JP5938595B2 - エジェクタ付吸着装置 - Google Patents

Description

本発明は、負圧流体の吸引作用下にワークを吸着して位置決めしたり搬送することが可能なエジェクタ付吸着装置に関する。

近年、薄板状のワークを位置決めしたり搬送するために真空吸着装置が広範に用いられている。この真空吸着装置は内部に圧縮流体が供給されるボディ本体と、このボディ本体に固着される吸着パッドとを備え、前記ボディ本体に供給された圧縮流体がワークに接する吸着パッドの内部を負圧状態にして該ワークを保持し、所望の位置に位置決めしたり、あるいは搬送し、次いで、前記吸着パッドに大気圧又は圧縮空気を供給することによって真空状態を解除し、吸着パッドからワークを離脱させて前記ワークを所望の位置に配置する。

この種の真空吸着装置として、例えば、特許文献１に開示されている技術的思想がある。この特許文献１に示されている真空組立体は、長尺な位置決め機構の両端部近傍に互いに平行に脚部を配設し、それぞれの脚部にバルブ組立体が装着されている。前記バルブ組立体は、真空回路を有し、その先端に吸着用カップが装着され、前記吸着用カップに対して、空気圧ラインから圧縮空気が供給され、吸着用カップの内部が負圧状態に維持されることにより、ワークの吸着搬送を行なう。

米国特許公開公報ＵＳ２００８／０２０２６０２Ａ１

しかしながら、特許文献１のバルブ組立体では、真空用ボディには、真空発生装置や、ボールジョイント、バルブボディ、パイロットバルブ、可撓性のダイヤフラム、バルブカバー等が装着され、構造が複雑であるとともに、各種部品の交換や維持管理が容易でないという不都合がある。

特に、この特許文献１に示されているバルブ組立体では、吸着カップの頂部に吸着カップカラー、バキュームボディ、バルブボディ、パイロットバルブやバルブカバーの如く比較的重量に富む部材が集約して組み込まれており、その結果、組立体の頂部が重量物に富む不安定な状態となり、搬送時にはサクションカップによって移送されるワークの姿勢が不安定になり、所望の位置にワークを位置決めすることができない等の問題点が露呈している。

本発明は、前記の不都合や問題点を克服するためになされたものであって、比較的構造が簡単で、組み立てが容易であり、保守管理がし易く、特に、吸着パッドの交換や、さらに、当該吸着パッドの上部に設けられる機構の部品交換性に富むとともに、位置決めやワークの搬送精度にも優れるエジェクタ付吸着装置を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するために、請求項１で特定される発明は、
吸着パッドと、
前記吸着パッドの頂部に形成された取付部に固定されるアダプタプレートと、
前記アダプタプレートに配設されるエジェクタと、
前記アダプタプレートの上面に変位自在に設けられるロックプレートと、
前記吸着パッドを構成するスカート部側から挿入されて前記アダプタプレートに設けられた孔部を貫通し前記ロックプレートと係合する保持スタッドと、
を設け、
前記保持スタッドは前記ロックプレートが係合するロックプレート溝を有し、該ロックプレートはロック部を備え、
前記保持スタッドのロックプレート溝に前記ロック部が係合されているとともに該ロック部により該保持スタッドが引張されている状態で前記吸着パッドは前記アダプタプレートと保持スタッドとの間で保持されていることを特徴とする。

請求項２で特定される発明は、
請求項１に記載のエジェクタ付吸着装置において、
前記保持スタッドは前記吸着パッドの内部と連通するとともに前記エジェクタの負圧発生部と連通する真空通路を有することを特徴とする。

請求項３で特定される発明は、
請求項２に記載のエジェクタ付吸着装置において、
前記アダプタプレートは前記エジェクタの負圧発生部と前記保持スタッドの前記真空通路とを連通する孔部を備えることを特徴とする。

請求項４で特定される発明は、
請求項１〜３のいずれか１項に記載のエジェクタ付吸着装置において、
前記ロックプレートは前記保持スタッドが遊嵌する大径な孔部と、前記大径な孔部に連通して該保持スタッドに設けられたロックプレート溝に係合する小径な孔部を形成したロック部を有することを特徴とする。

請求項５で特定される発明は、
請求項４記載のエジェクタ付吸着装置において、
前記ロック部は前記大径な孔部が形成された部位から上方へと膨出した平面からなり、前記平面に前記小径な孔部が形成されていることを特徴とする。

請求項６で特定される発明は、
請求項１〜５のいずれか１項に記載のエジェクタ付吸着装置において、
前記アダプタプレートは凹部又は凸部を有し、前記ロックプレートは凸部又は凹部を有し、前記凹部と凸部とが係合されている状態で前記アダプタプレートに前記ロックプレートが位置決め保持されていることを特徴とする。

請求項７で特定される発明は、
請求項１〜６のいずれか１項に記載のエジェクタ付吸着装置において、
前記アダプタプレートには前記ロックプレートを覆うように取付用ブラケットが設けられ、前記取付用ブラケットは移送装置と係合する保持部を備えることを特徴とする。

請求項８で特定される発明は、
請求項１〜７のいずれか１項に記載のエジェクタ付吸着装置において、
前記吸着パッドの前記アダプタプレート取付面側に硬質の樹脂製プレートが組み込まれていることを特徴とする。

請求項１記載の発明によれば、保持スタッドは吸着パッドのスカート部側から挿入されてアダプタプレートと一体化されるために、吸着パッドが経年変化した場合の交換等、保守管理の際には保持スタッドをスカート部側から取り外すだけで行なうことができる。従って、維持管理が容易となるとともに、全体として構造が簡素化されるという効果が得られる。特に、特許文献１に開示されているバルブ組立体に比べて軽量であり従って、ワークの移送が容易で位置決め精度にも優れる効果が得られる。しかも、保持スタッドのロックプレート溝にロックプレートが係合するために、簡単な構成で保持スタッドとロックプレートの間で吸着パッドを保持することができ、またロックプレートを保持スタッドからその係合を解くことにより容易に吸着パッドを取り外すことができる。

請求項２記載の発明によれば、保持スタッドにエジェクタの負圧発生部と連通する真空通路を設けたので、簡単な構造で吸着パッド内部を負圧にすることができる。

請求項３記載の発明によれば、アダプタプレートにエジェクタの負圧発生部と保持スタッドの真空通路と連通する孔部を設けたので、この孔部を介して極めて短い距離で吸着パッド内部の負圧発生及び維持をすることができる。従って、応答性に優れるという効果も得られる。

請求項４記載の発明によれば、ロックプレートには大径な孔部と小径な孔部とが設けられ、大径な孔部に保持スタッドの頂部が遊嵌し、ロックプレートを変位させて前記保持スタッドのロックプレート溝に小径な孔部を形成したロック部を係合させることにより、簡単に保持スタッドを所定の位置にロックすることが可能である。

請求項５記載の発明によれば、前記ロックプレートのロック部は、大径な孔部が形成された部位から上方へと膨出した平面からなり、この平面に小径な孔部が形成され、この小径な孔部の壁面で前記保持スタッドのロックプレート溝に係合することが可能であるために、ロックプレートを変位させて小径な孔部に保持スタッドを係合させると、保持スタッドが前記膨出した平面によって引っ張られる作用を受け、これによって保持スタッドとロックプレート、ひいてはアダプタプレートと、極めて堅固な状態で吸着パッドを保持することができる。

請求項６記載の発明によれば、アダプタプレートは凹部又は凸部を有し、ロックプレートは凸部又は凹部を有し、この凹部と凸部又は凸部と凹部が係合されている状態でアダプタプレートにロックプレートが堅固に位置決め保持される。

請求項７記載の発明によれば、前記アダプタプレートには、ロックプレートを覆うように取付用ブラケットを設けることができる。従って、この取付用ブラケットに設けられた保持部を移送装置、例えば、ロボットやアクチュエータ等に係合させれば、吸着パッドを用いてワークの搬送や位置決めに対応することができる。

請求項８記載の発明によれば、吸着パッドのアダプタプレート取付面側に硬質の樹脂製プレートが組み込まれていることにより、例えば、樹脂製からなる吸着パッド本体と、前記樹脂製プレートとを一体的に成形することによって、この樹脂製プレートの部分は変形が阻止され、従って、アダプタプレートとの係合状態が堅牢になるという効果が得られる。また、廃棄処分やリサイクル時に吸着パッド本体と樹脂製プレートとを一体的に処理できる利点がある。

