のうちの少なくとも1つと同時に形成されてもよい。例えば、核生成抑制コーティング4362を形成するための材料は、有機層4348のうちの少なくとも1つを形成するために使用されてもよい。このようにして、デバイス4300または4300’を製造するための段階の数を減らすことができる。
一部の実施形態では、上記の他の実施形態に関連して説明された、第2の導電性コーティングおよび第3の導電性コーティングを含む追加の導電性コーティングも、サブピクセル4333、4335、および4337上に設けることができる。さらに、一部の実施形態では、補助電極はまた、デバイス4300、4300’の非発光領域に設けられてもよい。例えば、このような補助電極は、サブピクセル領域4331または光透過領域4351における光透過率に実質的に影響を与えないように、隣接するピクセル4321間の領域に設けられてもよい。補助電極は、サブピクセル領域4331と光透過領域4351との間の領域に設けられてもよく、かつ/または必要に応じて、隣接するサブピクセル間に設けられてもよい。例えば、図29Bの実施形態を参照すると、追加の核生成抑制コーティングが、サブピクセル4333領域に対応する第2の導電性コーティング4352の一部分の上に堆積され得、非発光領域に対応する部分は被覆されていないか、または露出されたままである。このようにして、導電性材料のオープンマスク堆積またはマスクフリー堆積を実施して、デバイス4300の非発光領域の上に形成される補助電極をもたらすことができる。
一部の実施形態では、有機層4348を含む様々な層またはコーティングは、そのような層またはコーティングが実質的に透明である場合、光透過領域4351の一部分を被覆することができる。あるいは、必要に応じて、PDL4346a、4346bを光透過領域4351から省略してもよい。
図29A、図29B、および図29Cに示されている配置以外のピクセルおよびサブピクセル配置も使用できることが理解されよう。
前述の実施形態では、核生成抑制コーティングは、核生成およびその上への導電性材料(例えば、マグネシウム)の堆積を抑制することに加えて、デバイスからの光の取り出しを強化するように作用し得る。具体的には、核生成抑制コーティングは、屈折率整合コーティング、キャッピング層(CPL)、および/または反射防止コーティングとして機能することができる。
AMOLEDディスプレイデバイスを示す前述の実施形態に示されているデバイスを封入するために、バリアコーティング(図示せず)を設けることができる。理解されるように、そのようなバリアコーティングは、有機層および酸化されやすい可能性のあるカソードを含む様々なデバイス層が、水分および周囲空気に曝されることを抑制する場合がある。例えば、バリアコーティングは、印刷、CVD、スパッタリング、ALD、前述の任意の組み合わせによって、または任意の他の適切な方法によって形成された薄膜封入であり得る。バリアコーティングは、予め形成されたバリア膜を、接着剤を使用してデバイス上に積層することによって設けられてもよい。例えば、バリアコーティングは、有機材料、無機材料、または両方の組み合わせを含む多層コーティングであってもよい。一部の実施形態では、バリアコーティングは、ゲッター材料および/または乾燥剤をさらに含んでもよい。
AMOLEDディスプレイデバイスの共通電極のシート抵抗の仕様は、ディスプレイデバイスのサイズ(例えば、パネルサイズ)および電圧変動の許容範囲に従って変動する可能性がある。概して、パネルのサイズが大きくなり、パネル全体の電圧変動の許容範囲が小さくなると、シート抵抗の仕様が大きくなる(例えば、シート抵抗が低くなるように特定される)。
一実施形態による仕様に準拠するための補助電極のシート抵抗の仕様および関連する厚さを、様々なパネルサイズについて計算している。シート抵抗と補助電極の厚さを、0.1Vと0.2Vの電圧許容範囲に対して計算している。計算のために、全てのディスプレイパネルサイズに対して0.64のアパーチャ比を想定している。
パネルサイズの例での補助電極の特定された厚さを、以下の表2に要約する。
理解されるように、薄膜トランジスタ(TFT)(例えば、図24に示されるTFT3804)を含むバックプレーンの様々な層および部分は、様々な適切な材料およびプロセスを使用して製造されてもよい。例えば、TFTは、CVD、PECVD、レーザアニーリング、およびPVD(スパッタリングを含む)などの技術を使用して堆積および/または処理することができる有機材料または無機材料を使用して製造することができる。理解されるように、そのような層は、フォトマスクを使用して、その下にあるデバイス層を被覆するフォトレジストの選択部分をUV光に曝すフォトリソグラフィを使用してパターニングすることができる。使用されるフォトレジストの種類に応じて、フォトマスクの露出部分または非露出部分を洗い流して、その下にあるデバイス層の所望の部分を露出させることができる。次に、パターニング表面を化学的または物理的にエッチングして、デバイス層の露出部分を効果的に除去することができる。
さらに、上記の特定の実施形態では、トップゲートTFTが例示され、説明されてきたが、他のTFT構造も使用され得ることが理解されよう。例えば、TFTは、ボトムゲート型TFTであってもよい。TFTは、n型TFTまたはp型TFTであってもよい。TFT構造の例には、アモルファスシリコン(a-Si)、インジウムガリウム亜鉛酸化物(IGZO)、および低温多結晶シリコン(LTPS)を利用した構造が含まれる。
電極、1つ以上の有機層、ピクセル画定層、およびキャッピング層を含む、フロントプレーンの様々な層および部分は、熱蒸発および/または印刷を含む任意の適切な堆積プロセスを使用して堆積させることができる。例えば、そのような材料を堆積させる場合、所望のパターンを生成するためにシャドウマスクを適切に使用することができ、様々な層をパターニングするために様々なエッチングおよび選択的堆積プロセスも使用できることが理解されよう。そのような方法の例には、フォトリソグラフィ、印刷(インクまたは蒸気ジェット印刷およびリールツーリール印刷を含む)、OVPD、およびLITIパターニングが含まれるが、これらに限定されない。
発光領域への導電性コーティングの選択的堆積
一態様では、1つ以上の発光領域の上に導電性コーティングを選択的に堆積させる方法が提供される。一部の実施形態では、方法は、基板上に第1の導電性コーティングを堆積させることを含む。基板は、第1の発光領域および第2の発光領域を含み得る。基板上に堆積された第1の導電性コーティングは、基板の第1の発光領域をコーティングする第1の部分と、基板の第2の発光領域をコーティングする第2の部分とを含み得る。方法は、第1の導電性コーティングの第1の部分に第1の核生成抑制コーティングを堆積し、次に第1の導電性コーティングの第2の部分に第2の導電性コーティングを堆積させることをさらに含み得る。
図30は、一実施形態による、デバイスを製造する段階の概要を示すフロー図である。図31A~図31Dは、プロセスの各段階におけるデバイスを示す概略図である。
図31Aに示すように、基板3102が提供される。基板3102は、第1の発光領域3112および第2の発光領域3114を含む。基板3102は、1つ以上の非発光領域3121a~3121cをさらに含むことができる。例えば、第1の発光領域3112および第2の発光領域3114は、エレクトロルミネセントデバイスのピクセル領域またはサブピクセル領域に対応し得る。
段階12では、第1の導電性コーティング3131が基板の上に堆積される。図31Bに示すように、第1の導電性コーティング3131は、第1の発光領域3112、第2の発光領域3114、および非発光領域3121a~3121cをコーティングするように堆積される。第1の導電性コーティング3131は、第1の発光領域3112をコーティングする部分に対応する第1の部分3132と、第2の発光領域3114をコーティングする部分に対応する第2の部分3133とを含む。例えば、第1の導電性コーティング3131は、熱蒸発および電子ビーム蒸発を含む、蒸発によって堆積されてもよい。一部の実施形態では、第1の導電性コーティング3131は、オープンマスクを使用して、またはマスクなしで(すなわち、マスクフリーで)堆積させることができる。第1の導電性コーティング3131は、スパッタリング、化学蒸着、印刷(インクまたは蒸気ジェット印刷、リールツーリール印刷、およびマイクロコンタクト転写印刷を含む)、OVPD、LITI、およびそれらの組み合わせを含むがこれらに限定されない、他の方法を使用して堆積させることができる。
段階14では、第1の核生成抑制コーティング3141が、第1の導電性コーティング3131の一部分の上に選択的に堆積される。図31Cに示す実施形態では、第1の核生成抑制コーティング3141は、第1の発光領域3112に対応する第1の導電性コーティング3131の第1の部分3132をコーティングするように堆積される。そのような実施形態では、第2の発光領域3114の上に配設された第1の導電性コーティング3131の第2の部分3133は、第1の核生成抑制コーティング3141が実質的に存在しないか、または第1の核生成抑制コーティング3141から露出される。一部の実施形態では、第1の核生成抑制コーティング3141は、任意で、1つ以上の非発光領域の上に堆積された第1の導電性コーティング3131の部分もコーティングすることができる。例えば、第1の核生成抑制コーティング3141は、任意で、非発光領域3121aおよび/または3121bなど、第1の発光領域3112に隣接する1つ以上の非発光領域の上に堆積された第1の導電性コーティング3131の部分をコーティングすることもできる。表面上に材料を選択的に堆積させるための様々なプロセスを使用して、蒸発(熱蒸発および電子ビーム蒸発を含む)、フォトリソグラフィ、印刷(インクまたは蒸気ジェット印刷、リールツーリール印刷、およびマイクロコンタクト転写印刷を含む)、OVPD、LITIパターニング、およびそれらの組み合わせを含むがこれらに限定されない、第1の核生成抑制コーティング3141を堆積させることができる。
第1の核生成抑制コーティング3141が第1の導電性コーティング3131の表面の領域に堆積されると、核生成抑制コーティングが存在しない表面の残りの非被覆領域に第2の導電性コーティング3151が堆積され得る。図31Dに着目すると、段階16において、導電性コーティング源3105は、蒸発した導電性材料を第1の導電性コーティング3131および第1の核生成抑制コーティング3141の表面に方向付けるように示されている。図31Dに示すように、導電性コーティング源3105は、被覆または処理された領域(すなわち、核生成抑制コーティング3141がその上に堆積された第1の導電性コーティング3131の領域)と、第1の導電性コーティング3131の被覆されていないか、または処理されていない領域の両方に入射するように、蒸発した導電性材料を方向付けることができる。しかしながら、第1の核生成抑制コーティング3141の表面は、第1の導電性コーティング3131の非被覆表面の表面と比較して比較的小さい初期付着係数を示すので、第2の導電性コーティング3151は、第1の核生成抑制コーティング3141が存在しない第1の導電性コーティング表面の領域に選択的に堆積させる。したがって、第2の導電性コーティング3151は、第1の導電性コーティング3131の第2の部分3133をコーティングすることができ、これは、第2の発光領域3114をコーティングする第1の導電性コーティング3131の部分に対応する。図31Dに示されるように、第2の導電性コーティング3151は、非発光領域3121a、3121b、および3121cをコーティングする部分を含む、第1の導電性コーティング3131の他の部分または領域もコーティングし得る。第2の導電性コーティング3151は、例えば、純粋なマグネシウム、または実質的に純粋なマグネシウムを含み得る。例えば、第2の導電性コーティング3151は、第1の導電性コーティング3131を形成するために使用されるものと同一の材料を使用して形成されてもよい。第2の導電性コーティング3151は、オープンマスクを使用して、またはマスクなしで(すなわち、マスクフリー堆積プロセスで)堆積させることができる。
一部の実施形態では、方法は、段階16に続く追加の段階をさらに含み得る。そのような追加の段階は、例えば、1つ以上の追加の核生成抑制コーティングを堆積させること、1つ以上の追加の導電性コーティングを堆積させること、補助電極を堆積させること、取り出しコーティングを堆積させること、および/またはデバイスの封入を含み得る。
上記の方法は、第1および第2の発光領域を有するデバイスに関連して図示および説明されているが、3つ以上の発光領域を有するデバイスにも同様に適用できることが理解されよう。例えば、そのような方法は、各発光領域の発光スペクトルに従って様々な厚さの導電性コーティングを堆積させるために使用されてもよい。
第1の導電性コーティング3131および第2の導電性コーティング3151は、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部分において光透過性または実質的に透明であり得る。さらなる明確化のために、第1の導電性コーティング3131および第2の導電性コーティング3151はそれぞれ、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部分において光透過性または実質的に透明であってもよい。したがって、第2の導電性コーティング(および任意の追加の導電性コーティング)が第1の導電性コーティングの上に配設されてマルチコーティング電極を形成する場合、そのような電極はまた、電磁スペクトルの可視波長部分で光透過性または実質的に透明であり得る。例えば、第1の導電性コーティング3131、第2の導電性コーティング3151、および/またはマルチコーティング電極の光透過率は、電磁スペクトルの可視部分で約30%超、約40%超、約45%超、約50%超、約60%超、70%超、約75%超、または約80%以上であってもよい。
一部の実施形態では、第1の導電性コーティング3131および第2の導電性コーティング3151の厚さは、比較的高い光透過率を維持するために比較的薄くすることができる。例えば、第1の導電性コーティング3131の厚さは、約5~30nm、約8~25nm、または約10~20nmであってもよい。第2の導電性コーティング3151の厚さは、例えば、約1~25nm、約1~20nm、約1~15nm、約1~10nm、または約3~6nmであってもよい。したがって、第1の導電性コーティング3131、第2の導電性コーティング3151および任意の追加の導電性コーティングの組み合わせによって形成されるマルチコーティング電極の厚さは、例えば、約6~35nm、約10~30nm、または約10~25nm、あるいは約12~18nmであってもよい。
第1の発光領域3112および第2の発光領域3114は、一部の実施形態では、OLEDディスプレイデバイスのサブピクセル領域に対応し得る。したがって、様々なコーティングが堆積される基板3102は、前述の実施形態で具体的に図示または説明されていない1つ以上の追加の有機層および/または無機層を含むことができることが理解されよう。例えば、OLEDディスプレイデバイスは、アクティブマトリクスOLED(AMOLED)ディスプレイデバイスであってもよい。そのような実施形態では、基板3102は、電極および各発光領域(例えば、サブピクセル)の電極上に堆積された少なくとも1つの有機層を含み得、第1の導電性コーティング3131は、少なくとも1つの有機層上に堆積され得る。例えば、電極は、アノードであってもよく、第1の導電性コーティング3131は、それ自体で、または第2の導電性コーティング3151および任意の追加の導電性コーティングと組み合わせて、カソードを形成してもよい。少なくとも1つの有機層は、エミッタ層を含み得る。少なくとも1つの有機層は、正孔注入層、正孔輸送層、電子阻止層、正孔阻止層、電子輸送層、電子注入層、および/または任意の追加の層をさらに含むことができる。基板3102は、複数の薄膜トランジスタ(TFT)をさらに含むことができる。デバイスに設けられる各アノードは、少なくとも1つのTFTに電気的に接続され得る。例えば、基板3102は、1つ以上のトップゲート薄膜トランジスタ(TFT)、1つ以上のボトムゲートTFT、および/または他のTFT構造を含むことができる。TFTは、n型TFTまたはp型TFTであってもよい。TFT構造の例には、アモルファスシリコン(a-Si)、インジウムガリウム亜鉛酸化物(IGZO)、低温多結晶シリコン(LTPS)などが含まれる。
基板3102はまた、上記で特定された追加の有機層および/または無機層を支持するためのベース基板を含み得る。例えば、ベース基板は、可撓性または剛性の基板であってもよい。ベース基板は、例えば、シリコン、ガラス、金属、ポリマー(例えば、ポリイミド)、サファイア、またはベース基板としての使用に適した他の材料を含み得る。
第1の発光領域3112および第2の発光領域3114は、互いに異なる波長または発光スペクトルの光を放出するように構成されたサブピクセルであり得る。第1の発光領域3112は、第1の波長または第1の発光スペクトルを有する光を放出するように構成され得、第2の発光領域3114は、第2の波長または第2の発光スペクトルを有する光を放出するように構成され得る。第1の波長は、第2の波長および/または第3の波長より短くても長くてもよく、第2の波長は、第1の波長および/または第3の波長より短くても長くてもよい。デバイスは、任意の数の追加の発光領域、ピクセル、またはサブピクセルを含むことができる。例えば、デバイスは、第1の発光領域または第2の発光領域の波長または発光スペクトルとは異なる第3の波長または第3の発光スペクトルを有する光を放出するように構成される追加の発光領域を含み得る。デバイスはまた、第1の発光領域、第2の発光領域、または他の追加の発光領域と実質的に同一の波長または発光スペクトルを有する光を放出するように構成される追加の発光領域を含み得る。
一部の実施形態では、第1の核生成抑制コーティング3141は、第1の発光領域3112のうちの少なくとも1つの有機層を堆積させるために使用されるものと同じシャドウマスクを使用して選択的に堆積され得る。このようにして、核生成抑制層を堆積させるための追加のマスク要件がなくなるため、光マイクロキャビティ効果は、費用効果の高い方法で各サブピクセルに対して調整することができる。
図32は、AMOLEDデバイス1300の一部を示す概略断面図である。簡略化のために、以下の実施形態の説明では、TFT1308a、1308b、1308cに関するものを含むバックプレーンの特定の詳細は省略されている。
図32の実施形態では、デバイス1300は、第1の発光領域1331a、第2の発光領域1331b、および第3の発光領域1331cを含む。例えば、発光領域は、デバイス1300のサブピクセルに対応することができる。デバイス1300では、第1の電極1344a、1344b、1344cが、それぞれ、第1の発光領域1331a、第2の発光領域1331b、および第3の発光領域1331cのそれぞれに形成される。図32に示すように、第1の電極1344a、1344b、1344cのそれぞれは、それぞれのTFT1308a、1308b、1308cと電気的に連絡するように、絶縁層1342の開口部を通って延在する。次に、ピクセル画定層(PDL)1346a~dが、各電極の外縁部を含む第1の電極1344a~cの少なくとも一部分を被覆するように形成される。例えば、PDL1346a~dは、絶縁有機材料または無機材料を含み得る。有機層1348a、1348b、1348cは、次に、特に隣接するPDL1346a~dの間の領域において、それぞれの第1の電極1344a、1344b、1344cの上に堆積される。第1の導電性コーティング1371は、有機層1348a~cおよびPDL1346a~dの両方を実質的に被覆するように堆積される。例えば、第1の導電性コーティング1371は、共通カソードまたはその一部分を形成することができる。第1の核生成抑制コーティング1361は、第1の発光領域1331a上に配設された第1の導電性コーティング1371の一部分の上に選択的に堆積される。例えば、第1の核生成抑制コーティング1361は、ファインメタルマスクまたはシャドウマスクを使用して選択的に堆積されてもよい。したがって、第2の導電性コーティング1372は、オープンマスク堆積プロセスまたはマスクフリー堆積プロセスを使用して、第1の導電性コーティング1371の露出表面上に選択的に堆積される。さらに具体的には、オープンマスクを使用して、またはマスクなしで第2の導電性コーティング1372(例えば、マグネシウムを含む)の熱堆積を実施することにより、第2の導電性コーティング1372は、第1の導電性コーティング1371の露出表面上に選択的に堆積され、一方、第1の核生成抑制コーティング1361の表面には、第1の導電性コーティング1372の材料が実質的に存在しないままである。第2の導電性コーティング1372は、第2の発光領域1331bおよび第3の発光領域1331cの上に配設された第1の導電性コーティング1371の部分をコーティングするために堆積されてもよい。
図32に示されるデバイス1300では、第1の導電性コーティング1371および第2の導電性コーティング1372は、集合的に共通カソード1375を形成することができる。具体的には、共通カソード1375は、第1の導電性コーティング1371と第2の導電性コーティング1372の組み合わせによって形成され得、第2の導電性コーティング1372は、第1の導電性コーティング1371の少なくとも一部分の上に直接配設される。共通カソード1375は、第1の発光領域1331aにおいて第1の厚さtc1を有し、第2の発光領域1335bおよび第3の発光領域1335cにおいて第2の厚さtc2を有する。第1の厚さtc1は、第1の導電性コーティング1371の厚さに対応し得、第2の厚さtc2は、第1の導電性コーティング1371および第2の導電性コーティング1372の合計厚さに対応し得る。したがって、第2の厚さtc2は、第1の厚さtc1よりも大きい。
図33は、共通カソード1375が第3の導電性コーティング1373をさらに含む、デバイス1300のさらなる実施形態を示す。具体的には、図33の実施形態では、デバイス1300は、第2の発光領域1331bの上に設けられた第2の導電性コーティング1372の一部分上に設けられた第2の核生成抑制コーティング1362を含む。次に、第3の導電性コーティング1373が、第3の発光領域1331c上に配設された第2の導電性コーティング1372の部分を含む、第2の導電性コーティング1372の露出または未処理表面上に堆積される。このようにして、第1の発光領域1331aにおける第1の厚さtc1、第2の発光領域1331bにおける第2の厚さtc2、および第3の発光領域1331cにおける第3の厚さtc3を有する共通カソード1375を設けることができる。理解されるように、第1の厚さtc1は、第1の導電性コーティング1371の厚さに対応し、第2の厚さtc2は、第2の導電性コーティング1372の厚さに対応し、第3の厚さtc3は、第3の導電性コーティング1373の厚さに対応する。したがって、第1の厚さtc1は第2の厚さtc2より小さくてもよく、第3の厚さtc3は第2の厚さtc2より大きくてもよい。
図34に示されているさらに別の実施形態では、デバイス1300は、第3の発光領域1331cの上に配設された第3の核生成抑制コーティング1363をさらに含むことができる。具体的には、第3の核生成抑制コーティング1363は、第3の発光領域1331cに対応するデバイスの一部分をコーティングする第3の導電性コーティング1373の一部分の上に堆積されるように示されている。
図35に示されるさらに別の実施形態では、デバイス1300は、デバイス1300の非発光領域に配設された補助電極1381をさらに含む。例えば、補助電極1381は、第2の導電性コーティング1372および/または第3の導電性コーティング1373を堆積させるために使用されるプロセスと実質的に同じプロセスを使用して形成されてもよい。補助電極1381は、デバイス1300の非発光領域に対応するピクセル画定層1346a~1346dの上に堆積されるものとして示されている。発光領域1331a、1331b、1331cには、補助電極1381を形成するために使用される材料が実質的に存在しない場合がある。
第1の導電性コーティング1371、第2の導電性コーティング1372、および第3の導電性コーティング1373は、電磁スペクトルの可視波長部分において光透過性または実質的に透明であり得る。さらなる明確化のために、第1の導電性コーティング1371、第2の導電性コーティング1372、および第3の導電性コーティング1373はそれぞれ、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部分において、光透過性または実質的に透明であり得る。したがって、第2の導電性コーティングおよび/または第3の導電性コーティングが第1の導電性コーティングの上に配設されて共通カソード1375を形成するとき、そのような電極はまた、電磁スペクトルの可視波長部分で光透過性または実質的に透明であり得る。例えば、第1の導電性コーティング1371、第2の導電性コーティング1372、第3の導電性コーティング1373、および/または共通カソード1375の光透過率は、電磁スペクトルの可視部分で約30%超、約40%超、約45%超、約50%超、約60%超、70%超、約75%超、または約80%以上であってもよい。
一部の実施形態では、第1の導電性コーティング1371、第2の導電性コーティング1372、および第3の導電性コーティング1373の厚さを比較的薄くして、比較的高い光透過率を維持することができる。例えば、第1の導電性コーティング1371の厚さは、約5~30nm、約8~25nm、または約10~20nmであってもよい。第2の導電性コーティング1372の厚さは、例えば、約1~25nm、約1~20nm、約1~15nm、約1~10nm、または約3~6nmであってもよい。第3の導電性コーティング1373の厚さは、例えば、約1~25nm、約1~20nm、約1~15nm、約1~10nm、または約3~6nmであってもよい。したがって、第1の導電性コーティング1371と第2の導電性コーティング1372および/または第3の導電性コーティング1373との組み合わせによって形成される共通カソード1375の厚さは、例えば、約6~35nm、約10~30nm、または約10~25nm、あるいは約12~18nmであってもよい。
補助電極1381の厚さは、第1の導電性コーティング1371、第2の導電性コーティング1372、第3の導電性コーティング1373、および/または共通カソード1375の厚さよりも大きくてよい。例えば、補助電極1381の厚さは、約50nm超、約80nm超、約100nm超、約150nm超、約200nm超、約300nm超、約400nm超、約500nm超、約700nm超、約800nm超、約1μm超、約1.2μm超、約1.5μm超、約2μm超、約2.5μm超、または約3μm超であってもよい。一部の実施形態では、補助電極1375は、実質的に非透明であるか、または不透明であり得る。しかしながら、補助電極1375は、概して、デバイスの非発光領域に設けられるので、補助電極1375は、重大な光学干渉を引き起こさない場合がある。例えば、補助電極1375の光透過率は、電磁スペクトルの可視部分の約50%未満、約70%未満、約80%未満、約85%未満、約90%未満、または約95%未満であってもよい。一部の実施形態では、補助電極1375は、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部分の光を吸収することができる。
第1の導電性コーティング1371は、光透過性導電層またはコーティングを形成するために概して使用される様々な材料を含み得る。例えば、第1の導電性コーティング1371は、透明導電性酸化物(TCO)、金属または非金属薄膜、およびそれらの任意の組み合わせを含み得る。第1の導電性コーティング1371は、2つ以上の層またはコーティングをさらに含み得る。例えば、そのような層またはコーティングは、互いの上に配設された別個の層またはコーティングであってもよい。第1の導電性コーティング1371は、例えば、インジウムスズ酸化物(ITO)、フッ素スズ酸化物(FTO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、マグネシウム(Mg)、アルミニウム(Al)、イッテルビウム(Yb)、銀(Ag)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)、および前述の材料のいずれかを含む合金を含む、それらのいずれか2つ以上の組み合わせを含む様々な材料を含んでもよい。例えば、第1の導電性コーティング1371は、Mg:Ag合金、Mg:Yb合金、Yb層およびAg層を含む二層構造、またはそれらの組み合わせを含んでもよい。Mg:Ag合金またはMg:Yb合金の場合、合金組成は、体積で約1:9~約9:1の範囲であってもよい。
第2の導電性コーティング1372および第3の導電性コーティング1373は、イッテルビウム(Yb)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)およびマグネシウム(Mg)などの高蒸気圧材料を含み得る。一部の実施形態では、第2の導電性コーティング1372および第3の導電性コーティング1373は、純粋なマグネシウムまたは実質的に純粋なマグネシウムを含んでもよい。
補助電極1381は、第2の導電性コーティング1372および/または第3の導電性コーティング1373と実質的に同じ材料を含み得る。一部の実施形態では、補助電極1381は、マグネシウムを含み得る。例えば、補助電極1381は、純粋なマグネシウムまたは実質的に純粋なマグネシウムを含んでもよい。他の例では、補助電極1381は、Yb、Cd、および/またはZnを含んでもよい。
一部の実施形態では、発光領域1331a、1331b、1331cに配設された核生成抑制コーティング1361、1362、1363の厚さは、各発光領域によって放出される光の色または放出スペクトルに従って変化し得る。図34および35に示すように、第1の核生成抑制コーティング1361は、第1の核生成抑制コーティング厚さtn1を有し得、第2の核生成抑制コーティング1362は、第2の核生成抑制コーティング厚さtn2を有し得、第3の核生成抑制コーティング1363は、第3の核生成抑制コーティング厚さtn3を有し得る。第1の核生成抑制コーティング厚さtn1、第2の核生成抑制コーティング厚さtn2、および/または第3の核生成抑制コーティング厚さtn3は、互いに実質的に同じであってもよい。あるいは、第1の核生成抑制コーティング厚さtn1、第2の核生成抑制コーティング厚さtn2、および/または第3の核生成抑制コーティング厚さtn3は、互いに異なっていてもよい。
各発光領域またはサブピクセルに互いに独立して配設された核生成抑制コーティングの厚さを調整することにより、各発光領域またはサブピクセルの光マイクロキャビティ効果をさらに制御することができる。例えば、青のサブピクセル上に配設された核生成抑制コーティングの厚さは、緑のサブピクセル上に配設された核生成抑制コーティングの厚さよりも薄くてもよく、緑のサブピクセル上に配設された核生成抑制コーティングの厚さは、赤のサブピクセル上に配設された核生成抑制コーティングの厚さよりも薄くてもよい。理解されるように、各発光領域またはサブピクセルにおける光学的マイクロキャビティ効果は、他の発光領域またはサブピクセルとは無関係に、各発光領域またはサブピクセルの核生成抑制コーティング厚および導電性コーティング厚の両方を変調することにより、さらに大きく制御することができる。
光学マイクロキャビティ効果は、OLEDなどの光電子デバイスを構築するために使用される、様々な屈折率の多数の薄膜層とコーティングによって作成された光学干渉の存在によって発生する。デバイスで観察される光マイクロキャビティ効果に影響を与えるいくつかの要因には、総経路長(例えば、デバイスから放出された光が取り出される前に進行するデバイスの総厚)と、様々な層およびコーティングの屈折率とが含まれる。ここで、発光領域(例えば、サブピクセル)におけるカソードの厚さを調整することにより、発光領域における光マイクロキャビティ効果が変化し得ることが見出されている。そのような影響は、概して、全光路長の変化に起因する可能性がある。さらに、特に薄いコーティングによって形成された光透過性カソードの場合、カソードの厚さの変化は、全光路長に加えてカソードの屈折率も変化させ得ると想定されている。さらに、光路長、したがって光マイクロキャビティ効果も、発光領域に配設された核生成抑制コーティングの厚さを変更することによって変調することができる。
光マイクロキャビティ効果の変調によって影響を受け得るデバイスの光学特性には、出力光の輝度とカラーシフトの角度依存性を含む、出力光の発光スペクトル、強度(光度)、および角度分布が含まれる。
様々な実施形態が2つまたは3つの発光領域またはサブピクセルを用いて説明されてきたが、デバイスは、任意の数の発光領域またはサブピクセルを含み得ることが理解されよう。例えば、デバイスは複数のピクセルを含むことができ、各ピクセルは2つ、3つ、またはそれ以上のサブピクセルを含む。さらに、他のピクセルまたはサブピクセルに対するピクセルまたはサブピクセルの特定の配置は、デバイス設計に応じて変化させることができる。例えば、サブピクセルは、RGBサイドバイサイド、ダイアモンド、またはペンタイル(登録商標)などの既知の配置スキームに従って配置されてもよい。
電極を補助電極に電気的に接続するための導電性コーティング
一態様では、光電子デバイスが提供される。光電子デバイスは、第1の電極および第2の電極と、第1の電極と第2の電極との間に配設された半導電性層、第2の電極の少なくとも一部分の上に配設された核生成抑制コーティングと、補助電極と、補助電極と重なるように配置され、陰影領域を設けるパターニング構造と、陰影領域に配設された導電性コーティングと、を含み、導電性コーティングは、補助電極および第2の電極と電気的に接続されている。
図36は、一実施形態による光電子デバイス5011を示す。デバイス5011は、非発光領域5014に隣接して配置された発光領域5012を含む。一部の実施形態では、発光領域5012は、デバイス5011のサブピクセル領域に対応する。発光領域5012は、第1の電極5030、第2の電極5081、および第1の電極5030と第2の電極5081との間に配置された半導電性層5071を含む。第1の電極5030は、基板5010の表面5015に設けられている。基板5010は、第1の電極5030に電気的に接続されたTFT5020を含む。第1の電極5030の縁部または周囲は、概して、ピクセル画定層5014によって被覆されている。非発光領域5014は、補助電極5051と、補助電極5051と重なるように配置されたパターニング構造5061とを含む。パターニング構造5061は、横方向に延在して、陰影領域5042を設ける。例えば、パターニング構造5061は、陰影領域を設けるために、少なくとも一方の側の補助電極5051で、またはその近傍で凹状となってもよい。図示の実施形態では、陰影領域5042は、ピクセル画定層5041の表面上の、パターニング構造5061の横方向に延在する部分と重なる領域に対応する。非発光領域5014は、陰影領域5042に配設された導電性コーティング5099をさらに含む。導電性コーティング5099は、補助電極5051と第2の電極5081とを電気的に接続する。核生成抑制コーティング5091は、発光領域5012および非発光領域5014に配設される。核生成抑制コーティング5091は、第2の電極5081の表面上に配設される。一部の実施形態では、パターニング構造5061の表面は、残留する第2の電極5081’および残留核生成抑制コーティング5091’でコーティングされる。陰影領域5042には、核生成抑制コーティング5091が実質的に存在しないか、または核生成抑制コーティング5091によって被覆されておらず、導電性コーティング5099をその上に堆積させることができる。
図36はそのようなデバイスの1つの実施形態を示しているが、様々な修正が行われ得ることが理解されよう。例えば、一部の実施形態では、パターニング構造5061は、その側面のうちの少なくとも2つに沿って陰影領域を設けることができる。他の実施形態では、パターニング構造5061は省略されてもよく、補助電極5051は、陰影領域5042を設けるために凹状部分を含んでもよい。さらに他の実施形態では、補助電極5051および導電性コーティング5099は、ピクセル画定層5041上ではなく、基板5010の表面5015上に直接配設されてもよい。
光学コーティングの選択的堆積
一部の実施形態による一態様では、デバイスが提供される。デバイスは、光電子デバイスであり得る。一部の実施形態では、デバイスは、基板、核生成抑制コーティング、および光学コーティングを含む。核生成抑制コーティングは、基板の第1の領域を被覆する。光学コーティングは、基板の第2の領域を被覆し、核生成抑制コーティングの少なくとも一部分は、光学コーティングから露出しているか、または実質的に存在しないか、または実質的に被覆されていない。
光学コーティングを使用して、デバイスによって透過、放出、または吸収される光の光学特性(プラズモンモードを含む)を変調することができる。例えば、光学コーティングは、光学フィルタ、屈折率整合コーティング、光学取り出しコーティング、散乱層、回折格子、またはそれらの部分として使用されてもよい。別の例では、光学コーティングを使用して、例えば、全光路長および/または屈折率を調整することにより、光電子デバイス内のマイクロキャビティ効果を変調することができる。光マイクロキャビティ効果の変調によって影響を受け得るデバイスの光学特性には、出力光の輝度とカラーシフトの角度依存性を含む、出力光の発光スペクトル、強度(光度)、および角度分布が含まれる。一部の実施形態では、光学コーティングは非電気的構成要素であってもよい。換言すれば、光学コーティングは、そのような実施形態における通常のデバイス動作中に電流を伝導または伝送するように構成されていない場合がある。
例えば、光学コーティングは、上述の導電性コーティングを堆積させる方法の様々な実施形態のいずれかを使用して形成されてもよい。光学コーティングは、イッテルビウム(Yb)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)およびマグネシウム(Mg)などの高蒸気圧材料を含み得る。一部の実施形態では、光学コーティングは、純粋なマグネシウムまたは実質的に純粋なマグネシウムを含んでもよい。
薄膜の形成
基板の表面上での蒸着中の薄膜の形成は、核生成および成長のプロセスを伴う。膜形成の初期段階の間、十分な数の蒸気モノマー(例えば、原子または分子)は、典型的には、蒸気相から凝縮して、表面上に初期核を形成する。蒸気モノマーが表面に衝突し続けると、これらの初期核のサイズと密度が増加して、小さなクラスタまたは島が形成される。島の密度に飽和した後、概して、隣接する島が合体し始め、島の密度を減らしながら島の平均サイズが増加する。隣接する島の合体は、実質的に閉じた膜が形成されるまで続く。
薄膜の形成には、1)島成長(Volmer-Weber)、2)層ごとの成長(Frank-van der Merwe)、および3)Stranski-Krastanov成長の3つの基本的な成長モードがある。島の成長は通常、モノマーの安定したクラスタが表面で核生成となり、成長して離散した島を形成するときに発生する。この成長モードは、モノマー間の相互作用がモノマーと表面間の相互作用よりも強い場合に発生する。
核生成速度は、単位時間あたりに表面上に形成される臨界サイズの核の数を表す。膜形成の初期段階では、核の密度が低く、これにより核が表面の比較的小さな部分を被覆するため(例えば、隣接する核の間に大きなギャップ/空間が存在する)、核が表面へのモノマーの直接衝突から成長する可能性は低い。したがって、臨界核が成長する速度は、通常、表面に吸着したモノマー(例えば、吸着原子)が移動して近傍の核に付着する速度に依存する。
吸着原子が表面に吸着した後、吸着原子は、表面から脱離するか、あるいは、脱離し、他の吸着原子と相互作用して小さなクラスタを形成し、または成長している核に付着する前に、表面上をある程度移動することができる。最初の吸着後に吸着原子が表面に留まる平均時間は、次の式で与えられる。
上記の式で、νは表面の吸着原子の振動周波数、kはボルツマン定数、Tは温度、Edesは吸着原子を表面から脱離させるために必要なエネルギーである。この式から、Edesの値が低いほど、吸着原子が表面から脱離しやすくなるため、吸着原子が表面に留まる時間が短くなることがわかる。吸着原子が拡散できる平均距離は、次の式で与えられる。

式中、aは格子定数であり、Eは、表面拡散の活性化エネルギーである。Edesが低い値、および/またはEが高い値、あるいはその両方の場合、吸着原子は脱離前に短い距離を拡散するため、成長している核に付着したり、別の吸着原子または吸着原子のクラスタと相互作用したりする可能性が低くなる。
膜形成の初期段階では、吸着された吸着原子が相互作用してクラスタを形成することができ、単位面積あたりのクラスタの臨界濃度は、次の式で与えられる。

式中、Eはi個の吸着原子を含む臨界クラスタを個別の吸着原子に解離するために必要なエネルギー、nは吸着部位の総密度、Nは次の式で与えられるモノマー密度である。

式中、
は蒸気衝突速度である。通常、iは、堆積される材料の結晶構造に依存し、安定した核を形成するための臨界クラスタサイズを決定する。
成長するクラスタの臨界モノマー供給速度は、蒸気衝突の速度と、吸着原子が脱離する前に拡散できる平均面積によって与えられる。
したがって、臨界核生成速度は、上記の式の組み合わせによって与えられる。
上記の式から、吸着した吸着原子の脱離エネルギーが低い表面、吸着原子の拡散の活性化エネルギーが高い表面、高温である表面、または蒸気衝突速度が低い表面では、臨界核生成速度が抑制されることがわかる。
欠陥、レッジ、ステップ縁部などの基板の異質性の部位は、Edesを増加させ、そのような部位で観察される核の密度を高める可能性がある。また、不純物または表面の汚染もEdesを増加させ、核密度を高める可能性がある。高真空条件下で行われる蒸着プロセスの場合、表面の汚染物質の種類と密度は、真空圧力と、その圧力を構成する残留ガスの組成に影響される。
高真空条件下では、表面に衝突する分子のフラックス(cm-secあたり)は次のように与えられる。

式中、Pは圧力、Mは分子量である。したがって、HOなどの反応性ガスの分圧が高くなると、蒸着中に表面の汚染密度が高くなり、Edesが増加して核の密度が高くなる。
薄膜核生成と成長を特徴付けるための有用なパラメータは、以下によって与えられる付着確率である。

式中、Nadsは、表面に残る(例えば、膜に組み込まれる)吸着されたモノマーの数であり、Ntotalは、表面に衝突するモノマーの総数である。付着確率が1に等しいとは、表面に衝突する全てのモノマーが吸着され、その後成長する膜に組み込まれることを示す。付着確率が0に等しいとは、表面に衝突する全てのモノマーが脱離し、その後、表面に膜が形成されないことを示す。Walker et al.,J.Phys.Chem.C 2007,111,765(2006).に記載されている二重水晶振動子マイクロバランス(QCM)技術など、付着確率を測定する様々な技術を使用して、様々な表面上の金属の付着確率を評価できる。
島の密度が増加する(例えば、平均膜厚が増加する)につれて、付着確率が変化する可能性がある。例えば、低い初期付着確率は、平均膜厚さが増加するにつれて増加する可能性がある。これは、島のない表面の領域(ベア基板)と島の密度が高い領域の付着確率の違いから理解することができる。例えば、島の表面に衝突するモノマーは、1に近い付着確率を有することができる。
したがって、初期付着確率Sは、有意な数の臨界核が形成される前の表面の付着確率として特定できる。初期付着確率の1つの尺度には、表面全体の堆積材料の平均厚さが閾値以下である、材料の堆積の初期段階中の材料の表面の付着確率を含まれ得る。一部の実施形態の説明では、初期付着確率の閾値は、1nmと特定することができる。次に、平均付着確率は次のように与えられる。

式中、Snucは島で被覆された領域の付着確率であり、Anucは島で被覆された基板表面の領域の割合である。
基板表面に吸着した吸着原子のエネルギープロファイルの例を図38に示す。具体的には、図38は、(1)局所的低エネルギー部位から脱出する吸着原子、(2)表面上の吸着原子の拡散、(3)吸着原子の脱離、に対応するエネルギープロファイルを示している。
(1)では、局所的低エネルギー部位は、吸着原子がより低いエネルギーになる基板表面上の任意の部位であり得る。通常、核生成部位は、例えば、ステップ縁部、化学的不純物、結合部位、またはキンクなどの表面基板上の欠陥または異常であり得る。吸着原子が局所的低エネルギー部位でトラップされると、通常、表面拡散が発生する前にエネルギー障壁が存在することになる。このエネルギー障壁は、図38の図においてΔEとして表されている。局所的低エネルギー部位から脱出するためのエネルギー障壁が十分に大きい場合、その部位は核生成部位として機能する可能性がある。
(2)では、吸着原子は基板表面に拡散することができる。例えば、局所的な吸収物の場合、吸着原子は、表面電位の最小値付近で振動し、吸着原子が脱離するか、吸着原子のクラスタによって形成される成長している膜または成長している島に組み込まれるまで、様々な隣接部位に移動する傾向がある。図38の図において、吸着原子の表面拡散に関連した活性化エネルギーは、Eとして表される。
(3)では、吸着原子の表面からの脱離に関連する活性化エネルギーは、Edesとして表される。脱離されない吸着原子は基板表面に残ることが理解されよう。例えば、そのような吸着原子は、表面に拡散したり、成長している膜またはコーティングの一部として組み込まれたり、表面に島を形成する吸着原子のクラスタの一部になり得る。
図38に示されるエネルギープロファイルに基づいて、脱離のための比較的低い活性化エネルギー(Edes)および/または表面拡散のための比較的高い活性化エネルギー(E)を示す核生成抑制コーティング材料は、様々な用途での使用に特に有利であると想定できる。例えば、いくつかの実施形態では、脱離のための活性化エネルギー(Edes)が熱エネルギー(kT)の約2倍未満、熱エネルギーの約1.5倍未満、熱エネルギーの約1.3倍未満、熱エネルギーの約1.2倍未満、熱エネルギー未満、熱エネルギーの約0.8倍未満、または熱エネルギーの約0.5倍未満であることが特に有利であり得る。一部の実施形態では、表面拡散(E)の活性化エネルギーが、熱エネルギーよりも大きく、熱エネルギーの約1.5倍超、熱エネルギーの約1.8倍超、熱エネルギーの約2倍超、熱エネルギーの約3倍超、熱エネルギーの約5倍超、熱エネルギーの約7倍超、または熱エネルギーの約10倍超であることが特に有利であり得る。
導電性コーティングを選択的に堆積して共通カソード用のカソードまたは補助電極を形成することに関して特定の実施形態を説明したが、他の実施形態では、同様の材料およびプロセスを使用して、アノードまたはアノード用の補助電極を形成できることが理解されよう。
核生成抑制コーティング
核生成抑制コーティングを形成するために使用するのに適した材料には、約0.1(または10%)以下もしくは未満、または約0.05以下もしくは未満、および、より具体的には、約0.03以下もしくは未満、約0.02以下もしくは未満、約0.01以下もしくは未満、約0.08以下もしくは未満、約0.005以下もしくは未満、約0.003以下もしくは未満、約0.001以下もしくは未満、約0.0008以下もしくは未満、約0.0005以下もしくは未満、または約0.0001以下もしくは未満の導電性コーティングの材料の初期付着確率を示すか、または特徴付けるものが含まれる。核生成促進コーティングを形成するために使用するのに適した材料には、少なくとも約0.6(または60%)、少なくとも約0.7、少なくとも約0.75、少なくとも約0.8、少なくとも約0.9、少なくとも約0.93、少なくとも約0.95、少なくとも約0.98、または少なくとも約0.99の導電性コーティングの材料の初期付着確率を示すか、または特徴付けるものが含まれる。
適切な核生成抑制材料には、小分子有機材料および有機ポリマーなどの有機材料が含まれる。適切な有機材料の例には、窒素(N)、硫黄(S)、酸素(O)、リン(P)、およびアルミニウム(Al)などの1つ以上のヘテロ原子を任意に含み得る有機分子を含む多環式芳香族化合物が含まれる。一部の実施形態では、多環式芳香族化合物は、コア部分およびコア部分に結合した少なくとも1つの末端部分をそれぞれ含む有機分子を含む。末端部分の数は、1以上、2以上、3以上、または4以上であってもよい。2つ以上の末端部分の場合、末端部分は同じであっても異なっていてもよく、または末端部分のサブセットは同じでも少なくとも1つの残りの末端部分と異なっていてもよい。
一部の実施形態では、少なくとも1つの末端部分は、以下の構造(I-A)によって表されるフェニル部分であるか、または当該フェニル部分を含む。
概して、(I-A)によって表されるフェニル部分は、非置換であっても置換されていてもよい。一部の実施形態では、(I-A)で表されるフェニル部分は、A、A、A、A、およびAのうちの少なくとも1つとして存在する1つ以上の置換基で置換されていてもよく、1つ以上の置換基は、独立して、H、D(重水素)、F、Cl、C~Cアルキルを含むアルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、フルオロアルコキシ、およびそれらの任意の2つ以上の組み合わせから選択される。一部の実施形態では、1つ以上の置換基は、独立して、メチル、メトキシ、エチル、t-ブチル、フルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロメトキシ、フルオロエチル、およびポリフルオロエチルから選択される。
一部の実施形態では、少なくとも1つの末端部分は、以下の構造(I-B)によって表されるナフチル部分であるか、または当該ナフチル部分を含む。

式中、B、B、B、B、B、B、B、およびBのうちの少なくとも1つは、ナフチル部分とコア部分との間に形成される結合を表す。概して、(I-B)によって表されるナフチル部分は、非置換であっても置換されていてもよい。一部の実施形態では、(I-B)で表されるナフチル部分は、B、B、B、B、B、B、B、およびBのうちの少なくとも1つとして存在する1つ以上の置換基で置換されていてもよく、1つ以上の置換基は、独立して、H、D(重水素)、F、Cl、C~Cアルキルを含むアルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、フルオロアルコキシ、およびそれらの任意の2つ以上の組み合わせから選択される。一部の実施形態では、1つ以上の置換基は、独立して、メチル、メトキシ、エチル、t-ブチル、フルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロメトキシ、フルオロエチル、およびポリフルオロエチルから選択される。一部の実施形態では、「B」置換基は、対応するB’(Bプライム)置換基であり、任意のB’置換基は、本明細書に示されるB置換基の値を有し得る。
一部の実施形態では、少なくとも1つの末端部分は、以下の構造(I-C)によって表されるフェナントレニル部分であるか、または当該フェナントレニル部分を含む。

式中、C、C、C、C、C、C、C、C、C、およびC10のうちの少なくとも1つは、フェナントリル部分とコア部分との間に形成される結合を表す。概して、(I-C)によって表されるフェナントリル部分は、非置換であっても置換されていてもよい。一部の実施形態では、(I-C)で表されるフェナントリル部分は、C、C、C、C、C、C、C、C、C、およびC10のうちの少なくとも1つとして存在する1つ以上の置換基で置換されていてもよく、1つ以上の置換基は、独立して、H、D(重水素)、F、Cl、C~Cアルキルを含むアルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、フルオロアルコキシ、およびそれらの任意の2つ以上の組み合わせから選択される。一部の実施形態では、1つ以上の置換基は、独立して、メチル、メトキシ、エチル、t-ブチル、フルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロメトキシ、フルオロエチル、およびポリフルオロエチルから選択される。一部の実施形態では、「C」置換基は、対応するC’(Cプライム)置換基であり、任意のC’置換基は、本明細書に示されるC置換基の値を有し得る。
一部の実施形態では、少なくとも1つの末端部分は、以下の構造(I-D)によって表されるアントラセニル部分であるか、または当該アントラセニル部分を含む。

式中、D、D、D、D、D、D、D、D、DおよびD10のうちの少なくとも1つは、フェナントリル部分とコア部分との間に形成される結合を表す。概して、(I-D)によって表されるアントラセニル部分は、非置換であっても置換されていてもよい。一部の実施形態では、(I-D)で表されるアントラセニル部分は、D、D、D、D、D、D、D、D、D、およびD10のうちの少なくとも1つとして存在する1つ以上の置換基で置換されていてもよく、1つ以上の置換基は、独立して、H、D(重水素)、F、Cl、C~Cアルキルを含むアルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、フルオロアルコキシ、およびそれらの任意の2つ以上の組み合わせから選択される。一部の実施形態では、1つ以上の置換基は、独立して、メチル、メトキシ、エチル、t-ブチル、フルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロメトキシ、フルオロエチル、およびポリフルオロエチルから選択される。
一部の実施形態では、少なくとも1つの末端部分は、以下の構造(I-E)によって表されるベンズアントラセニル部分であるか、または当該ベンズアントラセニル部分を含む。

式中、E、E、E、E、E、E、E、E、E、E10、E11、およびE12のうちの少なくとも1つは、ベンズアントラセニル部分とコア部分との間に形成される結合を表す。概して、(I-E)によって表されるベンズアントラセニル部分は、非置換であっても置換されていてもよい。一部の実施形態では、(I-E)で表されるベンズアントラセニル部分は、E、E、E、E、E、E、E、E、E、E10、E11、およびE12のうちの少なくとも1つとして存在する1つ以上の置換基で置換されていてもよく、1つ以上の置換基は、独立して、H、D(重水素)、F、Cl、C~Cアルキルを含むアルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、フルオロアルコキシ、およびそれらの任意の2つ以上の組み合わせから選択される。一部の実施形態では、1つ以上の置換基は、独立して、メチル、メトキシ、エチル、t-ブチル、フルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロメトキシ、フルオロエチル、およびポリフルオロエチルから選択される。
一部の実施形態では、少なくとも1つの末端部分は、以下の構造(I-F)によって表されるピレニル部分であるか、または当該ピレニル部分を含む。

式中、F、F、F、F、F、F、F、F、FおよびF10のうちの少なくとも1つは、ピレニル部分とコア部分との間に形成される結合を表す。概して、(I-F)によって表されるピレニル部分は、非置換であっても置換されていてもよい。一部の実施形態では、(I-F)で表されるピレニル部分は、F、F、F、F、F、F、F、F、F、およびF10のうちの少なくとも1つとして存在する1つ以上の置換基で置換されていてもよく、1つ以上の置換基は、独立して、H、D(重水素)、F、Cl、C~Cアルキルを含むアルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、フルオロアルコキシ、およびそれらの任意の2つ以上の組み合わせから選択される。一部の実施形態では、1つ以上の置換基は、独立して、メチル、メトキシ、エチル、t-ブチル、フルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロメトキシ、フルオロエチル、およびポリフルオロエチルから選択される。
一部の実施形態では、少なくとも1つの末端部分は、以下の構造(I-G)によって表されるクリセニル部分であるか、または当該クリセニル部分を含む。

式中、G、G、G、G、G、G、G、G、G、G10、G11、およびG12のうちの少なくとも1つは、クリセニル部分とコア部分との間に形成される結合を表す。概して、(I-G)によって表されるクリセニル部分は、非置換であっても置換されていてもよい。一部の実施形態では、(I-G)で表されるクリセニル部分は、G、G、G、G、G、G、G、G、G、G10、G11、およびG12のうちの少なくとも1つとして存在する1つ以上の置換基で置換されていてもよく、1つ以上の置換基は、独立して、H、D(重水素)、F、Cl、C~Cアルキルを含むアルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、フルオロアルコキシ、およびそれらの任意の2つ以上の組み合わせから選択される。一部の実施形態では、1つ以上の置換基は、独立して、メチル、メトキシ、エチル、t-ブチル、フルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロメトキシ、フルオロエチル、およびポリフルオロエチルから選択される。
さらに別の実施形態では、少なくとも1つの末端部分は、フルオレン部分またはフェニレン部分(複数(例えば、3つ、4つ、またはそれ以上)の縮合ベンゼン環を含むものを含む)などの縮合環構造を含む多環式芳香族部分であるか、または当該多環式芳香族部分を含む。そのような部分の例には、スピロビフルオレン部分、トリフェニレン部分、ジフェニルフルオレン部分、ジメチルフルオレン部分、ジフルオロフルオレン部分、およびそれらの任意の2つ以上の組み合わせが含まれる。
一部の実施形態において、多環式芳香族化合物は、それぞれがコア部分およびコア部分に結合した少なくとも1つの末端部分を含む有機分子を含み、コア部分は、以下の構造(II)によって表されるアントラセニル部分であるか、または当該アントラセニル部分を含む。
(II)では、1つ以上の末端部分がアントラセニルコア部分に結合している。例えば、1つ、2つ、3つ、4つ、またはそれ以上の末端部分は、アントラセニルコア部分に直接的または間接的に(例えば、リンカー部分を介して)結合され得る。一部の実施形態では、2つの独立して選択された末端部分がアントラセニルコア部分に結合している。例えば、1つ以上の末端部分は、上記(II)に示される1位、2位、3位、4位、5位、6位、7位、8位、9位、および10位のうちの1つ以上に独立して結合することができる。一部の実施形態では、2つの独立して選択された末端部分は、9位および10位でアントラセニルコア部分に結合している。いくつかのさらなる実施形態において、第3の独立して選択された末端部分は、アントラセニルコア部分に結合される。例えば、第3の独立して選択された末端部分は、2位、3位、6位、または7位でアントラセニルコア部分に結合され得る。さらなる実施形態では、第4の独立して選択された末端部分は、2位、3位、6位、および7位から選択される非占有位置でアントラセニルコア部分に結合される。
(II)のアントラセニルコア部分に結合した1つ以上の末端部分は、(I-A)、(I-B)、または(I-C)、(I-D)、(I-E)、(I-F)、(I-G)、または上記のような縮合環構造を含む多環式芳香族部分によって表される部分であるか、または当該多環式芳香族部分を含む。1つ以上の末端部分は、コア部分に直接結合され得るか、またはリンカー部分を介してコア部分に結合され得る。リンカー部分の例には、-O-(Oは酸素原子を示す)、-S-(Sは硫黄原子を示す)、および1つ、2つ、3つ、4つ、またはそれ以上の炭素原子を含む環状または非環状炭化水素部分が含まれる。これは、非置換でも置換でもよく、任意で1つ以上のヘテロ原子を含んでもよい。コア部分と1つ以上の末端部分との間の結合は、例えば、共有結合であり得る。2つ以上の末端部分がコア部分に結合している実施形態では、2つ以上の末端部分のそれぞれは、互いに独立して選択され得る。例えば、2つ以上の末端部分は、互いに同じであっても異なっていてもよい。一実施形態では、多環式芳香族化合物は、(II)によって表されるアントラセニルコア部分をそれぞれ含む有機分子を含む。有機分子はそれぞれ、(I-A)で表されるフェニル部分の形態の第1の末端部分と、(I-B)で表されるナフチル部分、(I-C)で表されるフェナントリル部分、(I-D)で表されるアントラセニル部分、(I-E)で表されるベンズアントラセニル部分、(I-F)で表されるピレニル部分、または(I-G)で表されるクリセニル部分の形態の第2の末端部分と、を含む。例えば、第1の末端部分は、1位、9位、または8位に結合することができ、第2の末端部分は、4位、10位、または5位に結合することができる。第1の末端部分および第2の末端部分は、アントラセニルコア部分に関して互いに対称的または非対称的に配置され得る。例えば、第1の末端部分および第2の末端部分は、第1の末端部分および第2の末端部分を1位および4位、9位および10位、または8位および5位にそれぞれ結合することによって対称的に配置され得る。別の例では、第1の末端部分および第2の末端部分は、第1の末端部分および第2の末端部分を1位および5位、または8位および4位にそれぞれ結合することにより非対称的に配置され得る。一部の実施形態では、1つ以上の追加の末端部分がアントラセニルコア部分に結合され得る。1つ以上の追加の末端部分は、それぞれ、アントラセニルコア部分の1つ以上の占有されていない位置に結合することができる。例えば、1つ以上の追加の末端部分は、それぞれ2位、3位、6位、または7位に結合され得る。
一部の実施形態では、多環式芳香族化合物の1つ以上の炭素原子は、ヘテロ原子によって置換されてもよい。例えば、末端部分および/またはコア部分における1つ以上の炭素原子は、ヘテロ原子によって置換され得る。そのようなヘテロ原子置換の例には、硫黄および窒素が含まれるが、これらに限定されない。
一部の実施形態では、多環式芳香族化合物は、少なくとも1つのフッ素(F)原子を含む。
アントラセニルコアを含む多環式芳香族化合物の例を以下に示す。








