JP6457334B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
切削ブレード31(図1参照)がウエーハWの外周部分の真上に位置付けられる。そして、切削ブレード31が高速回転された状態で、切削ブレード31の最下端が所定の高さに位置付けられ、保持テーブル6が回転される。これにより、ウエーハWの外周の面取り部分が切削され、ウエーハWに対してエッジトリミング加工が実施される。
1 切削装置
31 切削ブレード
40 判断部
5 エッジ保持搬送手段(エッジ保持搬出手段)
6 保持テーブル
7 環状テーブル
70 凹部
71 環状部
72 底板
75 貫通孔(昇降手段)
8 中央テーブル
80 シャフト(昇降手段)
95 エア供給源(浮上手段)
96 吸引源
Claims (2)
- ウエーハの外周部分を載置させる環状の載置面を上面に有する環状部と該環状部に連接して中央に凹部を形成する底板とを有する環状テーブルと、該環状テーブルの該凹部に収容可能とする中央テーブルと、を備える保持テーブルで保持したウエーハの外周に沿って切削ブレードで切削させウエーハの外周の面取り部を除去するエッジトリミング加工をする切削装置であって、
該底板の底上面と底下面とを貫通する貫通孔と、該中央テーブルの下面から垂下して該貫通孔に収容され該中央テーブルが昇降する昇降方向に延在するシャフトと、該貫通孔に形成される第1の接触面と、該シャフトに形成される第2の接触面と、を有し、該環状テーブルに対して該中央テーブルを昇降可能にし、該中央テーブルが上昇したときに該第1の接触面と該第2の接触面とを接触させ該貫通孔を封じる昇降手段と、
該保持テーブルの該貫通孔の該底下面側からエアを供給させ該底上面からエアを放出させつつ該中央テーブルを該凹部から浮上させる浮上手段と、
該貫通孔に供給するエアの圧力変化またはエアの流量変化を監視して該エアの圧力上昇または該エアの流量低下から該中央テーブルが浮上したことを判断する判断部と、
該判断部が該中央テーブルが浮上したことを判断したときに該中央テーブルからウエーハの外周を保持してウエーハを搬出するエッジ保持搬出手段と、を備えることを特徴とする切削装置。 - ウエーハの外周部分を載置させる環状の載置面を上面に有する環状部と該環状部に連接して中央に凹部を形成する底板とを有する環状テーブルと、該環状テーブルの該凹部に収容可能とする中央テーブルと、を備える保持テーブルで保持したウエーハの外周に沿って切削ブレードで切削させウエーハの外周の面取り部を除去するエッジトリミング加工をする切削装置であって、
該底板の底上面と底下面とを貫通する貫通孔と、該中央テーブルの下面から垂下して該貫通孔に収容され該中央テーブルが昇降する昇降方向に延在するシャフトと、該貫通孔に形成される第3の接触面と、該シャフトに形成される第4の接触面と、を有し、該環状テーブルに対して該中央テーブルを昇降可能にし、該中央テーブルが下降して該凹部に収容されたときに該第3の接触面と該第4の接触面とを接触させ該貫通孔を封じる昇降手段と、
吸引源によって該貫通孔から吸引されるエアの圧力変化またはエアの流量変化を監視して該エアの圧力上昇または該エアの流量低下から該中央テーブルが降下して該凹部に収容されたことを判断する判断部と、を備えることを特徴とする切削装置。
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