JP5084308B2 - ステージ装置、及びステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置 - Google Patents

Description

本発明は、ステージ装置、及びステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置に関する。

特許文献１のビデオカメラは、レンズ群の一部が補正レンズ（レンズ群１０３）であり、この補正レンズ１０３は光軸に対して直交する平面上を移動可能である。補正レンズ１０３を収納するレンズ鏡筒１０４の内周面には複数の電磁石１０５が装着してあり、補正レンズ１０３の外周部には各電磁石１０５と対向する固定鉄芯１０６が固定してある。

このビデオカメラでは、電磁石１０５のコイルに電流を流して電磁石１０５に磁力を発生させることにより、補正レンズ１０３をレンズ鏡筒１０４の内周面から離間させる（浮き上がらせる）。
そして、このように補正レンズ１０３がレンズ鏡筒１０４の内周面から離間した状態（浮き上がった状態）でビデオカメラに手振れが生じたときに、電磁石１０５のコイルに電流を流して電磁石１０５に磁力を発生させ、この磁力を利用して各電磁石１０５と対向する固定鉄芯１０６の間の距離を変化させる。すると補正レンズ１０３の上記平面上の位置が変化するので、ビデオカメラに生じた手振れが打ち消される。
特開平９−４３６６３号公報

特許文献１のビデオカメラでは、電磁石１０５と固定鉄芯１０６を利用して補正レンズ１０３を駆動しているので、手振補正動作を行うためには電磁石１０５のコイルに大きな電流を流させなければならない。しかも、補正レンズ１０３をレンズ鏡筒１０４の内周面から離間させるためには、電磁石１０５のコイルに電流を流す必要があるので、省エネルギー化を図るのが難しい。

本発明の目的は、電磁石を利用して手振補正動作を行なうタイプでありながら、少ない電力によって手振補正動作を実現できるステージ装置及びカメラの手振れ補正装置を提供することにある。

本発明のステージ装置は、固定支持基板に固定した特定のＸ方向に並ぶ一対のＸ用第１磁石と、上記固定支持基板に対して特定の基準平面上を相対移動可能なステージ部材と、上記ステージ部材に固定した、上記一対のＸ用第１磁石とそれぞれ上記Ｘ方向に対向し、対向するＸ用第１磁石との間に上記Ｘ方向の吸引力または反発力を発生する一対のＸ用第２磁石と、を備え、上記固定支持基板に固定した上記Ｘ方向に対して直交するＹ方向に並ぶ一対のＹ用第１磁石と、上記ステージ部材に固定した、上記２つのＹ用第１磁石とそれぞれ上記Ｙ方向に対向し、対向するＹ用第１磁石との間に上記Ｙ方向の吸引力または反発力を発生する一対のＹ用第２磁石と、を備え、互いに対向する上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石の一方を永久磁石としかつ他方を電磁石とし、互いに対向する上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石の一方を永久磁石としかつ他方を電磁石とし、上記ステージ部材を挟んで上記固定支持基板と反対側に該ステージ部材を移動可能に支持する支持部材を設け、上記Ｘ用第２磁石を上記Ｘ用第１磁石より上記支持部材側に位置させ、かつ、上記Ｙ用第２磁石を上記Ｙ用第１磁石より上記支持部材側に位置させたことを特徴としている。

Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石が共に上記基準平面と平行な特定の平面上に位置しているのが好ましい。

さらに、上記Ｘ用第１磁石に、上記基準平面と平行でＸ方向に直交するＹ方向に互いに離間する一対の磁界発生部を設け、かつ、上記Ｘ用第２磁石に該磁界発生部とそれぞれ対向する、互いにＹ方向に離間する一対の磁界発生部を設けるのが好ましい。
この場合は、上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石のうち永久磁石のものに、該永久磁石のＮ極とＳ極にそれぞれ連続しかつ磁性体からなる一対の上記磁力発生部を設けるのが好ましい。
さらに、上記永久磁石と磁性体に互いに面一をなす平面を形成し、該永久磁石と磁性体の上記平面同士にＰＥＴからなる連結板を接着してもよい。