図１は、本発明に係るエジェクタ付吸着装置の要部分解斜視図である。 図２は、図１に示されるエジェクタ付吸着装置を９０°変位させた状態で描出した分解斜視図である。 図３は、エジェクタ付吸着装置の斜視説明図である。 図４は、エジェクタ付吸着装置の正面図である。 図５は、図４のＶ−Ｖ線断面図である。 図６は、図４のＶＩ−ＶＩ線断面図である。

本発明に係るエジェクタ付吸着装置について、好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら、以下詳細に説明する。

図１において、参照符号１０は、本発明の実施の形態に係るエジェクタ付吸着装置（以下、吸着装置と称することもある）１０を示す。吸着装置１０は、基本的に、吸着パッド２０と、アダプタプレート４０と、取付用ブラケット８０と、ロックプレート１００と、保持スタッド１２０と、エジェクタ２００とから構成される。

吸着パッド２０は、ワークに接して吸着保持する吸着面を備えたスカート部２２と、このスカート部２２に連続するクッション部２４と、前記クッション部２４が終端する部位に形成される取付部２６とからなる。取付部２６の中心には、後述する保持スタッド１２０の第２円筒部１２６が進入する孔部２８が形成される。前記スカート部２２、クッション部２４及び取付部２６は、一体的に構成され、弾力性に富む、例えば、合成樹脂、合成ゴム等で形成される。

図５に示すように、好ましくは前記取付部２６の内部にリング状の硬質の合成樹脂からなる補強部材（プレート）２９を埋め込むとよい。後述するアダプタプレート４０とのしっかりとした係合状態を確保するためである。この場合、吸着パッド２０と補強部材２９とを同質の合成樹脂材で構成すれば廃棄の際やリサイクル等に好適である。

前記取付部２６の平坦面には、前記アダプタプレート４０が配置される。アダプタプレート４０は、平面視で変形した台形状を呈するものであり、好ましくは金属製、或いは硬質の硬質樹脂製であって、内部が流体通路を形成した中空状に形成される。前記アダプタプレート４０の第１側面４２には、小径な第１孔部４４ａと、この第１孔部４４ａと略同径な第２孔部４６と、さらに、この第２孔部４６に隣接して第３孔部４４ｂが形成される。図１から諒解されるように、前記第１孔部４４ａ、第２孔部４６及び第３孔部４４ｂは、略同径であるが、第２孔部４６は、前記第１孔部４４ａと第３孔部４４ｂに対して異径であってもよい。

第２孔部４６には後述するエジェクタ２００の取付部２０８に位置決めされたナット２１８に螺合するボルト４７が挿通される（図１及び図２参照）。

アダプタプレート４０の第２側面５０には、大径な第４孔部５２が設けられ、この第２側面５０に対向する第３側面５４に前記第４孔部５２に対向するように第５孔部５６が形成される。さらに、前記第１側面４２に対向する第４側面５８に前記第２孔部４６に対向するように大径な第６孔部６０が形成される。さらに、前記第１側面４２〜第４側面５８に直交するように第１平面６２ａが設けられ、この第１平面６２ａに対向して反対側に第２平面６２ｂが設けられ、前記アダプタプレート４０の内部空間を恰も閉塞するように囲繞する。この第１平面６２ａの中央部に前記孔部２８よりも小径な第７孔部６４が設けられ前記第２平面６２ｂの中央部に前記第７孔部６４に対向して第８孔部６５が形成されている。そして、前記第７孔部６４を挟んで、第１平面６２ａには、アダプタプレート４０の厚さ方向に延在するように第１ねじ溝６６ａと、第２ねじ溝６６ｂが設けられる。なお、前記第１平面６２ａには、前記第２孔部４６に近接して、凹部７０が設けられる。第４孔部５２と第５孔部５６には、第１プラグ７２と第２プラグ７４とが選択的に嵌合して、これらを閉塞する。アダプタプレート４０の第４側面５８に設けられた第６孔部６０には、第３プラグ７６又は真空破壊用の流体を供給する空気供給系（図示せず）が選択的に嵌合して、その第６孔部６０を閉塞する。

次に、取付用ブラケット８０について説明する。取付用ブラケット８０は、中央部が図１において上方へと立ち上がる膨出部８２と、この膨出部８２の両側に設けられた平板状の着座部８４ａ、８４ｂを有する。前記着座部８４ａ、８４ｂの隅角部には、対角線に沿って図示しない孔部が形成され、この孔部に取付用ボルト８６ａ、８６ｂが挿入される。膨出部８２の略中央部にナット８８を介して図示しないロボットのアームに取着されるためのボルト９０が直立している。前記取付用ボルト８６ａ、８６ｂは、アダプタプレート４０に設けられた第１ねじ溝６６ａ、第２ねじ溝６６ｂにそれぞれ螺入可能である。

