JP4961895B2 - ウェハ搬送装置、ウェハ搬送方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
進退自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送装置において、
前記搬送手段の進退時に、搬送手段に載置されたウェハの通過/非通過を判別できる位置に設けられた1個のウェハ検出センサと、
前記搬送手段の駆動量から搬送手段の位置データを取得する位置データ取得手段と、
前記搬送手段上におけるウェハの基準位置に対応する基準位置データを記憶する記憶部と、
前記位置データ取得手段により取得した位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、ウェハ検出センサの検出領域におけるウェハの通過開始時及び通過終了時の搬送手段の位置データを各々求め、これら位置データ、前記基準位置データ及びウェハの直径に基づいて、以下の式1−1及び式1−2により、基準位置におけるウエハの中心位置に対するウェハの中心位置のX方向のずれ量Δx及びウエハの中心位置のY方向のずれ量Δyを演算する手段と、を備えたことを特徴とする。
(式1−1)
(式1−2)
X方向:搬送手段の進行方向、Y方向:搬送手段の進行方向に対して直交して水平に伸びる方向、x 1 :ウエハがウエハ検出センサを通過し始めるときの座標、x 2 :ウエハがウエハ検出センサを通過し終えたときの座標、r:ウエハの直径、x 1 ’:基準位置におけるウエハがウエハ検出センサを通過し始めるときの座標、x 2 ’:基準位置におけるウエハがウエハ検出センサを通過し終えたときの座標、r’:基準位置におけるウエハの直径
進退自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送装置において、
前記搬送手段の進退時に、搬送手段に載置されたウェハの通過/非通過を判別できる位置に設けられた1個のウェハ検出センサと、
前記搬送手段の駆動量から搬送手段の位置データを取得する位置データ取得手段と、
前記搬送手段上におけるウェハの基準位置に対応する基準位置データを記憶する記憶部と、
前記位置データ取得手段により取得した位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、ウェハ検出センサの検出領域におけるウェハの通過開始時及び通過終了時の搬送手段の位置データを各々求め、これら位置データ、前記基準位置データ及びウェハの直径に基づいて、以下の式2−1及び式2−2により、基準位置におけるウエハの中心位置に対するウェハの中心位置のX方向のずれ量Δx及びウエハの中心位置のY方向のずれ量Δyを演算する手段と、を備えたことを特徴とする。
(式2−1)
(式2−2)
X方向:搬送手段の進行方向、Y方向:搬送手段の進行方向に対して直交して水平に伸びる方向、x 1 :ウエハがウエハ検出センサを通過し始めるときの座標、x 2 :ウエハがウエハ検出センサを通過し終えたときの座標、r:ウエハの直径、x R ’:X方向における基準位置のウエハの中心座標、L:Y方向におけるウエハ検出センサと基準位置のウエハの中心座標との間の距離
更に本発明の別のウエハ搬送装置は、
進退自在及び鉛直軸周りに回転自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送装置において、
前記搬送手段の進退時に、搬送手段に載置されたウェハの通過/非通過を判別できる位置に設けられた1個のウェハ検出センサと、
前記搬送手段の駆動量から搬送手段の位置データを取得する位置データ取得手段と、
前記搬送手段上におけるウェハの基準位置に対応する、回転中心を原点とする座標系で表される基準位置データを記憶する記憶部と、
前記位置データ取得手段により取得した位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、ウェハ検出センサの検出領域におけるウェハの通過開始時及び通過終了時の搬送手段の位置データを各々求め、これら位置データ、前記基準位置データ及びウェハの直径に基づいて、ウェハの中心位置のずれ量を演算する手段と、を備え、
前記基準位置は、前記搬送手段上にウエハが予定通りに保持されている時における当該ウエハの中心位置であることを特徴とする。
ウェハの中心位置のずれ量がしきい値を超えているかを判断する手段と、
前記ずれ量がしきい値を超えているときに異常であることを知らせる警報手段と、を備えた構成とすることができる。
進退自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送方法において、
前記搬送手段の駆動量から搬送手段の位置データを取得する工程と、
前記搬送手段の進退時に、1個のウェハ検出センサの検出領域におけるウェハの通過/非通過を判別する工程と、
前記搬送手段の位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、前記検出領域におけるウェハの通過開始時及び通過終了時の各々の搬送手段の位置データを求める工程と、
この工程で得られた位置データ、前記搬送手段上におけるウェハの基準位置に対応する基準位置データ及びウェハの直径に基づいて、以下の式1−1及び式1−2により、基準位置におけるウエハの中心位置に対するウェハの中心位置のX方向のずれ量Δx及びウエハの中心位置のY方向のずれ量Δyを演算する工程と、を含むことを特徴とする。
(式1−1)
(式1−2)
