JP6767711B2 - サイレンサおよびサイレンサを用いたエジェクタ - Google Patents

サイレンサおよびサイレンサを用いたエジェクタ Download PDF

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Description

本発明は、流体圧機器から排出される圧力流体の排気音を低減させるサイレンサおよびサイレンサを用いたエジェクタに関する。
従来、エジェクタ等の流体圧機器から排出される圧力流体（圧縮空気）の排気音が大きいことから、流体圧機器の排気ポート側にサイレンサを取り付けることで排気音の低減が図られている（特許文献１参照）。この種のサイレンサは、流体圧機器の排気ポートと連通する排気流路が形成された中空状の筒部と、排気流路内に設けられた消音部と、排気流路の終端位置に設けられた排気口とを備える。
特開２０１２−２１８０９９号公報
上述した従来技術では、排気口はサイレンサの軸方向に沿って形成され、排気流路内を通過した圧力流体は軸方向に沿って排出される構成であった。このため、流体圧機器にサイレンサを組み込む際には、排気口からの排気を妨げないように、サイレンサの排気口を壁面等の障害物から離間して流体圧機器を設置する必要があり、流体圧機器の設置場所が制約されていた。また、排気口が一箇所にのみ設けられているため、例えばサイレンサをエジェクタに取り付けた場合には、排気口が塞がれると、吸い込み流量や真空圧の性能が低下してしまうという問題があった。
そこで、本発明は、サイレンサを取り付ける流体圧機器の設置場所が制約されず、排気口からの排気が支障なく行われ、排気音が低減されるサイレンサおよびサイレンサを用いたエジェクタを提供することを目的とする。
本発明のサイレンサは、圧力流体を排出する流体圧機器の排気ポートと一端部側で連通する排気流路が形成された中空状の筒部と、筒部の他端部に取り付けられたキャップ部と、筒部の内壁面に取り付けられた消音部と、排気流路を筒部の軸方向に通過した圧力流体を軸方向と直交する径方向へ排出する複数の排気口と、を備える。
本発明のサイレンサによれば、サイレンサを取り付ける流体圧機器の設置場所が制約されず、排気口からの排気が支障なく行われ、排気音が低減される。具体的には、サイレンサを取り付けた流体圧機器をどのような向きに設置した場合でも、排気を複数の排気口から筒部の軸方向に対して直交方向に排出することができ、しかも取付先である流体圧機器を壁面等から一定距離離間させることなく設置できる。また、サイレンサには、複数の排気口が設けられているため、排気口が一箇所のみの場合と異なり、外部から塞がれにくい利点がある。さらに、複数の排気口が分散して圧力流体を排出するため、排気圧力を低減でき、消音効果が著しい。
また、本発明のサイレンサによれば、筒部は、キャップ部の近傍まで軸方向に延び、排気流路を区画する筒状の隔壁部を有し、排気流路は、始端部が排気ポートに臨み、隔壁部の内側の壁面に沿ってキャップ部の近傍まで延びる第１の排気流路と、第１の排気流路の終端部から径方向外側に流れ方向を変え、キャップ部の内壁面に沿って軸方向でキャップ部の反対側に折り返された第２の排気流路と、第２の排気流路の終端部から隔壁部の外側の壁面に沿って筒部の一端部側に延びる第３の排気流路と、からなり、複数の排気口は、第３の排気流路の終端部に形成されている。これにより、排気流路がキャップ部の反対側に折り返されて消音部と圧力流体が接する区間が長くなるため、消音力を向上させることができる。
また、本発明のサイレンサにおいて、消音部は、第１の排気流路に沿って設けられた第１の消音部と、第２の排気流路および第３の排気流路に沿って設けられた第２の消音部と、第３の排気流路の終端部に設けられた第３の消音部と、からなり、第２の消音部は、第２の排気流路の終端部に対応する箇所に湾曲部を有してもよい。これにより、筒部の内部に隔壁部に沿って第３の消音部、第１の消音部および第２の消音部を順番に取り付けた後、キャップ部を取り付けることでサイレンサを組み立てられる。また、サイレンサの分解を容易に行え、部品単位での交換も容易である。
