JP5897275B2 - 温度制御ユニット、基板載置台、基板処理装置、温度制御システム、及び基板処理方法 - Google Patents
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Description
10 基板処理装置
12 基板載置台
15,27 温度制御ユニット
16 ユニット本体
17 ヒータ
18 チラー流路
19 ヒータコントローラ
21 チラーコントローラ
24,25 メンテナンス用の蓋
26 ねじ穴
Claims (12)
- 基板と接触して該基板の温度を制御する温度制御ユニットであって、
前記基板と接触する板状の本体と、該本体内に埋設された複数のヒータ組と、前記本体内に形成されて内部を所定の温度の媒体が流れる媒体流路とを備え、
前記複数のヒータ組の各々は、複数の直線状のヒータと、各前記ヒータを互いに結合する配線とを有し、
各前記ヒータは互いに平行に配置され、前記媒体流路は隣接する2つの前記ヒータの間の部分を経由するように配置され、
前記本体における前記基板との接触面とは反対側の面において、前記本体内に埋設された各前記ヒータの位置に対応するように配置された開閉可能な蓋をさらに備えることを特徴とする温度制御ユニット。 - 前記本体の平面視における1つの前記ヒータに垂直な方向に関し、各前記ヒータ及び前記媒体流路は交互に等間隔で配置されることを特徴とする請求項1記載の温度制御ユニット。
- 前記本体は前記蓋を取り付けるためのねじ用のねじ穴を有し、前記媒体流路は隣接する2つの前記ヒータの間において前記ねじ穴を避けるように蛇行することを特徴とする請求項1又は2記載の温度制御ユニット。
- 前記蛇行する媒体流路における曲部の前記本体の平面視における曲率は半径40mm以上であることを特徴とする請求項3記載の温度制御ユニット。
- 基板を載置する基板載置台であって、
前記基板と接触して該基板の温度を制御する温度制御ユニットと、該温度制御ユニットを支持する基部とを備え、
前記温度制御ユニットは、前記基板と接触する板状の本体と、該本体内に埋設された複数のヒータ組と、前記本体内に形成されて内部を所定の温度の媒体が流れる媒体流路とを有し、
前記複数のヒータ組の各々は、複数の直線状のヒータと、各前記ヒータを互いに結合する配線とを有し、
各前記ヒータは互いに平行に配置され、前記媒体流路は隣接する2つの前記ヒータの間の部分を経由するように配置され、
前記温度制御ユニットは、前記本体における前記基板との接触面とは反対側の面において、前記本体内に埋設された各前記ヒータの位置に対応するように配置された開閉可能な蓋をさらに備えることを特徴とする基板載置台。 - 基板に処理を施す基板処理装置であって、
前記基板を収容する収容室と、該収容室内に配置されて前記基板を載置する基板載置台とを備え、
前記基板載置台は、前記基板と接触して該基板の温度を制御する温度制御ユニットと、該温度制御ユニットを支持する基部とを有し、
前記温度制御ユニットは、前記基板と接触する板状の本体と、該本体内に埋設された複数のヒータ組と、前記本体内に形成されて内部を所定の温度の媒体が流れる媒体流路とを有し、
前記複数のヒータ組の各々は、複数の直線状のヒータと、各前記ヒータを互いに結合する配線とを有し、
各前記ヒータは互いに平行に配置され、前記媒体流路は隣接する2つの前記ヒータの間の部分を経由するように配置され、
前記温度制御ユニットは、前記本体における前記基板との接触面とは反対側の面において、前記本体内に埋設された各前記ヒータの位置に対応するように配置された開閉可能な蓋をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板の温度を制御する温度制御システムであって、
前記基板と接触する板状の本体と、該本体内に埋設された複数のヒータ組と、前記本体内に形成されて内部を所定の温度の媒体が流れる媒体流路とを有し、前記基板と接触して該基板の温度を制御する温度制御ユニットと、
前記ヒータの発熱量を制御するヒータ制御ユニットと、
前記媒体流路を流れる媒体の流量や温度を制御する媒体制御ユニットとを備え、
前記温度制御ユニットの前記本体において、前記複数のヒータ組の各々は、複数の直線状のヒータと、各前記ヒータを互いに結合する配線とを有し、各前記ヒータは互いに平行に配置され、前記媒体流路は隣接する2つの前記ヒータの間の部分を経由するように配置され、
前記温度制御ユニットは、前記本体における前記基板との接触面とは反対側の面において、前記本体内に埋設された各前記ヒータの位置に対応するように配置された開閉可能な蓋をさらに備えることを特徴とする温度制御システム。 - 基板と接触して該基板の温度を制御する温度制御ユニットであって、前記基板と接触する板状の本体と、該本体内に埋設された複数の直線状のヒータと、前記本体内に形成されて内部を所定の温度の媒体が流れる媒体流路とを備え、各前記ヒータは互いに平行に配置され、前記媒体流路は隣接する2つの前記ヒータの間の部分を経由するように配置される温度制御ユニットを用いる基板処理方法であって、
前記基板を目標冷却温度まで冷却する際、前記媒体流路へ前記目標冷却温度よりも低い温度の媒体を供給し、
前記基板を目標加熱温度まで加熱する際、前記ヒータを発熱させるとともに、前記媒体流路へ前記目標加熱温度よりも高い温度の媒体を供給することを特徴とする基板処理方法。 - 前記温度制御ユニットの本体の温度が、前記目標冷却温度よりも第1の所定温度だけ高い第1の制御変更温度に到達したとき、前記媒体流路へ供給される媒体の温度を前記目標冷却温度に変更することを特徴とする請求項8記載の基板処理方法。
- 前記第1の所定温度は2℃以上且つ20℃未満であることを特徴とする請求項9記載の基板処理方法。
- 前記温度制御ユニットの本体の温度が、前記目標冷却温度よりも第2の所定温度だけ高い第2の制御変更温度に到達したとき、前記ヒータを発熱させ、
前記第2の所定温度は前記第1の所定温度よりも低いことを特徴とする請求項9又は10記載の基板処理方法。 - 前記第2の所定温度は1℃以上且つ10℃未満であることを特徴とする請求項11記載の基板処理方法。
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