ロックプレート１００は金属製の平板を屈曲させて上方へと立ち上がるように両端部に第１操作部１０２ａと、第２操作部１０２ｂを有するとともに、中央部が若干立ち上がったロック部１０４を形成した板状体からなる。このロック部１０４から第２操作部１０２ｂにかけて、小径部１０６と大径部１０８とが連通したロック孔１１０が設けられている。なお、大径部１０８と第２操作部１０２ｂとの間に凸部１１２が設けられ（図２参照）、この凸部１１２は、アダプタプレート４０に形成された凹部７０と係合する。第１操作部１０２ａの一部は下方に折曲して孔部１１３を形成し、この孔部１１３にボルト１１４を挿通してアダプタプレート４０の第４側面５８に形成された第９孔部１１６に螺入する。ロックプレート１００を固定するためである。

次に、吸着パッド２０の孔部２８を貫通し、アダプタプレート４０の第７孔部６４から外部へと露呈する保持スタッド１２０について説明する。保持スタッド１２０は、大径なフランジ１２２を有し、このフランジ１２２に対して若干小径な第１円筒部１２４が一体的に連設されている。第１円筒部１２４から、さらに前記フランジ１２２、第１円筒部１２４と同心である第２円筒部１２６が連設されている。第２円筒部１２６には、フランジ１２２と第１円筒部１２４の内部で形成されている空間に連通する真空通路１３０ａ、１３０ｂが互いに対向するように配設される。第２円筒部１２６の前記真空通路１３０ａ、１３０ｂの上部には、その外周部にオーリング溝１３２が設けられるとともに、このオーリング溝１３２の上方に第２円筒部１２６を周回するロックプレート溝１３４が形成される。なお、図において参照符号１３５は、前記フランジ１２２の空間を利用して、この保持スタッド１２０に装着され、吸着パッド２０の吸着作用で吸収される塵埃等を捕捉するストレーナを示す。

次に、エジェクタ２００について説明する。エジェクタ２００は、中空状で且つ円筒状のエジェクタボディ２０４と、このエジェクタボディ２０４の内部に挿入される真空発生部（負圧発生部）２０６とを備える。エジェクタボディ２０４は、その側部に取付部２０８を有する。取付部２０８は、直方体状であって、頂部から底部にかけて矩形状の孔部２１０を有し、この孔部２１０は、該取付部２０８の側壁に設けられた孔部２１２と連通している（図２参照）。この孔部２１２は、組立てられたときにアダプタプレート４０の第２孔部４６と対向する。さらに、前記孔部２１２が設けられている取付部２０８には、その側壁部にガスケット２１４が設けられ、このガスケット２１４の両側の空間を利用して板体状のチェック弁２１６ａ、２１６ｂが設けられる。前記チェック弁２１６ａ、２１６ｂは、それぞれアダプタプレート４０の第１孔部４４ａ、第３孔部４４ｂに臨む。前記孔部２１０には、エジェクタボディ取付用ナット２１８が挿入される。

エジェクタボディ２０４の一端部には、円筒状のサイレンサ２２０が固着される。サイレンサ２２０は、カバー部材２２２と、このカバー部材２２２の内部に挿入される消音材２２４と、このカバー部材２２２の端部に嵌合して前記消音材２２４を前記カバー部材２２２の内部に固定する蓋部材２２６を備える。カバー部材２２２には、突起２２８が設けられ、この突起２２８は、エジェクタボディ２０４の端部に設けられた長方形状の孔２３０に嵌合して、前記カバー部材２２２をエジェクタボディ２０４と一体化する。円筒状のエジェクタボディ２０４の内部には、真空発生部２０６が挿入される。図６から諒解されるように、この真空発生部２０６は、その内部に第１ノズル２４０と、第２ノズル２４２を有し、前記第１ノズル２４０と第２ノズル２４２は、タンデムに配設される。第１ノズル２４０と第２ノズル２４２の間に第１ディフューザー２４４が設けられ、また、第２ノズル２４２の一端部に第２ディフューザー２４６が設けられる。第２ディフューザー２４６は、カバー部材２２２の内部に挿入されている消音材２２４に臨む。エジェクタボディ２０４のカバー部材２２２の反対側には、ワンタッチ継手２４８が嵌合する。