また、本発明のサイレンサにおいて、筒部は、外周面に溝状に形成されたクリップ取付部を有し、クリップ取付部は、流体圧機器に形成された孔部に挿入されたクリップ部材を係止してもよい。これにより、クリップ部材をクリップ取付部に取り付けることで、サイレンサと流体圧機器を一体化でき、サイレンサが流体圧機器から抜けるのを防止できる。さらに、クリップ部材を用いて流体圧機器にサイレンサを簡単に着脱することができる。
また、本発明のサイレンサにおいて、筒部は、流体圧機器に形成された雌ネジ部に対してネジ込み固定される雄ネジ部を有してもよい。これにより、流体圧機器に対してサイレンサを容易に着脱することができる。
さらにまた、本発明のエジェクタは、給気ポートおよび吸引ポートと連通する内部空間が形成されたエジェクタボディと、内部空間に設けられ、給気ポートから供給された圧力流体を噴射し、吸引ポートから流体を吸引するための負圧を生成するノズルと、内部空間にノズルよりも下流側に設けられ、圧力流体を流体とともに排出する排気ポートを有するディフューザと、排気ポートに臨み、エジェクタボディに取り付けられたサイレンサと、を備え、サイレンサは、排気ポートと一端部側で連通する排気流路が形成された中空状の筒部と、筒部の他端部に取り付けられたキャップ部と、筒部の内壁面に取り付けられた消音部と、排気流路を筒部の軸方向に通過した圧力流体を軸方向と直交する径方向へ排出する複数の排気口と、を有する。
本発明のエジェクタによれば、サイレンサを取り付けたエジェクタの設置場所が制約されず、排気口からの排気が支障なく行われ、排気音が低減される。具体的には、サイレンサを取り付けたエジェクタをどのような向きに設置した場合でも、排気を複数の排気口から筒部の軸方向に対して直交方向に排出することができるため、エジェクタを壁面等から一定距離離間させることなく設置できる。また、サイレンサには、複数の排気口が設けられているため、排気口が一箇所のみの場合と異なり、外部から塞がれにくい利点がある。さらに、複数の排気口が分散して圧力流体を排出するため、排気圧力を低減でき、消音効果が著しい。
本発明によれば、サイレンサを取り付ける流体圧機器の設置場所が制約されず、排気口からの排気が支障なく行われ、排気音が低減されるサイレンサおよびサイレンサを用いたエジェクタを提供することができる。
第１の実施形態に係るサイレンサを取り付けたエジェクタを含む真空発生ユニットを示す断面図である。 図１に示すエジェクタを示す断面図である。 図２に示すサイレンサおよびエジェクタのＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図である。 図２に示すサイレンサのＩＶ−ＩＶ線における断面図である。 第２の実施形態に係るサイレンサを示す断面図である。 図５に示すサイレンサのＶＩ−ＶＩ線における断面図である。 図５に示すサイレンサの分解斜視図である。 第１の実施形態に係るサイレンサの変形例を示す断面図である。
本発明に係るサイレンサについて、それを組み込むエジェクタとの関係で好適な実施形態を掲げ、添付の図面を参照しながら以下、詳細に説明する。
図１は、第１の実施形態に係るサイレンサ１０を取り付けたエジェクタ１２を含む真空発生ユニット１４を示す断面図、図２は、図１に示すエジェクタ１２を示す断面図、図３は、図２に示すサイレンサ１０およびエジェクタ１２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における断面図、図４は、図２に示すサイレンサ１０のＩＶ−ＩＶ線における断面図である。
