JP2011104731A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに吸引保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持するとともに切削水を供給する切削手段と、該切削ブレードの切り込み方向位置を検出するブレート検出手段と、該ブレード検出手段を支柱を介して支持するテーブルベースと、該テーブルベースを加工送り方向に移動する加工送り手段と、該チャックテーブルを挿入する第1開口部と該ブレード検出手段の該支柱を挿入する第2開口部を有し該テーブルベースに固定された防水カバーと、該防水カバーに連結され該防水カバーと共に該加工送り手段を覆う蛇腹と、を備えた切削装置であって、該防水カバーは該テーブルベースに対して複数のブラケットを介して固定され、該支柱は該防水カバーの該第2開口部に隙間を有して挿入され、該隙間は弾性部材からなるシールによって閉塞されていることを特徴とする。
【選択図】図3
Description
18 第1チャックテーブル
18a 第2チャックテーブル
42 第1撮像手段
42a 第2撮像手段
64 第1切削ユニット
68 第1切削ブレード
76 ブレード検出手段
78 ブレード端部検出機構
82 ブレード侵入部
84 発光部
85 光学センサー
86 受光部
94 垂直支持部材
98 シール
Claims (1)
- 被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに吸引保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に支持するとともに切削水を供給する切削手段と、該切削ブレードの切り込み方向位置を検出するブレート検出手段と、該ブレード検出手段を支柱を介して支持するテーブルベースと、該テーブルベースを加工送り方向に移動する加工送り手段と、該チャックテーブルを挿入する第1開口部と該ブレード検出手段の該支柱を挿入する第2開口部を有し該テーブルベースに固定された防水カバーと、該防水カバーに連結され該防水カバーと共に該加工送り手段を覆う蛇腹と、を備えた切削装置であって、
該防水カバーは該テーブルベースに対して複数のブラケットを介して固定され、該支柱は該防水カバーの該第2開口部に隙間を有して挿入され、該隙間は弾性部材からなるシールによって閉塞されていることを特徴とする切削装置。
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