JP2008037670A - カーボンナノチューブの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一周する側壁に三角格子の原子配列を有する触媒金属微粒子10に炭素原料を供給し、触媒金属微粒子10から三角格子の原子配列を反映した六員環構造を有するグラフェンシート18を順次析出させることにより、炭素原子よりなる円筒型構造体を形成する。これにより、三角格子の方向に対するグラフェンシートの析出方向により円筒型構造体のカイラリティを制御することができ、触媒金属微粒子の径により円筒型構造体の径を制御することができる。
【選択図】図5
Description
本発明の第1実施形態によるカーボンナノチューブの製造方法について図1乃至図9を用いて説明する。
本発明の第2実施形態によるカーボンナノチューブの製造方法について図10乃至図12を用いて説明する。なお、図1乃至図8に示す第1実施形態によるカーボンナノチューブの製造方法と同様の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略し或いは簡潔にする。
本発明は上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
12…表面原子
14…炭素原子
16…六員環
18…グラフェンシート
20…基板
22…触媒金属微粒子
24…カーボンナノチューブ
26…傾斜面
30…触媒金属膜
32…ポア
34…六員環
36…グラフェンシート
38…カーボンナノチューブ
40…基板
42…触媒金属膜
44…マスク膜
46…フォトレジスト膜
48…ポア
50…カーボンナノチューブ
Claims (9)
- 一周する側壁に三角格子の原子配列を有する金属触媒に炭素原料を供給し、前記金属触媒から前記三角格子の原子配列を反映した六員環構造を有するグラフェンシートを順次析出させることにより、炭素原子よりなる円筒型構造体を形成する
ことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項1記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記三角格子の向きに対する前記グラフェンシートの析出方向を制御することにより、前記円筒構造体のカイラリティを制御する
ことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項2記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記グラフェンシートの析出方向を、外部から印加する電界の向きにより制御する
ことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記金属触媒は、触媒金属材料よりなる微粒子である
ことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項4記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記微粒子の径により、前記円筒構造体の径を制御する
ことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項4又は5記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
基板上に前記触媒金属材料を堆積して自己組織化させることにより、前記三角格子の向きが制御された前記微粒子を形成する
ことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記金属触媒は、側壁に三角格子の原子構造を有する孔が形成された触媒金属膜である
ことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項7記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記孔の径により、前記円筒構造体の径を制御する
ことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。 - 請求項7又は8記載のカーボンナノチューブの製造方法において、
前記触媒金属膜に面方位依存性を有する異方性エッチングを行うことにより、前記三角格子の向きが制御された前記孔を形成する
ことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
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