構造A1~A66によって表される部分において、X~X10は、1つ以上の置換基の存在を表す。例えば、1つ以上の置換基X~X10は、独立して、H、D(重水素)、F、Cl、C~Cアルキルを含むアルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、フルオロアルコキシ、およびそれらの任意の2つ以上の組み合わせから選択されてもよい。さらに、1つ以上の置換基は、独立して、メチル、メトキシ、エチル、t-ブチル、フルオロメチル、ジフルオロメチル、トリフルオロメチル、トリフルオロメトキシ、フルオロエチル、およびポリフルオロエチルから選択されてもよい。他の置換基の説明、A、A、A、A、A、B、B、B、B、B、B、B(およびB~Bに対応するB’の対応物)、C、C、C、C、C、C、C、C、C(およびC~Cに対応するC’の対応物)、D、D、D、D、D、D、D、D、D、E、E、E、E、E、E、E、E、E、E10、E11、F、F、F、F、F、F、F、F、F、F10、G、G、G、G、G、G、G、G、G、G10、G11、およびG12、(I-A)、(I-B)、または(I-C)、(I-D)、(I-E)、(I-F)、(I-G)に関連して上記で提供されたものは、A1からA66で表される対応する置換基に適用できる。
アルキル置換基の例には、C1~C6アルキルが含まれ、これは、直鎖または分枝であり得る。例えば、C4~C6アルキルの場合、分岐アルキルが好ましい場合がある。
部分が構造A1で表される一例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、X4、、X、X、X、A、A、A、A、およびAのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、A、およびAのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、A、およびAのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、A、およびAのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、B、B、B、B、B、X2、、X、X、A、およびAのうちの少なくとも1つはFである。例えば、最大10、6、5、3、または1個のF原子がそのような構造に存在してもよい。
部分が構造A1で表される別の例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、X4、、X、X、X8、、A、A、A、およびAのうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、X、X、X、A、A、A、A、およびAのうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、B、B、B、B、B、X、X、X、X、X、A、A、およびAのうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、A、A、およびAのうちの少なくとも1つがアルキルである。例えば、そのような構造には、最大6、5、3、または1つのアルキル置換基が存在し得る。
部分が構造A1で表される別の例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、X、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。例えば、そのような構造には、最大5、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A1で表される別の例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキル、またはヘテロアリールである。さらなる例では、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはアリール、アリールアルキル、またはヘテロアリールである。さらなる例では、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキル、またはヘテロアリールである。さらなる例では、B、B、B、X、X、X、X、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキル、またはヘテロアリールである。さらなる例では、B、B、B、X、X、X、X、AおよびAのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキル、またはヘテロアリールである。例えば、そのような構造には、最大8、6、4、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A2で表される1つの例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、X、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはFである。例えば、例えば、最大10、6、5、3、または1個のF原子がそのような構造に存在してもよい。
部分が構造A2で表される別の例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、X、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、B、B、B、B、B、X、X、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはアルキルである。例えば、そのような構造には、最大6、5、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A2で表される別の例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、X、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。例えば、そのような構造には、最大5、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A2で表される別の例では、B、B、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。さらなる例では、B、B、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。さらなる例では、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。さらなる例では、B、B、B、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキル、またはヘテロアリールである。例えば、そのような構造には、最大8、6、4、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A3によって表される一例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはFである。例えば、最大12、10、6、5、3、または1つのそのような置換基がそのような構造に存在してもよい。
部分が構造A3で表される別の例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、アルキルまたはアルコキシである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、A、AおよびAうちの少なくとも1つアルキルである。例えば、そのような構造には、最大6、5、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A3で表される別の例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。例えば、そのような構造には、最大5、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A3で表される別の例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、A、A、A、AおよびAのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、AおよびAのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。例えば、そのような構造には、最大8、6、4、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A4で表される一例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはFである。例えば、最大14、10、8、6、4、3、または1つのそのような置換基がそのような構造に存在してもよい。
部分が構造A4で表される別の例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つは、アルキルまたはフルオロアルキルである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つは、アルキルまたはフルオロアルキルである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、X、X、B、B、B、B、B、B、およびBのうちの少なくとも1つは、アルキルまたはフルオロアルキルである。さらなる例では、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つは、アルキルまたはフルオロアルキルである。例えば、そのような構造には、最大6、5、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A4で表される別の例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、X2、、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、X2、、X、X、B、およびBのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリール。例えば、そのような構造には、最大8、6、4、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A4で表される別の例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはフルオロアルコキシである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはフルオロアルコキシである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはフルオロアルコキシである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはフルオロアルコキシである。例えば、そのような構造には、最大7、5、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A5で表される一例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、B、B、B、Bのうちの少なくとも1つはFである。例えば、最大16、10、6、5、3、または1つのそのような置換基がそのような構造に存在してもよい。
部分が構造A5で表される別の例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、X、X、B、B、B、B、B、B、およびBのうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、C、C、C、C、C、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つはアルキルである。例えば、そのような構造には、最大10、6、5、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A5で表される別の例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、X、X、B、B、B、B、B、B、およびBのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。例えば、そのような構造には、最大8、5、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A5で表される別の例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、B、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、B、B、B、B、BおよびBのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、BおよびBのうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。例えば、そのような構造には、最大8、6、4、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A6で表される一例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つはFである。さらに、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、C、C、C、C、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つはFである。さらなる例では、C、C、C、C、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’およびC’のうちの少なくとも1つはFである。例えば、最大18、12、10、6、5、3、または1つのそのような置換基がそのような構造に存在してもよい。
部分が構造A6で表される別の例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つはアルキルである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’およびC’のうちの少なくとも1つはアルキルである。例えば、そのような構造には、最大8、6、5、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A6で表される別の例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’およびC’10のうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、C、C、C、C、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。さらなる例では、C、C、C、C、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’およびC’のうちの少なくとも1つは、フルオロアルキルまたはフルオロアルコキシである。例えば、そのような構造には、最大8、5、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
部分が構造A6で表される別の例では、C、C、C、C、C、C、C、C、C10、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキルまたはヘテロアリールである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキル、またはヘテロアリールである。さらなる例では、C、C、C、C、C、C、X、X、X、X、C’、およびC’10のうちの少なくとも1つは、アリール、アリールアルキル、またはヘテロアリールである。例えば、そのような構造には、最大8、6、4、3、または1つのそのような置換基が存在し得る。
特定の理論に拘束されることを望むものではないが、概して、(i)分子構造の対称性が比較的低い、(ii)回転エネルギー障壁が比較的高い結合を含む、(iii)比較的大きな光学的ギャップ、(iv)導電性コーティングを形成するための材料と反応する可能性が比較的低い、という特性のうちの1つ以上を備えた分子は、核生成抑制コーティングの形成に使用するのに特に適していると想定されている。例えば、ナフチル末端部分を含む分子構造の場合、そのようなナフチル部分は、2位または3位ではなく、1位または4位でコア部分に直接的または間接的に結合することが概して好ましいと想定されている。そのような構成は、ナフチル末端部分の回転エネルギー障壁の増加に寄与し得る。別の例では、フェナントレニル部分を含む分子構造の場合、そのようなフェナントレニル部分は、1位または3位ではなく、9位または10位でコア部分に直接的または間接的に結合していることが概して好ましく、これは、フェナトレニル部分の回転エネルギー障壁を高めるために、2位または7位での結合よりも依然として好ましいと想定されている。一部の実施形態では、核生成抑制コーティングは、約2.5eV超、約2.6eV超、約2.7eV超、または約2.8eV超の光学的ギャップを示す分子を含む。概して、より大きな光学的ギャップを有する分子は、電磁スペクトルの可視部分の光の吸収を減少させ、これにより、少なくとも一部の用途に好ましい場合がある。
一部の実施形態では、多環式芳香族化合物は、1つ以上のフッ素原子を含む。例えば、多環式芳香族化合物は、1つ、2つ、3つ、4つ、またはそれ以上のフッ素原子を含むことができる。一部の実施形態では、多環式芳香族化合物は、1~3つのフッ素原子を含む。アントラセニルコアを含む多環式芳香族化合物のさらなる例を以下に提供する。































