JP2016192494A - ウエーハの分割方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本分割方法においては、まず、図1に示す切削ブレード60を予め設定されるウエーハW1を完全切断する下降位置まで下降させ露出エリアEに切削ブレード60を切込ませる露出エリア切込み工程を行う。
露出エリア切込み工程に次いで、図6に示すように、露出エリア切込み工程で露出エリアEのうち切削ブレード60が切込まれたエリアE1を撮像手段68で撮像する。撮像手段68で撮像されるエリアE1は、露出エリア切込み工程で撮像手段68が撮像したエリアと同位置にあるエリアである。そして、撮像手段68で撮像された図7に示す撮像画G2は、記憶部12に記憶される。なお、撮像画G2の撮像は撮像手段68の代わりにアライメントカメラ630で行ってもよい。
撮像工程に次いで行われる判断工程では、撮像工程で撮像した撮像画によってウエーハW1の完全切断が可能か否かを判断する。すなわち、例えば、撮像工程で撮像した図7に示す撮像画G2と、露出エリア切込み工程において撮像された図4に示す撮像画G1とが、図7に示す記憶部12から算出部14へとデジタル信号として伝達され、算出部14によって撮像画G1と撮像画G2との差分処理が背景差分法等により行われる。算出部14による差分処理では、撮像画G1が背景画像として用いられ、撮像画G2との差が計算される。撮像画G2には切削痕が生じていないことから撮像画G1と撮像画G2との間に差分はなく、算出部14が切削痕の長さを0μmであると判断し、図6に示す切削ブレード60でウエーハW1を完全切断する場合に設定された位置Z2では、ウエーハW1の完全切断が不可能であると判断する。そして、算出部14から制御部13に対して、ウエーハW1の完全切断が不可能であるとの判断がデジタル信号として伝達される。なお、判断工程においては、例えば、撮像画G2が図示しないモニターに映し出されることで、オペレーターが切削痕の有無を確認できるようにしてもよい。
判断工程に次いで、判断工程の判断により切削ブレード60の下降量を増加させる調整工程を行う。調整工程では、例えば、制御部13からパルスモータ92に送られるパルス信号の数を増加させることで、切込み送り手段9が切削ブレード60を図8に示す位置Z3まで下降させる。ここで、位置Z3とは図8で示すように、例えば、位置Z2よりも−Z方向に数十μm程度下方にある位置である。なお、位置Z3は粘着テープTの厚み等により、適宜変更可能となる位置であり、例えば、位置Z2よりも−Z方向に粘着テープTの厚みより少し短い距離分だけ下方にある位置である。
図8に示すように、切削ブレード60の下降量を増加させた後、再度最初の露出エリア切込み工程と同様の露出エリア切込み工程を行う。
再度の露出エリア切込み工程後に、再度最初の撮像工程と同様の撮像工程を行う。そして、図8に示す撮像手段68で撮像された図9に示す撮像画G3は、記憶部12に記憶される。なお、撮像画G3の撮像は撮像手段68の代わりにアライメントカメラ630で行ってもよい。
再度の判断工程では、再度の撮像工程で撮像した図9に示す撮像画G3と、露出エリア切込み工程において撮像された図6に示す撮像画G1とが、図8に示す記憶部12から算出部14へとデジタル信号として伝達され、算出部14によって撮像画G1と撮像画G3との差分処理が背景差分法等により行われる。算出部14による差分処理では、撮像画G1が背景画像として用いられ、撮像画G3との差分が計算される。撮像画G3には差分として切削痕Mが生じていることから、位置Z3まで切削ブレード60を下降させることにより、ウエーハW1の完全切断が可能であると判断する。そして、算出部14から制御部13に対して、ウエーハW1の完全切断が可能であるとの判断がデジタル信号として伝達される。
再度の判断工程において、ウエーハW1の完全切断が可能と判断されているため、再度の調整工程における切削ブレード60の下降量の増加は行われず、切込み送り手段9が切削ブレード60を図8に示す位置Z3まで下降させ、切削送り手段5がワークセットWを保持するチャックテーブル30をさらに−X方向に送り出す。
次いで、スピンドル61に固定された切削ブレード60がスピンドル61の回転に伴って高速回転をしながらウエーハW1に切込み、図1に示す分割予定ラインSを切削していく。切削ブレード60が分割予定ラインSを切削し終えるX軸方向の所定の位置までウエーハW1が−X方向に進行すると、切削送り手段5によるウエーハW1の切削送りを一度停止させ、切込み送り手段9が切削ブレード60をウエーハW1から離間させ、次いで、切削送り手段5がチャックテーブル30を+X方向へ送り出して元の位置に戻す。
30:チャックテーブル 300:吸着部 300a:保持面 301:枠体
31:回転手段 32:固定手段
5:切削送り手段 50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:パルスモータ
53:可動板
6:切削手段
60:切削ブレード 600:基台 601:切り刃
61:スピンドル 62:ハウジング
63:アライメント手段 630:アライメント用カメラ
64:ブレードカバー 65:切削液ノズル 65a:切削液流入口
66:切削液ノズル 66a:切削液流入口 67:ナット 68:撮像手段
7:インデックス送り手段 70:ボールネジ 71:ガイドレール 73:可動板
9:切込み送り手段 90:ボールネジ 91:ガイドレール 92:パルスモータ
93:可動板
W:ワークセット
W1:ウエーハ W1a:ウエーハの表面 W1b:ウエーハの裏面
S:分割予定ライン D:デバイス F:リングフレーム T:粘着テープ
E:露出エリア E1:エリア
G1:撮像画 G2:撮像画 G3:撮像画 M:切削痕
Z1:位置 Z2:位置 Z3:位置
Claims (1)
- リングフレームの開口を塞いで貼着する粘着テープに分割予定ラインを有するウエーハを貼着しウエーハの外周と該リングフレームの内周との間に該粘着テープが露出した露出エリアを備えて構成されるワークセットをチャックテーブルで保持し、ウエーハを該分割予定ラインに沿って切削ブレードで完全切断するウエーハの分割方法であって、
該切削ブレードを予め設定されるウエーハを完全切断する下降位置まで下降させ該露出エリアに該切削ブレードを切込ませる露出エリア切込み工程と、
該露出エリア切込み工程で該露出エリアのうち該切削ブレードが切込まれたエリアを撮像手段で撮像する撮像工程と、
該撮像工程で撮像した撮像画によってウエーハの完全切断が可能か否か判断する判断工程と、
該判断工程での判断により該切削ブレードの下降量を増加させる調整工程を含むウエーハの分割方法。
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