JP5389604B2 - 切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法 - Google Patents
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Description
8 テーブルベース
20 チャックテーブル
50 切削ブレード
56 ブレード検出手段
58 ブレード端部検出機構
62 ブレード侵入部
64 発光部
65 光学センサー
66 受光部
93 第1のX方向セットアップ位置
94 第2のX方向セットアップ位置
96 第3のX方向セットアップ位置
100,102 垂直二等分線
104 回転中心
Claims (3)
- 切削ブレードと、該切削ブレードの外周端部の位置を検出する光学センサーとを備え、該切削ブレードは該光学センサーに対して相対的に垂直方向(Z方向)に上下動し、該光学センサーは該切削ブレードに対して相対的に水平方向(X方向)に移動する構成の切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法であって、
該切削ブレードを固定し該光学センサーを該切削ブレードに対してZ方向に移動するものと仮定したとき、該光学センサーをX方向及びZ方向に移動してX方向の少なくとも異なる3点で該切削ブレードの外周端部を検出する複数端部検出工程と、
検出された複数の外周端部のX,Z座標から該切削ブレードの回転中心座標(X0、Z0)を算出する中心算出工程と、
該切削ブレードの回転中心座標(X0、Z0)と該複数端部検出工程で検出された該切削ブレードの複数の外周端部のうち少なくとも一つの外周端部のX,Z座標に基づいて、該切削ブレードの半径を算出する半径算出工程と、
被加工物を該切削ブレードで適宜切削加工した後に、該中心算出工程と該半径算出工程とを遂行して、前回割り出された該切削ブレードの半径と比較し、該切削ブレードの消耗量を算出する消耗量算出工程と、
を具備したことを特徴とする切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法。 - 該消耗量算出工程から算出された該切削ブレードの消耗量に基づいて、該切削ブレードのZ方向の原点位置を補正する位置補正工程を更に具備した請求項1記載の切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法。
- 前回までに割り出された消耗量の合計と前記消耗量算出工程で算出された該切削ブレードの消耗量の加算値が、予め定めた該切削ブレードの使用可能限界の基準となる最大消耗可能量を上回る場合は、該切削ブレードの使用を中止する限界判定工程を更に具備した請求項1又は2記載の切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009241202A JP5389604B2 (ja) | 2009-10-20 | 2009-10-20 | 切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009241202A JP5389604B2 (ja) | 2009-10-20 | 2009-10-20 | 切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2011088223A JP2011088223A (ja) | 2011-05-06 |
JP5389604B2 true JP5389604B2 (ja) | 2014-01-15 |
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ID=44106961
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009241202A Active JP5389604B2 (ja) | 2009-10-20 | 2009-10-20 | 切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5389604B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6068209B2 (ja) * | 2013-03-12 | 2017-01-25 | 株式会社ディスコ | 切削方法 |
JP2016192494A (ja) | 2015-03-31 | 2016-11-10 | 株式会社ディスコ | ウエーハの分割方法 |
DE202016102268U1 (de) | 2016-02-09 | 2016-05-17 | Atm Gmbh | Trennmaschine |
JP2018146407A (ja) * | 2017-03-06 | 2018-09-20 | 株式会社トプコン | 建築作業機械における回転部材の回転中心取得方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11214334A (ja) * | 1998-01-29 | 1999-08-06 | Disco Abrasive Syst Ltd | ブレードのセットアップ装置 |
JP4590058B2 (ja) * | 2000-04-12 | 2010-12-01 | 株式会社ディスコ | 切削装置の切削ブレード検出機構 |
JP4599629B2 (ja) * | 2001-04-19 | 2010-12-15 | 株式会社東京精密 | ブレード先端位置検出装置及び検出方法 |
JP4596934B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2010-12-15 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP5065637B2 (ja) * | 2006-08-23 | 2012-11-07 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP2009123790A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削装置 |
JP2009231760A (ja) * | 2008-03-25 | 2009-10-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ブレード破損/磨耗検出装置 |
-
2009
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011088223A (ja) | 2011-05-06 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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