JP5751467B2 - Fe微粒子保持構造、CNT生成用触媒およびCNT製造方法 - Google Patents
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Description
3 基板
5 バリア層
7 酸素
9 Al層
11 バッファ層
13 Fe微粒子
15 CNT
19 Fe層
Claims (4)
- Siからなる基板上に、金属酸化物あるいは酸素を含む金属からなるバリア層、酸素を含むAl層、Siからなるバッファ層、およびFe層がこの順序で形成されてなる第1の前駆体、または、金属酸化物あるいは酸素を含む金属からなるバリア層、酸素を含むAl層、およびSiとFeとの合金層からなるバッファ層がこの順序で形成されてなる第2の前駆体が形成され、前記前駆体に対して、熱アニール処理が施されて、直径5ないし20nmのFe微粒子が個々独立して前記バッファ層に一部埋没、残部が前記バッファ層から露出した状態で当該バッファ層に保持されている、ことを特徴とするFe微粒子保持構造。
- Fe微粒子に炭素含有ガスを接触反応させることで当該Fe微粒子上に生成されるCNTであって、上記Fe微粒子が請求項1に記載の構造で上記バッファ層に一部が埋没したFe微粒子である、ことを特徴とするCNT。
- 請求項1に記載の構造におけるFe微粒子からなる、ことを特徴とするCNT生成用触媒。
- 請求項3に記載の構造におけるFe微粒子をCNT生成用触媒としてCNTを製造する、ことを特徴とするCNT製造方法。
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