JP2012238762A - 基板搬送装置、これを備える塗布現像装置、及び基板搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を支持する支持部を含む搬送機構と、ラインセンサ、及び該ラインセンサに光を照射する光源を含み、前記搬送機構が動作して前記支持部が移動したときに前記光が前記支持部により遮られ得るように配置される位置検出部と、前記ラインセンサからの信号に基づいて、前記搬送部の位置を検出する制御部とを備える基板搬送装置が提供される。
【選択図】図5
Description
棚ユニットU2は、図3に示すように、例えば下から順に積層された、受け渡しモジュールTRS6、TRS6、及びCPL12を有する。
フォトレジスト膜が形成されたウエハWは、搬送機構A3により、棚ユニットU1の受け渡しモジュールBF3に搬送される。
まず、例えばメンテナンス後などに塗布現像装置100を起動した際、搬送機構A3(図5)に対して、塗布現像装置100の操作者により、いわゆるティーチングが行われる。例えば、搬送装置A3のフォーク3A及び3Bを進入位置及びホーム位置に適正に位置させるとともに、その位置を制御部6のメモリに記憶させるといった作業が行われる。以下の説明において、この作業を通して調整された位置を基準位置と呼ぶ。
また、検出されたフォーク3A(又は3B)の実際の位置と基準位置との偏差に関する判定基準である所定の範囲は、上述の実施形態においては、塗布モジュール23にウエハWが接しない範囲であったが、これに限定されることはない。例えば、ウエハWが塗布モジュール23に接することもなく、例えばフォトレジスト膜の塗布処理に悪影響(例えば膜厚均一性の悪化等)も生じない範囲を所定の範囲として定めても良い。このようにすれば、偏差が所定の範囲を超えた場合に塗布現像装置100を中断することにより、膜厚均一性が悪化したフォトレジスト膜が形成されるのを防ぐことができる。
また、フォーク3A及び3Bは、ほぼC字状の平面形状を有し保持爪4によりウエハWを支持しているが、平板上にウエハWが載置される平板により構成されても良い。
Claims (7)
- 基板を支持する支持部を含む搬送機構と、
ラインセンサ、及び該ラインセンサに光を照射する光源を含み、前記光の光路の一部が前記支持部により遮られ得るように配置される位置検出部と、
前記ラインセンサからの信号に基づいて、前記搬送部の位置を検出する制御部と
を備える基板搬送装置。 - 前記搬送機構が、前記搬送部を摺動可能に支持する基台を更に含み、
前記ラインセンサが前記基台に取り付けられる、請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記搬送機構が、前記基台を所定の方向に移動するガイド部を更に含み、
前記ラインセンサが前記ガイド部に取り付けられる、請求項1又は2に記載の基板搬送装置。 - 前記制御部は、前記位置検出部により検出された前記支持部の位置が所定の範囲内に無いと判定した場合にアラーム信号を発する、請求項1から3のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 基板を支持する支持部により基板を支持するステップと、
ラインセンサ、及び該ラインセンサに光を照射する光源を含み、前記光の光路の一部が前記支持部により遮られ得るように配置される位置検出部の当該光源から前記光を発するステップと、
前記基板を支持する支持部を移動するステップと、
前記ラインセンサからの信号に基づいて、前記支持部の位置を検出するステップと
を含む基板搬送方法。 - 前記検出するステップにおいて検出された前記支持部の位置が所定の範囲内に無いと判定された場合にアラーム信号を発するステップを更に含む、請求項5に記載の基板搬送方法。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置により搬入される前記基板にフォトレジスト膜を形成するフォトレジスト塗布モジュールと、
前記基板に形成され、露光された前記フォトレジスト膜を現像する現像ユニットと
を備える塗布現像装置。
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Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0569356A (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | 産業用ロボツト装置 |
JPH06326172A (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-25 | Tel Varian Ltd | 移載装置 |
JPH0890464A (ja) * | 1994-09-28 | 1996-04-09 | Ricoh Co Ltd | ロボット装置の原点較正装置及び双腕型ロボット装置 |
JPH09219433A (ja) * | 1996-02-08 | 1997-08-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板枚葉処理装置 |
JPH10223732A (ja) * | 1996-12-02 | 1998-08-21 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 位置ずれ検出装置およびその方法 |
JP2000127069A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-09 | Tokyo Electron Ltd | 搬送システムの搬送位置合わせ方法 |
JP2004241484A (ja) * | 2003-02-04 | 2004-08-26 | Tokyo Electron Ltd | 基板の搬送装置及び搬送装置の位置ずれ検出方法 |
JP2004296484A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-21 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2006032808A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Nikon Corp | 位置ずれ検出装置、マスク搬送システム及び露光装置 |
JP2006303241A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ搬送方法及びウェーハ搬送装置 |
JP2006351884A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送機構及び処理システム |
JP2007073599A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Tokyo Electron Ltd | 搬送室、基板処理装置および基板の異常検出方法 |
JP2007281249A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | Yaskawa Electric Corp | 搬送用ロボットおよび搬送用ロボットの位置補正方法 |
JP2008311303A (ja) * | 2007-06-12 | 2008-12-25 | Tokyo Electron Ltd | 位置ずれ検出装置及びこれを用いた処理システム |
WO2009084630A1 (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-09 | Ulvac, Inc. | 搬送ロボットの診断システム |
JP2010114101A (ja) * | 2007-02-23 | 2010-05-20 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2010214533A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ロボット、及びオートゼロイング方法 |
JP2011108958A (ja) * | 2009-11-20 | 2011-06-02 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | 半導体ウェーハ搬送装置及びこれを用いた搬送方法 |
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Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0569356A (ja) * | 1991-09-11 | 1993-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | 産業用ロボツト装置 |
JPH06326172A (ja) * | 1993-05-10 | 1994-11-25 | Tel Varian Ltd | 移載装置 |
JPH0890464A (ja) * | 1994-09-28 | 1996-04-09 | Ricoh Co Ltd | ロボット装置の原点較正装置及び双腕型ロボット装置 |
JPH09219433A (ja) * | 1996-02-08 | 1997-08-19 | Tokyo Electron Ltd | 基板枚葉処理装置 |
JPH10223732A (ja) * | 1996-12-02 | 1998-08-21 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 位置ずれ検出装置およびその方法 |
JP2000127069A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-09 | Tokyo Electron Ltd | 搬送システムの搬送位置合わせ方法 |
JP2004241484A (ja) * | 2003-02-04 | 2004-08-26 | Tokyo Electron Ltd | 基板の搬送装置及び搬送装置の位置ずれ検出方法 |
JP2004296484A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-10-21 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2006032808A (ja) * | 2004-07-21 | 2006-02-02 | Nikon Corp | 位置ずれ検出装置、マスク搬送システム及び露光装置 |
JP2006303241A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ搬送方法及びウェーハ搬送装置 |
JP2006351884A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送機構及び処理システム |
JP2007073599A (ja) * | 2005-09-05 | 2007-03-22 | Tokyo Electron Ltd | 搬送室、基板処理装置および基板の異常検出方法 |
JP2007281249A (ja) * | 2006-04-07 | 2007-10-25 | Yaskawa Electric Corp | 搬送用ロボットおよび搬送用ロボットの位置補正方法 |
JP2010114101A (ja) * | 2007-02-23 | 2010-05-20 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2008311303A (ja) * | 2007-06-12 | 2008-12-25 | Tokyo Electron Ltd | 位置ずれ検出装置及びこれを用いた処理システム |
WO2009084630A1 (ja) * | 2007-12-27 | 2009-07-09 | Ulvac, Inc. | 搬送ロボットの診断システム |
JP2010214533A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | ロボット、及びオートゼロイング方法 |
JP2011108958A (ja) * | 2009-11-20 | 2011-06-02 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | 半導体ウェーハ搬送装置及びこれを用いた搬送方法 |
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