さらに、上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石の少なくとも一方のＹ方向の両端部に上記磁界発生部を形成するのがよい。
さらに、上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石の一方の上記磁界発生部のＹ方向寸法が他方の上記磁界発生部より大きいのが好ましい。

上記Ｘ用第２磁石の板厚を該ステージ部材以下とし、上記Ｘ用第２磁石の表裏両面を上記ステージ部材の表裏両面から突出させず該ステージ部材の板厚内に収めるのが好ましい。

上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石の一方を構成する上記電磁石は、例えば、磁性体からなる芯材にコイルを巻回した構造とすることにより具現化できる。

上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石が共に上記基準平面と平行な特定の平面上に位置しているが好ましい。

さらに、上記Ｙ用第１磁石に、上記基準平面と平行でＸ方向に互いに離間する一対の磁界発生部を設け、かつ、上記Ｙ用第２磁石に該磁界発生部とそれぞれ対向する、互いにＸ方向に離間する一対の磁界発生部を設けるのが好ましい。
この場合は、上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石のうち永久磁石のものに、該永久磁石のＮ極とＳ極にそれぞれ連続しかつ磁性体からなる一対の上記磁力発生部を設けるのが好ましい。
さらに、上記永久磁石と磁性体に互いに面一をなす平面を形成し、該永久磁石と磁性体の上記平面同士にＰＥＴからなる連結板を接着してもよい。

さらに、上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石の少なくとも一方のＸ方向の両端部に上記磁界発生部を形成するのがよい。
さらに、上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石の一方の上記磁界発生部のＸ方向寸法が他方の上記磁界発生部より大きいのが好ましい。

さらに、上記Ｙ用第２磁石の板厚を該ステージ部材以下とし、上記Ｙ用第２磁石の表裏両面を上記ステージ部材の表裏両面から突出させず該ステージ部材の板厚内に収めるのが好ましい。

上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石の一方を構成する上記電磁石は、磁性体からなる芯材にコイルを巻回した構造とすることにより具現化できる。

Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石のみならずＹ用第１磁石とＹ用第２磁石を具備する場合は、カメラに内蔵した上記ステージ装置と、上記ステージ部材の前面に固定された撮像素子と、上記カメラのＸ方向の振動とＹ方向の振動を検出する振動検出センサと、上記電磁石に電力を供給する電力供給手段と、を備え、上記電力供給手段が、上記振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記カメラに生じた手振れを打ち消すように上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石のうちの電磁石のもの、及び上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石のうちの電磁石のものに電流を流すことにより、カメラの手振れ補正装置が得られる。

さらにカメラの手振れ補正装置は、カメラに内蔵した上記ステージ装置と、上記ステージ部材に固定された補正レンズと、上記カメラのＸ方向の振動とＹ方向の振動を検出する振動検出センサと、上記電磁石に電力を供給する電力供給手段と、を備え、上記電力供給手段が、上記振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記カメラに生じた手振れを打ち消すように上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石のうちの電磁石のもの、及び上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石のうちの電磁石のものに電流を流すことによっても得られる。

本発明のステージ装置によると、固定支持基板に固定したＸ用第１磁石（及びＹ用第１磁石）とステージ部材に固定したＸ用第２磁石（及びＹ用第２磁石）の間に生じる磁力を利用してステージ部材を固定支持基板に対してＸ方向とＹ方向に移動させるので、電磁石と鉄芯を利用した従来技術に比べてより少ない電力でステージ部材を駆動できる。
さらに、電磁石の芯材を永久磁石にすれば、電磁石に電流を流さなくてもステージ部材を特定の位置に保持できるので、さらなる省エネルギー化を図ることが可能である。