X方向:搬送手段の進行方向、Y方向:搬送手段の進行方向に対して直交して水平に伸びる方向、x 1 :ウエハがウエハ検出センサを通過し始めるときの座標、x 2 :ウエハがウエハ検出センサを通過し終えたときの座標、r:ウエハの直径、x 1 ’:基準位置におけるウエハがウエハ検出センサを通過し始めるときの座標、x 2 ’:基準位置におけるウエハがウエハ検出センサを通過し終えたときの座標、r’:基準位置におけるウエハの直径
前記搬送手段の進退時に、前記ウェハ検出センサの検出領域における搬送手段の通過/非通過を判別する工程と、
前記位置データ取得手段により取得した位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、ウェハ検出センサの検出領域における前記搬送手段の通過開始時または通過終了時の前記搬送手段の位置データを求める工程と、
この位置データと前記搬送手段の正常時に対応する位置データとを比較することにより、前記搬送手段が正常であるか否かを判断する工程と、を含むようにしても良い。
進退自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送方法において、
前記搬送手段の駆動量から搬送手段の位置データを取得する工程と、
前記搬送手段の進退時に、1個のウェハ検出センサの検出領域におけるウェハの通過/非通過を判別する工程と、
前記搬送手段の位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、前記検出領域におけるウェハの通過開始時及び通過終了時の各々の搬送手段の位置データを求める工程と、
この工程で得られた位置データ、前記搬送手段上におけるウェハの基準位置に対応する基準位置データ及びウェハの直径に基づいて、以下の式2−1及び式2−2により、基準位置におけるウエハの中心位置に対するウェハの中心位置のX方向のずれ量Δx及びウエハの中心位置のY方向のずれ量Δyを演算する工程と、を含むことを特徴とする。
(式2−1)
(式2−2)
X方向:搬送手段の進行方向、Y方向:搬送手段の進行方向に対して直交して水平に伸びる方向、x 1 :ウエハがウエハ検出センサを通過し始めるときの座標、x 2 :ウエハがウエハ検出センサを通過し終えたときの座標、r:ウエハの直径、x R ’:X方向における基準位置のウエハの中心座標、L:Y方向におけるウエハ検出センサと基準位置のウエハの中心座標との間の距離
更に本発明の別のウエハ搬送方法は、
進退自在及び鉛直軸周りに回転自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送方法において、
前記搬送手段の駆動量から搬送手段の位置データを取得する工程と、
前記搬送手段の進退時に、1個のウェハ検出センサの検出領域におけるウェハの通過/非通過を判別する工程と、
前記搬送手段の位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、前記検出領域におけるウェハの通過開始時及び通過終了時の各々の搬送手段の位置データを求める工程と、
この工程で得られた位置データ、前記搬送手段上におけるウェハの基準位置に対応する、回転中心を原点とする座標系で表される基準位置データ及びウェハの直径に基づいて、ウェハの中心位置のずれ量を演算する工程と、を含み、
前記基準位置は、前記搬送手段上にウエハが予定通りに保持されている時における当該ウエハの中心位置であることを特徴とする。
ウェハの中心位置のずれ量がしきい値を超えているかを判断し、しきい値を超えていると判断したときに異常であることを知らせる工程を含ませることができる。
進退自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送装置に用いられ、コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、上記のウェハ搬送方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする。
・・・・・・・・(1)
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・(2)
となる。ウェハWの直径r’及び製品ウェハWの直径rは、既述のステップ3において、アライメント機構40によってあらかじめそれぞれ例えば300.00mm及び300.02mmと算出済みであることから、各ウェハWの個体差に適応して、ウェハWの中心位置と基準位置とのずれ量が演算される。
4 アーム座標管理部
11 基板処理装置
13 第1の搬送室
16 第2の搬送室
17 第1の搬送手段
18 第2の搬送手段
19 アライメントユニット
22 センサ
40 アライメント機構
63 第1のアーム
64 第2のアーム
65 第3のアーム
Claims (17)
- 進退自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送装置において、
前記搬送手段の進退時に、搬送手段に載置されたウェハの通過/非通過を判別できる位置に設けられた1個のウェハ検出センサと、
前記搬送手段の駆動量から搬送手段の位置データを取得する位置データ取得手段と、
前記搬送手段上におけるウェハの基準位置に対応する基準位置データを記憶する記憶部と、
前記位置データ取得手段により取得した位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、ウェハ検出センサの検出領域におけるウェハの通過開始時及び通過終了時の搬送手段の位置データを各々求め、これら位置データ、前記基準位置データ及びウェハの直径に基づいて、以下の式1−1及び式1−2により、基準位置におけるウエハの中心位置に対するウェハの中心位置のX方向のずれ量Δx及びウエハの中心位置のY方向のずれ量Δyを演算する手段と、を備えたことを特徴とするウェハ搬送装置。
(式1−1)
(式1−2)
X方向:搬送手段の進行方向、Y方向:搬送手段の進行方向に対して直交して水平に伸びる方向、x 1 :ウエハがウエハ検出センサを通過し始めるときの座標、x 2 :ウエハがウエハ検出センサを通過し終えたときの座標、r:ウエハの直径、x 1 ’:基準位置におけるウエハがウエハ検出センサを通過し始めるときの座標、x 2 ’:基準位置におけるウエハがウエハ検出センサを通過し終えたときの座標、r’:基準位置におけるウエハの直径 - 前記搬送手段は、ウェハ検出センサの検出領域をウェハが直進通過するように駆動されることを特徴とする請求項1に記載のウェハ搬送装置。
- ウェハの中心位置のずれ量を演算する手段は、ウェハの向きを合わせるためにウェハを回転ステージ上で回転させて外縁位置を検出したデータに基づいて求められたウェハの正確な直径を用いて演算するように構成されたことを特徴とする請求項1または2に記載のウェハ搬送装置。
- 前記ウェハ検出センサは前記搬送手段の通過/非通過を判別可能な位置に設置され、前記位置データ取得手段により取得した位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、ウェハ検出センサの検出領域における前記搬送手段の通過開始時または通過終了時の前記搬送手段の位置データを求め、この位置データと前記搬送手段の正常時に対応する位置データとを比較することにより、前記搬送手段が正常であるか否かを判断する手段と、を備えたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一つに記載のウェハ搬送装置。
- ウェハの中心位置のずれ量がしきい値を超えているかを判断する手段と、
前記ずれ量がしきい値を超えているときに異常であることを知らせる警報手段と、を備えたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載のウェハ搬送装置。 - ウェハの中心位置のずれ量がしきい値を超えているかを判断する手段を備え、
前記ずれ量がしきい値を超えていないときには、前記搬送手段は、ウェハの中心位置のずれ量を補正するように、搬送先にウェハを載置することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載のウェハ搬送装置。 - 進退自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送装置において、
前記搬送手段の進退時に、搬送手段に載置されたウェハの通過/非通過を判別できる位置に設けられた1個のウェハ検出センサと、
前記搬送手段の駆動量から搬送手段の位置データを取得する位置データ取得手段と、
前記搬送手段上におけるウェハの基準位置に対応する基準位置データを記憶する記憶部と、
前記位置データ取得手段により取得した位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、ウェハ検出センサの検出領域におけるウェハの通過開始時及び通過終了時の搬送手段の位置データを各々求め、これら位置データ、前記基準位置データ及びウェハの直径に基づいて、以下の式2−1及び式2−2により、基準位置におけるウエハの中心位置に対するウェハの中心位置のX方向のずれ量Δx及びウエハの中心位置のY方向のずれ量Δyを演算する手段と、を備えたことを特徴とするウェハ搬送装置。
(式2−1)
(式2−2)
X方向:搬送手段の進行方向、Y方向:搬送手段の進行方向に対して直交して水平に伸びる方向、x 1 :ウエハがウエハ検出センサを通過し始めるときの座標、x 2 :ウエハがウエハ検出センサを通過し終えたときの座標、r:ウエハの直径、x R ’:X方向における基準位置のウエハの中心座標、L:Y方向におけるウエハ検出センサと基準位置のウエハの中心座標との間の距離 - 進退自在及び鉛直軸周りに回転自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送装置において、
前記搬送手段の進退時に、搬送手段に載置されたウェハの通過/非通過を判別できる位置に設けられた1個のウェハ検出センサと、
前記搬送手段の駆動量から搬送手段の位置データを取得する位置データ取得手段と、
前記搬送手段上におけるウェハの基準位置に対応する、回転中心を原点とする座標系で表される基準位置データを記憶する記憶部と、
前記位置データ取得手段により取得した位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、ウェハ検出センサの検出領域におけるウェハの通過開始時及び通過終了時の搬送手段の位置データを各々求め、これら位置データ、前記基準位置データ及びウェハの直径に基づいて、ウェハの中心位置のずれ量を演算する手段と、を備え、
前記基準位置は、前記搬送手段上にウエハが予定通りに保持されている時における当該ウエハの中心位置であることを特徴とするウェハ搬送装置。 - 進退自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送方法において、
前記搬送手段の駆動量から搬送手段の位置データを取得する工程と、
前記搬送手段の進退時に、1個のウェハ検出センサの検出領域におけるウェハの通過/非通過を判別する工程と、