図１に示すように、真空発生ユニット１４は、真空発生機構として機能するエジェクタ１２と、真空破壊用パイロット弁１６と真空供給用パイロット弁１８とを有する電磁弁部２０と、切換弁部２８と、真空ポート３０から流入した流体中の塵埃等を内部に設けられたフィルタ３２により除去するフィルタユニット３４と、から構成される。切換弁部２８は、ピストン２２、真空供給弁２４および真空破壊弁２６を有し、パイロットエアの供給作用下に変位して負圧が生じた真空発生状態と、負圧が大気圧へと解除された真空破壊状態とを切り換える。真空供給弁２４および真空破壊弁２６の間には、真空供給弁２４を閉弁方向に付勢するスプリング６８が設けられている。
図１および図２に示すように、エジェクタ１２は、エジェクタボディ３６と、ノズル３８と、ディフューザ４０と、サイレンサ１０と、を含む。エジェクタボディ３６には、給気ポート４２および吸引ポート４４が設けられるとともに、これらのポートと連通する内部空間が形成されている。
ノズル３８は、エジェクタボディ３６の内部空間において給気ポート４２と吸引ポート４４の間に設けられ、給気ポート４２から供給された圧力流体（圧縮空気）をディフューザ４０に向けて噴射し、真空ポート３０に繋がる流体（空気）を吸引ポート４４から吸引するための負圧を生成する。
ディフューザ４０は、タンデムに配置された第１のディフューザ４０ａと第２のディフューザ４０ｂからなり、エジェクタボディ３６の内部空間にノズル３８よりも下流側に設けられている。第２のディフューザ４０ｂは、排気ポート４８を有する。
エジェクタボディ３６は、フィルタユニット３４側に吸引ポート４４を構成する第１の吸引ポート４４ａと第２の吸引ポート４４ｂとを有する。第１の吸引ポート４４ａは、第１のディフューザ４０ａとノズル３８との間に形成された内部空間に連通している。第２の吸引ポート４４ｂは、第１のディフューザ４０ａと第２のディフューザ４０ｂとの間に形成された内部空間に連通している。第２の吸引ポート４４ｂとフィルタユニット３４との間には、フィルタユニット３４側から第２の吸引ポート４４ｂへの流体の流れを許容する可撓性部材からなるチェック弁６７が設けられている。
図２および図３に示すように、サイレンサ１０は、一端部（図２中左側端部）が排気ポート４８に臨み、他端部（図２中右側端部）がエジェクタボディ３６から外方へ突出している。サイレンサ１０は、筒部５２、キャップ部５４および消音部５６を有する。筒部５２は、排気ポート４８と一端部側で連通する排気流路５０を有する。筒部５２は、中空状である。キャップ部５４は、筒部５２の他端部（図２中右側端部）に設けられている。消音部５６は、筒部５２の内壁面に取り付けられている。消音部５６は、円筒状であり、その軸方向に延在する内部空間は前記キャップ部５４により閉塞される。消音部５６は、例えばポリビニルアルコール等の樹脂を材質としてスポンジ状に形成された消音材で構成される。また、キャップ部５４と消音部５６の間には、消音部５６の内径Ｄ１よりも開口部の直径Ｄ２が大きい消音リング５８が設けられている。
サイレンサ１０の筒部５２の一端側の外周面には、環状溝からなるクリップ取付部６０が形成されている。図３に示すように、溝状のクリップ取付部６０は、エジェクタボディ３６に形成された孔部３６ａ、３６ｂに先端部６２ａ側から挿入された略Ｕ字状のクリップ部材６２を係止している。クリップ部材６２の中央に形成された屈曲部６２ｂは、クリップ取付部６０の溝底部分を左右から挟み込むように当接している。クリップ部材６２の把持部６２ｃは、エジェクタボディ３６の下面に当接している。クリップ部材６２をクリップ取付部６０に取り付けることで、サイレンサ１０とエジェクタ１２を一体化でき、サイレンサ１０がエジェクタボディ３６から抜けるのを防止できる。また、筒部５２の外周面とエジェクタボディ３６との接続部分には、環状のシール部材６３が設けられ、エジェクタ１２とサイレンサ１０との間における圧力流体の流出を防止している。