適切な核生成抑制材料には、ポリマー材料が含まれる。このようなポリマー材料の例には、そのようなポリマー材料の例には、パーフルオロ化ポリマーおよびポリテトラフルオロエチレン(PTFE)を含むがこれらに限定されないフルオロポリマー、ポリビニルビフェニル、ポリビニルカルバゾール(PVK)、および上記の多環式芳香族化合物を複数重合してなるポリマーが含まれる。別の例では、ポリマー材料には、複数のモノマーを重合することによって形成されるポリマーが含まれ、モノマーのうちの少なくとも1つは、(I-A)、(I-B)、もしくは(I-C)、(I-D)、(I-E)、(I-F)、(I-G)によって表される部分であるか、または当該部分を含む末端部分、あるいは上記のような縮合環構造を含む多環式芳香族部分を含む。
次に、一部の実施形態の態様を、本開示の範囲を決して限定することを意図しない以下の実施例を参照して例示および説明する。
化合物1(「SF13」)の合成:9-(ナフタレン-1-イル)-10-フェニルアントラセン。9-ブロモ-10-(ナフタレン-1-イル)アントラセン(1.500g、3.91mmol)、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(0)(Pd(PPh、0.678g、0.587mmol)、炭酸カリウム(KCO、1.623g、11.7mmol)、およびボロン酸0.0782molの試薬を500mLの反応容器で混合した。本実施例では、ボロン酸としてフェニルボロン酸(0.954g)を使用した。混合物を含む反応容器を加熱プレートマントルに置き、そしてマグネチックスターラーを使用して撹拌した。また、反応容器を水凝縮器に接続した。20:5:3の容積比のトルエン、エタノール、および水を含む十分に撹拌された300mlの溶媒混合物を、丸底フラスコで別々に調製した。溶媒混合物を含むフラスコを密封し、Nを使用して最低30分間脱気した後、カニューレを使用して、空気に曝すことなく溶媒混合物を丸底フラスコから反応容器に移した。全ての溶媒混合物を移した後、反応容器を窒素でパージし、約1200RPMで撹拌しながら65℃の温度に加熱し、窒素環境下で少なくとも12時間反応させた。反応が完了したと判定した後、混合物を室温まで冷却してから、真空回転蒸発器を使用して溶媒混合物を除去した。次に、フラスコの内容物をジクロロメタン(DCM)に再溶解し、500mLの1M NaOH溶液で4回洗浄し、続いて500mLの水で2回洗浄した。有機相を硫酸マグネシウムで洗浄し、濾過した。得られた生成物を、真空吸引下でシリカゲルプラグカラムに2回通過させることにより精製した。DCM溶媒を除去して、粉末状の生成物を生成した。次に、粉末生成物を、20~50mTorrの減圧下でトレイン昇華を使用し、COをキャリアガスとして使用してさらに精製した。シリカゲルプラグカラムを用いた精製後の収量は0.940g(31.5%)である。昇華工程の収率は約74%である。H NMR(600MHz,CDCl)δ8.14(ddd,J=8.3,3.3,0.9Hz,1H)、8.11-8.04(m,1H)、7.81-7.59(m,7H)、7.59-7.51(m,2H)、7.52-7.41(m,2H)、7.41-7.31(m,2H)、7.33-7.20(m,3H)、7.15(dt,J=8.5,1.0Hz,1H)。λAbs=376.1nm(DCM)。
化合物2(「SF360」)の合成:9-(ナフタレン-1-イル)-10-4-トリフェニルアントラセン。化合物2は、ボロン酸反応物として4-トリルフェニルボロン酸(1.064g)を使用することを除いて、上記のように化合物1と同一の手順を使用して合成した。シリカゲルプラグカラムを用いた精製後の収量は1.176g(38.0%)である。昇華工程の収率は約81%である。H NMR(400MHz,CDCl)δ8.09(d,J=8.3Hz,1H)、8.04(d,J=8.2Hz,1H)、7.81-7.68(m,3H)、7.57(dd,J=7.0,1.3Hz,1H)、7.52-7.42(m,4H)、7.26-7.17(m,3H)、2.55(s,3H)。λAbs=376.6nm(DCM)、λfluo=nm(トルエン)。
化合物3(「SF361」)の合成:9-(ナフタレン-1-イル)-10-4-フルオロフェニルアントラセン。化合物3は、ボロン酸反応物として4-フルオロフェニルボロン酸(1.095g)を使用することを除いて、上記のように化合物1と同一の手順を使用して合成した。シリカゲルプラグカラムを用いた精製後の収量は1.064g(34.1%)である。昇華工程の収率は約74%である。H NMR(600MHz,CDCl)δ8.14(dt,J=8.3,1.1Hz,1H)、8.08(dt,J=8.3,0.9Hz,1H)、7.80-7.73(m,3H)、7.63-7.56(m,2H)、7.56-7.51(m,2H)、7.45(ddd,J=8.8,1.3,0.8Hz,2H)、7.43-7.36(m,4H)、7.27(dddd,J=8.0,6.3,5.0,1.3Hz,3H)、7.15-7.12(m,1H)。λAbs=375.6nm(DCM)。
化合物4(「SF359」)の合成:9-(ナフタレン-1-イル)-10-4-トリフルオロメチルフェニルアントラセン。化合物4は、ボロン酸反応物として4-トリフルオロメチルフェニルボロン酸(1.487g)を使用することを除いて、上記のように化合物1と同一の手順を使用して合成した。シリカゲルプラグカラムを用いた精製後の収量は0.899g(25.6%)である。昇華工程の収率は約74%である。H NMR(600MHz,CDCl)δ8.15(dd,J=8.3,1.1Hz,1H)、8.09(dt,J=8.4,0.9Hz,1H)、8.02-7.91(m,2H)、7.83-7.74(m,2H)、7.74-7.66(m,3H)、7.62(dd,J=6.8,1.2Hz,1H)、7.55(ddd,J=8.1,6.6,1.2Hz,1H)、7.47(dt,J=8.9,1.0Hz,2H)、7.39(ddd,J=8.9,6.4,1.3Hz,2H)、7.32-7.22(m,3H)、7.14(dd,J=8.5,1.1Hz,1H)。λAbs=375.3nm(DCM)。
化合物5(「SF16」)の合成:9-(ナフタレン-1-イル)-10-4-メトキシフェニルアントラセン。化合物5は、ボロン酸反応物として4-メトキシフェニルボロン酸(1.189g)を使用することを除いて、上記のように化合物1と同一の手順を使用して合成した。シリカゲルプラグカラムを用いた精製後の収量は1.387g(43.2%)である。昇華工程の収率は約74%である。H NMR(600MHz,CDCl)δ8.14(dt,J=8.3,1.1Hz,1H)、7.85-7.67(m,4H)、7.63-7.53(m,2H)、7.52(d,J=1.4Hz,1H)、7.52-7.44(m,3H)、7.44-7.41(m,1H)、7.37(ddd,J=8.9,6.4,1.3Hz,2H)、7.30-7.18(m,6H)、7.16-7.08(m,2H)、4.01(s,3H)。λAbs=377.4nm(DCM)。
化合物6(「SF358」)の合成:9-(3-トリフルオロメチルフェニル)-10-(ナフタレン-1-イル)アントラセン。化合物6は、ボロン酸反応物として3-トリフルオロメチルフェニルボロン酸(1.49g)を使用することを除いて、上記のように化合物1と同一の手順を使用して合成した。シリカゲルプラグカラムを用いた精製後の収量は1.14gである。昇華工程の収率は約79%である。GC/MS溶出時間5.53分、存在量1.1×10である。H NMR(400MHz,CDCl)δ8.06(d,J=8.2Hz,1H)、8.01(d,J=8.3Hz,1H)、7.86-7.67(m,5H)、7.61(d,J=8.8Hz,2H)、7.55(d,J=6.3Hz,1H)、7.52-7.41(m,3H)、7.37-7.30(m,2H)、7.27-7.18(m,3H)、7.13(t,J=7.6Hz,1H)。λAbs=397nm(DCM)、λfluo=411nm(DCM)。
化合物7(「SF4」)の合成:9-(3,4,5-トリフルオロフェニル)-10-(ナフタレン-1-イル)アントラセン。化合物7は、ボロン酸反応物として3,4,5-トリフルオロフェニルボロン酸(1.38g)を使用することを除いて、上記のように化合物1と同一の手順を使用して合成した。シリカゲルプラグカラムを用いた精製後の収量は1.01gである。昇華工程の収率は約82%である。GC/MS溶出時間5.707分、存在量5.0×10である。H NMR(400MHz,CDCl)δ8.06(d,J=8.3Hz,1H)、8.01(d,J=8.2Hz,1H)、7.73-7.61(m,3H)、7.56-7.32(m,5H)、7.27-7.06(m,5H)。λAbs=396nm(DCM)、λfluo=430nm(DCM)。
化合物8(「SF25」)の合成:9-(2-フルオロフェニル)-10-(ナフタレン-1-イル)アントラセン。化合物8は、ボロン酸反応物として2-フルオロフェニルボロン酸(1.10g)を使用することを除いて、上記のように化合物1と同一の手順を使用して合成した。シリカゲルプラグカラムを用いた精製後の収量は1.32gである。昇華工程の収率は約81%である。GC/MS溶出時間6.475分、存在量8.4×10である。H NMR(400MHz,CDCl)δ8.06(d,J=8.1Hz,1H)、8.00(d,J=8.2Hz,1H)、7.68(d,J=9.0Hz,3H)、7.46(dddd,J=60.9,29.3,13.0,7.7Hz,10H)、7.25-7.11(m,4H)。λAbs=397nm(DCM)、λfluo=407nm(DCM)。
化合物9(「SF316」)の合成:9-(4-トリフルオロメチルフェニル)-10-(ナフタレン-2-イル)アントラセン。9-ブロモ-10-(ナフタレン-2-イル)アントラセン(0.853g、2.23mmol)、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(Pd(PPh,0.385g,15mol%)、炭酸カリウム(KCO,0.923g,6.69mmol)、およびボロン酸4.46mmolの試薬を1Lの反応容器で混合した。本実施例では、ボロン酸として4-トリフルオロメチルフェニルボロン酸(0.845g)を使用した。混合物を含む反応容器を加熱プレートマントルに置き、そしてマグネチックスターラーを使用して撹拌した。また、反応容器を水凝縮器に接続した。6.6:3.3:1の容積比のトルエン、エタノール、および水を含む十分に撹拌された191mlの溶媒混合物を、丸底フラスコで別々に調製した。溶媒混合物を含むフラスコを密封し、Nを使用して最低30分間脱気した後、カニューレを使用して、空気に曝すことなく溶媒混合物を丸底フラスコから反応容器に移した。全ての溶媒混合物を移した後、反応容器を窒素でパージし、約1200RPMで撹拌しながら65℃の温度に加熱し、窒素環境下で少なくとも12時間反応させた。反応が完了したと判断した後、混合物を室温まで冷却してから、真空回転蒸発器を使用して溶媒混合物を除去した。次に、フラスコの内容物をジクロロメタン(DCM)に再溶解し、1M NaOH溶液で洗浄した後、水で洗浄した。有機相を硫酸マグネシウムで洗浄し、濾過した。得られた生成物を、真空吸引下でシリカゲルプラグカラムを通過させることにより精製した。DCM溶媒を除去して、粉末状の生成物を生成した。次に、粉末生成物を、20~50mTorrの減圧下でトレイン昇華を使用し、COをキャリアガスとして使用してさらに精製した。H NMR(CDCl):8.09(d,J=8.58Hz,1H)、8.04(m,1H)、7.98(s,1H)、7.91(m,1H)、7.74(m,2H)、7.63(m,7H)、7.35(m,4H)。19F NMR(CDCl):62.32(s)。λAbs=397nm(DCM)、λfluo=423nm(DCM)。収率(精製)=61%、収率(昇華)=88%。MS(m/z,%):436.3(M+,100)GC保持時間=7.30分。
化合物10(「SF317」)の合成:9-(3,4,5-トリフルオロフェニル)-10-(ナフタレン-2-イル)アントラセン。化合物10は、ボロン酸反応物として3,4,5-トリフルオロフェンリルボロン酸(0.809g、4.60mmol)を使用し、9-ブロモ-10-(ナフタレン-2-イル)アントラセン(0.882g、2.30mmol)、3,4,5-トリフルオロフェンリルボロン酸(0.809g、4.60mmol)、炭酸カリウム(0.954g、6.90mmol)、およびテトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(0.399g、15mol%)と混合させることを除いて、上記のように化合物9と同一の手順を使用して合成した。H NMR(CDCl):8.09(d,J=8.58Hz,1H)、8.04(m,1H)、7.97(s,1H)、7.93(m,1H)、7.74(m,2H)、7.62(m,5H)、7.38(m,4H)、7.16(m,2H)。13C NMR(CDCl):152.76、150.26 138.35、136.28、133.52、132.98、130.32、130.12、129.77、129.43、128.25、128.09、127.28、126.72、126.52、126.13、126.02、125.48,115.92、115.86、115.77、115.72。19F NMR(CDCl):134.38(m)、161.64(m)。λAbs=395nm(DCM)、λfluo=418nm(DCM)。収率(精製)=75%、収率(昇華)=91%。MS(m/z,%):434.3(M+,100)。GC保持時間=7.07分。
化合物11(「SF319」)の合成:9-(3-トリフルオロメチルフェニル)-10-(ナフタレン-2-イル)アントラセン。化合物11は、使用した溶媒の量(トルエン/エタノール/水、287mL)と、ボロン酸として、9-ブロモ-10-(ナフタレン-2-イル)アントラセン(1.280g、3.34mmol)、3-トリフルオロフェンリルボロン酸(1.268g、6.68mmol)、炭酸カリウム(1.385g、10.02mmol)、およびテトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(0.578g、15mol%)と混合させた3-トリフルオロメチルフェンリルボロン酸(1.268g、6.68mmol)を使用することと、を除いて、上記のように化合物9と同一の手順を使用して合成した。H NMR(CDCl):8.10(d,J=8.73Hz,1H)、8.04(m,1H)、7.99(s,1H)、7.93(m,1H)、7.78(m,6H)、7.62(m,5H)、7.35(m,4H)。13C NMR(CDCl):140.17、137.87、136.47、135.34、134.91、133.54、132.95、131.38、131.06、130.36、130.17、129.97、129.56、129.18、128.23、128.08、127.38、126.66、126.53、126.47、125.74、125.38、124.65。19F NMR(CDCl):62.34(s)。λAbs=395nm(DCM)、λfluo=419nm(DCM)。収率(精製)=75%、収率(昇華)=90%。MS(m/z,%):448.3(M+,100)。GC保持時間=6.89分。
化合物12(「SF19」)の合成:9-(2-トリフェニル)-10-(ナフタレン-2-イル)アントラセン。化合物12は、ボロン酸として、9-ブロモ-10-(ナフタレン-2-イル)アントラセン(1.457g、3.80mmol)、炭酸カリウム(1.575g、11.4mmol)、およびテトラキス(トリフェニルホスフィン)-パラジウム(0.658g、15mol%)と混合させた2-トリルボロン酸(1.033g、7.60mmol)を使用することを除いて、上記のように化合物11と同一の手順を使用して合成した。H NMR(CDCl):8.10(dd,J=8.60,2.36Hz,1H)、8.03(m,2H)、7.94(m,1H)、7.76(m,2H)、7.63(m,5H)、7.47(m,3H)、7.33(m,5H)。13C NMR(CDCl):138.60、138.09、136.89、136.77、133.57、132.90、131.47、130.46、130.45、130.28、130.21、129.80、128.26、128.24、128.08、128.05、128.04、127.30、126.82、126.57、126.36、126.05、125.33、125.29、20.02。λAbs=397nm(DCM)、λfluo=415nm(DCM)。収率(精製)=75%、収率(昇華)=73%。MS(m/z,%):394.3(M+,100)。GC保持時間=7.81分。
化合物13(「SF20」)の合成:9-(3-トリフェニル)-10-(ナフタレン-2-イル)アントラセン。化合物13は、3-トリルボロン酸(0.668g、5.06mmol)をボロン酸として使用し、9-ブロモ-10-(ナフタレン-2-イル)アントラセン(0.971g、2.53mmol)、炭酸カリウム(1.05g、7.60mmol)、およびテトラキス(トリフェニルホスフィン)-パラジウム(0.438g、15mol)と混合させたことを除いて、上記のように化合物9と同一の手順を使用して合成した。H NMR(CDCl):8.09(d,J=8.04Hz,1H)、8.04(m,1H)、7.99(s,1H)、7.93(m,1H)、7.74(m,4H)、7.62(m,3H)、7.34(m,7H)。13C NMR(CDCl):139.13、138.13、137.66、138.87、133.58、132.88、132.13、130.38、130.20、130.06、129.75、128.53、128.42、128.34、128.09、128.04、127.29、127.14、126.55、126.35、125.23、125.10、31.09、21.71。19F NMR(CDCl):113.22(m)。λAbs=395nm(DCM)、λfluo=420nm(DCM)。収率(精製)=69%、収率(昇華)=81%。MS(m/z,%):394.3(M+,100)。GC保持時間=9.21分。
化合物14(「SF21」)の合成:9-(3,5-ビス(トリフルオロメチル)フェニル)-10-(ナフタレン-2-イル)アントラセン。化合物14は、ボロン酸として、9-ブロモ-10-(ナフタレン-2-イル)アントラセン(0.744g、1.94mmol)、炭酸カリウム(0.803g、5.81mmol)、およびテトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(0.335g、15mol%)と混合させた3,5-ビス(トリフルオロメチル)フェニルボロン酸(0.998g、3.87mmol)を使用することを除いて、上記のように化合物9と同一の手順を使用して合成した。H NMR(CDCl):8.02(m,7H)、7.76(m,2H)、7.61(m,3H)、7.51(m,2H)、7.38(m,4H)。13C NMR(CDCl):207.07、141.75、138.81、136.17、133.57、133.23、133.03、132.45、132.04、131.73、130.28、130.16、129.89、129.41、128.27、128.09、127.62、126.74、126.57、126.34、125.83、125.51、31.07。19F NMR(CDCl3):62.59(s)。λAbs=395nm(DCM)、λfluo=425nm(DCM)。収率(精製)=58%、収率(昇華)=85%。MS(m/z,%):516.3(M+,100)。GC保持時間=4.87分。
化合物15(「SF1」)の合成:9-(4-メチルフェニル)-10-フェニルアントラセン。9-ブロモ-10-フェニルアントラセン(1.45g、4.35mmol)、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(Pd(PPh、0.75g、0.65mmol)、炭酸カリウム(KCO、1.80g、13.05mmol)、およびボロン酸8.70mmolの試薬を反応容器内で混合した。本実施例では、ボロン酸として4-メチルベンゼンボロン酸(1.18g)を使用した。混合物を含む反応容器を加熱プレートマントルに置き、そしてマグネチックスターラーを使用して撹拌した。また、反応容器を水凝縮器に接続した。1:25:0.15の容積比のトルエン、エタノール、および水を含む十分に撹拌された333mlの溶媒混合物を、丸底フラスコで別々に調製した。溶媒混合物を含むフラスコを密封し、Nを使用して最低30分間脱気した後、カニューレを使用して、空気に曝すことなく溶媒混合物を丸底フラスコから反応容器に移した。全ての溶媒混合物を移した後、反応容器を窒素でパージし、約1200RPMで撹拌しながら65℃の温度に加熱し、窒素環境下で少なくとも12時間反応させた。反応が完了したと判定した後、混合物を室温まで冷却してから、真空回転蒸発器を使用して溶媒混合物を除去した。次に、フラスコの内容物をジクロロメタン(DCM)に再溶解し、NaOH溶液、水、およびブラインで5回洗浄した。有機相を硫酸マグネシウムで洗浄し、濾過した。得られた生成物を、真空吸引下でシリカゲルプラグカラムを通過させることにより精製した。DCM溶媒を除去して、粉末状の生成物を生成した。次に、粉末生成物を、20~50mTorrの減圧下でトレイン昇華を使用し、COをキャリアガスとして使用してさらに精製した。H NMR(CDCl):7.72(m,4H)、7.58(m,3H)、7.49(m,2H)、7.41(m,4H)、7.33(m,4H)、2.55(s,3H)。13C NMR(CDCl):139.28、137.38、137.21、137.07、136.10、131.48、131.34、130.13、130.03、129.25、128.53、127.57、127.20、127.08、125.10、125.02、21.55。λAbs=393nm(iPrOH)、λfluo=408.03nm(iPrOH)。収率(精製)=53%、収率(昇華)=73%。
化合物16(「SF7」)の合成:9-(4-トリフルオロメチルフェニル)-10-フェニルアントラセンの合成。化合物16は、ボロン酸として、9-ブロモ-10-フェニルアントラセン(1.25g、3.76mmol)、KCO(1.60g,11.28mmol)およびPd(PPh(0.65g,0.56mmol)と混合させた4-(トリフルオロメチル)ベンゼンボロン酸(1.43g、7.52mmol)を使用することを除いて、上記のように化合物15と同一の手順を使用して合成した。H NMR(CDCl):7.89(d,2H)、7.73(m,2H)、7.60(m,7H)、7.49(m,2H)、7.36(m,4H)。13C NMR(CDCl):143.31、138.95、135.32、131.92、131.37、129.99、129.86、128.60、127.74、127.30、126.48、125.87、125.60、125.58、125.27、123.16。19F NMR(CDCl):-62.31(s,3F)。λAbs=392nm(iPrOH)、λfluo=406.96nm(iPrOH)。収率(精製)=53%、収率(昇華)=67%。
化合物17(「SF5」)の合成:9-(4-tert-ブチルフェニル)-10-フェニルアントラセン。化合物17は、ボロン酸として、9-ブロモ-10-フェニルアントラセン(1.29g、3.88mmol)、KCO(1.61g,11.64mmol)およびPd(PPh(0.67g,0.58mmol)と混合させた4-tert-ブチルベンゼンボロン酸(1.38g、7.76mmol)を使用することを除いて、上記のように化合物15と同一の手順を使用して合成した。H NMR(CDCl):7.72(m,4H)、7.58(m,5H)、7.50(m,2H)、7.42(m,2H)、7.33(m,4H)、1.49(s,9H)。13C NMR(CDCl):150.41、139.32、137.50、137.02、135.99、131.49、131.08、130.17、130.04、128.54、127.57、127.32、127.05、125.40、125.11、124.99、34.90。λAbs=393nm(iPrOH)、λfluo=408.03nm(iPrOH)。
化合物18(「SF24」)の合成:9-(3-トリフルオロメチルフェニル)-10-フェニルアントラセン。化合物18は、溶媒の容積(222mL)と、ボロン酸として、室温で9-ブロモ-10-フェニルアントラセン(0.84g、2.51mmol)、KCO(1.04g,7.53mmol)およびPd(PPh(0.44g,0.38mmol)と混合させた3-(トリフルオロメチル)ベンゼンボロン酸(0.95g、5.02mmol)を使用することと、を除いて、上記のように化合物15と同一の手順を使用して合成した。H NMR(CDCl):7.84(m,1H)、7.74(m,5H)、7.60(m,5H)、7.50(m,2H)、7.37(m,4H)。13C NMR(CDCl):140.18、138.97、138.08、135.19、134.90、131.38、131.03、130.00、129.93、129.15、128.61、128.23、127.75、127.32、126.46、125.68、125.27、124.61、123.03。19F NMR(CDCl):-62.38(s,3F)。λAbs=392nm(iPrOH)、λfluo=406.06nm(iPrOH)。
化合物19(「SF8」)の合成:9-(3-メチルフェニル)-10-フェニルアントラセン。化合物19は、ボロン酸として、9-ブロモ-10-フェニルアントラセン(0.97g、2.90mmol)、KCO(1.20g,8.70mmol)およびPd(PPh4(0.51g,0.44mmol)と混合させた3-メチルベンゼンボロン酸(0.79g、5.80mmol)を使用することを除いて、上記のように化合物18と同一の手順を使用して合成した。H NMR(CDCl):7.72(m,4H)、7.56(m,6H)、7.34(m,7H)、2.49(m,3H)。13C NMR(CDCl):139.28、139.13、138.12、137.49、137.10、132.13、131.49、130.01、130.01、128.54、128.52、128.40、128.31、127.59、127.22、127.08、125.11、125.05、21.69。λAbs=392nm(iPrOH)、λfluo=406.06nm(iPrOH)。
化合物20(「SF357」)の合成:9-(4-トリフルオロメトキシフェニル)-10-(ナフタレン-1-イル)アントラセン。化合物20は、ボロン酸として、4-トリフルオロメトキシフェニルボロン酸(1.49g、7.82mmol)を使用することを除いて、化合物1と同じ手順を使用して合成した。H NMR(400MHz,CDCl)δ8.06(d,J=8.2Hz,1H)、8.01(d,J=8.3Hz,1H)、7.86-7.67(m,5H)、7.61(d,J=8.8Hz,2H)、7.55(d,J=6.3Hz,1H)、7.52-7.41(m,3H)、7.37-7.30(m,2H)、7.27-7.18(m,3H)、7.13(t,J=7.6Hz,1H)。λAbs,max=376nm(DCM)、λfluo,max=430nm(DCM)。
化合物21(「SF170」)の合成:9-(4-トリフルオロフェニル)-10-(フェナントレン-1-イル)アントラセン。9-ブロモ-10-(フェナントラセン-10-イル)アントラセン(1.500g、3.91mmol)、テトラキス(トリフェニルホスフィン)パラジウム(0)(Pd(PPh,0.678g,0.587mmol)、炭酸カリウム(KCO,1.623g,11.7mmol)、およびボロン酸7.82mmolの試薬を500mLの反応容器で混合した。本実施例では、ボロン酸として4-トリフルオロメチルフェニルボロン酸(1.49g)を使用した。混合物を含む反応容器を加熱プレートマントルに置き、そしてマグネチックスターラーを使用して撹拌した。また、反応容器を水凝縮器に接続した。25:3の容積比のN、N-ジメチルホルムアミド(DMF)および水を含む十分に撹拌された300mlの溶媒混合物を、丸底フラスコで別々に調製した。溶媒混合物を含むフラスコを密封し、Nを使用して最低30分間脱気した後、カニューレを使用して、空気に曝すことなく溶媒混合物を丸底フラスコから反応容器に移した。全ての溶媒混合物を移した後、反応容器を窒素でパージし、約1200RPMで撹拌しながら65℃の温度に加熱し、窒素環境下で少なくとも12時間反応させた。反応が完了したと判定した後、混合物を室温に冷却してから2Lのビーカーに移した。混合物を穏やかに撹拌しながらビーカーに水1500mLをゆっくりと加え、2相に分離させた。沈殿物を濾別し、乾燥して、粉末生成物を生成した。次に、粉末生成物を、20~50mTorrの減圧下でトレイン昇華を使用し、COをキャリアガスとして使用してさらに精製した。合成後に139.2mol%(2.40g)の観測された収量が得られ、トレイン昇華後の全体のモル収量は63.2mol%である。GC/MS溶出時間12.136分、存在量6.5×10である。H NMR(400MHz,CDCl)δ8.87(dd,J=8.4,3.6Hz,2H)、7.90(t,J=7.1Hz,3H)、7.85(s,1H)、7.81-7.74(m,1H)、7.74-7.69(m,1H)、7.65(dd,J=13.9,7.8Hz,5H)、7.58(d,J=8.8Hz,2H)、7.37-7.29(m,3H)、7.24-7.18(m,3H)。λAbs,max=377nm(DCM)、λfluo,max=432nm(DCM)。
化合物22(「SF173」)の合成:9-(4-tert-ブチルフェニル)-10-(フェナントレン-1-イル)アントラセン。化合物22は、ボロン酸として4-Tert-ブチルフェニルボロン酸(1.39g、7.82mmol)を使用することを除いて、上記のように化合物21と同一の手順を使用して合成した。合成後に100.3mol%(1.69g)の観測された収量が得られ、トレイン昇華後の全体のモル収量は67.1mol%である。GC/MS溶出時間22.185分、存在量1.1×10である。H NMR(400MHz,CDCl)δ8.06(d,J=8.3Hz,2H)、8.01(d,J=8.2Hz,2H)、7.73-7.61(m,6H)、7.56-7.32(m,10H)、7.27-7.06(m,10H)。λAbs,max=378nm(DCM)、λfluo,max=436nm(DCM)。
上記に加えて、以下の化合物23~36を合成した:9-(3-(ナフタレン-1-イル)フェニル)-10-(ナフタレン-1-イル)アントラセン(化合物23(「SF168」))、9-(3-(ナフタレン-1-イル)フェニル)-10-(フェナンスレン-9-イル)アントラセン(化合物24(「SF169」))、2,6-ビス(4-フルオロフェニル)-9,10-ジ(ナフタレン-2-イル)アントラセン(化合物25(「SF3」))、2,6-ビス(4-tert-ブチル)フェニル)-9,10-ジ(ナフタレン-2-イル)アントラセン(化合物26(「SF2」))、9,10-ジ(ナフタレン-2-イル)-2-(4-(トリフルオロメチル)フェニル)アントラセン(化合物27(「SF157」))、9-(4-トリフルオロメトキシフェニル)-10-(ナフタレン-2-イル)アントラセン(化合物28(「SF315」))、9,10-ジフェニルアントラセン(化合物29)、9-(4-メトキシフェニル)-10-フェニルアントラセン(化合物30)、9-(4-フルオロフェニル)-10-フェニルアントラセン(化合物31)、9-フェニル-10-(3,4,5-トリフルオロフェニル)アントラセン(化合物32)、9-(2-メチルフェニル)-10-フェニルアントラセン(化合物33)、9-フェニル-10-(フェナンスレン-9-イル)アントラセン(化合物34)、9-(3-クロロ-4-フルオロフェニル)-10-フェニルアントラセン(化合物35(「SF0」))、および9-(3,4,5-トリフルオロフェニル)-10-(フェナンスレン-9-イル)アントラセン(化合物36(「SF171」))。
実施例1:化合物1~5の低速評価。様々な材料を使用して核生成抑制コーティングを形成する効果を特徴付けるために、一連のサンプルを、化合物1~5のそれぞれを使用して調製し、核生成抑制コーティングを形成した。
本明細書の例で使用したように、材料の層厚への言及は、ターゲット表面(または選択的堆積の場合は表面のターゲット領域)に堆積された材料の量を指しており、これは、基準層の厚さを有する材料の均一に厚い層でターゲット表面を被覆する材料の量に対応する。一例として、10nmの層厚を堆積させることは、表面上に堆積された材料の量が、10nm厚の材料の均一に厚い層を形成するための材料の量に対応することを示す。例えば、分子または原子のスタッキングまたはクラスタリングの可能性があるため、堆積された材料の実際の厚さは不均一になる可能性があることが理解されよう。例えば、10nmの層厚を堆積させることにより、10nmを超える実際の厚さを有する堆積材料の一部分、または10nm未満の実際の厚さを有する堆積材料の他の部分が得られる場合がある。表面上に堆積された材料の特定の層の厚さは、表面全体にわたって堆積された材料の平均厚さに対応し得る。
一連のサンプルは、2-(4-(9,10-ジ(ナフタレン-2-イル)アントラセン-2-イル)フェニル)-1-フェニル-1H-ベンゾ-[D]イミダゾール(LG201)によりガラス基板上に形成された約20nmの厚さの有機層を堆積し、続いてLG201有機層の上に約30nmの厚さを有する核生成抑制コーティングを堆積させることによって製造した。次に、核生成抑制コーティングの表面に、マグネシウムのオープンマスク堆積を施した。各サンプルを、平均蒸発速度が約2.5Å/秒のマグネシウム蒸気フラックスに曝した。マグネシウムコーティングの堆積を実施する際に、約500nmのマグネシウムの基準層厚さを得るために、約2000秒の堆積時間を使用した。
サンプルが製造されると、核生成抑制コーティングの表面に堆積したマグネシウムの相対量を決定するために、光透過率測定を行った。理解されるように、例えば、数nm未満の厚さを有する比較的薄いマグネシウムコーティングは、実質的に透明である。ただし、マグネシウムコーティングの厚みが増すと、光透過率は低下する。したがって、様々な核生成抑制コーティング材料の相対的な性能は、サンプルを通る光透過率を測定することによって評価することができ、これは、マグネシウム堆積プロセスからその上に堆積されるマグネシウムコーティングの量または厚さに直接相関する。各サンプルで核生成抑制コーティングを形成するために使用された材料、および各サンプルの光透過率測定を、以下の表3に要約する。光透過率測定値の計算では、ガラス基板、LG201有機層、および核生成抑制コーティングの存在によって引き起こされる光の損失または吸収を、測定された透過率から差し引いた。そのため、表3に示す光透過率の値は、核生成抑制コーティングの表面に存在し得るマグネシウムコーティングを通る光の透過率(波長約550nm)のみを反映している。
実施例2:化合物6~22の低速評価。様々な材料を使用して核生成抑制コーティングを形成する効果を特徴付けるために、一連のサンプルを、化合物6、7および9~22のそれぞれを使用して調製し、核生成抑制コーティングを形成した。
一連のサンプルは、ガラス基板上に核生成抑制コーティングを堆積させることによって製造した。次に、核生成抑制コーティングの表面に、マグネシウムのオープンマスク堆積を施した。各サンプルを、平均蒸発速度が約2Å/秒のマグネシウム蒸気フラックスに曝した。マグネシウムコーティングの堆積を実施する際に、約200nmのマグネシウムの基準層厚さを得るために、約1000秒の堆積時間を使用した。
各サンプルで核生成抑制コーティングを形成するために使用された材料、および各サンプルの光透過率測定を、以下の表4に要約する。
上記に基づいて、核生成抑制コーティング材料として化合物1~7および9~22を使用して製造したサンプルについて、90%を超える比較的高い光透過率が測定されたことがわかる。上述したように、高い光透過率は、核生成抑制コーティングの表面に存在し、サンプルを透過する光を吸収する比較的少量のマグネシウムコーティングがある場合に直接起因する。したがって、これらの核生成抑制コーティング材料は、概して、マグネシウムに対して比較的低い親和性または初期付着確率を示し、これにより、特定の用途においてマグネシウムコーティングの選択的堆積およびパターニングを実現するために特に有用であり得る。対照的に、核生成抑制コーティング材料として化合物29~34を使用して製造されたサンプルは、光透過率が比較的低いか、または光透過を示さず、顕著な厚さのマグネシウムコーティングが堆積されたことを示した。したがって、化合物29~34は、核生成抑制コーティング材料として概して不十分に機能することが見出された。
本明細書で説明するこの例および他の例で使用されるように、基準層の厚さは、高い初期付着係数を示す基準表面(例えば、約1.0、または1.0に近い初期付着係数を持つ表面)に堆積されるマグネシウムの層の厚さを指す。具体的には、これらの例の場合、基準表面は、堆積速度と基準層の厚さを監視するために堆積チャンバー内に位置付けられた水晶の表面である。換言すれば、基準層の厚さは、ターゲット表面(すなわち、核生成抑制コーティングの表面)に堆積されたマグネシウムの実際の厚さを示すものではない。むしろ、基準層の厚さは、ターゲット表面と基準表面を同じ堆積期間(すなわち、水晶の表面)で同じマグネシウム蒸気フラックスに曝したときに、基準表面に堆積されるマグネシウムの層厚を指す。理解されるように、ターゲット表面と基準表面が堆積中に同時に同じ蒸気フラックスに曝されない場合、基準厚さを決定および監視するために適切なツーリングファクタが使用されてもよい。
実施例3:化合物1~5の高速評価。マグネシウム蒸発速度が様々な材料の核生成抑制特性にどのような影響を与えるかを判定するために、化合物1~5のそれぞれを使用して一連のサンプルを調製し、核生成抑制コーティングを形成してから、比較的高いマグネシウム蒸気フラックスに曝した。一連のサンプルは、ガラス基板上に形成された約20nmの厚さの有機層LG201を堆積し、続いてLG201有機層上に約30nmの厚さを有する核生成抑制コーティングを堆積させることによって製造した。基準表面を使用して測定するとき、サンプルを平均堆積速度が約10Å/秒のマグネシウムフラックスに曝した。マグネシウムコーティングの堆積を実施する際に、約500nmのマグネシウムの基準層厚さを得るために、約500秒の堆積時間を使用した。
サンプルが製造されると、核生成抑制コーティングの表面に堆積したマグネシウムの相対量を決定するために、光透過率測定を行った。核生成抑制コーティングの厚さおよび各サンプルの光透過率測定を、以下の表4に要約する。光透過率測定値の計算では、ガラス基板および核生成抑制コーティングの存在によって引き起こされる光の損失または吸収を、測定された透過率から差し引いた。そのため、表4に示す光透過率の値は、核生成抑制コーティングの表面に存在し得るマグネシウムコーティングを通る光の透過率(波長約550nm)のみを反映している。
実施例4:化合物6~22の高速評価。マグネシウム蒸発速度が様々な材料の核生成抑制特性にどのような影響を与えるかを判定するために、化合物6~22のそれぞれを使用して一連のサンプルを調製し、核生成抑制コーティングを形成してから、比較的高いマグネシウム蒸気フラックスに曝した。一連のサンプルは、ガラス基板上に核生成抑制コーティングを堆積させることによって製造した。基準表面を使用して測定するとき、サンプルを平均堆積速度が約10Å/秒のマグネシウムフラックスに曝した。マグネシウムコーティングの堆積を実施する際に、約200nmのマグネシウムの基準層厚さを得るために、約200秒の堆積時間を使用した。
サンプルが製造されると、核生成抑制コーティングの表面に堆積したマグネシウムの相対量を決定するために、光透過率測定を行った。核生成抑制コーティングの厚さおよび各サンプルの光透過率測定を、以下の表6に要約する。光透過率測定値の計算では、ガラス基板および核生成抑制コーティングの存在によって引き起こされる光の損失または吸収を、測定された透過率から差し引いた。そのため、表6に示す光透過率の値は、核生成抑制コーティングの表面に存在し得るマグネシウムコーティングを通る光の透過率(波長約550nm)のみを反映している。
上記に基づいて、核生成抑制コーティング材料として化合物4、6、7、8、9、10、11、16、17、21、22を使用して製造されたサンプルについてのみ、90%を超える比較的高い光透過率が測定されたことがわかる。上述したように、高い光透過率は、核生成抑制コーティングの表面に存在し、比較的少量のマグネシウムコーティングがある場合に直接起因する。したがって、そのような核生成抑制コーティング材料は、特定の用途においてマグネシウムコーティングの選択的堆積およびパターニングを実現するために特に有用であり得る。例えば、そのような材料は、マグネシウムコーティングの堆積速度が約2Å/秒より実質的に高い用途に特に適し得る。さらに、核生成抑制コーティング材料として化合物29~34を使用して製造されたサンプルは、光透過を示さず、顕著な厚さのマグネシウムコーティングが堆積されたことを示した。したがって、化合物29~34は、核生成抑制コーティング材料として概して不十分に機能することが見出された。
核生成抑制コーティング材料として化合物5、12、13、14、19および20を使用して製造されたサンプルは、それぞれ約66%、33%、35%、49%、46%および36%の光透過率を示した。マグネシウムコーティングの高度に選択的な堆積を必要とする用途では、より高い光透過率を示す材料、したがって優れた核生成抑制特性(すなわち、低い初期付着確率)を示す材料を使用することが概してより好ましいが、それにもかかわらず、化合物5、12、13、14、19および20などの材料は、特定の用途のための核生成抑制コーティングを形成するのに有用であり得る。
化合物1、2、15および18を使用して製造されたサンプルは全て、比較的低い光透過率を示した。特に、化合物15および化合物18を使用して製造されたサンプルは、透過を示さなかった。これは、核生成抑制コーティングの表面に堆積されたマグネシウムコーティングの比較的大量または厚い層が光の大幅な吸収をもたらすことを示している。したがって、これらの材料は、マグネシウムコーティングの選択的堆積を実現するための使用、特に、約2Å/秒を超える高い堆積速度(例えば、約10Å/秒の堆積速度)で、比較的厚いマグネシウムコーティングを選択的に堆積させる必要がある用途には望ましくない場合がある。
実施例3および4の結果を実施例1および2の結果と比較することにより、いくぶん驚くべきことに、一部の材料は、比較的低い堆積速度または蒸発速度でマグネシウム蒸気フラックスに曝された場合、その上へのマグネシウムの堆積を実質的に抑制するが、マグネシウムの堆積が抑制される程度は、マグネシウムの比較的高い堆積速度または蒸発速度が使用される場合、実質的に減少することが判明している。換言すれば、マグネシウムコーティングの選択的堆積は、約2Å/秒の比較的低いマグネシウム堆積速度で、特定の核生成抑制コーティング材料(例えば、化合物1、2、15、18など)を使用して正常に実現できることが観察されている。しかし、約10Å/秒の比較的高い堆積速度では、同じ核生成抑制コーティング材料を使用しても、マグネシウムコーティングの選択性の高い堆積を成功させることはできない。
これらの実施例で使用されるマグネシウム堆積速度に関係なく、一部の核生成抑制コーティング材料は、その上へのマグネシウムの堆積を抑制するのに効果的であると思われることも観察されている。実験結果に基づいて、化合物4、6、7、8、9、10、11、16、17、21、22は、少なくとも最大約10Å/秒のマグネシウム堆積速度でマグネシウムコーティングの非常に選択的な堆積を実現するための効果的な核生成抑制コーティングを形成するために使用することができる。
さらに、核生成抑制コーティングとして化合物23~28、35および36を使用することを除いて、実施例4のサンプルと同様に製造されたサンプルも比較的高い光透過率を示しており、これにより、そのような材料は、少なくとも一部の用途において核生成抑制コーティングを形成するのにも適し得ることを示している。
特定の理論に拘束されることを望むものではないが、上記の核生成と成長の理論に基づいて、化合物1などの材料を堆積して形成された表面は、概して、吸着したマグネシウム吸着原子の比較的低い脱離エネルギー(Edes)、マグネシウム吸着原子の拡散の高い活性化エネルギー(E)、またはその両方を示すと想定されている。このように、このように、マグネシウムの蒸気衝突速度(
)が増加しても、次の式に従って決定される臨界核生成速度(
)は比較的低いままであり、マグネシウムの堆積を実質的に抑制する。
蒸気衝突速度(すなわち、蒸発速度)が増加すると、基板の温度が上昇し得ると想定されている。例えば、蒸発速度が増加すると、蒸発源は通常、より高い温度で動作する。したがって、より高い蒸発速度では、基板は、基板を加熱し得る高いレベルの熱輻射に曝され得る。基板温度の上昇をもたらし得る他の要因には、基板温度の上昇をもたらす可能性のある他の要因には、基板表面に入射する多数の蒸発した分子からのエネルギー移動によって引き起こされる基板の加熱、ならびにプロセスでエネルギーを放出して加熱を引き起こす基板表面上の分子の凝縮または(逆)昇華速度の増加が挙げられる。
さらなる明確化のために、核生成抑制コーティングの文脈で使用される場合の「選択性」という用語は、概して、導電性コーティングを形成するために使用される材料の蒸気フラックスに曝されたときに、核生成抑制コーティングがその上への導電性コーティングの堆積を抑制または防止する程度を指すと理解される。例えば、マグネシウムに対して比較的高い選択性を示す核生成抑制コーティングは、比較的低い選択性を有する核生成抑制コーティングと比較して、概してその上へのマグネシウムコーティングの堆積をよりよく抑制または防止する。概して、比較的高い選択性を示す核生成抑制コーティングはまた、比較的低い初期付着確率を示し、比較的低い選択性を示す核生成抑制コーティングは、比較的高い初期付着確率を示すことが観察されている。
実施例4。一連の動的モンテカルロ(KMC)計算を行って、様々な活性化エネルギーを示す表面への金属吸着原子の堆積をシミュレーションした。具体的には、このような表面をモノマーフラックスの一定速度で蒸発蒸気フラックスに曝すことにより、脱離(Edes)、拡散(E)、解離(E)、表面への反応(E)に関連した様々な活性化エネルギーレベルを有する表面へのマグネシウム吸着原子のような金属吸着原子の堆積をシミュレーションするために計算を行った。図39は、現在の実施例で考慮された様々な「事象」の概略図である。図39では、気相中の原子5301は、表面5300に入射するように示されている。原子5301が表面5300に吸着されると、それは吸着原子5303になる。吸着原子5303は、(i)脱離(その上に脱離した原子5311が生成される)、(ii)拡散(表面5300上で拡散する吸着原子5313を生じさせる)、(iii)核生成(臨界数の吸着原子5315が集まって核を形成する)、(iv)表面への反応(吸着原子5317が反応して表面5300に結合する)、を含む様々な事象を経験する可能性がある。
脱離、拡散、または解離が発生する速度(R)は、以下の式に従って、試行の頻度(ω)、各事象の活性化エネルギー(E)、ボルツマン定数(k)、およびシステムの温度(T)から計算される。
上記の計算の目的で、臨界クラスタサイズi(すなわち、安定した核を形成するための吸着原子の臨界数)を2に選択した。吸着原子-吸着原子相互作用の拡散の活性化エネルギーは約0.6eVより大きくなるように選択し、吸着原子-吸着原子相互作用の脱離の活性化エネルギーは約1.5eVより大きくなるように選択し、吸着原子-吸着原子相互作用の脱離の活性化エネルギーは、表面-吸着原子相互作用の脱離の活性化エネルギーの約1.25倍より大きくなるように選択した。上記の値と条件は、マグネシウム-マグネシウム相互作用についての報告値に基づいて選択した。シミュレーションの目的で、300Kの温度(T)を使用した。タングステン-タングステンのような他の金属吸着原子-金属吸着原子活性化相互作用についての報告値を使用して、計算を繰り返した。上記の参照値は、例えば、カリフォルニア州ノイバウアーにおける、1964年、Physics of Thin Films,2,1,Structural Disorder Phenomena in Thin Metal Filmsにおいて報告されている。
以下の式に従って、シミュレーション期間中に表面に衝突したモノマーの総数(Ntotal)のうち、表面に残っている吸着モノマーの数(Nads)の割合を計算することにより、累積付着確率を決定した。
シミュレーションは、約96nmを超える基準厚さを有する膜を堆積させるための時間に対応する、約8分を超える堆積期間にわたって約2Å/秒に対応する蒸気フラックス速度を使用して堆積をシミュレートするために実施した。
典型的な表面の場合、脱離の活性化エネルギー(Edes)は、概して、拡散の活性化エネルギー(E)以上である。シミュレーションに基づいて、少なくとも一部の場合では、脱離の活性化エネルギー(Edes)と拡散の活性化エネルギー(E)との間に比較的小さな差を示す表面は、核生成抑制コーティングの表面として作用するのに特に有用であり得ることが見出されている。一部の実施形態では、脱離の活性化エネルギーは、表面の拡散の活性化エネルギー以上であり、表面の拡散の活性化エネルギーの約1.1倍以下、約1.3倍以下、約1.5倍以下、約1.6倍以下、約1.75倍以下、約1.8倍以下、約1.9倍以下、約2倍以下、または約2.5倍以下である。一部の実施形態では、脱離の活性化エネルギーと拡散の活性化エネルギーとの間の差(例えば、絶対値に関して)は、約0.5eV以下、約0.4eV以下、約0.35eV以下、より好ましくは約0.3eV以下、または約0.2eV以下である。一部の実施形態では、脱離の活性化エネルギーと拡散の活性化エネルギーとの間の差は、約0.05eV~約0.4eV、約0.1eV~約0.3eV、または約0.1eV~約0.2eVである。
また、少なくとも一部の場合では、脱離の活性化エネルギー(Edes)と解離の活性化エネルギー(E)との間に比較的小さな差を示す表面は、核生成抑制コーティングの表面として作用するのに特に有用であり得ることが見出されている。一部の実施形態では、脱離の活性化エネルギー(Edes)は、乗数に解離活性化エネルギー(E)を掛けた値以下である。一部の実施形態では、脱離の活性化エネルギーは、表面の解離の活性化エネルギーの約1.5倍以下、約2倍以下、約2.5倍以下、約2.8倍以下、約3倍以下、約3.2倍以下、約3.5倍以下、約4倍以下、または約5倍以下である。
また、少なくとも一部の場合では、拡散の活性化エネルギー(E)と解離の活性化エネルギー(E)との間に比較的小さな差を示す表面は、核生成抑制コーティングの表面として作用するのに特に有用であり得ることが見出されている。一部の実施形態では、拡散の活性化エネルギー(E)は、乗数に解離の活性化エネルギー(E)を掛けた値以下である。一部の実施形態では、拡散の活性化エネルギーは、表面の解離の活性化エネルギーの約2倍以下、約2.5倍以下、約2.8倍以下、約3倍以下、約3.2倍以下、約3.5倍以下、約4倍以下、または約5倍以下である。
一部の実施形態では、核生成抑制コーティングの脱離の活性化エネルギー(Edes)と、拡散の活性化エネルギー(E)と、表面の解離の活性化エネルギー(E)との間の関係は、以下のように表され得る。
des≦α*E≦β*E
式中、αは約1.1~約2.5の範囲から選択される任意の数であり得、βは約2~約5の範囲から選択される任意の数であり得る。いくつかのさらなる実施形態では、αは、約1.5~約2の範囲から選択される任意の数であり得、βは、約2.5~約3.5の範囲から選択される任意の数であり得る。別のさらなる実施形態では、αは約1.75になるように選択され、βは約3になるように選択される。
以下の関係を有する表面は、少なくとも特定の場合において、マグネシウム蒸気について約0.1未満の累積付着確率を示す可能性があることが現在見出されている。
des≦1.75*E≦3*E
したがって、上記の活性化エネルギーの関係を有する表面は、一部の実施形態において、核生成抑制コーティングの表面としての使用に特に有利であり得る。
上記の活性化エネルギーの関係に加えて、拡散の活性化エネルギーと解離の活性化エネルギーとの間に約0.3eV以下の比較的小さな差を示す表面は、約0.1未満の累積付着確率が望まれる特定の用途において特に有用であり得ることが現在見出されている。拡散の活性化エネルギー(E)と解離の活性化エネルギー(E)との間のエネルギー差(ΔEs-i)は、以下の式に従って計算され得る。
ΔEs-i=E-E
例えば、少なくとも一部の場合において、拡散の活性化エネルギーと解離の活性化エネルギーとの間のエネルギー差が約0.25eV以下である表面は、マグネシウム蒸気の累積付着確率が約0.07以下であることが現在見出されている。他の例では、ΔEs-iが約0.2eV以下の場合、累積付着確率は約0.05以下となり、ΔEs-iが約0.1eV以下の場合、累積付着確率は約0.04以下となり、ΔEs-iが約0.05eV以下の場合、累積付着確率は約0.025以下となる。
したがって、いくつかの実施形態では、表面は、次の不等式の関係において、以下によって特徴付けられ、αは、約1.1~約2.5の範囲、またはより好ましくは約1.5~約2の範囲、例えば約1.75などから選択される任意の数であり、βは、約2~約5の範囲、またはより好ましくは約2.5~約3.5の範囲、例えば約3の範囲から選択される任意の数である。
des≦α*E≦β*E
ここで、次式に従って計算されたΔEs-iは、次式において約0.3eV以下、約0.25eV以下、約0.2eV以下、約0.15eV以下、約0.1eV以下、または約0.05eV以下である。
ΔEs-i=E-E
計算の結果も分析して、シミュレーションされた初期付着確率を決定した。これは、本実施例では、約1nmの平均厚さを有するマグネシウムコーティングを生成する表面上に堆積したときの表面上のマグネシウムの付着確率であると特定された。結果の分析に基づいて、少なくとも一部の場合において、脱離の活性化エネルギー(Edes)が拡散の活性化エネルギー(E)の約2倍未満であり、拡散のエネルギー(E)が解離の活性化エネルギー(E)の約3倍未満である表面は、概して、約0.1未満の比較的低い初期付着確率を示すことが現在見出されている。
特定の理論に拘束されることを望むものではないが、様々な事象の活性化エネルギーおよび上記のこれらのエネルギー間のそれぞれの関係は、概して、表面への吸着原子反応の活性化エネルギー(E)が脱離の活性化エネルギー(Edes)よりも大きい表面に適用されると想定される。表面への吸着原子反応の活性化エネルギー(E)が脱離の活性化エネルギー(Edes)より小さい表面の場合、そのような表面での吸着原子の初期付着確率は概して約0.1より大きいと想定される。
上記の様々な活性化エネルギーは、電子ボルト(eV)などの任意のエネルギー単位で測定された負でない値として取り扱われることが理解されよう。そのような場合、上述の活性化エネルギーに関連する様々な不等式および式が概して適用可能であり得る。
様々な活性化エネルギーのシミュレーションされた値が上記で議論されたが、これらの活性化エネルギーはまた、様々な技術を使用して実験的に測定および/または導出され得ることが理解されよう。このような目的で使用できる技術と機器の例には、熱脱離分光法、フィールドイオン顕微鏡(FIM)、走査型トンネル顕微鏡(STM)、透過型電子顕微鏡(TEM)、および中性子放射化トレーサースキャン(NATS)が含まれるが、これらに限定されない。
概して、本明細書で説明する様々な活性化エネルギーは、表面の一般的な組成と構造および吸着原子が(例えば、実験的測定と分析によって)特定されている場合、量子化学シミュレーションを実施することによって導出できる。シミュレーションについては、例えば、単一のエネルギー点、遷移状態、エネルギー表面スキャン、および局所/大域エネルギー最小値などの方法を使用する量子化学シミュレーションを使用することができる。例えば、密度汎関数理論(DFT)、ハートリーフォック(HF)、自己無撞着場(SCF)、および完全構成相互作用(FCI)などの様々な理論を、そのようなシミュレーション方法と併せて使用することができる。理解されるように、拡散、脱離、および核生成などの様々な事象は、初期状態、遷移状態、および最終状態の相対エネルギーを調べることによってシミュレーションすることができる。例えば、遷移状態と初期状態との間の相対的なエネルギー差は、概して、様々な事象に関連する活性化エネルギーの比較的正確な推定を提供し得る。
本明細書で使用する場合、「実質的に」、「実質的な」、「約(approximately)」、および「約(about)」という用語は、小さな変動を示し、説明するために使用される。事象または状況と組み合わせて使用する場合、これらの用語は、事象または状況が正確に発生する場合だけでなく、事象または状況が近似的に発生する場合も指す場合がある。例えば、数値と組み合わせて使用する場合、これらの用語は、その数値の±10%以下、例えば±5%以下、±4%以下、±3%以下、±2%以下、±1%以下、±0.5%以下、±0.1%以下、または±0.05%以下などの変動の範囲を指す場合がある。
一部の実施形態の説明では、別の構成要素の「上(on)」もしくは「上(over)」に設けられた構成要素、または別の構成要素を「被覆する(covering)」もしくは「被覆する(covers)」構成要素は、前者の構成要素が後者の構成要素に直接(例えば、物理的に接触して)いる場合、ならびに1つ以上の介在する構成要素が前者の構成要素と後者の構成要素との間に位置する場合を包含することができる。
本明細書に例示的に記載されている実施形態は、本明細書に具体的に開示されていない任意の1つ以上の要素、限定がなくても適切に実施することができる。したがって、例えば、「備える(comprising)」、「含む(including)」、「含む(containing)」などの用語は、拡張的にかつ制限なく解釈されるべきである。さらに、本明細書で使用されている用語および表現は、限定ではなく説明の用語として使用されており、そのような用語および表現を使用して、図示および説明された特徴またはその一部分の同等物を除外する意図はないが、請求された技術の範囲内で様々な修正が可能であることが認識される。さらに、「から本質的になる(consisting essentially of)」という語句は、具体的に列挙された要素、および請求された技術の基本的かつ新規な特性に実質的に影響を与えない追加の要素を含むと理解される。「からなる(consisting of)」という語句は、特定されていない要素を除外する。
さらに、本開示の特徴または態様がマーカッシュグループに関して説明される場合、当業者は、開示がまた、マーカッシュグループの任意の個々の要素または要素のサブグループに関して説明されることを認識するであろう。
当業者によって理解されるように、特に書面による説明を提供するという観点から、ありとあらゆる目的のために、本明細書に開示される全ての範囲は、ありとあらゆる可能な部分範囲およびその部分範囲の組み合わせも包含する。列挙された範囲は、同じ範囲を少なくとも等しい2分の1、3分の1、4分の1、5分の1、10分の1などに十分に説明し、有効にするものとして簡単に認識できる。非限定的な例として、本明細書で説明する各範囲は、下3分の1、中3分の1、および上3分の1などに容易に分解することができる。また、当業者によって理解されるように、「最大」、「少なくとも」、「より大きい」、「未満」などの全ての言語は、上記のように、列挙された数を含み、後で部分範囲に分割できる範囲を指す。最後に、当業者によって理解されるように、範囲は各個々の要素を含む。
本開示を特定の実施形態を参照して説明したが、その様々な修正は、当業者には明らかであろう。本明細書で提供される例はいずれも、本開示の特定の態様を例示する目的でのみ含まれており、決して本開示を限定することを意図していない。本明細書で提供される図面はいずれも、本開示の特定の態様を例示することのみを目的としており、縮尺通りに描かれていない場合があり、決して本開示を限定するものではない。本明細書に添付される特許請求の範囲は、上記の説明で記載された特定の実施形態によって限定されるべきではなく、全体として本開示と一致するそれらの全範囲を与えられるべきである。本明細書に列挙される全ての文書の開示は、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
他の実施形態は、以下の特許請求の範囲に示されている。
本発明は、例えば、以下の項目を提供する。
(項目1)
光電子デバイスであって、
基板と、
前記基板上に配設された第1の電極と、
前記第1の電極の上に配設された半導電性層と、
前記半導電性層の上に配設された第2の電極であって、前記第2の電極が、第1の部分および第2の部分を有する、第2の電極と、
前記第2の電極の前記第1の部分の上に配設された核生成抑制コーティングと、
前記第2の電極の前記第2の部分の上に配設された導電性コーティングと、を備え、
前記核生成抑制コーティングが、式(I)の化合物を含む、光電子デバイス。


