JP2019117895A - 切削ブレードの位置検出方法及び切削装置 - Google Patents
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Landscapes
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
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Abstract
Description
13 ダイシングテープ
15 フレーム
23 光
2 切削装置
4 基台
6 X軸移動機構
8 X軸ガイドレール
10 X軸移動テーブル
12 X軸ボールねじ
14 X軸パルスモータ
16 テーブルベース
18 チャックテーブル
18a クランプ
18b 保持面
20 ウォーターケース
22 支持構造
24 切削ユニット移動機構(移動ユニット、移動手段)
26 Y軸ガイドレール
28 Y軸移動プレート
30 Y軸ボールねじ
32 Y軸パルスモータ
34 Z軸ガイドレール
36 Z軸移動プレート
38 Z軸ボールねじ
40 Z軸パルスモータ
42 切削ユニット(切削手段)
44 カメラ(撮像ユニット、撮像手段)
46 スピンドル
48 切削ブレード
50 切削液供給ノズル(切削液供給ユニット、切削液供給手段)
52 ブレード位置検出ユニット(ブレード位置検出手段)
54 制御ユニット(制御手段)
56 検出器
56a 支持部
56b 検出部
56c ブレード侵入部
58 発光部
60 受光部
62 エアー供給ノズル
64 液体供給ノズル
66 連結具
68 カバー
70 光源
72 光電変換部
74 処理部
74a 記録部
74b 演算部
76 位置検出部
Claims (5)
- 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、被加工物を切削する切削ブレードが装着されるスピンドルを有する切削ユニットと、該切削ユニットを該保持面に垂直な方向に移動させる移動ユニットと、互いに対面する発光部と受光部とを含む検出器を有し該発光部と該受光部との間に侵入する該切削ブレードの位置を検出するブレード位置検出ユニットと、を備える切削装置を用い、該発光部から放射される光以外の外光が、該受光部に入射する状態で該切削ブレードの位置を検出する切削ブレードの位置検出方法であって、
該切削ブレードを該検出器から離れた退避位置に位置付け、該発光部から光を放射させた状態で、該受光部の受光量を全受光量として記録する全受光量記録ステップと、
該切削ブレードを該退避位置に位置付け、該発光部から光を放射させない状態で、該受光部の受光量を外光受光量として記録する外光受光量記録ステップと、
該全受光量から該外光受光量を差し引いて得られる受光量に基づき基準受光量を設定する基準受光量設定ステップと、
該発光部から光を放射させた状態で該発光部と該受光部との間に該切削ブレードを侵入させ、該受光部の受光量が該基準受光量に達したときの該切削ブレードの位置を基準位置として検出する基準位置検出ステップと、を含むことを特徴とする切削ブレードの位置検出方法。 - 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、被加工物を切削する切削ブレードが装着されるスピンドルを有する切削ユニットと、該切削ユニットを該保持面に垂直な方向に移動させる移動ユニットと、互いに対面する発光部と受光部とを含む検出器を有し該発光部と該受光部との間に侵入する該切削ブレードの位置を検出するブレード位置検出ユニットと、を備える切削装置を用い、該発光部から放射される光以外の外光が、該受光部に入射する状態で該切削ブレードの位置を検出する切削ブレードの位置検出方法であって、
該切削ブレードを該検出器から離れた退避位置に位置付け、該発光部から光を放射させた状態で、該受光部の受光量を全受光量として記録する全受光量記録ステップと、
該切削ブレードを該退避位置に位置付け、該発光部から光を放射させない状態で、該受光部の受光量を外光受光量として記録する外光受光量記録ステップと、
該全受光量から該外光受光量を差し引いて得られる受光量に基づき基準受光量を設定する基準受光量設定ステップと、
該発光部から光を放射させた状態で該発光部と該受光部との間に該切削ブレードを侵入させ、該受光部の受光量が該全受光量に基づき設定される仮基準受光量に達したときの該切削ブレードの位置を仮基準位置として検出する仮基準位置検出ステップと、
該切削ブレードを該仮基準位置に位置付け、該発光部から光を放射させない状態で、該受光部の受光量を仮基準位置外光受光量として記録する仮基準位置外光受光量記録ステップと、
仮基準受光量から該仮基準位置外光受光量を差し引いて得られる受光量と、基準受光量との差から補正受光量を算出する補正受光量算出ステップと、
該補正受光量に基づいて該仮基準位置を補正して基準位置を算出する補正ステップと、を含むことを特徴とする切削ブレードの位置検出方法。 - 該発光部は、連続的に光を放射することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の切削ブレードの位置検出方法。
- 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、
被加工物を切削する切削ブレードが装着されるスピンドルを有する切削ユニットと、
該切削ユニットを該保持面に垂直な方向に移動させる移動ユニットと、
互いに対面する発光部と受光部とを含む検出器を有し該発光部と該受光部との間に侵入する該切削ブレードの位置を検出するブレード位置検出ユニットと、を備え、
該ブレード位置検出ユニットは、
該切削ブレードを該検出器から離れた退避位置に位置付け該発光部から光を放射させた状態で該受光部により受光される受光量を全受光量として記録し、該切削ブレードを該退避位置に位置付け該発光部から光を放射させない状態で該受光部により受光される受光量を外光受光量として記録する記録部と、
該全受光量から該外光受光量を差し引いて得られる受光量に基づき基準受光量を設定し、該発光部から光を放射させた状態で該発光部と該受光部との間に該切削ブレードを侵入させた際に該受光部の受光量が該基準受光量に達したときの該切削ブレードの位置を基準位置として検出する演算部と、含むことを特徴とする切削装置。 - 該発光部は、連続的に光を放射する連続点灯式であることを特徴とする請求項4に記載の切削装置。
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