JP5673577B2 - 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
基板を保持し、前記受け渡しを行うために横方向に移動自在な基板保持部を備える基板搬送機構と、
前記基板保持部が基板を受け取る複数の受け取り先モジュールと、
前記基板保持部に保持された基板の保持位置と、当該基板保持部において予め設定された基板の基準位置とのずれ量を検出するためのセンサ部と、
各受け取り先モジュールからの基板の受け取り時に検出された前記ずれ量を前記受け取り先モジュールごとに時系列で記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶される各受け取り先モジュールの前記ずれ量の時系列データに基づいて各受け取り先モジュールのいずれかまたは前記基板搬送機構に不具合があることを推定する推定部と、
前記推定部の推定結果に基づいて、前記基板搬送機構の動作を制御するように制御信号を出力する制御手段と、
を備え、
前記推定部により基板搬送機構に不具合があることが推定されたときに、前記制御手段は、基板搬送機構が、受け取り先モジュールの一つを構成する調整用モジュールに対して基板を受け渡した後、当該基板を受け取るように制御信号を出力し、当該調整用モジュールに基板を受け渡す前に検出されるずれ量と、調整用モジュールから基板を受け取った後に検出されるずれ量との差分に基づいて、各受け取り先モジュールから前記基板保持部が基板を受け取るときの当該基板保持部の位置を、予め設定された第1の位置から第2の位置へ変更することを特徴とする。
各受光部42における、a点、b点、c点、d点とa´点、b´点、c´点、d´点との距離をΔa、Δb、Δc、Δdとする。このとき、Δa、Δb、Δc、Δdは、
Δa[mm]={(a'点の画素数)−(a点の画素数)}×画素間隔[mm] (1)
Δb[mm]={(b'点の画素数)−(b点の画素数)}×画素間隔[mm] (2)
Δc[mm]={(c'点の画素数)−(c点の画素数)}×画素間隔[mm] (3)
Δd[mm]={(d'点の画素数)−(d点の画素数)}×画素間隔[mm] (4)
なお、a点の画素数とは、受光部42のウエハWの中心側における始点からa点までにおける画素の数を意味する。
a点 (X1,Y1)=(X−Rsinθ1,Y−Rcosθ1) (5)
a'点 (X1',Y1')=(X1−Δasinθ1,Y1−Δacosθ1)
=(X−(R+Δa)sinθ1,Y−(R+Δa)cosθ1) (6)
b点 (X2,Y2)=(X−Rsinθ2,Y+Rcosθ2) (7)
b'点 (X2',Y2')=(X2−Δbsinθ2,Y2+Δbcosθ2)
=(X−(R+Δb)sinθ2,Y+(R+Δb)cosθ2) (8)
c点 (X3,Y3)=(X+Rsinθ3,Y+Rcosθ3) (9)
c'点 (X3',Y3')=(X3+Δcsinθ3,Y3+Δccosθ3)
=(X+(R+Δc)sinθ3,Y+(R+Δc)cosθ3) (10)
d点 (X4,Y4)=(X+Rsinθ4,Y−Rcosθ4) (11)
d'点 (X4',Y4')=(X4+Δdsinθ4,Y4−Δdcosθ4)
=(X+(R+Δd)sinθ4,Y−(R+Δd)cosθ4) (12)
従って、式(6)、式(8)、式(10)、式(12)により、a´点(X1´,Y1´)、b´点(X2´,Y2´)、c´点(X3´,Y3´)、d´点(X4´,Y4´)の座標を求めることができる。
算出することができる。例えば、a´点(X1´,Y1´)、b´点(X2´,Y2´)、c´点(X3´,Y3´)の3点からずれ位置における中心位置o´の座標(X´、Y´)を算出する式は、下記式(13)及び(14)で表される。
例えば図11に示したウエハWの保持例では、検出部4A〜4Dの検出範囲のいずれにもウエハWの周縁に形成された切り欠きであるノッチNが重なっていない。この場合、上記のようにa´〜d’点のうち3点を用いて4通り演算された半径R’は正常範囲内に収まるので、その最大値−最小値が予め設定した閾値以下になる。従って制御部6は、このように閾値以下になったときに各検出部4がノッチNに重なっていないものとし、4通り求められた中心位置o’1〜o’4のX成分、Y成分についての夫々平均を算出し、その演算値を中心位置o’(X’,Y’)として決定する。その後、フォーク3における基準位置o(X,Y)とのずれ量ΔX、ΔYを算出する。