以下、図１〜図４を参照して、本発明の第１の実施形態について説明する。以下の説明では図１及び図２の矢線で示すように、カメラデジタルカメラ１０の手振補正装置２０の左右方向をＸ方向、上下方向をＹ方向、前後方向をＺ方向と定義する。
まずはカメラデジタルカメラ１０及び手振補正装置２０の基本構造について説明する。
図１に示すように、デジタルカメラ１０（カメラ）のレンズ鏡筒１１内には、複数のレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３からなる光学系が配設してあり（符号Ｏはカメラの光軸）、カメラボディ１２内にはレンズＬ３の直後に位置する手振補正装置２０が配設されている。

手振補正装置２０は図２から図４に示す構造である。
図２から図４に示すように手振補正装置２０は、正面視長方形の前側固定支持基板（固定支持基板）２１と、正面形状が前側固定支持基板２１と同一である後側固定支持基板２２と、を備えている。前側固定支持基板２１の後面と後側固定支持基板２２の前面の対応する４カ所同士は連結支柱２３によって連結してあり、前側固定支持基板２１と後側固定支持基板２２は互いに平行をなしている。そして、図示を省略した３つの固定ねじによって後側固定支持基板２２をカメラボディ１２の内面に固定している。

前側固定支持基板２１の中央部には正面視略方形の窓孔２４が穿設してある。窓孔２４には、正面視方形の枠体である支持枠２５の後端部が嵌合固定してあり、支持枠２５の前端開口部には赤外線カットフィルタ２６が嵌合固定してある。前側固定支持基板２１の後面の４カ所には支持突部２８が突設してある。各支持突部２８の後面には半球状の凹部（図示略）が凹設してあり、各凹部には金属製のボール２９の前半部が回転可能に嵌合している。
さらに前側固定支持基板２１の後面には、前側固定支持基板２１の４つの側辺に沿う態様で４つの台座３０が固定してあり、各台座３０の後面には電磁石３１Ａ（Ｙ用第１磁石）、電磁石３１Ｂ（Ｘ用第１磁石）、電磁石３１Ｃ（Ｙ用第１磁石）、電磁石３１Ｄ（Ｘ用第１磁石）が固着してある。

電磁石３１Ａ、電磁石３１Ｂ、電磁石３１Ｃ、電磁石３１Ｄは共に、正面視略長方形の鉄芯３２Ａ、鉄芯３２Ｂ、鉄芯３２Ｃ、鉄芯３２Ｄ（鉄芯３２Ａと鉄芯３２Ｃは互いに同一仕様であり、鉄芯３２Ｂと鉄芯３２Ｄは互いに同一仕様）と、鉄芯３２Ａ、鉄芯３２Ｂ、鉄芯３２Ｃ、鉄芯３２Ｄの中央部に数百回巻回された導電性のコイル３３Ａ、コイル３３Ｂ、コイル３３Ｃ、コイル３３Ｄとを具備している（コイル３３Ａとコイル３３Ｃの巻き方向と巻き数は同一であり、コイル３３Ｂとコイル３３Ｄの巻き方向と巻き数は同一である）。各コイル３３Ａ、コイル３３Ｂ、コイル３３Ｃ、コイル３３Ｄの前面は対応する台座３０の後端面に固定されており、鉄芯３２Ａ、鉄芯３２Ｂ、鉄芯３２Ｃ、鉄芯３２Ｄは総て前側固定支持基板２１及び後側固定支持基板２２と平行な特定の一平面上に位置している。
鉄芯３２Ａ及び鉄芯３２ＣはＸ方向と平行な方向に延びており、鉄芯３２Ｂ及び鉄芯３２ＤはＹ方向と平行な方向に延びている。鉄芯３２Ａの両端部から下方に突出する突部はそれぞれコイル３３Ａに電流が流れたときにＳ極（磁界発生部）とＮ極（磁界発生部）を構成する。同様に、鉄芯３２Ｂの両端部から左方に向かって突出する突部はそれぞれコイル３３Ｂに電流が流れたときにＳ極（磁界発生部）とＮ極（磁界発生部）を構成し、鉄芯３２Ｃの両端部から上方に向かって突出する突部はそれぞれコイル３３Ｃに電流が流れたときにＳ極（磁界発生部）とＮ極（磁界発生部）を構成し、鉄芯３２Ｄの両端部から右方に向かって突出する突部はそれぞれコイル３３Ｄに電流が流れたときにＳ極（磁界発生部）とＮ極（磁界発生部）を構成する。

