JP5978345B2 - Fe微粒子保持構造、CNT生成用触媒、CNT製造方法およびFe微粒子保持構造の製造方法 - Google Patents
Fe微粒子保持構造、CNT生成用触媒、CNT製造方法およびFe微粒子保持構造の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5978345B2 JP5978345B2 JP2015094993A JP2015094993A JP5978345B2 JP 5978345 B2 JP5978345 B2 JP 5978345B2 JP 2015094993 A JP2015094993 A JP 2015094993A JP 2015094993 A JP2015094993 A JP 2015094993A JP 5978345 B2 JP5978345 B2 JP 5978345B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- fine particles
- holding structure
- fine particle
- cnt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 title claims description 102
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 title claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 14
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 107
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims description 36
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 25
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 23
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 16
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 7
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 7
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000002232 CNT15 Substances 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 238000005328 electron beam physical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Description
3 基板
5 バリア層
7 酸素
9 Al層
11 バッファ層
13 Fe微粒子
15 CNT
19 Fe層
Claims (5)
- 直径5ないし20nmのFe微粒子が個々独立して存在し、かつ、Siを主成分に含む表面層に一部埋没した状態で基板上に保持されていることを特徴とするFe微粒子保持構造。
- 前記表面層は、SiとAlとを含むことを特徴とする請求項1に記載のFe微粒子保持構造。
- 請求項1または2に記載のFe微粒子保持構造におけるFe微粒子からなることを特徴とするCNT生成用触媒。
- 請求項3に記載のFe微粒子保持構造におけるFe微粒子をCNT生成用触媒としてCNTを製造することを特徴とするCNT製造方法。
- 基板上に、酸素を含むAl層、Siからなるバッファ層、およびFe層がこの順序で形成されてなる第1の前駆体、
または、基板上に、酸素を含むAl層、およびSiとFeとの合金層からなるバッファ層がこの順序で形成されてなる第2の前駆体を形成する工程と、
前記前駆体に対して、熱アニール処理を施し、前記Feを含み、前記バッファ層に一部が埋没した状態で保持されたFe微粒子を形成する工程と
を備えるFe微粒子保持構造の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015094993A JP5978345B2 (ja) | 2015-05-07 | 2015-05-07 | Fe微粒子保持構造、CNT生成用触媒、CNT製造方法およびFe微粒子保持構造の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015094993A JP5978345B2 (ja) | 2015-05-07 | 2015-05-07 | Fe微粒子保持構造、CNT生成用触媒、CNT製造方法およびFe微粒子保持構造の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010238623A Division JP5751467B2 (ja) | 2010-10-25 | 2010-10-25 | Fe微粒子保持構造、CNT生成用触媒およびCNT製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015212084A JP2015212084A (ja) | 2015-11-26 |
JP5978345B2 true JP5978345B2 (ja) | 2016-08-24 |
Family
ID=54696648
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015094993A Active JP5978345B2 (ja) | 2015-05-07 | 2015-05-07 | Fe微粒子保持構造、CNT生成用触媒、CNT製造方法およびFe微粒子保持構造の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5978345B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5808468B1 (ja) * | 2014-09-01 | 2015-11-10 | ニッタ株式会社 | カーボンナノチューブ製造用触媒粒子の保持構造及びその製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009113195A1 (ja) * | 2008-03-13 | 2009-09-17 | 大陽日酸株式会社 | ブラシ状カーボンナノ構造物製造用触媒体、触媒体製造方法、ブラシ状カーボンナノ構造物及びその製法 |
JP5183439B2 (ja) * | 2008-11-25 | 2013-04-17 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブの生成方法 |
JP5176925B2 (ja) * | 2008-12-11 | 2013-04-03 | 株式会社デンソー | Cnt合成用基板、その製造方法、及びcntの製造方法 |
JP2010173915A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Hitachi Zosen Corp | カーボンナノチューブの生成方法 |
-
2015
- 2015-05-07 JP JP2015094993A patent/JP5978345B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015212084A (ja) | 2015-11-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9868640B2 (en) | Graphene structure and method of manufacturing the same | |
JP2005239541A (ja) | カーボンナノチューブの水平成長方法およびカーボンナノチューブを含む素子 | |
JP5751467B2 (ja) | Fe微粒子保持構造、CNT生成用触媒およびCNT製造方法 | |
JP2006224296A (ja) | カーボンナノチューブ構造体及びその製造方法、並びにカーボンナノチューブ構造体を利用した電界放出素子及びその製造方法 | |
US20150351285A1 (en) | Heat dissipation structure and synthesizing method thereof | |
JP5194514B2 (ja) | 基板構造及びその製造方法 | |
JP4426523B2 (ja) | 炭素ナノチューブのマトリックスの成長方法 | |
JP2008037670A (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
JP5872672B2 (ja) | SiNWアレイ上垂直配向型CNTの無触媒合成 | |
US20150376777A1 (en) | Method for making microstructure on substrate | |
JPWO2007116434A1 (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
US20150274543A1 (en) | Nanotube film structure | |
JP2008201648A (ja) | カーボンナノチューブの製造装置およびカーボンナノチューブの製造方法 | |
JP2009256204A (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
JP5978345B2 (ja) | Fe微粒子保持構造、CNT生成用触媒、CNT製造方法およびFe微粒子保持構造の製造方法 | |
JP6158798B2 (ja) | ナノ構造を含む装置及びその製造方法 | |
KR20070071177A (ko) | 유리 위에의 단일벽 탄소나노튜브 제조방법 | |
JP4861448B2 (ja) | ニッケルシリサイドナノワイヤの製造方法 | |
CN106660016B (zh) | 碳纳米管制造用催化剂粒子的保持结构及其制造方法 | |
JP5783669B2 (ja) | 触媒金属微粒子形成方法 | |
TWI251250B (en) | A method of forming carbon nanotubes | |
JP6212598B2 (ja) | カーボンファイバ成長用Fe微粒子形成方法 | |
JP2005104814A (ja) | 金属内包カーボンナノチューブの製造方法 | |
JP2006312562A (ja) | カーボンナノチューブ複合構造及びその製造方法 | |
JP2015155099A (ja) | 触媒金属微粒子形成基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160405 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20160425 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160602 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160628 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160725 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5978345 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |