JP6335587B2 - 基板保持機構、基板搬送装置、半導体製造装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明にしたがった半導体製造装置の一例としてのCMP研磨装置の全体構成を示す平面図である。図示するように、研磨装置は、略矩形状のハウジング1を備えており、ハウジング1の内部は、隔壁1a,1b,1cによって、ロード/アンロード部2と研磨部3(3a,3b)と洗浄部4とに区画されている。これらのロード/アンロード部2、研磨部3a,3bおよび洗浄部4は、それぞれ独立に組み立てられ、独立に排気され
るものである。
ランスポータ5、第2リニアトランスポータ6および洗浄部4の反転機41の間でウェハを搬送するスイングトランスポータ7が配置されている。このスイングトランスポータ7は、第1リニアトランスポータ5の第4搬送位置TP4から第2リニアトランスポータ6の第5搬送位置TP5へ、第2リニアトランスポータ6の第5搬送位置TP5から反転機41へ、第1リニアトランスポータ5の第4搬送位置TP4から反転機41へ、それぞれウェハを搬送できるようになっている。
る。次に、アーム110とアーム120とが、互いに近づく方向に移動される。このとき、ウェハWは、傾斜面131上を摺動し、最終的には、ウェハWのエッジ部が面133に当接した状態でウェハWが保持される。
する辺をL1とし、辺L1とガラス基板410とがなす角度をθ1とし、基板保持用爪330の傾斜面331の水平方向に対する傾斜角度をθ2とすると、θ2<θ1を満たす場合、基板400が傾斜面331上を摺動するときに、ガラス基板410およびシリコンウェハ420のうちのシリコンウェハ420のみが傾斜面331に接触することになる。つまり、シリコンウェハ420の鋭利な角部421が傾斜面331上を摺動することになる。この場合、図6(b)に示すように、傾斜面331と略直交する方向に沿って形成された加工痕334に角部421が引っ掛かって、基板400の固定の失敗や基板400の損傷が生じ得る。
慮して、適宜設定されてもよい。
1a,1b,1c…隔壁
2…ロード/アンロード部
3,3a,3b…研磨部
4…洗浄部
5,6…リニアトランスポータ
7…スイングトランスポータ
20…フロントロード部
21…走行機構
22…搬送ロボット
30A〜30D…研磨ユニット
31…反転機
32…リフタ
33,34,37,38…プッシャ
41…反転機
42…洗浄機
46…搬送ユニット
100…基板保持機構
110,120…アーム
130a〜130d…基板保持用爪
131…傾斜面
132…突起部
133…面
134…加工痕
140…空間
150…シャフト
160…開閉機構
210…エンドミル
220…バイト
330…基板保持用爪
331…傾斜面
334…加工痕
400…基板
410…ガラス基板
420…シリコンウェハ
421…角部
510,520…アーム
511…支点
530a〜530d…基板保持用爪
600…基板保持機構
610,620…アーム
670…クランクピン
300A,300B,300C,300D…研磨テーブル
301,301A,301B,301C,301D…トップリング
302A,302B,302C,302D…研磨液供給ノズル
303A,303B,303C,303D…ドレッサ
304A,304B,304C,304D…アトマイザ
W…ウェハ
TP1〜TP7…搬送位置
TS1〜TS7…搬送ステージ
Claims (7)
- ガラス基板上にシリコンウェハを保持する基板を保持するための基板保持機構であって、
前記基板を保持するための基板保持用爪を備え、
前記基板保持用爪は、前記基板を保持するための空間の内側から外側に向けて高さが高くなる傾斜面であって、前記基板を下向きにした状態で、前記ガラス基板に保持されている前記シリコンウェハに接触して前記基板を摺動させるための傾斜面を備え、
前記傾斜面に形成された加工痕の形成方向と、前記基板の摺動方向との交差角度は、前記傾斜面の少なくとも一部分の領域において、0度以上45度以下である
基板保持機構。 - 請求項1に記載の基板保持機構であって、
前記交差角度は、30度以下である
基板保持機構。 - 請求項1に記載の基板保持機構であって、
前記交差角度は、0度である
基板保持機構。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の基板保持機構であって、
前記加工痕は、前記傾斜面の傾斜方向に平行に形成された
基板保持機構。 - 基板反転装置であって、
請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の基板保持機構を備えた
基板反転装置。 - 基板搬送装置であって、
請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の基板保持機構を備えた
基板搬送装置。 - 半導体製造装置であって、
請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の基板保持機構を備えた
半導体製造装置。
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