後側固定支持基板２２の前面の各支持突部２８と対応する位置には支持突部３５が前向きに突設してあり、各支持突部３５に凹設した半球状の凹部（図示略）には金属製のボール３６の後半部が回転可能に嵌合している。
さらに、後側固定支持基板２２の前面の中心部には永久磁石３７が固着してある。

前側固定支持基板２１と後側固定支持基板２２の間には前側固定支持基板２１及び後側固定支持基板２２と平行で正面視略方形のステージ板４０（ステージ部材）が位置している。このステージ板４０の前面４カ所にはボール２９が回転可能に接触しており、ステージ板４０の後面４カ所にはボール３６が回転可能に接触している。即ち、ステージ板４０は４つのボール２９及び４つのボール３６によって前後から挟持されている。従って、ステージ板４０は前側固定支持基板２１及び後側固定支持基板２２と平行な特定の基準平面上をＸ方向とＹ方向に直線移動できるだけでなく、該基準平面上を回転可能である。
ステージ板４０の各側縁部にはそれぞれ切欠４１Ａ、切欠４１Ｂ、切欠４１Ｃ、切欠４１Ｄが凹設してある（切欠４１Ａと切欠４１Ｃの形状は同一であり、切欠４１Ｂと切欠４１Ｄの形状は同一）。
切欠４１Ａには、永久磁石４２Ａ（Ｙ用第２磁石）のＮ極とＳ極の端面に左右一対の鉄材４３Ａをそれぞれ固着した磁石ユニットが嵌合固定してある。左右の鉄材４３Ａは同一仕様であり、右側の鉄材４３Ａから上側に突出する突部は鉄芯３２ＡのＮ極と対向するＳ極を構成し、左側の鉄材４３Ａから上側に突出する突部は鉄芯３２ＡのＳ極と対向するＮ極を構成している。同様に、切欠４１Ｃには永久磁石４２Ａと同一仕様の永久磁石４２Ｃ（Ｙ用第２磁石）のＮ極とＳ極の端面に鉄材４３Ａと同一仕様の鉄材４３Ｃをそれぞれ固着した磁石ユニットが嵌合固定してあり、右側の鉄材４３Ｃから下側に突出する突部は鉄芯３２ＣのＮ極と対向するＳ極を構成し、左側の鉄材４３Ｃから下側に突出する突部は鉄芯３２ＣのＳ極と対向するＮ極を構成している。
切欠４１Ｂには、永久磁石４２Ａと同一仕様の永久磁石４２Ｂ（Ｘ用第２磁石）のＮ極とＳ極の端面に上下一対の鉄材４３Ｂをそれぞれ固着した磁石ユニットが嵌合固定してある。上下の鉄材４３Ｂは同一仕様であり、上側の鉄材４３Ｂから右側に突出する突部は鉄芯３２ＢのＳ極と対向するＮ極を構成し、下側の鉄材４３Ｂから右側に突出する突部は鉄芯３２ＢのＮ極と対向するＳ極を構成している。同様に、切欠４１Ｄには永久磁石４２Ｂと同一仕様の永久磁石４２Ｄ（Ｘ用第２磁石）のＮ極とＳ極の端面に鉄材４３Ｂと同一仕様の鉄材４３Ｄをそれぞれ固着した磁石ユニットが嵌合固定してあり、上側の鉄材４３Ｄから左側に突出する突部は鉄芯３２ＤのＳ極と対向するＮ極を構成し、下側の鉄材４３Ｄから左側に突出する突部は鉄芯３２ＤのＮ極と対向するＳ極を構成している。
永久磁石４２Ａ、永久磁石４２Ｂ、永久磁石４２Ｃ、永久磁石４２Ｄ、鉄材４３Ａ、鉄材４３Ｂ、鉄材４３Ｃ及び鉄材４３ＤのＺ方向の板厚はステージ板４０と同一であり、ステージ板４０、永久磁石４２Ａ、永久磁石４２Ｂ、永久磁石４２Ｃ、永久磁石４２Ｄ、鉄材４３Ａ、鉄材４３Ｂ、鉄材４３Ｃ及び鉄材４３Ｄの前面と後面は総て連続している（面一である）。