[式中、X ~X 10 のうちの少なくとも2つがそれぞれ独立して、(I-A)、(I-B)、(I-C)、(I-D)、(I-E)、(I-F)、および(I-G)から選択され、X ~X 10 のうちの残りがそれぞれ独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、


式中、(I-A)では、A 、A 、A 、A 、およびA が独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、


式中、(I-B)では、B 、B 、B 、B 、B 、B 、B 、およびB のうちの少なくとも1つが、式Iへの結合を表し、B 、B 、B 、B 、B 、B 、B 、およびB のうちの残りが独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、


式中、(I-C)では、C 、C 、C 、C 、C 、C 、C 、C 、C 、およびC 10 のうちの少なくとも1つが、式Iへの結合を表し、C 、C 、C 、C 、C 、C 、C 、C 、C 、およびC 10 のうちの残りが独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、
式中、(I-D)では、D 、D 、D 、D 、D 、D 、D 、D 、D 、およびD 10 のうちの少なくとも1つが、式Iへの結合を表し、D 、D 、D 、D 、D 、D 、D 、D 、D 、およびD 10 のうちの残りが独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、


式中、(I-E)では、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 10 、E 11 、およびE 12 のうちの少なくとも1つが、式Iへの結合を表し、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 10 、E 11 、およびE 12 のうちの残りが独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、


式中、(I-F)では、F 、F 、F 、F 、F 、F 、F 、F 、F 、およびF 10 のうちの少なくとも1つが、式Iへの結合を表し、F 、F 、F 、F 、F 、F 、F 、F 、F 、およびF 10 のうちの残りが独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、


式中、(I-G)では、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 10 、G 11 、およびG 12 のうちの少なくとも1つが、式Iへの結合を表し、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 10 、G 11 、およびG 12 のうちの残りが独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択される]
(項目2)
、X 、およびX のうちの少なくとも1つが、(I-A)、(I-B)、(I-C)、(I-D)、(I-E)、(I-F)、および(I-G)からなる群から選択され、X 、X 、およびX 10 のうちの少なくとも1つが、(I-A)、(I-B)、(I-C)、(I-D)、(I-E)、(I-F)、および(I-G)から選択される、項目1に記載の光電子デバイス。
(項目3)
、X 、X 、およびX がそれぞれ、個別に、H、D(重水素)、F、Cl、C ~C アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択される、項目2に記載の光電子デバイス。
(項目4)
、X 、およびX のうちの少なくとも1つが、(I-A)、(I-B)、および(I-C)からなる群から選択され、X 、X 、およびX 10 のうちの少なくとも1つが、(I-A)、(I-B)、および(I-C)からなる群から選択される、項目1に記載の光電子デバイス。
(項目5)
、X 、X 、およびX がそれぞれ、個別に、H、D(重水素)、F、Cl、C ~C アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択される、項目4に記載の光電子デバイス。
(項目6)
、X 、およびX のうちの少なくとも1つが、(I-A)であり、X 、X 、およびX 10 のうちの少なくとも1つが、(I-B)および(I-C)からなる群から選択される、項目1に記載の光電子デバイス。
(項目7)
、X 、およびX のうちの少なくとも1つが、(I-A)であり、X 、X 、およびX 10 のうちの少なくとも1つが、(I-B)である、項目1に記載の光電子デバイス。
(項目8)
、X 、およびX のうちの少なくとも1つが、(I-A)であり、X 、X 、およびX 10 のうちの少なくとも1つが、(I-C)である、項目1に記載の光電子デバイス。
(項目9)
、A 、A 、A 、およびA のうちの少なくとも1つが、t-ブチル、メトキシ、トリフルオロメトキシ、メチル、トリフルオロメチル、またはFである、項目6、7、および8のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目10)
前記A 、A 、A 、A 、およびA のうちの最大3つが、Fである、項目6、7、および8のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目11)
、B 、B 、B 、B 、B 、B 、C 、C 、C 、C 、C 、C 、およびC が、Hである、項目9または10に記載の光電子デバイス。
(項目12)
が、(I-A)であり、X 10 が、(I-D)、(I-E)、(I-F)、および(I-G)からなる群から選択される、項目1に記載の光電子デバイス。
(項目13)
、X 、X 、X 、X 、X 、X 、およびX が独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択される、項目1、6、7、および8のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目14)
前記核生成抑制コーティングが、約5nm~約100nmの厚さを有する、項目1~13のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目15)
前記第2の電極の前記第1の部分が、前記デバイスの発光領域に対応する、項目1~14のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目16)
前記第2の電極の前記第2の部分が、前記デバイスの非発光領域に対応する、項目1~14のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目17)
前記第2の電極の前記第1の部分が、前記デバイスの非発光領域に対応する、項目1~14のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目18)
前記第2の電極の前記第2の部分が、前記デバイスの発光領域に対応する、項目1~14のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目19)
前記光電子デバイスが、有機発光(OLED)デバイスである、項目1~18のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目20)
前記OLEDデバイスが、アクティブマトリクスOLEDデバイス、パッシブマトリクスOLEDデバイス、またはOLED照明デバイスである、項目19に記載の光電子デバイス。
(項目21)
前記OLEDデバイスが、トップエミッションOLEDデバイス、ボトムエミッションOLEDデバイス、または両面発光デバイスである、項目19または20に記載の光電子デバイス。
(項目22)
前記OLEDデバイスが、光透過部分を含み、前記光透過部分は、そこを通って光を透過させるように構成されている、項目19、20、または21に記載の光電子デバイス。
(項目23)
前記導電性コーティングが、前記OLEDデバイスの補助電極である、項目1~22のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目24)
前記核生成抑制コーティングが、以下からなる群から選択される化合物を含む、項目1に記載の光電子デバイス。



(項目25)
以下の化合物。

(項目26)
光電子デバイスであって、
基板と、
前記基板の第1の領域を被覆する核生成抑制コーティングと、
第1の部分および第2の部分を含む導電性コーティングであって、前記導電性コーティングの前記第1の部分が、前記基板の第2の領域を被覆する、導電性コーティングと、を備え、
前記核生成抑制コーティングが、式(I)の化合物を含む、光電子デバイス。


[式中、X ~X 10 のうちの少なくとも2つがそれぞれ独立して、(I-A)、(I-B)、(I-C)、(I-D)、(I-E)、(I-F)、および(I-G)から選択され、X ~X 10 のうちの残りがそれぞれ独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、


式中、(I-A)では、A 、A 、A 、A 、およびA が独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、


式中、(I-B)では、B 、B 、B 、B 、B 、B 、B 、およびB のうちの少なくとも1つが、式Iへの結合を表し、B 、B 、B 、B 、B 、B 、B 、およびB のうちの残りが独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、


式中、(I-C)では、C 、C 、C 、C 、C 、C 、C 、C 、C 、およびC 10 のうちの少なくとも1つが、式Iへの結合を表し、C 、C 、C 、C 、C 、C 、C 、C 、C 、およびC 10 のうちの残りが独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、


式中、(I-D)では、D 、D 、D 、D 、D 、D 、D 、D 、D 、およびD 10 のうちの少なくとも1つが、式Iへの結合を表し、D 、D 、D 、D 、D 、D 、D 、D 、D 、およびD 10 のうちの残りが独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、


式中、(I-E)では、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 10 、E 11 、およびE 12 のうちの少なくとも1つが、式Iへの結合を表し、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 、E 10 、E 11 、およびE 12 のうちの残りが独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、


式中、(I-F)では、F 、F 、F 、F 、F 、F 、F 、F 、F 、およびF 10 のうちの少なくとも1つが、式Iへの結合を表し、F 、F 、F 、F 、F 、F 、F 、F 、F 、およびF 10 のうちの残りが独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、


式中、(I-G)では、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 10 、G 11 、およびG 12 のうちの少なくとも1つが、式Iへの結合を表し、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 、G 10 、G 11 、およびG 12 のうちの残りが独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択される]
(項目27)
前記導電性コーティングの前記第2の部分が、前記核生成抑制コーティングと部分的に重なり、前記導電性コーティングの前記第2の部分が、ギャップによって前記核生成抑制コーティングから離間されている、項目26に記載の光電子デバイス。

Claims (29)

  1. 光電子デバイスであって、
    前記デバイスの横方向側面の第1の部分で前記デバイスの第1の層表面上に配設された核生成抑制コーティング(NIC)と、
    前記デバイスの横方向側面の第2の部分で前記デバイスの第2の層表面上に配設された導電性コーティングと、を備え、
    ここで、前記第1の部分の少なくとも一部には、前記導電性コーティングが在せず
    前記NICが、式(I)の化合物を含み、

    式中、X~X10のうちの少なくとも2つがそれぞれ独立して、(I-A)、(I-B)、および(I-C)からなる群から選択され、X~X10のうちの残りがそれぞれ独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、
    式中、(I-A)では、A、A、A、A、およびAがそれぞれ独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、
    式中、(I-B)では、B、B、B、B、B、B、B、およびBのうちの少なくとも1つが、式(I)への結合を表し、B、B、B、B、B、B、B、およびBのうちの残りがそれぞれ独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、
    式中、(I-C)では、C、C、C、C、C、C、C、C、C、およびC10のうちの少なくとも1つが、式(I)への結合を表し、C、C、C、C、C、C、C、C、C、およびC10のうちの残りがそれぞれ独立して、H、D(重水素)、F、Cl、アルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択され、そして
    ここで、前記化合物は、少なくとも1つのフッ素原子を含む、光電子デバイス。
  2. 、X、およびXのうちの少なくとも1つが、(I-A)、(I-B)、および(I-C)からなる群から選択され、X、X、およびX10のうちの少なくとも1つが、(I-A)、(I-B)、および(I-C)からなる群から選択される、請求項1に記載の光電子デバイス。
  3. 、X、X、およびXがそれぞれ、個別に、H、D(重水素)、F、Cl、C~Cアルキル、シクロアルキル、シリル、フルオロアルキル、アリールアルキル、アリール、ヘテロアリール、アルコキシ、およびフルオロアルコキシからなる群から選択される、請求項2に記載の光電子デバイス。
  4. 、X、およびXのうちの少なくとも1つが、(I-A)であり、X、X、およびX10のうちの少なくとも1つが、(I-B)および(I-C)からなる群から選択される、請求項1に記載の光電子デバイス。
  5. 、X、およびXのうちの少なくとも1つが、(I-A)であり、X、X、およびX10のうちの少なくとも1つが、(I-B)である、請求項1に記載の光電子デバイス。
  6. 、X、およびXのうちの少なくとも1つが、(I-A)であり、X、X、およびX10のうちの少なくとも1つが、(I-C)である、請求項1に記載の光電子デバイス。
  7. 、A、A、A、およびAのうちの少なくとも1つが、t-ブチル、メトキシ、トリフルオロメトキシ、メチル、トリフルオロメチル、またはFである、請求項4に記載の光電子デバイス。
  8. 前記A、A、A、A、およびAのうちの最大3つが、Fである、請求項4に記載の光電子デバイス。
  9. 、B、B、B、B、B、B、C、C、C、C、C、C、およびCが、Hである、請求項4に記載の光電子デバイス。
  10. 前記NICが、4.5nm~110nmの厚さを有する、請求項1に記載の光電子デバイス。
  11. 前記NICが、以下からなる群から選択される化合物を含む、請求項1に記載の光電子デバイス。
    Figure 0007425480000095
    Figure 0007425480000096
  12. 前記第1の部分が、少なくとも1つの発光領域を含む、請求項1に記載の光電子デバイス。
  13. 前記第2の部分が、非発光領域の少なくとも一部を含む、請求項1に記載の光電子デバイス。
  14. 第1の電極、第2の電極、および前記第1の電極と前記第2の電極との間の半導電性層をさらに備え、前記第2の電極が、前記第1の部分の前記NICと前記半導電性層との間に延在する、請求項1に記載の光電子デバイス。
  15. 前記導電性コーティングが、前記第2の電極に電気的に結合される、請求項14に記載の光電子デバイス。
  16. 前記第1の部分の少なくとも第1の一部が、前記第2の部分の少なくとも第2の一部と重なる、請求項12に記載の光電子デバイス。
  17. 前記NICが、前記第2の一部内の前記デバイスの前記表面上に配設され、前記導電性コーティングが、その中の前記NICの上に配設されている、請求項16に記載の光電子デバイス。
  18. 前記導電性コーティングが、断面側面において前記NICから離間している、請求項17に記載の光電子デバイス。
  19. 前記導電性コーティングが、補助電極に電気的に結合される、請求項16に記載の光電子デバイス。
  20. 前記第2の部分が、少なくとも1つの追加の発光領域を含む、請求項16に記載の光電子デバイス。
  21. 前記デバイスの前記第2の部分の前記追加の発光領域のうちの少なくとも1つが、第1の電極、第2の電極、および前記第1の電極と前記第2の電極との間の半導電性層を含み、前記第2の電極が、前記導電性コーティングを含む、請求項20に記載の光電子デバイス。
  22. 前記デバイスの前記第2の部分の前記少なくとも1つの追加の発光領域から放出される光の波長が、前記デバイスの前記第1の部分の前記少なくとも1つの発光領域から放出される光の波長と異なる、請求項20に記載の光電子デバイス。
  23. 前記導電性コーティングが、補助電極を含む、請求項12に記載の光電子デバイス。
  24. 前記第2の部分が、少なくとも1つの発光領域を含む、請求項1に記載の光電子デバイス。
  25. 前記第1の部分が、非発光領域の少なくとも一部を含む、請求項24に記載の光電子デバイス。
  26. 前記第1の部分が、前記第1の部分を通して光透過性である、請求項24に記載の光電子デバイス。
  27. 第1の電極、第2の電極、および前記第1の電極と前記第2の電極との間の半導電性層をさらに備え、前記第2の電極が、前記第1の部分の前記NICと前記半導電性層との間に延在する、請求項24に記載の光電子デバイス。
  28. 前記第2の電極が、前記第2の部分の前記導電性コーティングと前記半導電性層との間に延在する、請求項27に記載の光電子デバイス。
  29. 第1の電極、前記第1の電極と前記導電性コーティングとの間の半導電性層をさらに備え、前記導電性コーティングが、前記デバイスの第2の電極を含む、請求項24に記載の光電子デバイス。
JP2020541978A 2018-02-02 2019-02-01 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス Active JP7425480B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022184850A JP2023018039A (ja) 2018-02-02 2022-11-18 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス
JP2024002635A JP2024038340A (ja) 2018-02-02 2024-01-11 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス

Applications Claiming Priority (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201862625722P 2018-02-02 2018-02-02
US201862625710P 2018-02-02 2018-02-02
US62/625,710 2018-02-02
US62/625,722 2018-02-02
US201862770360P 2018-11-21 2018-11-21
US62/770,360 2018-11-21
PCT/IB2019/050839 WO2019150327A1 (en) 2018-02-02 2019-02-01 Materials for forming a nucleation-inhibiting coating and devices incorporating same

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022184850A Division JP2023018039A (ja) 2018-02-02 2022-11-18 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2021512467A JP2021512467A (ja) 2021-05-13
JPWO2019150327A5 JPWO2019150327A5 (ja) 2022-01-26
JP7425480B2 true JP7425480B2 (ja) 2024-01-31

Family

ID=67479068

Family Applications (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020541978A Active JP7425480B2 (ja) 2018-02-02 2019-02-01 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス
JP2022184850A Pending JP2023018039A (ja) 2018-02-02 2022-11-18 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス
JP2024002635A Pending JP2024038340A (ja) 2018-02-02 2024-01-11 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022184850A Pending JP2023018039A (ja) 2018-02-02 2022-11-18 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス
JP2024002635A Pending JP2024038340A (ja) 2018-02-02 2024-01-11 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス

Country Status (5)