ΔX(mm)=X’−X (16)
ΔY(mm)=Y’−Y (17)
3 フォーク
30 搬送アーム
31 基台
40 基板周縁位置検出機構
4 検出部
41 光源部
42 受光部
6 制御部
63 表示部
66 プログラム
Claims (5)
- モジュール間で基板を受け渡して処理を行う基板処理装置において、
基板を保持し、前記受け渡しを行うために横方向に移動自在な基板保持部を備える基板搬送機構と、
前記基板保持部が基板を受け取る複数の受け取り先モジュールと、
前記基板保持部に保持された基板の保持位置と、当該基板保持部において予め設定された基板の基準位置とのずれ量を検出するためのセンサ部と、
各受け取り先モジュールからの基板の受け取り時に検出された前記ずれ量を前記受け取り先モジュールごとに時系列で記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶される各受け取り先モジュールの前記ずれ量の時系列データに基づいて各受け取り先モジュールのいずれかまたは前記基板搬送機構に不具合があることを推定する推定部と、
前記推定部の推定結果に基づいて、前記基板搬送機構の動作を制御するように制御信号を出力する制御手段と、
を備え、
前記推定部により基板搬送機構に不具合があることが推定されたときに、前記制御手段は、基板搬送機構が、受け取り先モジュールの一つを構成する調整用モジュールに対して基板を受け渡した後、当該基板を受け取るように制御信号を出力し、当該調整用モジュールに基板を受け渡す前に検出されるずれ量と、調整用モジュールから基板を受け取った後に検出されるずれ量との差分に基づいて、各受け取り先モジュールから前記基板保持部が基板を受け取るときの当該基板保持部の位置を、予め設定された第1の位置から第2の位置へ変更することを特徴とする基板処理装置。 - 前記推定部により各モジュールのいずれか、または基板搬送機構に不具合があると推定されたときにアラームを出力するアラーム出力手段が設けられることを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- モジュール間で基板を受け渡して処理を行う基板処理装置を用いる基板処理方法において、
基板搬送機構に設けられる基板保持部により基板を保持し、前記受け渡しを行うために当該基板保持部を横方向に移動させる工程と、
複数の受け取り先モジュールから前記基板保持部が基板を受け取る工程と、
センサ部により前記基板保持部に保持された基板の保持位置と、当該基板保持部において予め設定された基板の基準位置とのずれ量を検出するための工程と、
各受け取り先モジュールからの基板の受け取り時に検出された前記ずれ量を、記憶部に前記受け取り先モジュールごとに時系列で記憶する工程と、
推定部により前記記憶部に記憶される各受け取り先モジュールの前記ずれ量の時系列データに基づいて各受け取り先モジュールのいずれかまたは前記基板搬送機構に不具合があることを推定する工程と、
前記推定部の推定結果に基づいて、基板搬送機構の動作を制御する工程と、
を備え、
前記基板搬送機構の動作を制御する工程は、
前記推定部により基板搬送機構に不具合があることが推定されたときに、
基板搬送機構が受け取り先モジュールの一つを構成する調整用モジュールに対して基板を受け渡す工程と、
次いで基板搬送機構が調整用モジュールから基板を受け取る工程と、
当該調整用モジュールに基板を受け渡す前に検出されるずれ量と、調整用モジュールから基板を受け取った後に検出されるずれ量との差分を演算する工程と、
この差分に基づいて、各受け取り先モジュールから前記基板保持部が基板を受け取るときの当該基板保持部の位置を、予め設定された第1の位置から第2の位置へ変更する工程と、を含むことを特徴とする基板処理方法。 - 前記推定部により各受け取り先モジュールのいずれか、または基板搬送機構に不具合があると推定されたときにアラームを出力する工程を含むことを特徴とする請求項3に記載の基板処理方法。
- 複数のモジュールを備え、これらのモジュール間で基板を受け渡して処理を行う基板処理装置に用いられるコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項3または4に記載の基板処理方法を実施するためのものであることを特徴とする記憶媒体。
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