本発明に係るエジェクタ付吸着装置は、基本的には以上のように構成されるものであり、次に、その組立方法について説明する。

まず、アダプタプレート４０にエジェクタ２００、ロックプレート１００及び取付用ブラケット８０を固着する。例えば、アダプタプレート４０の第１孔部４４ａ及び第３孔部４４ｂにチェック弁２１６ａ、２１６ｂを当接し、ガスケット２１４を介してエジェクタボディ２０４に固着された取付部２０８を位置決めする。取付部２０８の孔部２１０には、エジェクタボディ取付用ナット２１８を予め挿入しておき、アダプタプレート４０の第２孔部４６にエジェクタボディ取付用ボルト４７を挿入し、前記ナット２１８に螺合する。これによって、アダプタプレート４０とエジェクタ２００とが一体化させる。

次いで、アダプタプレート４０の第１平面６２ａにロックプレート１００を位置決めする。この場合、ロック部１０４の大径部１０８をアダプタプレート４０の第７孔部６４と対応させて位置決めする。その上で、取付用ブラケット８０の取付用ボルト８６ａ、８６ｂを前記アダプタプレート４０の第１ねじ溝６６ａ及び第２ねじ溝６６ｂに螺入する。このようにして、アダプタプレート４０と取付用ブラケット８０と、ロックプレート１００と、エジェクタ２００とが一体化される。

このような状態で、次に、吸着パッド２０のスカート部２２側から保持スタッド１２０を挿入する。保持スタッド１２０の頂部、すなわち、第２円筒部１２６の頂部は、吸着パッド２０の孔部２８から上方へと延在し、アダプタプレート４０の第７孔部６４より上方へと露呈する。この状態でロックプレート１００の第１操作部１０２ａをエジェクタ２００に近づくように操作すると、保持スタッド１２０のロックプレート溝１３４にロックプレート１００の小径部１０６が係合し、これによってロック部１０４の膨出された、すなわち、立ち上がっている形状から、保持スタッド１２０は、図５において上方へと引き上げあられ、これによって、アダプタプレート４０と保持スタッド１２０との間で吸着パッド２０が位置決め固定され、さらにはロックされるに至る。このロック状態を確実にするために、ロックプレート１００に設けられた第１操作部１０２ａの孔部１１３からボルト１１４を挿入し、アダプタプレート４０に設けられた第９孔部１１６に螺入すれば、より一層堅固に保持スタッド１２０とアダプタプレート４０との係合状態が確保される。

以上のようにして組立てられたエジェクタ付吸着装置１０に対して、図示しない圧力空気供給源に接続されるチューブを前記ワンタッチ継手２４８に挿入する。そして、圧縮空気をこのワンタッチ継手２４８を介してエジェクタボディ２０４に供給すると、第１ノズル２４０から勢い良く吹出され、その圧縮空気は第２ノズル２４２に至り、さらに消音材２２４側へと吐出する。この間、第１ディフューザー２４４、第２ディフューザー２４６により吸着パッド２０の内部の空間が吸引され、すなわち真空通路１３０ａ、１３０ｂを介して吸着パッド２０の内部空気がアダプタプレート４０側へと吸引され、吸着パッド２０の内部空間１２８が略真空状態に近くなる。そこで、吸着パッド２０が図示しない、例えば、平板状のワークにそのスカート部２２を接することによって、当該ワークを吸着パッド２０は吸着し、所定の位置に吸着パッド２０とともに移送する。次いで、必要に応じて、ワンタッチ継手２４８を介して圧縮空気の供給を停止すれば、チェック弁２１６ａ、２１６ｂはアダプタプレート４０の第１孔部４４ａと第３孔部４４ｂを閉塞し、吸着パッド２０の内部空間１２８を一定の負圧状態に保持する。

所定の位置にワークを搬送した後、アダプタプレート４０の第３プラグ７６を取り除いて接続されている図示しない空気供給系から大気圧を導入すれば、吸着パッド２０の内部空間１２８の負圧状態が破壊され、ワークは吸着パッド２０から離脱する。