また、図２および図４に示すように、キャップ部５４は、円盤状の先端部５４ａと、先端部５４ａを支持する角柱部５４ｂと、角柱部５４ｂを支持し、筒部５２に嵌合する環状の接続部５４ｃと、からなる。角柱部５４ｂは、先端部５４ａと接続部５４ｃとの間に橋架され、かつ、互いに等間隔に離間する４本の柱体であり、その結果、４個の排気口６４ａ〜６４ｄが形成されることになる。排気口６４ａ〜６４ｄは、排気流路５０を軸方向（直進方向）に通過した流体を軸方向と直交する径方向へ排出する。なお、排気口の数は複数個であればよく、４つに限られない。
次に、上記のように構成されたサイレンサ１０と真空発生ユニット１４の動作・作用を説明する。
真空供給用パイロット弁１８の非通電時、真空供給弁２４および真空供給用パイロット弁１８は閉状態となっている。次に、図示しない電力供給源より真空供給用パイロット弁１８に通電すると、真空供給用パイロット弁１８が開状態となり、パイロット圧がピストン２２に供給される。
これにより、ピストン２２は真空供給弁２４側（図１中右方向）へ移動するとともに真空供給弁２４を押圧し、真空供給弁２４が開状態となる。図示しない圧力流体供給源に接続された供給ポート６６から切換弁部２８の内部流路に供給された圧力流体（圧縮空気）は、真空供給弁２４を通過し、給気ポート４２を介してエジェクタ１２のノズル３８の一端部側へ供給される。
ノズル３８の一端部側から供給された圧力流体は、ノズル３８において内径が最も狭くなっている中央部で絞り込まれた後、中央部より内径が軸方向に沿って拡大した他端部側から勢いよく噴射される。
これにより、圧力流体の速度は、ノズル３８の他端部側が一端部側よりも速くなり、他端部側の圧力が一端部側の圧力よりも低くなる。この場合、エジェクタ１２は、エジェクタボディ３６に形成された第１の吸引ポート４４ａを通じてフィルタユニット３４の内部空間と連通しているため、エジェクタボディ３６の第１の吸引ポート４４ａで生じた負圧により、外気が真空ポート３０から吸引される。このため、真空ポート３０は負圧になる。なお、前記外気は、フィルタユニット３４の内部空間においてフィルタ３２を通過して細かい塵埃等が除去された後、第１の吸引ポート４４ａからエジェクタ１２へと導入される。
第１のディフューザ４０ａは、ノズル３８の他端部から噴射された圧力流体を第１の吸引ポート４４ａから吸引した流体とともに第２のディフューザ４０ｂに向けて噴射する。
この結果、第２の吸引ポート４４ｂにも負圧が発生し、第２のディフューザ４０ｂには、第１のディフューザ４０ａから噴射された圧力流体を第２の吸引ポート４４ｂから吸引した流体とともに排気ポート４８からサイレンサ１０の排気流路５０に向けて噴射する。
真空ポート３０に接続された、例えば図示しない吸着具に図示しないワークが吸着されると、フィルタユニット３４および吸着具の内部における真空度が高まっていく。そして、フィルタユニット３４の内部空間の真空度が第２の吸引ポート４４ｂの真空度に比べて高くなると、その負圧圧力差により第２の吸引ポート４４ｂに設けられているチェック弁６７が閉じるため、排気ポート４８から噴射される流体は、第１のディフューザ４０ａから噴射された流体のみとなる。
サイレンサ１０では、エジェクタ１２から噴射された流体が筒部５２の軸方向に沿って設けられた排気流路５０に供給されると、該流体は筒部５２の内壁面に設けられた消音部５６によって排気音が吸収されながら、軸方向に沿ってキャップ部５４に向けて直進（図１中矢印Ａ方向）する。キャップ部５４に到達した流体は、キャップ部５４に設けられ径方向に指向して開口した複数の排気口６４ａ〜６４ｄより、筒部５２の軸方向に直交する方向（図１、図４中矢印Ｂ方向）へ排出される。
そして、真空供給用パイロット弁１８への通電を停止すると、真空供給弁２４と真空破壊弁２６の間に設けられたスプリング６８の復帰力により真空供給弁２４は閉状態に戻り、エジェクタ１２への圧力流体の供給が停止するため、真空の発生は停止する。
以上のように、本実施形態に係るサイレンサ１０は、排気を複数の排気口６４ａ〜６４ｄから筒部５２の軸方向に対して直交方向に排出することができる。このため、流体圧機器を壁面等から一定距離離間させることなく設置でき、設置場所が制約されることがない。