Country Link
US (2) US11751415B2 (ja)
JP (3) JP7425480B2 (ja)
KR (1) KR20200125941A (ja)
CN (1) CN112135808A (ja)
WO (1) WO2019150327A1 (ja)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7320851B2 (ja) * 2018-05-07 2023-08-04 オーティーアイ ルミオニクス インコーポレーテッド 補助電極を提供するための方法および補助電極を含むデバイス
WO2020225778A1 (en) * 2019-05-08 2020-11-12 Oti Lumionics Inc. Materials for forming a nucleation-inhibiting coating and devices incorporating same
KR20200136551A (ko) * 2019-05-27 2020-12-08 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
WO2021205410A1 (en) * 2020-04-09 2021-10-14 Oti Lumionics Inc. Display panel having blind hole to accommodate signals exchanged with under-display component
TW202222748A (zh) 2020-09-30 2022-06-16 德商麥克專利有限公司 用於結構化有機電致發光裝置的功能層之化合物
TW202229215A (zh) 2020-09-30 2022-08-01 德商麥克專利有限公司 用於有機電致發光裝置功能層之結構化的化合物
US11985841B2 (en) 2020-12-07 2024-05-14 Oti Lumionics Inc. Patterning a conductive deposited layer using a nucleation inhibiting coating and an underlying metallic coating
JP2022104577A (ja) 2020-12-28 2022-07-08 大日本印刷株式会社 有機デバイス、マスク群、マスク、及び有機デバイスの製造方法
JP2022104578A (ja) 2020-12-28 2022-07-08 大日本印刷株式会社 有機デバイス、マスク群、マスク、及び有機デバイスの製造方法
WO2022203222A1 (ko) * 2021-03-26 2022-09-29 주식회사 랩토 핵생성 억제 형성용 물질 및 이를 포함하는 유기전계발광소자
US20220399514A1 (en) * 2021-06-15 2022-12-15 The Regents Of The University Of Michigan Organic photovoltaic device via ultra-thin shadow mask device, systems and methods
US11856841B2 (en) 2021-07-05 2023-12-26 Duk San Neolux Co., Ltd. Compound for organic electronic element, organic electronic element using the same, and an electronic device thereof
KR102412986B1 (ko) * 2021-07-05 2022-06-27 덕산네오룩스 주식회사 유기전기 소자용 화합물, 이를 이용한 유기전기소자 및 그 전자 장치
JP2023124719A (ja) 2022-02-25 2023-09-06 大日本印刷株式会社 電子デバイス及びその製造方法
JP2024004358A (ja) 2022-06-28 2024-01-16 大日本印刷株式会社 電子デバイス及び電子デバイスの製造方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008214332A (ja) 2007-02-28 2008-09-18 Sfc Co Ltd 青色発光化合物およびこれを利用した有機電界発光素子
JP2012119592A (ja) 2010-12-03 2012-06-21 Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子用材料およびその用途
JP2016502734A (ja) 2012-11-06 2016-01-28 オーティーアイ ルミオニクス インコーポレーテッドOti Lumionics Inc. 導電性コーティングを表面に堆積する方法
US20170117478A1 (en) 2015-10-27 2017-04-27 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting device
WO2017072678A1 (en) 2015-10-26 2017-05-04 Oti Lumionics Inc. Method for patterning a coating on a surface and device including a patterned coating

Family Cites Families (579)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1096600A (en) 1965-08-12 1967-12-29 Monsanto Chemicals Fluoro-aromatic substituted heterocyclic compounds
SU508198A3 (ru) 1971-07-22 1976-03-25 Группо Лепетит С.П.А. (Фирма) Способ получени производных 1,2,4-триазола
US4022928A (en) 1975-05-22 1977-05-10 Piwcyzk Bernhard P Vacuum deposition methods and masking structure
GB1584296A (en) 1976-12-07 1981-02-11 Kanebo Ltd 2-substituted benzimidazole compounds
US4379155A (en) 1979-06-11 1983-04-05 Gruppo Lepetit S.P.A. 3,5-Disubstituted-1H-1,2,4-triazole derivatives
FR2488891A1 (fr) 1980-08-22 1982-02-26 Roussel Uclaf Nouveaux derives du 4h-1,2,4-triazole, leur procede de preparation et leur application comme medicament
BE1003403A7 (fr) 1989-11-28 1992-03-17 Continental Photo Solution chimiluminescente a base d'anthracene substitue.
US5159105A (en) 1990-02-28 1992-10-27 Minnesota Mining And Manufacturing Company Higher pentafluorosulfanyl-fluoroaliphatic carbonyl and sulfonyl fluorides, and derivatives
JPH05307997A (ja) 1992-04-30 1993-11-19 Pioneer Electron Corp 有機エレクトロルミネッセンス素子
US5550290A (en) 1993-10-13 1996-08-27 Mita Industrial Co. Ltd. Benzidine derivative and electrophotosensitive material using the same
DE69530654T2 (de) 1994-05-26 2004-03-11 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Organische elektroluminizente elemente
WO1995033732A1 (fr) 1994-06-09 1995-12-14 Nippon Soda Co., Ltd. Compose de triazole, procede de production et pesticide
JP3866293B2 (ja) 1996-08-19 2007-01-10 Tdk株式会社 有機el素子
AU5147698A (en) 1996-10-16 1998-05-11 Mobil Oil Corporation N-olefin skeletal isomerization process
JP3588978B2 (ja) 1997-06-12 2004-11-17 凸版印刷株式会社 有機薄膜el素子
US6016033A (en) 1997-07-11 2000-01-18 Fed Corporation Electrode structure for high resolution organic light-emitting diode displays and method for making the same
US6171715B1 (en) 1997-08-07 2001-01-09 Fuji Photo Film Co., Ltd. Organic electroluminescent element
DE19748109B4 (de) 1997-10-31 2006-09-07 Merck Patent Gmbh Schwefelpentafluorid-Derivate und flüssigkristallines Medium
US5935721A (en) 1998-03-20 1999-08-10 Eastman Kodak Company Organic electroluminescent elements for stable electroluminescent
US6292454B1 (en) 1998-10-08 2001-09-18 Sony Corporation Apparatus and method for implementing a variable-speed audio data playback system
US6465115B2 (en) 1998-12-09 2002-10-15 Eastman Kodak Company Electroluminescent device with anthracene derivatives hole transport layer
US6361886B2 (en) 1998-12-09 2002-03-26 Eastman Kodak Company Electroluminescent device with improved hole transport layer
JP3949363B2 (ja) 1999-10-26 2007-07-25 富士フイルム株式会社 芳香族縮環化合物、発光素子材料およびそれを使用した発光素子
JP4434411B2 (ja) 2000-02-16 2010-03-17 出光興産株式会社 アクティブ駆動型有機el発光装置およびその製造方法
EP2112233B1 (en) 2000-02-23 2013-10-23 City of Hope Pyrophosphorolysis activated polymerization (PAP): application to allele-specific amplification and nucleic acid sequence determination
EP1262100B1 (en) 2000-03-06 2011-07-06 Fumakilla Limited Fan type chemicals diffusing device
US6439083B1 (en) 2000-03-23 2002-08-27 Dbm Innovation, Inc. Universal spring tool
US6929870B2 (en) 2000-08-10 2005-08-16 Mitsui Chemicals, Inc. Hydrocarbon compounds, materials for organic electroluminescent elements and organic electroluminescent elements
US7053255B2 (en) 2000-11-08 2006-05-30 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Substituted diphenylanthracene compounds for organic electroluminescence devices
EP1213337B1 (en) 2000-12-06 2005-11-02 MERCK PATENT GmbH Liquid crystalline medium and liquid crystal display
US7363308B2 (en) 2000-12-28 2008-04-22 Fair Isaac Corporation System and method for obtaining keyword descriptions of records from a large database
KR100399417B1 (ko) 2001-01-08 2003-09-26 삼성전자주식회사 반도체 집적 회로의 제조 방법
JP2002212163A (ja) 2001-01-24 2002-07-31 Seimi Chem Co Ltd 五フッ化硫黄化合物及び該化合物を含有する液晶組成物
US6407408B1 (en) 2001-03-12 2002-06-18 Universal Display Corporation Method for patterning devices
JP4972844B2 (ja) 2001-03-30 2012-07-11 コニカミノルタホールディングス株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子
TWI257496B (en) 2001-04-20 2006-07-01 Toshiba Corp Display device and method of manufacturing the same
US6638644B2 (en) 2001-08-28 2003-10-28 Eastman Kodak Company Electroluminescent devices having diarylanthracene polymers
DE10145778B4 (de) 2001-09-17 2012-07-19 Merck Patent Gmbh Fluorierte Anthracene und ihre Verwendung in Flüssigkristallmischungen und in Flüssigkristalldisplays
KR100691543B1 (ko) 2002-01-18 2007-03-09 주식회사 엘지화학 새로운 전자 수송용 물질 및 이를 이용한 유기 발광 소자
SG143063A1 (en) 2002-01-24 2008-06-27 Semiconductor Energy Lab Light emitting device and method of manufacturing the same
US7986672B2 (en) 2002-02-25 2011-07-26 Qualcomm Incorporated Method and apparatus for channel quality feedback in a wireless communication
US7099299B2 (en) 2002-03-04 2006-08-29 Agency For Science, Technology And Research CDMA system with frequency domain equalization
US6835950B2 (en) 2002-04-12 2004-12-28 Universal Display Corporation Organic electronic devices with pressure sensitive adhesive layer
JP4170655B2 (ja) 2002-04-17 2008-10-22 出光興産株式会社 新規芳香族化合物及びそれを利用した有機エレクトロルミネッセンス素子
WO2003090502A2 (en) 2002-04-19 2003-10-30 3M Innovative Properties Company Materials for organic electronic devices
JP4025111B2 (ja) 2002-04-19 2007-12-19 出光興産株式会社 新規アントラセン化合物及びそれを利用した有機エレクトロルミネッセンス素子
TWI271131B (en) 2002-04-23 2007-01-11 Via Tech Inc Pattern fabrication process of circuit substrate
JP2003317971A (ja) 2002-04-26 2003-11-07 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 発光装置およびその作製方法
US7169482B2 (en) 2002-07-26 2007-01-30 Lg.Philips Lcd Co., Ltd. Display device with anthracene and triazine derivatives
JP4025136B2 (ja) 2002-07-31 2007-12-19 出光興産株式会社 アントラセン誘導体、有機エレクトロルミネッセンス素子用発光材料及び有機エレクトロルミネッセンス素子
JP4025137B2 (ja) 2002-08-02 2007-12-19 出光興産株式会社 アントラセン誘導体及びそれを利用した有機エレクトロルミネッセンス素子
KR100946476B1 (ko) 2002-08-23 2010-03-10 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 유기 전기발광 소자 및 안트라센 유도체
US20040058193A1 (en) 2002-09-16 2004-03-25 Eastman Kodak Company White organic light-emitting devices with improved performance
WO2004034751A1 (ja) 2002-10-09 2004-04-22 Idemitsu Kosan Co., Ltd. 有機エレクトロルミネッセンス素子
DE10249723A1 (de) 2002-10-25 2004-05-06 Covion Organic Semiconductors Gmbh Arylamin-Einheiten enthaltende konjugierte Polymere, deren Darstellung und Verwendung
JP2006510212A (ja) 2002-12-13 2006-03-23 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 三重項エミッタ錯体を有する有機エレクトロルミネッセント構成体
US20040126617A1 (en) 2002-12-31 2004-07-01 Eastman Kodak Company Efficient electroluminescent device
EP1582516B1 (en) 2003-01-10 2013-07-17 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Nitrogenous heterocyclic derivative and organic electroluminescent element employing the same
JP2004262761A (ja) 2003-01-16 2004-09-24 Idemitsu Kosan Co Ltd 芳香族アミン誘導体及びそれを用いた有機エレクトロルミネッセンス素子
US7651787B2 (en) 2003-02-19 2010-01-26 Lg Display Co., Ltd. Organic electroluminescent device
CN101503393B (zh) 2003-03-13 2015-08-19 出光兴产株式会社 含氮杂环衍生物及使用该衍生物的有机电致发光元件
US7018713B2 (en) 2003-04-02 2006-03-28 3M Innovative Properties Company Flexible high-temperature ultrabarrier
WO2004096945A1 (ja) 2003-05-01 2004-11-11 Fujitsu Limited 1,3,6,8−四置換ピレン化合物、有機el素子及び有機elディスプレイ
US6995035B2 (en) 2003-06-16 2006-02-07 Eastman Kodak Company Method of making a top-emitting OLED device having improved power distribution
KR20060034692A (ko) 2003-07-10 2006-04-24 메르크 파텐트 게엠베하 치환된 안트라센
JP4070676B2 (ja) 2003-07-25 2008-04-02 三井化学株式会社 非対称置換アントラセン化合物、および該非対称置換アントラセン化合物を含有する有機電界発光素子
US6852429B1 (en) 2003-08-06 2005-02-08 Canon Kabushiki Kaisha Organic electroluminescent device based on pyrene derivatives
TWI244355B (en) 2003-09-08 2005-11-21 Lg Chemical Ltd Highly efficient organic light emitting device using substrate having nanosized hemispherical recesses and method for preparing the same
US7887931B2 (en) 2003-10-24 2011-02-15 Global Oled Technology Llc Electroluminescent device with anthracene derivative host
US7056601B2 (en) 2003-10-24 2006-06-06 Eastman Kodak Company OLED device with asymmetric host
EP2448374A3 (en) 2003-12-01 2012-06-13 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Asymmetric monoanthracene derivative, material for organic electroluminescent device and organic electroluminescent device utilizing the same
KR101031412B1 (ko) 2003-12-19 2011-04-26 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 유기 전기 발광 소자용 발광 재료, 이를 이용한 유기 전기발광 소자 및 유기 전기 발광 소자용 재료
JP4846982B2 (ja) 2004-01-26 2011-12-28 三井化学株式会社 アントラセン化合物、および該アントラセン化合物を含有する有機電界発光素子
US7252893B2 (en) 2004-02-17 2007-08-07 Eastman Kodak Company Anthracene derivative host having ranges of dopants
US6899963B1 (en) 2004-02-25 2005-05-31 Eastman Kodak Company Electroluminescent devices having pendant naphthylanthracene-based polymers
CN1934906A (zh) 2004-03-19 2007-03-21 出光兴产株式会社 有机电致发光元件
US7326371B2 (en) 2004-03-25 2008-02-05 Eastman Kodak Company Electroluminescent device with anthracene derivative host
KR20120101558A (ko) 2004-04-07 2012-09-13 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 질소함유 헤테로환 유도체 및 이를 이용한 유기 전기 발광 소자
US7427783B2 (en) 2004-04-07 2008-09-23 Samsung Sdi Co., Ltd. Top emission organic light emitting diode display using auxiliary electrode to prevent voltage drop of upper electrode
US7192659B2 (en) 2004-04-14 2007-03-20 Eastman Kodak Company OLED device using reduced drive voltage
JP4705914B2 (ja) 2004-05-27 2011-06-22 出光興産株式会社 非対称ピレン誘導体及びそれを利用した有機エレクトロルミネッセンス素子
CN1842509A (zh) 2004-06-09 2006-10-04 出光兴产株式会社 蒽衍生物以及使用该衍生物的有机电致发光器件
JP4121514B2 (ja) 2004-07-22 2008-07-23 シャープ株式会社 有機発光素子、及び、それを備えた表示装置
US20060019116A1 (en) 2004-07-22 2006-01-26 Eastman Kodak Company White electroluminescent device with anthracene derivative host
US20060182993A1 (en) 2004-08-10 2006-08-17 Mitsubishi Chemical Corporation Compositions for organic electroluminescent device and organic electroluminescent device
KR100669757B1 (ko) 2004-11-12 2007-01-16 삼성에스디아이 주식회사 유기 전계 발광 소자
JP2006176491A (ja) 2004-11-25 2006-07-06 Kyoto Univ ピレン系化合物及びこれを用いた発光トランジスタ素子
JP2006176494A (ja) 2004-11-25 2006-07-06 Kyoto Univ ピレン系化合物及びこれを用いた発光トランジスタ素子及びエレクトロルミネッセンス素子
KR100700643B1 (ko) 2004-11-29 2007-03-27 삼성에스디아이 주식회사 보조 전극 라인을 구비하는 유기전계발광소자 및 그의제조 방법
EP1820801B1 (en) 2004-12-10 2015-04-01 Pioneer Corporation Organic compound, charge-transporting material, and organic electroluminescent element
KR100712111B1 (ko) 2004-12-14 2007-04-27 삼성에스디아이 주식회사 보조 전극 라인을 구비하는 유기전계발광소자 및 그의제조 방법
JP4790260B2 (ja) 2004-12-22 2011-10-12 出光興産株式会社 アントラセン誘導体を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子
WO2006070712A1 (ja) 2004-12-28 2006-07-06 Idemitsu Kosan Co., Ltd. 有機エレクトロルミネッセンス素子用発光性インク組成物
EP1850405A1 (en) 2004-12-28 2007-10-31 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Ink for forming organic el coating film and method for production thereof
CN1984874B (zh) 2005-01-05 2012-09-26 出光兴产株式会社 芳香族胺衍生物及使用了它的有机电致发光元件
JP5233074B2 (ja) 2005-03-02 2013-07-10 三菱レイヨン株式会社 金属パターン及び有機電子デバイスとその製造方法
JP4263700B2 (ja) 2005-03-15 2009-05-13 出光興産株式会社 芳香族アミン誘導体及びそれを用いた有機エレクトロルミネッセンス素子
KR20080003409A (ko) 2005-04-12 2008-01-07 메르크 파텐트 게엠베하 유기 전계발광 소자
US20060246315A1 (en) 2005-04-27 2006-11-02 Begley William J Phosphorescent oled with mixed electron transport materials
JP5138582B2 (ja) 2005-04-28 2013-02-06 チバ ホールディング インコーポレーテッド 電子発光装置
DE102005023437A1 (de) 2005-05-20 2006-11-30 Merck Patent Gmbh Verbindungen für organische elektronische Vorrichtungen
US20100193768A1 (en) 2005-06-20 2010-08-05 Illuminex Corporation Semiconducting nanowire arrays for photovoltaic applications
US20070003785A1 (en) 2005-06-30 2007-01-04 Eastman Kodak Company Electroluminescent devices containing benzidine derivatives
US20070077349A1 (en) 2005-09-30 2007-04-05 Eastman Kodak Company Patterning OLED device electrodes and optical material
JP5420249B2 (ja) 2005-12-08 2014-02-19 メルク パテント ゲーエムベーハー 有機エレクトロルミネセンス素子のための新規な材料
DE102005058558A1 (de) 2005-12-08 2007-06-14 Merck Patent Gmbh Organische Elektrolumineszenzvorrichtungen
US9214636B2 (en) 2006-02-28 2015-12-15 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Organic electroluminescence device
US20090066239A1 (en) 2006-03-07 2009-03-12 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Aromatic amine derivative and organic electroluminescent device using same
US20090093641A1 (en) 2006-03-13 2009-04-09 University Of Florida Research Foundation, Inc. Synthesis of Pentafluorosulfanyl (SF5)-Substituted Heterocycles and Alkynes
JP5093879B2 (ja) 2006-03-20 2012-12-12 国立大学法人京都大学 ピレン系有機化合物、トランジスタ材料及び発光トランジスタ素子
JP4702136B2 (ja) 2006-03-28 2011-06-15 セイコーエプソン株式会社 発光装置および電子機器
US20070252517A1 (en) 2006-04-27 2007-11-01 Eastman Kodak Company Electroluminescent device including an anthracene derivative
US7733009B2 (en) 2006-04-27 2010-06-08 Global Oled Technology Llc Electroluminescent device including an anthracene derivative
US8076839B2 (en) 2006-05-11 2011-12-13 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Organic electroluminescence device
KR101245217B1 (ko) 2006-06-12 2013-03-19 엘지디스플레이 주식회사 전계발광소자 및 그 제조방법
EP2028249B1 (en) 2006-06-15 2013-05-08 Toray Industries, Inc. Material for light-emitting device, and light-emitting device
WO2007148540A1 (ja) 2006-06-19 2007-12-27 Sony Corporation 発光表示装置およびその製造方法
JP4970443B2 (ja) 2006-06-30 2012-07-04 パイオニア株式会社 有機太陽電池
WO2008010377A1 (fr) 2006-07-21 2008-01-24 Toyo Ink Manufacturing Co., Ltd. Composé aminé contenant un carbazole et son utilisation
KR100893044B1 (ko) 2006-07-26 2009-04-15 주식회사 엘지화학 안트라센 유도체, 이를 이용한 유기 전자 소자 및 이 유기전자 소자를 포함하는 전자 장치
US7935854B2 (en) 2006-10-03 2011-05-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Stilbene derivative, light-emitting element, display apparatus, and electronic appliance
JP5233228B2 (ja) 2006-10-05 2013-07-10 Jnc株式会社 ベンゾフルオレン化合物、該化合物を用いた発光層用材料及び有機電界発光素子
DE602007008337D1 (de) 2006-10-24 2010-09-23 Semiconductor Energy Lab Anthrazenderivat und lichtemittierendes Element, lichtemittierende Vorrichtung und elektronische Vorrichtung mit Anthrazenderivat
JP5153292B2 (ja) 2006-10-24 2013-02-27 株式会社半導体エネルギー研究所 アントラセン誘導体、およびアントラセン誘導体を用いた発光素子、発光装置、電子機器
KR100989467B1 (ko) 2006-12-06 2010-10-22 주식회사 엘지화학 신규한 플루오렌 유도체 및 이를 이용한 유기 전자 소자
GB2444491A (en) 2006-12-06 2008-06-11 Univ Muenster Wilhelms Selective growth of organic molecules
JP5428147B2 (ja) 2006-12-07 2014-02-26 三菱化学株式会社 有機蛍光体材料
DE102007002714A1 (de) 2007-01-18 2008-07-31 Merck Patent Gmbh Neue Materialien für organische Elektrolumineszenzvorrichtungen
US8795855B2 (en) 2007-01-30 2014-08-05 Global Oled Technology Llc OLEDs having high efficiency and excellent lifetime
US7839083B2 (en) 2007-02-08 2010-11-23 Seiko Epson Corporation Light emitting device and electronic apparatus
KR20090128427A (ko) 2007-02-28 2009-12-15 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 유기 el 소자
WO2008105472A1 (ja) 2007-02-28 2008-09-04 Idemitsu Kosan Co., Ltd. 有機el材料含有溶液、有機el薄膜形成方法、有機el薄膜を含む有機el素子および有機elディスプレイパネル製造方法
KR100858816B1 (ko) 2007-03-14 2008-09-17 삼성에스디아이 주식회사 안트라센 유도체 화합물을 포함하는 유기막을 구비하는유기 발광 소자
US8399720B2 (en) 2007-03-23 2013-03-19 Ube Industries, Ltd. Methods for producing fluorinated phenylsulfur pentafluorides
CA2857831C (en) 2007-03-23 2017-01-03 Ube Industries, Ltd. Process for producing arylsulfur pentafluorides
US20080265377A1 (en) 2007-04-30 2008-10-30 International Business Machines Corporation Air gap with selective pinchoff using an anti-nucleation layer
US20080286610A1 (en) 2007-05-17 2008-11-20 Deaton Joseph C Hybrid oled with fluorescent and phosphorescent layers
CN101679150B (zh) 2007-05-17 2013-05-15 Lg化学株式会社 蒽衍生物和使用该蒽衍生物的有机电子器件
CN110724124A (zh) 2007-05-17 2020-01-24 株式会社半导体能源研究所 ***衍生物
DE102007024850A1 (de) 2007-05-29 2008-12-04 Merck Patent Gmbh Neue Materialien für organische Elektrolumineszenzvorrichtungen
EP2165366B8 (en) 2007-07-04 2018-12-26 Beijing Xiaomi Mobile Software Co., Ltd. A method for forming a patterned layer on a substrate
US8779655B2 (en) 2007-07-07 2014-07-15 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Organic electroluminescence device and material for organic electroluminescence device
TW200909558A (en) 2007-07-07 2009-03-01 Idemitsu Kosan Co Naphthalene derivative, material for organic electroluminescence device, and organic electroluminescence device using the same
WO2009008357A1 (ja) 2007-07-07 2009-01-15 Idemitsu Kosan Co., Ltd. 有機el素子
KR20090011831A (ko) 2007-07-27 2009-02-02 삼성전자주식회사 표시장치 및 그 제조방법
US20090053557A1 (en) * 2007-08-23 2009-02-26 Spindler Jeffrey P Stabilized white-emitting oled device
KR101432110B1 (ko) 2007-09-11 2014-08-21 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 장치 및 그 제조 방법
TW200932872A (en) 2007-10-17 2009-08-01 Cheil Ind Inc Novel compound for organic photoelectric device and organic photoelectric device including the same
KR100950968B1 (ko) 2007-10-18 2010-04-02 에스에프씨 주식회사 적색 인광 화합물 및 이를 이용한 유기전계발광소자
KR100923655B1 (ko) 2007-11-02 2009-10-28 (주)그라쎌 신규한 적색 인광 화합물 및 이를 발광재료로서 채용하고있는 유기발광소자
KR100923571B1 (ko) 2007-11-05 2009-10-27 (주)그라쎌 신규한 적색 인광 화합물 및 이를 발광재료로서 채용하고있는 유기발광소자
KR100933229B1 (ko) 2007-11-12 2009-12-22 다우어드밴스드디스플레이머티리얼 유한회사 신규한 적색 인광 화합물 및 이를 발광재료로서 채용하고있는 유기발광소자
KR100933228B1 (ko) 2007-11-15 2009-12-22 다우어드밴스드디스플레이머티리얼 유한회사 신규한 적색 인광 화합물 및 이를 발광재료로서 채용하고있는 유기발광소자
KR100875103B1 (ko) 2007-11-16 2008-12-19 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 디스플레이 장치
KR100935356B1 (ko) 2007-11-19 2010-01-06 다우어드밴스드디스플레이머티리얼 유한회사 녹색 발광 화합물 및 이를 발광재료로서 채용하고 있는유기 전기 발광 소자
KR100910153B1 (ko) 2007-11-20 2009-07-30 (주)그라쎌 신규한 적색 인광 화합물 및 이를 발광재료로서 채용하고있는 유기발광소자
KR100933226B1 (ko) 2007-11-20 2009-12-22 다우어드밴스드디스플레이머티리얼 유한회사 신규한 적색 인광 화합물 및 이를 발광재료로서 채용하고있는 유기발광소자
KR101477844B1 (ko) 2007-11-21 2014-12-30 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 축합 방향족 유도체 및 이것을 사용한 유기 전계 발광 소자
KR100910151B1 (ko) 2007-11-22 2009-07-30 (주)그라쎌 신규한 유기 발광 화합물 및 이를 발광재료로 채용하고있는 전기발광소자
KR100933225B1 (ko) 2007-11-27 2009-12-22 다우어드밴스드디스플레이머티리얼 유한회사 신규한 인광 화합물 및 이를 발광재료로서 채용하고 있는유기발광소자
KR100940938B1 (ko) 2007-12-04 2010-02-08 다우어드밴스드디스플레이머티리얼 유한회사 신규한 유기 발광 화합물 및 이를 발광재료로서 채용하고있는 유기 전기 발광 소자
US8174185B2 (en) 2007-12-21 2012-05-08 E I Du Pont De Nemours And Company Charge transport materials for luminescent applications
CN103107284A (zh) 2007-12-28 2013-05-15 出光兴产株式会社 芳胺衍生物及使用该芳胺衍生物的有机电致发光元件
KR20100097182A (ko) 2007-12-28 2010-09-02 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 방향족 다이아민 유도체 및 그것을 이용한 유기 전기발광 소자
KR100974562B1 (ko) 2007-12-31 2010-08-06 다우어드밴스드디스플레이머티리얼 유한회사 신규한 유기 발광 화합물 및 이를 발광재료로서 채용하고있는 유기 발광 소자
KR100970713B1 (ko) 2007-12-31 2010-07-16 다우어드밴스드디스플레이머티리얼 유한회사 유기발광화합물을 발광재료로서 채용하고 있는 전기 발광소자
KR20090082778A (ko) 2008-01-28 2009-07-31 삼성모바일디스플레이주식회사 유기전계발광소자 및 그 제조방법
KR101068224B1 (ko) 2008-02-05 2011-09-28 에스에프씨 주식회사 안트라센 유도체 및 이를 포함하는 유기전계발광소자
JP2009209127A (ja) 2008-02-08 2009-09-17 Toyo Ink Mfg Co Ltd カルバゾリル基を有する化合物およびその用途
DE102008008953B4 (de) 2008-02-13 2019-05-09 Merck Patent Gmbh Neue Materialien für organische Elektrolumineszenzvorrichtungen
KR20100121489A (ko) 2008-02-15 2010-11-17 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 유기 발광 매체 및 유기 el 소자
US8822041B2 (en) 2008-03-19 2014-09-02 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Anthracene derivatives, luminescent materials and organic electroluminescent devices
CN104910064A (zh) 2008-04-24 2015-09-16 株式会社半导体能源研究所 蒽衍生物、发光元件、发光器件及电子设备
EP2291477B1 (en) 2008-06-02 2016-03-23 3M Innovative Properties Company Adhesive encapsulating composition and electronic devices made therewith
KR101415794B1 (ko) 2008-06-12 2014-07-11 삼성디스플레이 주식회사 유기전계 발광 표시장치 및 그 제조방법
JPWO2010013676A1 (ja) 2008-07-28 2012-01-12 出光興産株式会社 有機発光媒体及び有機el素子
WO2010014665A1 (en) 2008-07-30 2010-02-04 Im&T Research, Inc. Methods for producing arylsulfur pentafluorides
US8541113B2 (en) 2008-08-26 2013-09-24 Sfc Co., Ltd. Pyrene compounds and organic electroluminescent devices using the same
JP5473490B2 (ja) 2008-09-01 2014-04-16 株式会社半導体エネルギー研究所 トリアゾール誘導体及び発光素子
WO2010032447A1 (ja) 2008-09-19 2010-03-25 出光興産株式会社 有機エレクトロルミネッセンス材料組成物、薄膜形成方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子
KR20100041043A (ko) 2008-10-13 2010-04-22 다우어드밴스드디스플레이머티리얼 유한회사 신규한 유기 발광 화합물 및 이를 발광재료로서 채용하고 있는 유기 발광 소자
US8310149B2 (en) 2008-10-21 2012-11-13 Koninklijke Philips Electronics N.V. Transparent OLED device employing a mirror layer having a pattern of nontransparent and transparent zones
JP2010123917A (ja) 2008-10-22 2010-06-03 Canon Inc 有機発光素子
KR101506919B1 (ko) 2008-10-31 2015-03-30 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 신규한 유기 전자재료용 화합물 및 이를 포함하는 유기 전자 소자
KR20100054630A (ko) 2008-11-14 2010-05-25 엘지디스플레이 주식회사 유기 박막 트랜지스터와 이의 제조방법 그리고 이를 이용한표시장치
KR101561479B1 (ko) 2008-12-05 2015-10-19 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 신규한 유기 발광 화합물 및 이를 채용하고 있는 유기 발광소자
DE102008061843B4 (de) 2008-12-15 2018-01-18 Novaled Gmbh Heterocyclische Verbindungen und deren Verwendung in elektronischen und optoelektronischen Bauelementen
DE102008064200A1 (de) 2008-12-22 2010-07-01 Merck Patent Gmbh Organische Elektrolumineszenzvorrichtung
KR101147428B1 (ko) 2009-02-09 2012-05-23 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 표시 장치
DE102009009277B4 (de) 2009-02-17 2023-12-07 Merck Patent Gmbh Organische elektronische Vorrichtung, Verfahren zu deren Herstellung und Verwendung von Verbindungen
US8759818B2 (en) 2009-02-27 2014-06-24 E I Du Pont De Nemours And Company Deuterated compounds for electronic applications
DE102009014513A1 (de) 2009-03-23 2010-09-30 Merck Patent Gmbh Organische Elektrolumineszenzvorrichtung
KR20100109050A (ko) 2009-03-31 2010-10-08 다우어드밴스드디스플레이머티리얼 유한회사 신규한 유기 발광 화합물 및 이를 포함하는 유기 전계 발광소자
KR20100108914A (ko) 2009-03-31 2010-10-08 다우어드밴스드디스플레이머티리얼 유한회사 신규한 유기 발광 화합물 및 이를 채용하고 있는 유기 전계발광 소자
KR101427605B1 (ko) 2009-03-31 2014-08-07 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 신규한 유기 발광 화합물 및 이를 채용하고 있는 유기 전계발광 소자
US8178427B2 (en) 2009-03-31 2012-05-15 Commissariat A. L'energie Atomique Epitaxial methods for reducing surface dislocation density in semiconductor materials
JP2010258410A (ja) 2009-04-02 2010-11-11 Mitsubishi Rayon Co Ltd 金属膜のパターン形成方法及び部材
JP2010244868A (ja) 2009-04-07 2010-10-28 Sony Corp 有機電界発光素子および表示装置
US8932735B2 (en) 2009-04-24 2015-01-13 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Aromatic amine derivative and organic electroluminescent element comprising the same
CN104795495B (zh) 2009-04-24 2017-09-29 出光兴产株式会社 芳香族胺衍生物和使用其的有机电致发光元件
KR101317511B1 (ko) 2009-04-30 2013-10-15 주식회사 엘지화학 신규한 화합물 및 이를 이용한 유기 전자 소자
US20100295444A1 (en) 2009-05-22 2010-11-25 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Organic electroluminescence device
DE102009023155A1 (de) 2009-05-29 2010-12-02 Merck Patent Gmbh Materialien für organische Elektrolumineszenzvorrichtungen
KR20100137198A (ko) 2009-06-22 2010-12-30 다우어드밴스드디스플레이머티리얼 유한회사 신규한 유기 발광 화합물 및 이를 포함하는 유기 전계 발광 소자
CN102482573A (zh) 2009-06-24 2012-05-30 克禄美科技股份有限公司 蓝色/紫色二苯基蒽化学发光荧光剂
US8877356B2 (en) 2009-07-22 2014-11-04 Global Oled Technology Llc OLED device with stabilized yellow light-emitting layer
DE102009034625A1 (de) 2009-07-27 2011-02-03 Merck Patent Gmbh Neue Materialien für organische Elektrolumineszenzvorrichtungen
JP5778148B2 (ja) 2009-08-04 2015-09-16 メルク パテント ゲーエムベーハー 多環式炭水化物を含む電子デバイス
KR101084171B1 (ko) 2009-08-10 2011-11-17 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 디스플레이 장치 및 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
CN102574813B (zh) 2009-08-21 2016-03-30 东曹株式会社 环状吖嗪衍生物和它们的制造方法、以及以它们作为构成成分的有机电致发光器件
EP2467353B1 (en) 2009-08-21 2016-01-13 The University Of South Dakota Fluorinated aromatic materials and their use in optoelectronics
KR100991105B1 (ko) 2009-10-23 2010-11-01 한국기계연구원 자기패턴된 전도성 패턴과 도금을 이용한 고전도도 미세패턴 형성방법
US20120245658A1 (en) 2009-12-09 2012-09-27 Merck Patent Gmbh Therapeutic and Cosmetic Electroluminescent Compositions
CN102239141A (zh) 2009-12-16 2011-11-09 出光兴产株式会社 芳香族胺衍生物和使用其的有机电致发光元件
JP5198657B2 (ja) 2009-12-16 2013-05-15 出光興産株式会社 有機発光媒体
US9169274B2 (en) 2009-12-21 2015-10-27 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Pyrene derivative and organic electroluminescent element using the same
JP5608682B2 (ja) 2009-12-21 2014-10-15 出光興産株式会社 ピレン誘導体を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子
EP2518038A4 (en) 2009-12-21 2013-06-26 Idemitsu Kosan Co PYRENE DERIVATIVE AND ORGANIC ELECTROLUMINESCENT ELEMENT USING THE DERIVATIVE
DE102010006121B4 (de) 2010-01-29 2022-08-11 Merck Patent Gmbh Materialien für organische Elektrolumineszenzvorrichtungen
KR101193186B1 (ko) 2010-02-01 2012-10-19 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착 장치, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조방법 및 이에 따라 제조된 유기 발광 디스플레이 장치
JP2011173972A (ja) 2010-02-24 2011-09-08 Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子用材料およびその用途
JP6246468B2 (ja) 2010-03-11 2017-12-13 メルク パテント ゲーエムベーハー 治療および化粧品におけるファイバー
KR20110104765A (ko) 2010-03-17 2011-09-23 다우어드밴스드디스플레이머티리얼 유한회사 신규한 유기 발광 화합물 및 이를 채용하고 있는 유기 전계 발광 소자
JP2011222831A (ja) 2010-04-12 2011-11-04 Idemitsu Kosan Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子
KR20110123701A (ko) 2010-05-07 2011-11-15 에스에프씨 주식회사 안트라센계 화합물 및 이를 포함하는 유기전계발광소자
TWI492944B (zh) 2010-05-21 2015-07-21 Semiconductor Energy Lab ***衍生物,以及使用此***衍生物之發光元件、發光裝置、電子裝置與照明裝置
KR101640772B1 (ko) 2010-06-10 2016-07-19 삼성전자주식회사 무선 전력 수신기의 송전 영역 유도 장치 및 방법
EP2583328B1 (en) 2010-06-18 2017-08-02 OLEDWorks GmbH Transparent light emitting device with controlled emission
US9254506B2 (en) 2010-07-02 2016-02-09 3M Innovative Properties Company Moisture resistant coating for barrier films
US20120018770A1 (en) 2010-07-23 2012-01-26 Min-Hao Michael Lu Oled light source having improved total light emission
US8474017B2 (en) 2010-07-23 2013-06-25 Verizon Patent And Licensing Inc. Identity management and single sign-on in a heterogeneous composite service scenario
US9287339B2 (en) 2010-10-28 2016-03-15 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
US8467177B2 (en) 2010-10-29 2013-06-18 Apple Inc. Displays with polarizer windows and opaque masking layers for electronic devices
WO2012070535A1 (ja) 2010-11-25 2012-05-31 Jnc株式会社 電子輸送材料およびこれを用いた有機電界発光素子
KR101889918B1 (ko) 2010-12-14 2018-09-21 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 디스플레이 장치 및 이의 제조 방법
KR101983401B1 (ko) 2011-01-11 2019-05-28 미쯔비시 케미컬 주식회사 유기 전계 발광 소자용 조성물, 유기 전계 발광 소자, 표시 장치 및 조명 장치
CN102617626B (zh) 2011-01-17 2016-12-14 三星显示有限公司 缩合环化合物和包括该缩合环化合物的有机发光二极管
US9653689B2 (en) 2011-01-17 2017-05-16 Samsung Display Co., Ltd. Condensed-cyclic compound and organic light-emitting diode including the same
JP6132470B2 (ja) 2011-04-12 2017-05-24 ユー・ディー・シー アイルランド リミテッド 有機電界発光素子、該素子に用いる化合物および有機電界発光素子用材料、並びに該素子を用いた発光装置、表示装置及び照明装置
JP5981736B2 (ja) 2011-04-12 2016-08-31 ユー・ディー・シー アイルランド リミテッド 有機電界発光素子、並びに、該有機電界発光素子を用いた発光装置、表示装置及び照明装置
EP2700696A1 (en) 2011-04-18 2014-02-26 Idemitsu Kosan Co., Ltd Pyrene derivative, organic light-emitting medium, and organic electroluminescent element containing pyrene derivative or organic light-emitting medium
US8927308B2 (en) 2011-05-12 2015-01-06 Universal Display Corporation Method of forming bus line designs for large-area OLED lighting
KR101407587B1 (ko) 2011-06-02 2014-06-13 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시장치 및 그 제조방법
DE112012007348B3 (de) 2011-07-22 2021-04-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Lichtemittierendes Element, lichtemittierende Vorrichtung, Displayvorrichtung, Beleuchtungsvorrichtung und elektronische Vorrichtung
KR20130022986A (ko) 2011-08-26 2013-03-07 엘지디스플레이 주식회사 유기전계 발광표시장치
US8963137B2 (en) 2011-09-02 2015-02-24 Lg Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and method of fabricating the same
US20130056784A1 (en) 2011-09-02 2013-03-07 Lg Display Co., Ltd. Organic Light-Emitting Display Device and Method of Fabricating the Same
US9640773B2 (en) 2011-09-16 2017-05-02 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Aromatic amine derivative and organic electroluminescence element using same
RU2604567C2 (ru) 2011-10-28 2016-12-10 Конинклейке Филипс Н.В. Прозрачное устройство осид со структурированным катодом и способ изготовления такого устройства осид
JP2013118349A (ja) 2011-11-02 2013-06-13 Udc Ireland Ltd 有機電界発光素子、有機電界発光素子用材料並びに該有機電界発光素子を用いた発光装置、表示装置及び照明装置
KR20130053053A (ko) 2011-11-14 2013-05-23 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조방법
WO2013077406A1 (ja) 2011-11-25 2013-05-30 出光興産株式会社 芳香族アミン誘導体、有機エレクトロルミネッセンス素子用材料および有機エレクトロルミネッセンス素子
KR101792456B1 (ko) 2011-11-25 2017-11-01 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 방향족 아민 유도체, 유기 일렉트로 루미네선스 소자용 재료 및 유기 일렉트로 루미네선스 소자
KR101402526B1 (ko) 2011-12-26 2014-06-09 삼성디스플레이 주식회사 수명이 향상된 유기발광소자 및 그 제조방법
KR101407588B1 (ko) 2011-12-27 2014-06-13 에스에프씨 주식회사 축합환 화합물 및 이를 포함한 유기 발광 소자
KR20130077276A (ko) 2011-12-29 2013-07-09 가톨릭대학교 산학협력단 이종 코어 구조를 포함하는 유기발광 소자용 화합물 및 그를 채용한 유기발광 소자
KR20130127014A (ko) 2012-01-16 2013-11-22 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 유기전기발광화합물을 발광재료로서 채용하고 있는 유기전기발광소자
JP5758314B2 (ja) 2012-01-17 2015-08-05 株式会社東芝 有機電界発光素子、及び照明装置
JP2013219278A (ja) 2012-04-11 2013-10-24 Shin Etsu Polymer Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子
CN104364250B (zh) 2012-04-13 2017-05-31 株式会社Lg化学 新的含氮杂环化合物及使用其的有机电子器件
KR20130134205A (ko) 2012-05-30 2013-12-10 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 신규한 유기 발광 화합물 및 이를 채용하고 있는 유기 전계 발광 소자
US9831457B2 (en) 2012-05-31 2017-11-28 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting diode
WO2013183851A1 (ko) 2012-06-04 2013-12-12 (주)피엔에이치테크 새로운 유기전계발광소자용 화합물 및 그를 포함하는 유기전계발광소자
KR101931176B1 (ko) 2012-06-11 2018-12-21 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시장치 및 그 제조방법
JP6060530B2 (ja) 2012-06-12 2017-01-18 ソニー株式会社 有機電界発光素子及び表示装置
US9559310B2 (en) 2012-07-11 2017-01-31 Samsung Display Co., Ltd. Compound with electron injection and/or electron transport capabilities and organic light-emitting device including the same
WO2014015937A1 (de) 2012-07-23 2014-01-30 Merck Patent Gmbh Verbindungen und organische elektrolumineszierende vorrichtungen
JP2015216135A (ja) 2012-08-10 2015-12-03 出光興産株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子、および電子機器
US8940568B2 (en) 2012-08-31 2015-01-27 Universal Display Corporation Patterning method for OLEDs
CN103664746B (zh) 2012-09-03 2016-11-16 乐金显示有限公司 蒽化合物以及包含该蒽化合物的有机发光二极管
