JP5874629B2 - 基板搬送方法、基板搬送装置及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
搬入ポートに搬送容器を載置する工程と、
前記搬入ポートに搬入された搬送容器内の基板の高さ位置を光学的に検出するための昇降自在な基板検出部を用い、搬入ポート上の搬送容器内の各基板の高さ位置についての情報を取得する工程と、
前記基板搬送機構が当該基板搬送機構により管理されている座標上にて予め設定された高さ位置にあるときにおいて、前記基板検出部により管理されている座標上における当該基板搬送機構の高さ位置と、前記基板検出部により取得した前記情報と、に基づいて、搬送容器内の基板を受け取るときの基板搬送機構の高さ位置を算出する工程と、
前記算出する工程により得られた、搬送容器内の基板を受け取るときの基板搬送機構の高さ位置に基づいて基板搬送機構により搬送容器内から基板を取り出す工程と、
を含み、
前記情報は、搬送容器内のスロットと各基板の高さ位置とを対応付けた情報であり、
前記搬入ポートに搬送容器が搬入されたときに当該搬送容器に対して基準の高さとなる基準部位の高さ位置を検出する工程と、
前記基板検出部により検出された基準部位の高さ位置と、前記情報と、に基づいて搬送容器に不具合が発生しているか否かを判定する工程と、
を含むことを特徴とする。
前記搬入ポートに載置された搬送容器内の基板を取り出すための昇降自在、進退自在な基板搬送機構と、
前記搬入ポートに載置された搬送容器内の基板の高さ位置を光学的に検出するための昇降自在な基板検出部と、
前記基板検出部により、搬入ポート上の搬送容器内の各基板の高さ位置についての情報を取得するステップと、前記基板搬送機構が当該基板搬送機構により管理されている座標上にて予め設定された高さ位置にあるときにおいて、前記基板検出部により管理されている座標上における当該基板搬送機構の高さ位置と、前記基板検出部により取得した各基板の高さ位置と、に基づいて、搬送容器内の基板を受け取るときの基板搬送機構の高さ位置を算出するステップと、前記算出するステップにより得られた、搬送容器内の基板を受け取るときの基板搬送機構の高さ位置に基づいて基板搬送機構により搬送容器内から基板を取り出すステップと、を実行するように構成された制御部と、を備え、
前記情報は、搬送容器内のスロットと各基板の高さ位置とを対応付けた情報であり、
前記制御部は、前記基板検出部により検出された、前記搬入ポートに搬送容器が搬入されたときに当該搬送容器に対して基準の高さとなる基準部位の高さ位置を検出するステップと、
前記基板検出部により検出された基準部位の高さ位置と、前記情報と、に基づいて、搬送容器に不具合が発生しているか否かを判定するステップと、
を実行するように構成されていることを特徴とする。
前記コンピュータプログラムは、上記の基板搬送方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする。
ただし、塗布、現像装置1において、このように異常なスロット600からウエハWは取り出さず、スロット600に異常があることを表すエラーが発報されるようにしてもよい。このエラーの発報は、具体的には画面表示や音声の出力により行われる。
ロードポート3AにおけるウエハWの搬入及び搬出について示したが、他のロードポート3B〜3Dについてもロードポート3Aと同様にキャリアCからのウエハWの取り出しと、キャリアCへのウエハWの搬入とが行われる。
E2 処理ブロック
C キャリア
W ウエハ
1 塗布、現像装置
2 装置コントローラ
3 ロードポート
32 ステージ
36 ピン
39 キャリア搭載面
4 開閉ドア
5 マッピングユニット
50 センサ対
Claims (8)
- 複数の基板を棚状に収納して搬送するための搬送容器から、基板搬送機構により基板を取り出す基板搬送方法において、
搬入ポートに搬送容器を載置する工程と、
前記搬入ポートに搬入された搬送容器内の基板の高さ位置を光学的に検出するための昇降自在な基板検出部を用い、搬入ポート上の搬送容器内の各基板の高さ位置についての情報を取得する工程と、