図示は省略してあるが、前側固定支持基板２１にはステージ板４０の移動範囲を特定の範囲に規制する移動範囲規制手段が設けてあるので、鉄芯３２ＡのＳ極とＮ極は鉄材４３ＡのＮ極とＳ極とそれぞれ常に対向し、鉄芯３２ＣのＳ極とＮ極は鉄材４３ＣのＮ極とＳ極とそれぞれ常に対向する。同様に、鉄芯３２ＢのＳ極とＮ極は鉄材４３ＢのＮ極とＳ極とそれぞれ常に対向し、鉄芯３２ＤのＳ極とＮ極は鉄材４３ＤのＮ極とＳ極とそれぞれ常に対向する。
図２に示すように、鉄芯３２Ａ及び鉄芯３２ＣのＳ極とＮ極は鉄材４３Ａ及び鉄材４３ＣのＮ極とＳ極より広幅であり、鉄芯３２Ｂ及び鉄芯３２ＤのＳ極とＮ極は鉄材４３Ｂ及び鉄材４３ＤのＮ極とＳ極より広幅である。さらに図３に示すように、ステージ板４０、永久磁石４２Ａ、永久磁石４２Ｂ、永久磁石４２Ｃ、永久磁石４２Ｄ、鉄材４３Ａ、鉄材４３Ｂ、鉄材４３Ｃ及び鉄材４３Ｄは、鉄芯３２Ａ、鉄芯３２Ｂ、鉄芯３２Ｃ及び鉄芯３２Ｄが位置する平面上に位置している。

ステージ板４０の後面中央部には永久磁石３７とＺ方向に対向する２軸ホールセンサ４５が固着してある。この２軸ホールセンサ４５は、永久磁石３７が作り出す磁界を利用して、ステージ板４０の後側固定支持基板２２に対するＸ方向位置とＹ方向位置を検出するものである。
ステージ板４０の前面中央部には、その前面が撮像面４８を構成する撮像素子４７が固着してある。図２に示すように撮像素子４７は、ステージ板４０の上辺及び下辺と平行な上下一対のＸ方向辺４７Ｘと、ステージ板４０の右辺及び左辺と平行な左右一対のＹ方向辺４７Ｙとを具備している。図２に示すように、ステージ板４０が撮像面４８の中心と光軸Ｏが重なる初期位置に位置するとき、一対のＸ方向辺４７ＸはＸ方向と平行となり、一対のＹ方向辺４７ＹはＹ方向と平行になる。ステージ板４０の前面の撮像素子４７の周囲にはホルダ４９の後端部が固着してあり、ホルダ４９の前面には撮像面４８とＺ方向に対向する窓孔５０が穿設してある。さらに、ホルダ４９の前壁の後面には光学ローパスフィルタ５１が固定してある。
図１に示すようにカメラボディ１２の内部にはカメラボディ１２の振動を検出するための２軸ジャイロセンサＧＳ（振動検出センサ）が固定してあり、この２軸ジャイロセンサＧＳはカメラボディ１２の内部に固定したＣＰＵ等によって構成される制御手段Ｃ（電力供給手段）と電気的に接続している。さらに、この制御手段Ｃはコイル３３Ａ、コイル３３Ｂ、コイル３３Ｃ、コイル３３Ｄ、２軸ホールセンサ４５、撮像素子４７及びバッテリＢ（図１参照。電力供給手段）と電気的に接続している。