また、複数の排気口６４ａ〜６４ｄが設けられているため、従来技術のように排気口が一箇所のみ場合と異なり、塞がれにくい利点がある。すなわち、真空発生ユニット１４のエジェクタ１２に取り付けられる場合には、例えば一箇所が塞がれた場合でも、吸い込み流量や真空圧といった製品性能の大幅な低下を防ぐことができる。
さらに、複数の排気口６４ａ〜６４ｄが圧力流体を分散して排出するため、排気口が一箇所のみの場合よりも排気圧力を低減でき、排気音を低減できる利点がある。
さらにまた、本実施形態に係るサイレンサ１０において、複数の排気口６４ａ〜６４ｄは、キャップ部５４に径方向に指向して開口している。これにより、排気ポート４８から排出された排気は、軸方向に直交する方向へ排出することができるため、排気音の低減に役立つ。
また、本実施形態に係るサイレンサ１０において、消音部５６とキャップ部５４との間には、開口部の直径Ｄ２が消音部５６の内径Ｄ１よりも大きい消音リング５８が設けられている。これにより、キャップ部５４に形成された排気口６４ａ〜６４ｄの近傍位置において、排気の流れを妨げることなく、排気音をさらに低減させることができる。
さらにまた、本実施形態に係るサイレンサ１０において、筒部５２は、外周面に溝状に形成されたクリップ取付部６０を有し、クリップ取付部６０は、エジェクタ１２（流体圧機器）に形成された孔部３６ａ、３６ｂに挿入されたクリップ部材６２を係止している。クリップ部材６２をクリップ取付部６０に取り付けることで、サイレンサ１０とエジェクタ１２を一体化でき、サイレンサ１０がエジェクタボディ３６から抜けるのを防止できる。さらに、クリップ部材６２を用いてエジェクタ１２にサイレンサ１０を簡単に着脱することができる。
次に、第２の実施形態に係るサイレンサ１００について説明する。なお、上述した第１の実施形態に係るサイレンサ１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。
図５は、第２の実施形態に係るサイレンサ１００を示す断面図、図６は図５に示すサイレンサ１００のＶＩ−ＶＩ線における断面図、図７は、図５に示すサイレンサ１００の分解斜視図である。図５〜図７に示すように、本実施形態に係るサイレンサ１００では、筒部５２は、排気流路を区画する円筒状の隔壁部５２ａを軸方向に沿って有しており、二重構造になっている。このため、筒部５２の内部に設けられた排気流路の形状が第１の実施形態とは相違する。本実施形態における排気流路は、第１の排気流路７０、第２の排気流路７２および第３の排気流路７４から構成される。
図５に示すように、第１の排気流路７０は、始端部が排気ポート４８に臨み、筒部５２の軸方向（図５中矢印Ｐ方向）で隔壁部５２ａの内側の壁面に沿って軸方向でキャップ部５４の近傍まで延びている。第２の排気流路７２は、第１の排気流路７０の終端部から筒部５２の径方向外側に流れ方向を変え、キャップ部５４の内壁面に沿って軸方向でキャップ部５４の反対側（図５中矢印Ｑ方向）に折り返されている。第３の排気流路７４は、第２の排気流路７２の終端部から軸方向と平行（図５中矢印Ｒ方向）に隔壁部５２ａの外側の壁面に沿って筒部５２の一端部側に延びている。
また、筒部５２の隔壁部５２ａの径方向内側の壁面には、第１の排気流路７０に沿って第１の消音部７６が設けられている。また、筒部５２の径方向外側の内壁面およびキャップ部５４の内壁面には、第２の排気流路７２および第３の排気流路７４に沿って第２の消音部７８が設けられている。第２の消音部７８は、第２の排気流路７２の終端部に対応する箇所に湾曲部７８ａを有する。また、第１の排気流路７０では、第１の消音部７６の終端部７６ａの角部分、第３の排気流路７４では、隔壁部５２ａの終端部５３の角部分がそれぞれ丸くなるように形成されている。そして、第３の排気流路７４の終端部には、第３の消音部８０が設けられている。第１の消音部７６、第２の消音部７８および第３の消音部８０は、例えばポリビニルアルコール等の樹脂を材料としてスポンジ状に形成されている。