前記基板搬送機構が当該基板搬送機構により管理されている座標上にて予め設定された高さ位置にあるときにおいて、前記基板検出部により管理されている座標上における当該基板搬送機構の高さ位置と、前記基板検出部により取得した前記情報と、に基づいて、搬送容器内の基板を受け取るときの基板搬送機構の高さ位置を算出する工程と、
前記算出する工程により得られた、搬送容器内の基板を受け取るときの基板搬送機構の高さ位置に基づいて基板搬送機構により搬送容器内から基板を取り出す工程と、
を含み、
前記情報は、搬送容器内のスロットと各基板の高さ位置とを対応付けた情報であり、
前記搬入ポートに搬送容器が搬入されたときに当該搬送容器に対して基準の高さとなる基準部位の高さ位置を検出する工程と、
前記基板検出部により検出された基準部位の高さ位置と、前記情報と、に基づいて搬送容器に不具合が発生しているか否かを判定する工程と、
を含むことを特徴とする基板搬送方法。 - 一の搬送容器に不具合が発生していると判定されたときに、前記搬入ポートに空である他の搬送容器を搬入する工程と、
一の搬送容器から前記基板搬送機構により取り出された基板を、前記他の搬送容器に搬入する工程と、
を備えたことを特徴とする請求項1記載の基板搬送方法。 - 前記基準部位は、前記搬入ポートにおける搬送容器の載置面であることを特徴とする請求項1または2に記載の基板搬送方法。
- 前記基板検出部は、基板搬送機構に設けられ、
前記基板検出部により管理されている座標は、基板搬送機構により管理されている座標と共通であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載の基板搬送方法。 - 複数の基板を棚状に収納して搬送するための搬送容器を載置するための搬入ポートと、
前記搬入ポートに載置された搬送容器内の基板を取り出すための昇降自在、進退自在な基板搬送機構と、
前記搬入ポートに載置された搬送容器内の基板の高さ位置を光学的に検出するための昇降自在な基板検出部と、
前記基板検出部により、搬入ポート上の搬送容器内の各基板の高さ位置についての情報を取得するステップと、前記基板搬送機構が当該基板搬送機構により管理されている座標上にて予め設定された高さ位置にあるときにおいて、前記基板検出部により管理されている座標上における当該基板搬送機構の高さ位置と、前記基板検出部により取得した各基板の高さ位置と、に基づいて、搬送容器内の基板を受け取るときの基板搬送機構の高さ位置を算出するステップと、前記算出するステップにより得られた、搬送容器内の基板を受け取るときの基板搬送機構の高さ位置に基づいて基板搬送機構により搬送容器内から基板を取り出すステップと、を実行するように構成された制御部と、を備え、
前記情報は、搬送容器内のスロットと各基板の高さ位置とを対応付けた情報であり、
前記制御部は、前記基板検出部により検出された、前記搬入ポートに搬送容器が搬入されたときに当該搬送容器に対して基準の高さとなる基準部位の高さ位置を検出するステップと、
前記基板検出部により検出された基準部位の高さ位置と、前記情報と、に基づいて、搬送容器に不具合が発生しているか否かを判定するステップと、
を実行するように構成されていることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記基準部位は、前記搬入ポートにおける搬送容器の載置面であることを特徴とする請求項5記載の基板搬送装置。
- 前記基板検出部は、基板搬送機構に設けられ、
前記基板検出部により管理されている座標は、基板搬送機構により管理されている座標と共通であることを特徴とする請求項5または6に記載の基板搬送装置。 - 搬入ポートに搬入され、複数の基板を棚状に収納して搬送するための搬送容器から、基板搬送機構により基板を取り出す基板搬送装置に用いられるコンピュータプログラムを記憶する記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項1ないし4のいずれか一項に記載された基板搬送方法を実行するようにステップ群が組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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