JP6971604B2 - 半導体ワーク搬送装置 - Google Patents
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Description
図中では、ユニット130のワーク201保持は、ハンド111(121)の内側に位置しているが、ハンド111(121)の外側で保持している場合も同様の動作で受け渡しが実現できる。
上記例では、ワークに対し裏面接触のハンドで説明しているが、一般的には裏面接触に合わせて真空吸着を組み合わせている。説明では、吸着および吸着解除は示してないが、使用を限定するものではなく、使用してもよい。
101…搬送ロボット
102…LPユニット
103…PAユニット
110、120…伸縮アーム
111、121…ハンド
130…ユニット
200…格納容器
201…ワーク
300…半導体検査処理装置(処理装置)
301…ワーク受け渡し用ポート位置(UP)
400、401、402…検出センサ
501…搬送装置を制御するコントローラユニット(制御ユニット)
502…記憶装置
Claims (2)
- 半導体ワークを支持するハンドと、当該ハンドに載せられた前記半導体ワークを第1の位置から第2の位置まで搬送する搬送用ロボットと、当該搬送用ロボットを制御する制御装置を備えた半導体ワーク搬送装置において、
前記搬送用ロボットの前記半導体ワークの搬送に伴って移動すると共に、前記ハンド上に載せられた半導体ワークの位置を検出するセンサを備え、
前記制御装置は、前記センサを用いて、前記半導体ワークが前記第2の位置に載置される前の前記半導体ワークの位置と、前記半導体ワークが前記第2の位置に載せられた後、
前記半導体ワークが前記センサによる検出範囲内に含まれている状態で前記半導体ワークの位置を検出し、前記第2の位置に載置される前後の前記半導体ワークの位置ずれを求めることを特徴とする半導体ワーク搬送装置。 - 半導体ワークを支持するハンドと、当該ハンドに載せられた前記半導体ワークを第1の位置から第2の位置まで搬送する搬送用ロボットと、当該搬送用ロボットを制御する制御装置を備えた半導体ワーク搬送装置において、
前記搬送用ロボットの前記半導体ワークの搬送に伴って移動すると共に、前記ハンド上に載せられた半導体ワークの位置を検出するセンサを備え、
前記制御装置は、前記センサを用いて、前記第1の位置に載せられた状態であり、前記半導体ワークが前記センサによる検出範囲に含まれている状態であって、且つ前記ハンドに半導体ワークが載せられる前の前記半導体ワークの位置と、前記ハンドに前記半導体ワークが載せられた後の前記半導体ワークの位置を検出し、前記ハンドに前記半導体ワークが載せられる前後の前記半導体ワークの位置ずれを求めることを特徴とする半導体ワーク搬送装置。
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