また、図７に示すように、第３の消音部８０は、第１環状部８０ａ、４つの連結部８０ｂおよび第２環状部８０ｃからなる。図５に示すように、第１環状部８０ａの内径は、排気を妨げないように第３の排気流路７４の断面の外径に合わせて設定されている。第２環状部８０ｃの内径は、筒部５２の隔壁部５２ａの断面の外径に合わせて設定されている。第３の消音部８０の外周には、第３の排気流路７４の方向に対して直交する方向（図５、図６中矢印Ｓ方向）に複数の排気口８２ａ〜８２ｄが開口して形成されている。
本実施形態に係るサイレンサ１００は、図７に示すように、筒部５２の内部に隔壁部５２ａに沿って、環状の第３の消音部８０、円筒状の第１の消音部７６、カップ状の第２の消音部７８を順番に取り付けた後、キャップ部５４を取り付けることで組み立てられる。サイレンサ１００の分解を容易に行える構造であるため、部品単位での交換も容易である。
次に、上記のように構成された本実施形態に係るサイレンサ１００の動作・作用を説明する。なお、サイレンサ１００以外の部分における動作・作用は上述した第１の実施形態と同様であり、その詳細な説明を省略する。
サイレンサ１００において、エジェクタ１２から噴射された流体が筒部５２の軸方向に沿って設けられた第１の排気流路７０に供給されると、流体は筒部５２の隔壁部５２ａの内壁面に設けられた第１の消音部７６によって排気音が吸収されながら、軸方向に沿ってキャップ部５４に向けて直進（図５中矢印Ｐ方向）する。
キャップ部５４に到達した流体は、キャップ部５４と反対側（図５中矢印Ｑ方向）に折り返された湾曲状の第２の排気流路７２を通過し、その後、第３の排気流路７４に流入する。第３の排気流路７４に流入した流体は、第１の排気流路７０とは逆方向（図５中矢印Ｒ方向）に直進し、第３の排気流路７４の終端部に位置する第３の消音部８０に設けられた排気口８２ａ〜８２ｄより、筒部５２の軸方向に直交する方向（図５、図６中矢印Ｓ方向）へ排出される。
本実施形態に係るサイレンサ１００によれば、上述した第１の実施形態に比べて、排気流路（第２の排気流路７２）がキャップ部５４の反対側に折り返されて流体（排気）が消音部材（第１の消音部７６、第２の消音部７８、第３の消音部８０）と接する区間が長くなる。このため、消音力をさらに向上させることができる。また、第１の消音部７６の終端部７６ａおよび隔壁部５２ａの終端部５３の角部分がそれぞれ丸くなるように形成され、かつ、第２の消音部７８の湾曲部７８ａが湾曲状に形成されている。すなわち、第１の排気流路７０の終端部から第３の排気流路７４の始端部の間では、排気が第１の消音部７６の終端部７６ａおよび隔壁部５２ａの終端部５３の角部分と第２の消音部７８の湾曲部７８ａを円滑に通過することができ、第３の排気流路７４側への方向転換（図５中矢印Ｑ方向）が図られている。このため、第１の排気流路７０から第３の排気流路７４までの間で流体を円滑に排出できる。
なお、本発明に係るサイレンサは、上述した実施形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。例えば、上述した第１の実施形態において、サイレンサ１０は、クリップ部材６２を介してエジェクタ１２に固定されていたが、図８に示すように、エジェクタボディ３６側に雌ネジ部８４、サイレンサ１０側に雌ネジ部８４にネジ込み固定される雄ネジ部８６を形成してもよい。これにより、クリップ部材６２のような接続部材を必要とすることなく、サイレンサ１０を簡単に着脱することができる。また、上述した二つの実施形態では、サイレンサ１０、１００をエジェクタ１２に対して取り付ける場合をそれぞれ説明したが、他の流体圧機器に取り付けても同様の効果を奏する。
１０、１００…サイレンサ
１２…エジェクタ
３６…エジェクタボディ
３８…ノズル
４０…ディフューザ
４２…給気ポート
４４…吸引ポート
４８…排気ポート
５２…筒部