次にデジタルカメラ１０及び手振補正装置２０の動作について説明する。
撮影者がカメラボディ１２に設けたメインスイッチＭＳ（図１参照）を押すと、制御手段ＣがバッテリＢの電力をコイル３３Ａ、コイル３３Ｂ、コイル３３Ｃ及びコイル３３Ｄに流す。このとき、コイル３３Ａとコイル３３Ｃには同じ方向の電流が、コイル３３Ａの方がコイル３３Ｃより大きくなるように流れる。そのため、鉄芯３２ＡのＮ極と鉄材４３ＡのＳ極の間、鉄芯３２ＡのＳ極と鉄材４３ＡのＮ極の間、鉄芯３２ＣのＮ極と鉄材４３ＣのＳ極の間、及び鉄芯３２ＣのＳ極と鉄材４３ＣのＮ極の間には総て吸引力が生じる。さらに、ステージ板４０、永久磁石４２Ａ、永久磁石４２Ｂ、永久磁石４２Ｃ、永久磁石４２Ｄ、鉄材４３Ａ、鉄材４３Ｂ、鉄材４３Ｃ、鉄材４３Ｄ及び２軸ホールセンサ４５等からなる一体物を上方に引き上げる吸引力である、鉄芯３２ＡのＮ極と鉄材４３ＡのＳ極の間、及び鉄芯３２ＡのＳ極と鉄材４３ＡのＮ極の間の吸引力が、鉄芯３２ＣのＮ極と鉄材４３ＣのＳ極の間、及び鉄芯３２ＣのＳ極と鉄材４３ＣのＮ極の間の吸引力より大きくなる。
一方、コイル３３Ｂとコイル３３Ｄには同じ方向かつ同じ大きさの電流が流れるので、鉄芯３２ＢのＮ極と鉄材４３ＢのＳ極の間、鉄芯３２ＢのＳ極と鉄材４３ＢのＮ極の間、鉄芯３２ＤのＮ極と鉄材４３ＤのＳ極の間、及び鉄芯３２ＤのＳ極と鉄材４３ＤのＮ極の間には総て同じ大きさの吸引力が生じる。
そのため、ステージ板４０は図２に示す初期位置に移動し、該初期位置に保持される。

次いでカメラボディ１２に設けた手振補正スイッチＳＷ（図１参照）をＯＮにすると、カメラボディ１２に設けた２軸ジャイロセンサＧＳがカメラボディ１２のＸ方向とＹ方向の手振れ量を検出する。従って、例えばカメラボディ１２にＸ方向右側（手振補正装置２０を後方から見たときの右方向。「左側」の場合も同様である）の手振れが生じ２軸ジャイロセンサＧＳがこの手振れを検出すると、制御手段Ｃはコイル３３Ｄに流す電流の大きさをより大きくする（または、コイル３３Ｂに流す電流の大きさを小さくする）。すると、鉄芯３２Ｄと鉄材４３Ｄの間に生じる吸引力が鉄芯３２Ｂと鉄材４３Ｂの間に生じる吸引力より大きくなるので、ステージ板４０が前側固定支持基板２１及び後側固定支持基板２２に対して図２の位置からＸ方向左側に移動し、２軸ホールセンサ４５によって検出されるステージ板４０の左側への移動量がカメラボディ１２の右側への手振れ量と一致することにより手振れが補正される。
カメラボディ１２にＸ方向左側の手振れが生じた場合は、制御手段Ｃがコイル３３Ｂにより大きな電流を流し（またはコイル３３Ｄ流す電流の大きさを小さくし）てステージ板４０をＸ方向右側に移動させることにより手振れを補正する。また、カメラボディ１２にＹ方向上側の手振れが生じた場合は、制御手段Ｃがコイル３３Ｃにより大きな電流を流して（または、コイル３３Ａにより小さい電流を流して）ステージ板４０をＹ方向下側に移動させることにより手振れを補正し、カメラボディ１２にＹ方向下側の手振れが生じた場合は、制御手段Ｃがコイル３３Ａにより大きな電流を流して（またはコイル３３Ｃに流す電流の大きさを小さくし）ステージ板４０を上側に移動させることにより手振れを補正する。
このように手振れを補正した状態で図示を省略したシャッターボタンを全押しすると、撮像素子４７により像ぶれのない画像が撮像される。
さらに、撮像素子４７による撮像前または撮像後に手振れが無くなると、２軸ジャイロセンサＧＳが手振れがなくなったことを検知する。すると、制御手段Ｃがコイル３３Ａ、コイル３３Ｂ、コイル３３Ｃ、及びコイル３３Ｄに流す電流を制御してステージ板４０を初期位置に復帰させ、該初期位置に保持する。

