JP2015212084A - Fe微粒子保持構造、CNT、CNT生成用触媒、CNT製造方法およびFe微粒子保持構造の製造方法 - Google Patents
Fe微粒子保持構造、CNT、CNT生成用触媒、CNT製造方法およびFe微粒子保持構造の製造方法 Download PDFInfo
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- 239000010419 fine particle Substances 0.000 title claims abstract description 191
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 title claims description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 207
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims abstract description 73
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 55
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims abstract description 51
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 48
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 19
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 28
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 15
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 11
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 150000004706 metal oxides Chemical group 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 abstract description 33
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 15
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 15
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 9
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000002232 CNT15 Substances 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 8
- 238000005328 electron beam physical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 8
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 6
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 2
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
Abstract
Description
3 基板
5 バリア層
7 酸素
9 Al層
11 バッファ層
13 Fe微粒子
15 CNT
19 Fe層
3 基板
5 バリア層
7 酸素
9 Al層
11 バッファ層
13 Fe微粒子
15 CNT
19 Fe層
Claims (6)
- 直径5ないし20nmのFe微粒子が個々独立して存在し、かつ、表面層に一部埋没した状態で基板上に保持されている、ことを特徴とする構造。
- 上記表面層は、基板表面に順次に形成されている複数の層のうち最表面層を構成するバッファ層であって、該バッファ層はSiあるいはAlを主成分に含む、ことを特徴とする請求項1に記載の構造。
- 上記表面層と基板表面との間にバリア層を有し、このバリア層が酸化金属層あるいは酸素を含む金属層である、ことを特徴とする請求項2に記載の構造。
- Fe微粒子に炭素含有ガスを接触反応させることで当該Fe微粒子上に生成されるCNTであって、上記Fe微粒子が請求項1ないし3のいずれかに記載の構造で上記表面層に一部が埋没したFe微粒子である、ことを特徴とするCNT。
- 請求項1ないし3のいずれかに記載の構造におけるFe微粒子からなる、ことを特徴とするCNT生成用触媒。
- 請求項5に記載の構造におけるFe微粒子をCNT生成用触媒としてCNTを製造する、ことを特徴とするCNT製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015094993A JP5978345B2 (ja) | 2015-05-07 | 2015-05-07 | Fe微粒子保持構造、CNT生成用触媒、CNT製造方法およびFe微粒子保持構造の製造方法 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015212084A true JP2015212084A (ja) | 2015-11-26 |
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Family
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5978345B2 (ja) |
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US10207920B2 (en) * | 2014-09-01 | 2019-02-19 | Nitta Corporation | Structure for holding catalyst particles for carbon nanotube production and method for producing same |
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2015
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