５４…キャップ部
５６…消音部
６４ａ〜６４ｄ…排気口

Claims (5)

  1. 圧力流体を排出する流体圧機器の排気ポートと一端部側で連通する排気流路が形成された中空状の筒部と、前記筒部の他端部に取り付けられたキャップ部と、前記筒部に取り付けられた消音部と、前記排気流路を前記筒部の軸方向に通過した前記圧力流体を前記軸方向と直交する径方向へ排出する複数の排気口と、を備えるサイレンサであって、
    前記筒部は、前記キャップ部の近傍まで前記軸方向に延び、前記排気流路を区画する筒状の隔壁部を有し、
    前記排気流路は、始端部が前記排気ポートに臨み、前記隔壁部の内側の壁面に沿って前記キャップ部の近傍まで延びる第１の排気流路と、前記第１の排気流路の終端部から前記径方向外側に流れ方向を変え、前記キャップ部の内壁面に沿って前記軸方向で前記キャップ部の反対側に折り返された第２の排気流路と、前記第２の排気流路の終端部から前記隔壁部の外側の壁面に沿って前記筒部の一端部側に延びる第３の排気流路と、からなり、
    前記複数の排気口は、前記第３の排気流路の終端部に形成されており、
    前記排気ポートからの圧力流体は、前記第１の排気流路と前記第２の排気流路と前記第３の排気流路をこの順に通って前記複数の排気口から排出されるサイレンサ。
  2. 請求項１に記載のサイレンサであって、
    前記消音部は、前記第１の排気流路に沿って設けられた第１の消音部と、前記第２の排気流路および前記第３の排気流路に沿って設けられた第２の消音部と、前記第３の排気流路の終端部に設けられた第３の消音部と、からなり、前記第２の消音部は、前記第２の排気流路の終端部に対応する箇所に湾曲部を有するサイレンサ。
  3. 請求項１に記載のサイレンサであって、
    前記筒部は、外周面に溝状に形成されたクリップ取付部を有し、前記クリップ取付部は、前記流体圧機器に形成された孔部に挿入されたクリップ部材を係止するサイレンサ。
  4. 請求項１に記載のサイレンサであって、
    前記筒部は、前記流体圧機器に形成された雌ネジ部に対してネジ込み固定される雄ネジ部を有するサイレンサ。
  5. 給気ポートおよび吸引ポートと連通する内部空間が形成されたエジェクタボディと、前記内部空間に設けられ、前記給気ポートから供給された圧力流体を噴射し、前記吸引ポートから流体を吸引するための負圧を生成するノズルと、前記内部空間に前記ノズルよりも下流側に設けられ、前記圧力流体を前記流体とともに排出する排気ポートを有するディフューザと、前記排気ポートに臨み、前記エジェクタボディに取り付けられたサイレンサと、を備えるエジェクタであって、
    前記サイレンサは、前記排気ポートと一端部側で連通する排気流路が形成された中空状の筒部と、前記筒部の他端部に取り付けられたキャップ部と、前記筒部に取り付けられた消音部と、前記排気流路を前記筒部の軸方向に通過した前記圧力流体を前記軸方向と直交する径方向へ排出する複数の排気口と、を有し、
    前記筒部は、前記キャップ部の近傍まで前記軸方向に延び、前記排気流路を区画する筒状の隔壁部を有し、
    前記排気流路は、始端部が前記排気ポートに臨み、前記隔壁部の内側の壁面に沿って前記キャップ部の近傍まで延びる第１の排気流路と、前記第１の排気流路の終端部から前記径方向外側に流れ方向を変え、前記キャップ部の内壁面に沿って前記軸方向で前記キャップ部の反対側に折り返された第２の排気流路と、前記第２の排気流路の終端部から前記隔壁部の外側の壁面に沿って前記筒部の一端部側に延びる第３の排気流路と、からなり、
    前記複数の排気口は、前記第３の排気流路の終端部に形成されており、
    前記排気ポートからの圧力流体は、前記第１の排気流路と前記第２の排気流路と前記第３の排気流路をこの順に通って前記複数の排気口から排出されるエジェクタ。
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