JP4554265B2 - 切削ブレードの位置ずれ検出方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 27
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 25
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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Description
2:チャックテーブル
3:切削手段
30:スピンドル 31:切削ブレード 32:スピンドルハウジング
4:アライメント手段
40:光学系 41:撮像部
400:基準線
5:X軸送り機構
50:ボールネジ 51:駆動源 52:ガイドレール 53:移動基台
6:回転駆動機構
60:回転駆動部
7:Z軸送り機構
70:壁部 71:駆動源 72:ガイドレール 73:支持部
8:Y軸送り機構
80:ボールネジ 81:駆動源 82:ガイドレール 83:移動基台
9:制御部
100:切削傷 101:第二の切削傷 102:第三の切削傷
Claims (1)
- 板状物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を切削する切削ブレードを含む切削手段と、該切削ブレードの位置合わせ用の基準線が形成された光学系を有し該板状物の切削予定領域を検出するアライメント手段とを備えた切削装置における切削ブレードの位置ずれ検出方法であって、
該基準線と該切削ブレードとの間に一定の位置関係があることを前提に、該切削予定領域と該基準線との位置合わせをする第一の工程と、
該板状物は、ダイシングテープを介してダイシングフレームと一体となっており、該切削予定領域と該基準線とが位置合わせされた状態で該切削予定領域を切削し、切削予定領域間隔ずつ該切削手段をインデックス送りしながら複数の切削予定領域を切削して該板状物を分割する第二の工程と、
該第二の工程の途中で、該切削予定領域の切削から独立して、該ダイシングテープの該板状物及び該ダイシングフレームが貼着されていない露出部分に該切削ブレードを切り込ませて切削傷を形成し、該切削傷を該アライメント手段によって検出して該切削傷と該基準線との位置ずれを検出する第三の工程とから少なくとも構成され、
加工時に複数回の位置ずれの検出を行う際には、該切削傷を形成した後に、前記チャックテーブルを所要角度回転させ、該切削傷と重複しない別の切削傷を該ダイシングテープの該露出部分に形成する切削ブレードの位置ずれ検出方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004125351A JP4554265B2 (ja) | 2004-04-21 | 2004-04-21 | 切削ブレードの位置ずれ検出方法 |
CNB200510065281XA CN100428435C (zh) | 2004-04-21 | 2005-04-19 | 切削刀片的位置偏移的检测方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004125351A JP4554265B2 (ja) | 2004-04-21 | 2004-04-21 | 切削ブレードの位置ずれ検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005311033A JP2005311033A (ja) | 2005-11-04 |
JP4554265B2 true JP4554265B2 (ja) | 2010-09-29 |
Family
ID=35346605
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004125351A Expired - Lifetime JP4554265B2 (ja) | 2004-04-21 | 2004-04-21 | 切削ブレードの位置ずれ検出方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4554265B2 (ja) |
CN (1) | CN100428435C (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5134216B2 (ja) * | 2006-06-23 | 2013-01-30 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工結果管理方法 |
JP5172383B2 (ja) * | 2008-02-25 | 2013-03-27 | 株式会社ディスコ | 切削ブレード検出機構 |
JP2009206362A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物の切削方法 |
JP5312857B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2013-10-09 | Towa株式会社 | 基板の切断方法及び装置 |
JP5384258B2 (ja) * | 2009-09-02 | 2014-01-08 | 株式会社ディスコ | 切削方法 |
JP5858684B2 (ja) * | 2011-08-15 | 2016-02-10 | 株式会社ディスコ | 切削方法 |
JP6218686B2 (ja) * | 2014-07-17 | 2017-10-25 | Towa株式会社 | 基板切断装置および基板切断方法 |
JP6498073B2 (ja) * | 2015-08-14 | 2019-04-10 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードの位置ずれ検出方法 |
JP6968501B2 (ja) * | 2018-01-26 | 2021-11-17 | 株式会社ディスコ | 切削装置のセットアップ方法 |
JP6768185B2 (ja) * | 2018-02-08 | 2020-10-14 | 株式会社東京精密 | ダイシング方法及び装置 |
JP7300938B2 (ja) | 2019-09-02 | 2023-06-30 | 株式会社ディスコ | カーフの認識方法 |
CN111968090B (zh) * | 2020-08-18 | 2023-08-08 | 杭州爱科科技股份有限公司 | 一种xy刀偏心自动检测方法、设备及存储介质 |
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JPH07283171A (ja) * | 1994-04-04 | 1995-10-27 | Disco Abrasive Syst Ltd | サブテーブル付きチャックテーブル |
JP2003211350A (ja) * | 2002-01-18 | 2003-07-29 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ダイシング装置及びカッターセット方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2955937B2 (ja) * | 1998-03-16 | 1999-10-04 | 株式会社東京精密 | ダイシングマシンの溝切制御方法及び装置 |
JP4640715B2 (ja) * | 2000-07-14 | 2011-03-02 | 株式会社ディスコ | アライメント方法及びアライメント装置 |
US6440821B1 (en) * | 2001-02-14 | 2002-08-27 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for aligning wafers |
-
2004
- 2004-04-21 JP JP2004125351A patent/JP4554265B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-04-19 CN CNB200510065281XA patent/CN100428435C/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1691302A (zh) | 2005-11-02 |
JP2005311033A (ja) | 2005-11-04 |
CN100428435C (zh) | 2008-10-22 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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