JP6780821B2 - 真空エジェクタ及び封止弁ユニット - Google Patents
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Description
本実施形態に係る真空エジェクタ10は、図1に示すように、本体12と、その本体12に脱着自在に構成された装着ユニット20とを備えてなる。装着ユニット20には、吸着パッド等と接続される真空ポート38が設けられている。この装着ユニット20には、後述するように、封止弁機構70を有せず、サクションフィルタ78のみを内蔵したフィルタユニット20A(図3参照)と、サクションフィルタ78とともに封止弁機構70を内蔵した封止弁ユニット20B(図4参照)とがある。真空エジェクタ10は、用途に応じて装着ユニット20として、フィルタユニット20A及び封止弁ユニット20Bのいずれかを装着して使用される。
図6に示すように、第2の実施形態の一態様に係る真空エジェクタ80Aは、本体82の一方の側面82aに供給ポート34及び真空ポート38が設けられるとともに、正面82bに排気部36Aが形成されている。エジェクタユニット84は、本体82の他方の側面82cに装着されている。このエジェクタユニット84は、本体82に脱着可能に装着される。また、エジェクタユニット84の側端部84bには、エジェクタユニット84の開口部を塞ぐヘッドカバー86が取り付けられている。この真空エジェクタ80Aは、本体82の内部にバルブ及びサクションフィルタが設けられているが、封止弁機構70は含まれていない構成となっている。
20B、88…封止弁ユニット 34…供給ポート
36…排気ポート 38…真空ポート
48…破壊流路 50、50A…真空発生機構
62、83、126…負圧流路 65、127…封止口
66…ピストン部 70…封止弁機構
76…弁体
Claims (7)
- 圧縮エアが供給される供給ポートと、
吸着手段に接続される真空ポートと、
前記供給ポートから供給された供給エアの作用下に負圧を発生させる真空発生機構と、
前記真空ポートに破壊エアを供給する破壊弁と、
前記供給ポートと前記真空発生機構とを接続するとともに、その流路上に供給弁を備えた供給流路と、
前記真空発生機構と前記真空ポートとを接続する負圧流路と、
前記破壊弁と前記負圧流路とを接続する破壊流路と、
前記真空発生機構と前記破壊流路との間の前記負圧流路に配置され、前記破壊流路を通って真空ポートに供給される破壊エアの前記真空発生機構への流出を阻止する封止弁機構と、を備え、
前記封止弁機構は、
前記負圧流路を縮径してなる封止口と、
前記破壊流路側から前記封止口に付勢されて前記封止口を塞ぐ弁体と、
前記供給エアの圧力を受けて前記弁体を前記封止口から離間させる方向に変位させるピストン部と、を有し、
前記封止弁機構は、前記供給弁からの供給エアの供給によって開状態となり、前記供給弁からの供給エアの供給が停止すると閉状態となることを特徴とする真空エジェクタ。 - 請求項1記載の真空エジェクタにおいて、前記ピストン部の先端部に前記封止口よりも小さな径の縮径部が形成され、該縮径部が前記弁体と当接して押圧することで前記弁体を前記封止口から離間させることを特徴とする真空エジェクタ。
- 請求項2記載の真空エジェクタにおいて、前記封止弁機構は、前記弁体を前記封止口に付勢する第1の弾性部材と、前記ピストン部を前記弁体から離間させる方向に付勢する第2の弾性部材とを備えたことを特徴とする真空エジェクタ。
- 圧縮エアが供給される供給ポートと、吸着手段に接続される真空ポートと、前記供給ポートから供給された供給エアの作用下に負圧を発生させる真空発生機構と、前記真空ポートに破壊エアを供給する破壊弁と、前記供給ポートと前記真空発生機構とを接続するとともに、その流路上に供給弁を備えた供給流路と、前記真空発生機構と前記真空ポートとを接続する負圧流路と、前記破壊弁と前記負圧流路とを接続する破壊流路と、を備えた真空エジェクタに脱着自在に装着される封止弁ユニットであって、
前記真空発生機構と前記破壊流路との間の前記負圧流路に配置され、前記破壊流路を通って真空ポートに供給される破壊エアの前記真空発生機構への流出を阻止する封止弁機構と、を備え、
前記封止弁機構は、
前記負圧流路を縮径してなる封止口と、
前記破壊流路側から前記封止口に付勢されて前記封止口を塞ぐ弁体と、
前記供給エアの圧力を受けて前記弁体を前記封止口から離間させる方向に変位させるピストン部と、
を有することを特徴とする封止弁ユニット。 - 請求項4記載の封止弁ユニットにおいて、前記ピストン部の先端部に前記封止口よりも小さな径の縮径部が形成され、該縮径部が前記弁体と当接して押圧することで前記弁体を前記封止口から離間させることを特徴とする封止弁ユニット。
- 請求項5記載の封止弁ユニットにおいて、前記封止弁機構は、前記弁体を前記封止口に付勢する第1の弾性部材と、前記ピストン部を前記弁体から離間させる方向に付勢する第2の弾性部材とを備えたことを特徴とする封止弁ユニット。
- 請求項4〜6のいずれか1項に記載の封止弁ユニットにおいて、さらに、前記真空ポートと前記負圧流路とが設けられていることを特徴とする封止弁ユニット。
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