前記搬送手段の位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、前記検出領域におけるウェハの通過開始時及び通過終了時の各々の搬送手段の位置データを求める工程と、
この工程で得られた位置データ、前記搬送手段上におけるウェハの基準位置に対応する基準位置データ及びウェハの直径に基づいて、以下の式1−1及び式1−2により、基準位置におけるウエハの中心位置に対するウェハの中心位置のX方向のずれ量Δx及びウエハの中心位置のY方向のずれ量Δyを演算する工程と、を含むことを特徴とするウェハ搬送方法。
(式1−1)
(式1−2)
X方向:搬送手段の進行方向、Y方向:搬送手段の進行方向に対して直交して水平に伸びる方向、x 1 :ウエハがウエハ検出センサを通過し始めるときの座標、x 2 :ウエハがウエハ検出センサを通過し終えたときの座標、r:ウエハの直径、x 1 ’:基準位置におけるウエハがウエハ検出センサを通過し始めるときの座標、x 2 ’:基準位置におけるウエハがウエハ検出センサを通過し終えたときの座標、r’:基準位置におけるウエハの直径 - 前記搬送手段は、ウェハ検出センサの検出領域をウェハが直進通過するように駆動されることを特徴とする請求項9に記載のウェハ搬送方法。
- ウェハの中心位置のずれ量を演算する工程は、ウェハの向きを合わせるためにウェハを回転ステージ上で回転させて外縁位置を検出したデータに基づいて求められたウェハの正確な直径を用いて行うことを特徴とする請求項9または10に記載のウェハ搬送方法。
- 前記搬送手段の進退時に、前記ウェハ検出センサの検出領域における搬送手段の通過/非通過を判別する工程と、
前記位置データ取得手段により取得した位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、ウェハ検出センサの検出領域における前記搬送手段の通過開始時または通過終了時の前記搬送手段の位置データを求める工程と、
この位置データと前記搬送手段の正常時に対応する位置データとを比較することにより、前記搬送手段が正常であるか否かを判断する工程と、を含むことを特徴とする請求項9ないし11のいずれか一つに記載のウェハ搬送方法。 - ウェハの中心位置のずれ量がしきい値を超えているかを判断し、しきい値を超えていると判断したときに異常であることを知らせる工程を含むことを特徴とする請求項9ないし12のいずれか一つに記載のウェハ搬送方法。
- ウェハの中心位置のずれ量がしきい値を超えているかを判断し、しきい値を超えていないと判断したときには、ウェハの中心位置のずれ量を補正するように、搬送先にウェハを載置する工程を含むことを特徴とする請求項9ないし12のいずれか一つに記載のウェハ搬送方法。
- 進退自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送方法において、
前記搬送手段の駆動量から搬送手段の位置データを取得する工程と、
前記搬送手段の進退時に、1個のウェハ検出センサの検出領域におけるウェハの通過/非通過を判別する工程と、
前記搬送手段の位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、前記検出領域におけるウェハの通過開始時及び通過終了時の各々の搬送手段の位置データを求める工程と、
この工程で得られた位置データ、前記搬送手段上におけるウェハの基準位置に対応する基準位置データ及びウェハの直径に基づいて、以下の式2−1及び式2−2により、基準位置におけるウエハの中心位置に対するウェハの中心位置のX方向のずれ量Δx及びウエハの中心位置のY方向を演算する工程と、を含むことを特徴とするウェハ搬送方法。
(式2−1)
(式2−2)
X方向:搬送手段の進行方向、Y方向:搬送手段の進行方向に対して直交して水平に伸びる方向、x 1 :ウエハがウエハ検出センサを通過し始めるときの座標、x 2 :ウエハがウエハ検出センサを通過し終えたときの座標、r:ウエハの直径、x R ’:X方向における基準位置のウエハの中心座標、L:Y方向におけるウエハ検出センサと基準位置のウエハの中心座標との間の距離 - 進退自在及び鉛直軸周りに回転自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送方法において、
前記搬送手段の駆動量から搬送手段の位置データを取得する工程と、
前記搬送手段の進退時に、1個のウェハ検出センサの検出領域におけるウェハの通過/非通過を判別する工程と、
前記搬送手段の位置データと前記ウェハ検出センサによる判別結果とに基づいて、前記検出領域におけるウェハの通過開始時及び通過終了時の各々の搬送手段の位置データを求める工程と、
この工程で得られた位置データ、前記搬送手段上におけるウェハの基準位置に対応する、回転中心を原点とする座標系で表される基準位置データ及びウェハの直径に基づいて、ウェハの中心位置のずれ量を演算する工程と、を含み、
前記基準位置は、前記搬送手段上にウエハが予定通りに保持されている時における当該ウエハの中心位置であることを特徴とするウェハ搬送方法。 - 進退自在な搬送手段にウェハを載置して搬送を行うウェハ搬送装置に用いられ、コンピュータ上で動作するコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項9ないし16のいずれか一つに記載のウェハ搬送方法を実施するようにステップが組まれていることを特徴とする記憶媒体。
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