US9059427B2 (en) 2012-09-11 2015-06-16 Apple Inc. Device and method for top emitting AMOLED
US9385172B2 (en) 2012-10-19 2016-07-05 Universal Display Corporation One-way transparent display
KR20140050994A (ko) 2012-10-22 2014-04-30 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 디스플레이 장치 및 그 제조 방법
CN103788087B (zh) 2012-10-30 2017-05-10 昆山维信诺显示技术有限公司 含咪唑[1,2,a]并吡啶基团的蒽类衍生物及其在OLED中的应用
KR101994816B1 (ko) 2012-11-14 2019-07-01 엘지디스플레이 주식회사 투명 유기발광소자
KR20140067527A (ko) 2012-11-26 2014-06-05 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치
KR102059940B1 (ko) 2012-11-29 2019-12-30 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
TWI602901B (zh) 2012-12-11 2017-10-21 半導體能源研究所股份有限公司 發光元件,發光裝置,電子裝置,與照明裝置
CN104884444B (zh) 2012-12-26 2018-07-03 出光兴产株式会社 含氧稠环胺化合物、含硫稠环胺化合物及有机电致发光元件
KR102090555B1 (ko) 2012-12-27 2020-03-18 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
KR102020805B1 (ko) 2012-12-28 2019-09-11 엘지디스플레이 주식회사 투명 유기 발광 표시 장치 및 투명 유기 발광 표시 장치 제조 방법
US9310843B2 (en) 2013-01-02 2016-04-12 Apple Inc. Electronic devices with light sensors and displays
KR20140088369A (ko) 2013-01-02 2014-07-10 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR20140088731A (ko) 2013-01-03 2014-07-11 삼성디스플레이 주식회사 마스크 및 그 마스크 세정 방법과 그 마스크를 이용한 복수의 유기전계발광소자 제조 방법
KR102023896B1 (ko) 2013-02-15 2019-09-24 삼성디스플레이 주식회사 표시기판 및 그 제조방법
WO2014129048A1 (ja) 2013-02-22 2014-08-28 出光興産株式会社 アントラセン誘導体、有機エレクトロルミネッセンス素子用材料、有機エレクトロルミネッセンス素子、および電子機器
KR102050484B1 (ko) 2013-03-04 2019-12-02 삼성디스플레이 주식회사 안트라센 유도체 및 이를 포함하는 유기전계발광소자
CN111718281A (zh) 2013-03-22 2020-09-29 默克专利有限公司 用于制备有机电致发光器件用材料的合成结构单元
WO2014163228A1 (ko) 2013-04-04 2014-10-09 (주)피엔에이치테크 새로운 유기전계발광소자용 화합물 및 그를 포함하는 유기전계발광소자
KR102038969B1 (ko) 2013-04-12 2019-11-01 삼성디스플레이 주식회사 유기 화합물 및 이를 포함하는 유기 발광 장치
KR102156562B1 (ko) 2013-04-22 2020-09-16 에스에프씨주식회사 아릴 아민기를 포함하는 비대칭 피렌 유도체 및 이를 포함하는 유기 발광 소자
KR101548304B1 (ko) 2013-04-23 2015-08-28 엘지디스플레이 주식회사 유기 전계 발광 표시장치 및 그 제조방법
KR101606558B1 (ko) 2013-05-02 2016-03-28 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 디스플레이 장치, 그 제조방법 및 제조에 사용되는 마스크
KR102107106B1 (ko) 2013-05-09 2020-05-07 삼성디스플레이 주식회사 스티릴계 화합물 및 이를 포함한 유기 발광 소자
KR102083983B1 (ko) 2013-05-29 2020-03-04 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
KR102056865B1 (ko) 2013-05-29 2020-01-15 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치용 필름 및 이를 포함하는 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
JP6210745B2 (ja) 2013-06-11 2017-10-11 キヤノン株式会社 有機発光素子
KR102188028B1 (ko) 2013-06-18 2020-12-08 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
KR102085320B1 (ko) 2013-06-18 2020-03-06 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102131248B1 (ko) 2013-07-04 2020-07-08 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
WO2015005440A1 (ja) 2013-07-10 2015-01-15 Jnc株式会社 環縮合フルオレン化合物またはフルオレン化合物を含む発光補助層用材料
KR102117607B1 (ko) 2013-07-23 2020-06-02 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시장치 및 그 제조방법
JP6089009B2 (ja) 2013-07-31 2017-03-01 富士フイルム株式会社 光電変換素子および太陽電池
KR102092705B1 (ko) 2013-08-16 2020-03-25 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시장치 및 그 제조방법
US20160181542A1 (en) 2013-09-06 2016-06-23 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Anthracene derivative and organic electroluminescent element using same
CN103467396A (zh) 2013-09-12 2013-12-25 长春工业大学 含1,2,4-***环的化合物、含1,2,4-***环的聚合物质子交换膜和制备方法
KR102155736B1 (ko) 2013-09-13 2020-09-15 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시장치 및 그 제조방법
US10396288B2 (en) 2013-09-20 2019-08-27 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Organic electroluminescent element and electronic device
WO2015041352A1 (ja) 2013-09-20 2015-03-26 出光興産株式会社 アミン化合物及び有機エレクトロルミネッセンス素子
JP6211873B2 (ja) 2013-09-30 2017-10-11 株式会社ジャパンディスプレイ 有機el表示装置及び有機el表示装置の製造方法
KR102227455B1 (ko) 2013-10-08 2021-03-11 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR20150061921A (ko) 2013-11-28 2015-06-05 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광표시장치
US10062850B2 (en) 2013-12-12 2018-08-28 Samsung Display Co., Ltd. Amine-based compounds and organic light-emitting devices comprising the same
US9478591B2 (en) 2013-12-23 2016-10-25 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting display device and repair method thereof
CN104752619A (zh) 2013-12-26 2015-07-01 东丽先端材料研究开发(中国)有限公司 有机发光元件
KR102153043B1 (ko) 2014-01-07 2020-09-07 삼성전자주식회사 유기금속 화합물 및 이를 포함한 유기 발광 소자
KR101661925B1 (ko) 2014-03-03 2016-10-05 한국교통대학교산학협력단 파이렌 유도체 및 이를 이용한 유기전계발광소자
EP3122841A4 (en) 2014-03-25 2017-11-01 Molecular Glasses, Inc. Pi-conjugated semiconductive organic glass mixtures for oled and oeds
JP6514005B2 (ja) 2014-04-08 2019-05-15 出光興産株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子及びインク組成物
KR102207605B1 (ko) 2014-05-07 2021-01-25 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치 제조 방법
KR20150132795A (ko) 2014-05-16 2015-11-26 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
KR102327086B1 (ko) 2014-06-11 2021-11-17 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
CN104037359B (zh) 2014-06-20 2017-01-25 上海和辉光电有限公司 一种oled阴极结构及其制造方法
US20150376768A1 (en) 2014-06-30 2015-12-31 Palo Alto Research Center Incorporated Systems and methods for implementing digital vapor phase patterning using variable data digital lithographic printing techniques
US9806279B2 (en) 2014-07-08 2017-10-31 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting display device comprising auxiliary electrode having void therein and manufacturing method thereof
EP2966705B1 (en) 2014-07-11 2018-09-19 LG Display Co., Ltd. Organic light-emitting diode display device and method of fabricating the same
KR102030377B1 (ko) 2014-07-28 2019-10-10 에스에프씨주식회사 헤테로고리를 포함하는 축합 플루오렌 유도체
US9570471B2 (en) 2014-08-05 2017-02-14 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
KR101530266B1 (ko) 2014-08-25 2015-06-23 (주)피엔에이치테크 유기발광 화합물 및 이를 포함하는 유기전계발광소자
KR102430648B1 (ko) 2014-09-05 2022-08-09 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 정공 전달 재료 및 이를 포함하는 유기 전계 발광 소자
CN105470279B (zh) 2014-09-11 2020-02-14 乐金显示有限公司 有机发光显示装置及其制造方法
KR102285383B1 (ko) 2014-09-12 2021-08-04 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자용 화합물 및 이를 포함하는 유기 발광 소자
CN105428387B (zh) 2014-09-17 2018-09-07 乐金显示有限公司 有机发光显示装置及其制造方法
WO2016042772A1 (ja) 2014-09-19 2016-03-24 出光興産株式会社 新規な化合物及びそれを用いた有機エレクトロルミネッセンス素子
KR102031678B1 (ko) 2014-09-19 2019-10-14 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 신규의 화합물
KR102273654B1 (ko) 2014-10-08 2021-07-06 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
JP2016081562A (ja) 2014-10-09 2016-05-16 ソニー株式会社 表示装置、表示装置の製造方法および電子機器
KR102352287B1 (ko) 2014-11-07 2022-01-18 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
KR102290785B1 (ko) 2014-11-18 2021-08-19 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
CN105633297B (zh) 2014-11-25 2018-04-20 乐金显示有限公司 透视有机发光显示装置及其制造方法
KR102374833B1 (ko) 2014-11-25 2022-03-15 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR102363259B1 (ko) 2014-12-02 2022-02-16 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
KR102385227B1 (ko) 2014-12-02 2022-04-12 삼성디스플레이 주식회사 화합물 및 이를 포함한 유기 발광 소자
KR20160076179A (ko) 2014-12-22 2016-06-30 삼성디스플레이 주식회사 전계발광 디스플레이 장치 및 그 구동 방법
KR102190108B1 (ko) 2014-12-31 2020-12-11 에스에프씨주식회사 고효율과 장수명을 갖는 유기 발광 소자
KR102343145B1 (ko) 2015-01-12 2021-12-27 삼성디스플레이 주식회사 축합환 화합물 및 이를 포함한 유기 발광 소자
KR102291492B1 (ko) 2015-01-16 2021-08-20 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
WO2016116497A1 (de) 2015-01-20 2016-07-28 Cynora Gmbh Organische moleküle, insbesondere zur verwendung in optoelektronischen bauelementen
CN107406415B (zh) 2015-01-20 2021-02-19 保土谷化学工业株式会社 嘧啶衍生物和有机电致发光器件
US20160211454A1 (en) 2015-01-20 2016-07-21 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting device
KR102316684B1 (ko) 2015-01-21 2021-10-26 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
KR102316682B1 (ko) 2015-01-21 2021-10-26 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
KR102343572B1 (ko) 2015-03-06 2021-12-28 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
KR102394427B1 (ko) 2015-04-02 2022-05-04 엘지디스플레이 주식회사 유기발광표시장치 및 이를 제조하는 방법
KR101847431B1 (ko) 2015-04-20 2018-04-10 에스에프씨주식회사 유기 발광 소자
US10693084B2 (en) 2015-04-23 2020-06-23 Sfc Co., Ltd. Compound for organic light-emitting device and organic light-emitting device including same
US10745362B2 (en) 2015-05-14 2020-08-18 Lg Chem, Ltd. Heterocyclic compound and organic light emitting device comprising same
US10367147B2 (en) 2015-05-27 2019-07-30 Samsung Display Co., Ltd. Organic light-emitting device
US10056440B2 (en) 2015-05-28 2018-08-21 Lg Display Co., Ltd. Organic light emitting display device and method of manufacturing the same
KR102483434B1 (ko) 2015-05-28 2022-12-30 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR102555656B1 (ko) 2015-05-29 2023-07-14 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102523099B1 (ko) 2015-06-18 2023-04-18 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광소자
KR102458597B1 (ko) 2015-06-30 2022-10-25 엘지디스플레이 주식회사 유기발광다이오드 표시장치 및 그 제조방법
TWI599556B (zh) 2015-07-03 2017-09-21 友達光電股份有限公司 有機發光元件
CN105097877A (zh) 2015-07-06 2015-11-25 上海和辉光电有限公司 一种透明显示器及其制造方法
KR102348876B1 (ko) 2015-07-29 2022-01-10 엘지디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치
CN106432200B (zh) 2015-08-11 2019-07-05 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 一种用于有机电致发光器件的主体材料
KR102405695B1 (ko) 2015-08-31 2022-06-03 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR20170030168A (ko) 2015-09-09 2017-03-17 대림산업 주식회사 용존공기 부상법과 입상 산화철 공정을 결합한 해수 담수화 설비용 전처리 장치
CN105094451A (zh) 2015-09-18 2015-11-25 上海和辉光电有限公司 一种透明显示设备
KR20150120906A (ko) 2015-10-02 2015-10-28 가톨릭대학교 산학협력단 이중 코어 구조를 포함하는 유기발광 소자용 화합물 및 그를 채용한 유기발광 소자
KR102552274B1 (ko) 2015-10-08 2023-07-07 삼성디스플레이 주식회사 축합환 화합물 및 이를 포함한 유기 발광 소자
CN105206650A (zh) 2015-10-10 2015-12-30 上海和辉光电有限公司 一种透明显示面板及其制造方法
GB2545626A (en) 2015-10-16 2017-06-28 Lomox Ltd Cross-linkable charge transport materials
KR102465826B1 (ko) 2015-10-29 2022-11-09 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR102397686B1 (ko) 2015-10-30 2022-05-12 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102448611B1 (ko) 2015-10-30 2022-09-27 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
US10207992B2 (en) 2015-10-30 2019-02-19 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Dibenzocarbazole compound, light-emitting element, light-emitting device, display device, electronic device, and lighting device
KR101795579B1 (ko) 2015-11-10 2017-11-08 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR102552272B1 (ko) 2015-11-20 2023-07-07 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR102469949B1 (ko) 2015-11-30 2022-11-22 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102484645B1 (ko) 2015-12-15 2023-01-03 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102506532B1 (ko) 2015-12-17 2023-03-03 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR20170075114A (ko) 2015-12-22 2017-07-03 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
KR20170075118A (ko) 2015-12-22 2017-07-03 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
KR102384293B1 (ko) 2015-12-22 2022-04-08 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
KR102481737B1 (ko) 2015-12-23 2022-12-27 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광표시 장치
KR102458907B1 (ko) 2015-12-29 2022-10-25 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
US10727262B2 (en) 2016-01-13 2020-07-28 Sony Corporation Photoelectric conversion element, imaging device, and electronic apparatus comprising a photoelectric conversion layer having at least a subphthalocyanine or a subphthalocyanine derivative and a carrier dopant
KR102654858B1 (ko) 2016-02-11 2024-04-05 삼성전자주식회사 유기금속 화합물, 이를 포함한 유기 발광 소자 및 이를 포함한 진단용 조성물
KR20170113066A (ko) 2016-03-24 2017-10-12 삼성전자주식회사 디스플레이를 가진 전자 장치 및 그의 이미지 표시 방법
KR102606277B1 (ko) 2016-04-06 2023-11-27 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
US9954187B2 (en) 2016-04-08 2018-04-24 Idemitsu Kosan Co., Ltd. Compound, organic electroluminescence device and electronic device
EP3240036B1 (en) 2016-04-29 2024-05-01 LG Display Co., Ltd. Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same
KR102525501B1 (ko) 2016-05-23 2023-04-24 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102521254B1 (ko) 2016-06-01 2023-04-17 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널 및 이의 제조 방법
KR102354865B1 (ko) 2016-06-28 2022-01-25 삼성디스플레이 주식회사 표시장치
CN107565041B (zh) 2016-06-30 2019-12-31 乐金显示有限公司 有机发光显示装置及其制造方法
KR102651858B1 (ko) 2016-07-04 2024-03-28 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 패널
KR102611206B1 (ko) 2016-07-13 2023-12-08 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자
KR102543639B1 (ko) 2016-07-18 2023-06-15 삼성디스플레이 주식회사 표시 패널, 이의 제조 방법 및 이를 구비하는 표시 장치
CN106317025B (zh) 2016-07-28 2019-03-05 浙江工业大学 一种含三氟甲基吡唑的***类化合物及其制备方法和其应用
KR102650330B1 (ko) 2016-08-24 2024-03-21 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR102673814B1 (ko) 2016-08-25 2024-06-10 삼성전자주식회사 유기금속 화합물 및 이를 포함한 유기 발광 소자
KR102656232B1 (ko) 2016-08-31 2024-04-09 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 어레이 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치
KR102576557B1 (ko) 2016-09-21 2023-09-11 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
US10224386B2 (en) 2016-09-23 2019-03-05 Apple Inc. Display with power supply mesh
CN106206995B (zh) 2016-09-30 2018-08-14 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 一种有机发光二极管散射层的制备方法及其产品
KR20180036434A (ko) 2016-09-30 2018-04-09 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR102640754B1 (ko) 2016-10-05 2024-02-27 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 소자의 제조 방법
KR102602164B1 (ko) 2016-10-12 2023-11-14 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR20180046229A (ko) 2016-10-27 2018-05-08 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
KR20180047578A (ko) 2016-10-31 2018-05-10 엘지디스플레이 주식회사 보조 전극을 포함하는 디스플레이 장치
KR20180047584A (ko) 2016-10-31 2018-05-10 엘지디스플레이 주식회사 보조 전극을 포함하는 디스플레이 장치
US10833276B2 (en) 2016-11-21 2020-11-10 Universal Display Corporation Organic electroluminescent materials and devices
KR20180062284A (ko) 2016-11-30 2018-06-08 엘지디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR20230144094A (ko) 2016-12-02 2023-10-13 오티아이 루미오닉스 인크. 방출 영역 위에 배치된 전도성 코팅을 포함하는 디바이스 및 이를 위한 방법
KR20180066320A (ko) 2016-12-07 2018-06-19 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법
WO2018103747A1 (zh) 2016-12-08 2018-06-14 广州华睿光电材料有限公司 高聚物及电致发光器件
KR20180066948A (ko) 2016-12-09 2018-06-20 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치
KR20180068549A (ko) 2016-12-14 2018-06-22 엘지디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치와 그의 제조방법
KR20180082808A (ko) 2017-01-11 2018-07-19 삼성전자주식회사 유기금속 화합물, 유기금속 화합물-함유 조성물 및 유기 발광 소자
KR20180088099A (ko) 2017-01-26 2018-08-03 삼성전자주식회사 전자 장치에 있어서 광 검출 장치 및 방법
KR20180097372A (ko) 2017-02-23 2018-08-31 삼성전자주식회사 유기금속 화합물, 이를 포함한 유기 발광 소자 및 이를 포함한 진단용 조성물
KR102370355B1 (ko) 2017-03-09 2022-03-07 삼성디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치
CN108630830B (zh) 2017-03-22 2020-10-23 上海和辉光电股份有限公司 透明oled显示面板及其制作方法
KR102395780B1 (ko) 2017-03-23 2022-05-09 삼성전자주식회사 유기금속 화합물, 이를 포함한 유기 발광 소자
JP2018170152A (ja) 2017-03-29 2018-11-01 Tianma Japan株式会社 Oled表示装置の製造方法、マスク及びマスクの設計方法
KR102315502B1 (ko) 2017-04-14 2021-10-22 삼성디스플레이 주식회사 표시 기판
KR102501466B1 (ko) 2017-04-21 2023-02-20 삼성전자주식회사 유기금속 화합물, 이를 포함한 유기 발광 소자 및 이를 포함한 진단용 조성물
JP2020518107A (ja) 2017-04-26 2020-06-18 オーティーアイ ルミオニクス インコーポレーテッドOti Lumionics Inc. 表面上のコーティングをパターン化する方法およびパターン化されたコーティングを含むデバイス
CN106992267A (zh) 2017-04-28 2017-07-28 深圳市华星光电技术有限公司 一种顶发射oled器件及制备方法、显示面板
KR20180121304A (ko) 2017-04-28 2018-11-07 (주)에스엔텍 소자 기판을 이용한 소자의 공정처리 수행방법
EP3401701B1 (en) 2017-05-11 2021-08-11 ams AG Optical sensor arrangement
KR102446877B1 (ko) 2017-05-18 2022-09-23 삼성전자주식회사 디스플레이를 포함하는 전자 장치
KR102504130B1 (ko) 2017-05-23 2023-02-28 삼성디스플레이 주식회사 축합환 화합물 및 이를 포함한 유기 발광 소자
CN106981585B (zh) 2017-05-23 2019-02-12 上海天马微电子有限公司 透明oled面板和显示装置
US10357921B2 (en) 2017-05-24 2019-07-23 International Business Machines Corporation Light generating microcapsules for photo-curing
US10333098B2 (en) 2017-06-15 2019-06-25 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Transparent OLED display panel and manufacturing method thereof
CN110024366B (zh) 2017-07-07 2020-08-14 华为技术有限公司 一种具有摄像头的终端和拍摄方法
CN109299631B (zh) 2017-07-24 2021-03-23 华为技术有限公司 一种屏幕及终端
KR20190020930A (ko) 2017-08-22 2019-03-05 (주)피엔에이치테크 유기발광 화합물 및 이를 포함하는 유기전계발광소자
CN107564945A (zh) 2017-08-30 2018-01-09 上海天马微电子有限公司 透明显示面板、透明显示装置及透明显示面板的制作方法
CN107579102B (zh) 2017-08-31 2020-07-07 上海天马微电子有限公司 显示面板及显示装置
WO2019047126A1 (zh) 2017-09-07 2019-03-14 华为技术有限公司 一种有机发光显示oled屏幕及终端
US10714011B2 (en) 2017-09-21 2020-07-14 Apple Inc. OLED voltage driver with current-voltage compensation
WO2019062223A1 (zh) 2017-09-30 2019-04-04 昆山国显光电有限公司 显示屏和电子产品
CN109599030B (zh) 2017-09-30 2020-12-11 昆山国显光电有限公司 显示屏及电子产品
WO2019062221A1 (zh) 2017-09-30 2019-04-04 云谷(固安)科技有限公司 显示屏及显示装置
CN108389878B (zh) 2017-09-30 2022-01-25 昆山国显光电有限公司 显示屏及显示装置
WO2019062236A1 (zh) 2017-09-30 2019-04-04 昆山国显光电有限公司 显示屏、显示屏驱动方法及其显示装置
CN107768407B (zh) 2017-10-19 2020-05-12 上海天马微电子有限公司 一种有机电致发光显示面板及显示装置
CN107808895B (zh) 2017-10-24 2019-10-01 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 透明oled显示器及其制作方法
KR102507742B1 (ko) 2017-10-30 2023-03-09 삼성전자주식회사 디스플레이를 포함하는 전자 장치
CN108010947B (zh) 2017-11-29 2021-01-08 上海天马有机发光显示技术有限公司 一种有机发光显示面板和有机发光显示装置
KR102461360B1 (ko) 2017-12-15 2022-11-02 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 그의 제조 방법
CN110060578B (zh) 2018-01-19 2021-09-14 华为技术有限公司 终端设备和显示方法
KR102443229B1 (ko) 2018-01-23 2022-09-15 삼성전자주식회사 센서를 장착하기 위한 개구를 포함하는 디스플레이
CN108196388B (zh) 2018-02-12 2022-04-19 京东方科技集团股份有限公司 一种显示装置及其制造方法
CN110224003B (zh) 2018-03-01 2023-06-09 天马日本株式会社 显示装置
WO2019178782A1 (zh) 2018-03-21 2019-09-26 华为技术有限公司 一种显示屏及其制备方法、移动终端
US11073712B2 (en) 2018-04-10 2021-07-27 Apple Inc. Electronic device display for through-display imaging
KR102664717B1 (ko) 2018-04-13 2024-05-10 삼성전자 주식회사 표시 영역에 의해 둘러싸인 홀 영역을 우회하는 복수의 배선들을 포함하는 디스플레이 및 이를 포함하는 전자 장치
WO2019199131A1 (en) 2018-04-13 2019-10-17 Samsung Electronics Co., Ltd. Display having opaque member disposed in area surrounded by pixels and electronic apparatus having the same
CN108574054B (zh) 2018-04-17 2020-03-06 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板、显示装置和显示装置的制作方法
KR102528560B1 (ko) 2018-05-04 2023-05-04 삼성전자주식회사 디스플레이 드라이버, 디스플레이 시스템 및 디스플레이 드라이버의 동작 방법
CN108648679B (zh) 2018-05-18 2020-06-26 京东方科技集团股份有限公司 显示面板的驱动方法及装置、显示设备
CN108418928A (zh) 2018-05-23 2018-08-17 Oppo广东移动通信有限公司 电子装置
CN108376019A (zh) 2018-05-28 2018-08-07 Oppo广东移动通信有限公司 电子装置
CN108900659B (zh) 2018-05-28 2020-09-18 Oppo广东移动通信有限公司 电子装置
CN108881531A (zh) 2018-06-04 2018-11-23 Oppo广东移动通信有限公司 电子装置
CN108767136B (zh) 2018-06-05 2020-06-30 京东方科技集团股份有限公司 一种镜面显示屏和制备方法
CN110914891B (zh) 2018-06-20 2021-11-26 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其驱动方法和显示装置
US11211587B2 (en) 2018-07-30 2021-12-28 Apple Inc. Organic light-emitting diode display with structured electrode
CN110767674B (zh) 2018-08-06 2022-05-17 苏州清越光电科技股份有限公司 显示面板、显示屏及显示终端
CN110767677A (zh) 2018-08-06 2020-02-07 云谷(固安)科技有限公司 显示面板、显示屏及显示终端
CN110767672B (zh) 2018-08-06 2020-11-17 云谷(固安)科技有限公司 显示面板、显示屏及显示终端
KR102598230B1 (ko) 2018-08-13 2023-11-03 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
JP6935374B2 (ja) 2018-08-31 2021-09-15 マイクロメトリックステクノロジーズプライベイトリミティッド アンダーディスプレイ型指紋認証用センサモジュールおよびアンダーディスプレイ型指紋認証装置
US11177329B2 (en) 2018-09-04 2021-11-16 Apple Inc. Viewing angle color shift control
CN110911440B (zh) 2018-09-14 2020-10-16 云谷(固安)科技有限公司 显示面板、显示屏和显示终端
WO2020052232A1 (zh) 2018-09-14 2020-03-19 昆山国显光电有限公司 显示面板、显示屏和显示终端
CN109379454B (zh) 2018-09-17 2020-04-17 深圳奥比中光科技有限公司 电子设备
CN109461758B (zh) 2018-09-21 2021-07-16 华为技术有限公司 显示屏的制备方法、显示屏和终端
US10855892B2 (en) 2018-09-26 2020-12-01 Shenzhen GOODIX Technology Co., Ltd. Electronic apparatus, and light field imaging system and method with optical metasurface
KR20200036137A (ko) 2018-09-27 2020-04-07 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
KR20200039866A (ko) 2018-10-05 2020-04-17 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
GB201817037D0 (en) 2018-10-19 2018-12-05 Univ Warwick Selective depositon of metallic layers
CN109742132B (zh) 2019-02-28 2021-01-22 京东方科技集团股份有限公司 显示面板和显示装置
KR102625413B1 (ko) 2018-10-29 2024-01-17 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법
CN110767682B (zh) 2018-10-31 2022-10-21 苏州清越光电科技股份有限公司 显示屏及显示终端
CN117769309A (zh) 2018-11-23 2024-03-26 Oti照明公司 电致发光装置
KR20200075996A (ko) 2018-12-18 2020-06-29 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
CN111369946A (zh) 2018-12-25 2020-07-03 华为终端有限公司 一种显示屏、移动终端及其控制方法
CN110767830A (zh) 2018-12-28 2020-02-07 云谷(固安)科技有限公司 透明oled基板、阵列基板、显示屏及显示装置
CN109448575B (zh) 2018-12-29 2020-12-29 上海天马微电子有限公司 一种透明显示面板和透明显示装置
KR20200082763A (ko) 2018-12-31 2020-07-08 엘지디스플레이 주식회사 투명 표시 장치
CN109817672B (zh) 2019-01-29 2020-12-29 京东方科技集团股份有限公司 有机电致发光显示基板及其制造方法、显示面板、装置
CN110767844B (zh) 2019-01-31 2022-06-03 云谷(固安)科技有限公司 阵列基板及其制造方法、显示屏及显示装置
CN110767708B (zh) 2019-01-31 2022-05-10 昆山国显光电有限公司 阵列基板、掩模板、显示面板和显示装置
CN110767709B (zh) 2019-02-02 2022-02-08 云谷(固安)科技有限公司 显示面板、显示屏及显示装置
CN109920931B (zh) 2019-03-04 2022-08-26 荣耀终端有限公司 显示终端、掩膜组件、蒸镀***及其控制方法
CN110767713A (zh) 2019-03-08 2020-02-07 云谷(固安)科技有限公司 显示装置及其oled基板、oled透光基板
CN109830495B (zh) 2019-03-21 2021-10-08 京东方科技集团股份有限公司 阵列基板及其制备方法、显示装置及其成像方法
CN109817694B (zh) 2019-03-26 2021-09-07 京东方科技集团股份有限公司 有机发光显示面板及制作方法、显示装置
CN109979980A (zh) 2019-03-28 2019-07-05 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制备方法、显示装置
CN109979979B (zh) 2019-03-28 2020-09-08 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Oled显示面板及其制作方法
CN110767835B (zh) 2019-03-29 2021-01-26 昆山国显光电有限公司 透明显示面板、显示屏、显示装置及掩膜板
CN110048005B (zh) 2019-03-29 2020-06-16 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种oled显示器件及其制备方法
CN110112182A (zh) 2019-04-10 2019-08-09 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Oled显示面板及制备方法
CN109950293B (zh) 2019-04-10 2021-02-02 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板及显示装置
CN110767836B (zh) 2019-04-12 2020-08-25 昆山国显光电有限公司 半导体结构、显示面板及其制备方法和显示终端
KR20200129571A (ko) 2019-05-09 2020-11-18 삼성전자주식회사 센서를 포함하는 디스플레이 모듈을 포함하는 전자 장치 및 상기 디스플레이 모듈의 제조 방법
CN110767662B (zh) 2019-05-31 2020-10-27 昆山国显光电有限公司 显示基板、显示面板及显示装置
CN110444125B (zh) 2019-06-25 2022-03-08 荣耀终端有限公司 显示屏、终端
KR20220046551A (ko) 2019-06-26 2022-04-14 오티아이 루미오닉스 인크. 광 회절 특성을 갖는 광 투과 영역을 포함하는 광전자 디바이스
CN210668382U (zh) 2019-06-27 2020-06-02 北京小米移动软件有限公司 显示面板、显示屏及电子设备
CN110144551B (zh) 2019-07-04 2022-05-10 京东方科技集团股份有限公司 一种蒸镀设备及蒸镀方法
CN110265474B (zh) 2019-07-22 2022-05-13 京东方科技集团股份有限公司 Oled显示基板及其制备方法和显示装置
CN110391348A (zh) 2019-07-23 2019-10-29 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种显示面板和显示装置
CN110518034B (zh) 2019-07-24 2021-02-26 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Oled显示屏及其制作方法、oled显示装置
CN110416269B (zh) 2019-07-29 2022-02-18 云谷(固安)科技有限公司 一种显示面板和显示面板的制作方法
CN110429117A (zh) 2019-07-30 2019-11-08 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种有机发光器件、显示装置及有机发光器件的制作方法
CN110473898B (zh) 2019-07-30 2021-10-08 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 有机发光二极管显示面板及其制作方法
CN110473988B (zh) 2019-08-02 2020-11-10 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种显示面板制程用掩模版及其应用
CN110492018B (zh) 2019-08-09 2024-06-18 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种显示装置
CN110459175A (zh) 2019-08-09 2019-11-15 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及显示装置
CN110491917A (zh) 2019-08-09 2019-11-22 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及电子设备
CN110491918A (zh) 2019-08-09 2019-11-22 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及显示装置
CN110570774A (zh) 2019-08-09 2019-12-13 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及显示装置
CN110783484B (zh) 2019-09-24 2020-11-10 昆山国显光电有限公司 显示面板及其制作方法、显示装置
CN110783485B (zh) 2019-09-24 2021-06-18 昆山国显光电有限公司 透光显示面板、显示面板、制作方法、显示装置
CN110634930B (zh) 2019-09-27 2022-02-25 京东方科技集团股份有限公司 显示面板和显示装置
CN110783486A (zh) 2019-10-10 2020-02-11 复旦大学 一种适用于屏下摄像头的显示面板
CN110727142B (zh) 2019-10-29 2023-04-28 Oppo广东移动通信有限公司 偏光片、显示屏以及电子设备
CN110767736A (zh) 2019-11-06 2020-02-07 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板及其制备方法、显示装置
CN110780375B (zh) 2019-11-15 2022-07-22 京东方科技集团股份有限公司 偏光片及其制备方法、显示面板、显示装置
CN110752249B (zh) 2019-11-20 2022-08-09 京东方科技集团股份有限公司 显示装置及其控制方法,显示面板
CN110718580A (zh) 2019-11-20 2020-01-21 Oppo广东移动通信有限公司 显示模组及电子设备
CN110989861B (zh) 2019-11-27 2024-03-05 合肥维信诺科技有限公司 显示面板及其制造方法
CN110828699B (zh) 2019-11-27 2022-03-08 昆山国显光电有限公司 显示面板及电子设备
CN110867527B (zh) 2019-11-27 2022-08-26 昆山国显光电有限公司 透光显示面板、显示面板、显示装置以及制作方法
CN111029381A (zh) 2019-12-09 2020-04-17 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 有机发光显示面板及有机发光显示装置
CN111029382A (zh) 2019-12-13 2020-04-17 合肥维信诺科技有限公司 显示面板、多区域显示面板和显示装置
CN110923625A (zh) 2019-12-16 2020-03-27 京东方科技集团股份有限公司 掩膜模组、蒸镀***及蒸镀方法及显示基板
CN116648094A (zh) 2019-12-18 2023-08-25 京东方科技集团股份有限公司 显示面板及显示装置
CN111020489A (zh) 2019-12-19 2020-04-17 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 蒸镀装置、蒸镀方法以及显示装置
CN115826784A (zh) 2019-12-20 2023-03-21 京东方科技集团股份有限公司 显示面板和显示装置
CN111009619B (zh) 2019-12-24 2022-05-17 昆山国显光电有限公司 透光显示面板及其制作方法、显示面板
CN110956925A (zh) 2019-12-25 2020-04-03 北京集创北方科技股份有限公司 显示装置、电子设备和对显示面板进行老化补偿的方法
CN111142180A (zh) 2019-12-30 2020-05-12 Oppo广东移动通信有限公司 偏光片及其制作方法、显示屏组件和电子装置
CN111180490B (zh) 2019-12-31 2022-12-13 Oppo广东移动通信有限公司 显示屏及电子装置
CN111155055A (zh) 2020-01-06 2020-05-15 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Oled面板、其蒸镀方法和其掩膜版组
CN111261641B (zh) 2020-01-22 2022-11-11 京东方科技集团股份有限公司 显示面板和显示装置
CN111524469A (zh) 2020-02-17 2020-08-11 京东方科技集团股份有限公司 显示装置及偏光片
CN111293235B (zh) 2020-02-17 2023-04-07 京东方科技集团股份有限公司 一种显示基板的制备方法、显示基板及显示装置
CN111293236B (zh) 2020-02-21 2022-07-12 京东方科技集团股份有限公司 Oled屏幕打孔方法
CN111292617B (zh) 2020-02-27 2021-06-29 昆山国显光电有限公司 一种显示面板及显示装置
CN111223908B (zh) 2020-02-29 2022-12-27 Oppo广东移动通信有限公司 屏下摄像显示模组以及电致发光显示屏
CN111341936B (zh) 2020-03-10 2021-11-12 昆山国显光电有限公司 一种显示面板及显示装置
CN111046599B (zh) 2020-03-17 2020-06-23 昆山国显光电有限公司 像素排布优化方法、装置、透光显示面板和显示面板
CN111403621A (zh) 2020-03-25 2020-07-10 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Oled显示面板及其制备方法、oled显示装置
CN111312795B (zh) 2020-04-02 2022-10-04 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示装置、显示面板及其制作方法
CN111524460B (zh) 2020-04-26 2021-10-01 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 显示面板、掩膜板和显示面板的制作方法
CN111584725A (zh) 2020-05-15 2020-08-25 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Oled的面板及其制造方法
CN111584748A (zh) 2020-05-20 2020-08-25 京东方科技集团股份有限公司 透明显示器件、仿真方法及制造方法
CN111755623B (zh) 2020-06-17 2022-07-12 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 用于屏下摄像头的显示面板及其制造方法
CN111682120B (zh) 2020-06-22 2023-09-05 京东方科技集团股份有限公司 一种显示面板及其制备方法和显示装置
CN111668240B (zh) 2020-06-23 2022-10-04 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 Oled显示面板及其制备方法、oled显示装置
CN111682055B (zh) 2020-06-24 2022-08-30 京东方科技集团股份有限公司 显示基板及其制备方法、显示面板和显示装置
CN111755493B (zh) 2020-06-28 2022-08-23 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 屏下摄像头的oled显示面板及其制备方法及显示装置
CN111739921B (zh) 2020-06-30 2024-03-05 联想(北京)有限公司 一种显示装置和电子设备
CN111640882B (zh) 2020-06-30 2022-09-16 湖北长江新型显示产业创新中心有限公司 一种显示面板及其制造方法、显示装置
CN111834547B (zh) 2020-07-08 2022-12-06 云谷(固安)科技有限公司 显示面板及其制备方法、显示装置及刮刀的制备方法
CN111725288B (zh) 2020-07-17 2022-09-13 昆山国显光电有限公司 像素结构及显示面板
CN111799374B (zh) 2020-07-17 2023-04-25 京东方科技集团股份有限公司 显示面板、制备方法及其显示装置
CN111863900A (zh) 2020-07-21 2020-10-30 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 一种显示面板及其制备方法、显示装置
CN111862875B (zh) 2020-07-27 2022-03-15 云谷(固安)科技有限公司 显示方法、显示面板、显示控制装置及存储介质
CN111739924A (zh) 2020-07-31 2020-10-02 京东方科技集团股份有限公司 显示面板和电子装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008214332A (ja) 2007-02-28 2008-09-18 Sfc Co Ltd 青色発光化合物およびこれを利用した有機電界発光素子
JP2012119592A (ja) 2010-12-03 2012-06-21 Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子用材料およびその用途
JP2016502734A (ja) 2012-11-06 2016-01-28 オーティーアイ ルミオニクス インコーポレーテッドOti Lumionics Inc. 導電性コーティングを表面に堆積する方法
WO2017072678A1 (en) 2015-10-26 2017-05-04 Oti Lumionics Inc. Method for patterning a coating on a surface and device including a patterned coating
JP2018533183A (ja) 2015-10-26 2018-11-08 オーティーアイ ルミオニクス インコーポレーテッドOti Lumionics Inc. パターン化されたコーティングを含む表面およびデバイス上のコーティングをパターン化する方法
US20170117478A1 (en) 2015-10-27 2017-04-27 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting device

Also Published As

Publication number Publication date
WO2019150327A1 (en) 2019-08-08
US11751415B2 (en) 2023-09-05
CN112135808A (zh) 2020-12-25
JP2024038340A (ja) 2024-03-19
JP2021512467A (ja) 2021-05-13
US20230363196A1 (en) 2023-11-09
JP2023018039A (ja) 2023-02-07
US20210047536A1 (en) 2021-02-18
KR20200125941A (ko) 2020-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7425480B2 (ja) 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス
JP7503852B2 (ja) 放射領域上に配置された導電性コーティングを含むデバイスおよびそのための方法
US20230165124A1 (en) Method for patterning a coating on a surface and device including a patterned coating
JP2023153359A (ja) パターン化されたコーティングを含む表面およびデバイス上のコーティングをパターン化する方法
JP7390739B2 (ja) 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス
CN113950630A (zh) 用于形成成核抑制涂层的材料和结合所述成核抑制涂层的装置
TWI744322B (zh) 用於在表面上圖案化塗層之方法及包括經圖案化的塗層之裝置

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220114

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220114

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20220622

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220721

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20221017

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20221118

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20230216

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230616

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20230714

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230901

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231129

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20231215

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240112

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7425480

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150