そこで、長期間に渡ってこの吸着パッド２０を利用した後、吸着パッド２０の経年変化が生じた場合、ロックプレート１００の第２操作部１０２ｂをエジェクタ２００から離間するように変位させる。これによって、保持スタッド１２０のロックプレート溝１３４から小径部１０６が離脱し、ロックプレート１００の大径部１０８に保持スタッド１２０の第２円筒部１２６が臨むに至る。その結果、ロックプレート溝１３４よりも大径な空間である大径部１０８から保持スタッド１２０は容易に下方へと引き抜くことができる。この結果、吸着パッド２０は、アダプタプレート４０から離脱することが可能となり、これによって、吸着パッド２０の交換が容易に行われることになる。

本実施の形態によれば、以上のように簡単な構成でエジェクタ付吸着装置１０を構成することができ、また、吸着パッド２０をアダプタプレート４０から取り外すためには、保持スタッド１２０のロックプレート溝１３４からロックプレート１００を変位させて離脱させればよい。これによって、簡単に吸着パッド２０の交換が遂行され、メンテナンス性が向上するとともに、その交換の際にも取扱いがきわめて容易であるという効果が得られる。

１０…エジェクタ付吸着装置 ２０…吸着パッド
２２…スカート部 ４０…アダプタプレート
８０…取付用ブラケット ８６ａ、８６ｂ…取付用ボルト
１００…ロックプレート １０２ａ、１０２ｂ…第１、第２操作部
１０６…小径部 １０８…大径部
１２０…保持スタッド １２２…フランジ
１２４…第１円筒部 １２６…第２円筒部
１２８…内部空間 １３４…ロックプレート溝
２００…エジェクタ ２０４…エジェクタボディ
２０６…真空発生部 ２２０…サイレンサ
２２４…消音材 ２４０…第１ノズル
２４２…第２ノズル

Claims (8)

1. 吸着パッドと、
   前記吸着パッドの頂部に形成された取付部に固定されるアダプタプレートと、
   前記アダプタプレートに配設されるエジェクタと、
   前記アダプタプレートの上面に変位自在に設けられるロックプレートと、
   前記吸着パッドを構成するスカート部側から挿入されて前記アダプタプレートに設けられた孔部を貫通し前記ロックプレートと係合する保持スタッドと、
   を設け、
   前記保持スタッドは前記ロックプレートが係合するロックプレート溝を有し、該ロックプレートはロック部を備え、
   前記保持スタッドのロックプレート溝に前記ロック部が係合されているとともに該ロック部により該保持スタッドが引張されている状態で前記吸着パッドは前記アダプタプレートと保持スタッドとの間で保持されていることを特徴とするエジェクタ付吸着装置。
2. 請求項１に記載のエジェクタ付吸着装置において、
   前記保持スタッドは前記吸着パッドの内部と連通するとともに前記エジェクタの負圧発生部と連通する真空通路を有することを特徴とするエジェクタ付吸着装置。
3. 請求項２に記載のエジェクタ付吸着装置において、
   前記アダプタプレートは前記エジェクタの負圧発生部と前記保持スタッドの前記真空通路とを連通する孔部を備えることを特徴とするエジェクタ付吸着装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載のエジェクタ付吸着装置において、
   前記ロックプレートは前記保持スタッドが遊嵌する大径な孔部と、前記大径な孔部に連通して該保持スタッドに設けられたロックプレート溝に係合する小径な孔部を形成したロック部を有することを特徴とするエジェクタ付吸着装置。
5. 請求項４記載のエジェクタ付吸着装置において、
   前記ロック部は前記大径な孔部が形成された部位から上方へと膨出した平面からなり、前記平面に前記小径な孔部が形成されていることを特徴とするエジェクタ付吸着装置。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載のエジェクタ付吸着装置において、
   前記アダプタプレートは凹部又は凸部を有し、前記ロックプレートは凸部又は凹部を有し、前記凹部と凸部とが係合されている状態で前記アダプタプレートに前記ロックプレートが位置決め保持されていることを特徴とするエジェクタ付吸着装置。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載のエジェクタ付吸着装置において、
   前記アダプタプレートには前記ロックプレートを覆うように取付用ブラケットが設けられ、前記取付用ブラケットは移送装置と係合する保持部を備えることを特徴とするエジェクタ付吸着装置。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載のエジェクタ付吸着装置において、
   前記吸着パッドの前記アダプタプレート取付面側に硬質の樹脂製プレートが組み込まれていることを特徴とするエジェクタ付吸着装置。

Images