以上説明した本実施形態によれば、前側固定支持基板２１に固定した電磁石３１Ａ、電磁石３１Ｂ、電磁石３１Ｃ及び電磁石３１Ｄと、ステージ板４０に固定した永久磁石４２Ａ（鉄材４３Ａ）、永久磁石４２Ｂ（鉄材４３Ｂ）、永久磁石４２Ｃ（鉄材４３Ｃ）及び永久磁石４２Ｄ（鉄材４３Ｄ）との間に生じる磁力を利用してステージ板４０を前側固定支持基板２１及び後側固定支持基板２２に対してＸ方向とＹ方向に移動させるので、電磁石と鉄芯を利用した従来技術に比べてより少ない電力でステージ板４０を駆動できる。

さらに、ステージ板４０に切欠４１Ａ、切欠４１Ｂ、切欠４１Ｃ及び切欠４１Ｄを形成しこれらに永久磁石４２Ａと鉄材４３Ａ、永久磁石４２Ｂと鉄材４３Ｂ、永久磁石４２Ｃと鉄材４３Ｃ及び永久磁石４２Ｄと鉄材４３Ｄをその前面と後面がステージ板４０の前面と後面とそれぞれ連続するように嵌合し、しかもステージ板４０、永久磁石４２Ａと鉄材４３Ａ、永久磁石４２Ｂと鉄材４３Ｂ、永久磁石４２Ｃと鉄材４３Ｃ及び永久磁石４２Ｄと鉄材４３Ｄを、鉄芯３２Ａ、鉄芯３２Ｂ、鉄芯３２Ｃ及び鉄芯３２Ｄと同一平面上に位置させたので、永久磁石４２Ａと鉄材４３Ａ、永久磁石４２Ｂと鉄材４３Ｂ、永久磁石４２Ｃと鉄材４３Ｃ及び永久磁石４２Ｄと鉄材４３Ｄをステージ板４０の前面または後面に固定する場合に比べて手振補正装置２０を薄く構成できる。
しかも、鉄芯３２Ａ及び鉄芯３２ＣのＳ極とＮ極が鉄材４３Ａ及び鉄材４３ＣのＮ極とＳ極より広幅であり、鉄芯３２Ｂ及び鉄芯３２ＤのＳ極とＮ極が鉄材４３Ｂ及び鉄材４３ＤのＮ極とＳ極より広幅なので、ステージ板４０が初期位置から移動しても鉄芯３２Ａ及び鉄芯３２ＣのＳ極とＮ極を鉄材４３Ａ及び鉄材４３ＣのＮ極とＳ極とそれぞれ常に対向させることができ、鉄芯３２Ｂ及び鉄芯３２ＤのＳ極とＮ極を鉄材４３Ｂ及び鉄材４３ＤのＮ極とＳ極とそれぞれ常に対向させることが可能である。

次に本発明の第２の実施形態について図５及び図６を参照しながら説明する。なお、第１の実施形態と同じ部材には同じ符号を付すに止めて、その詳細な説明は省略する。
本実施形態の特徴は手振補正装置２０にあり、第１の実施形態の手振補正装置２０と比べた場合の相違点は２つである。
一つ目の相違点は、電磁石６０Ａ、電磁石６０Ｂ、電磁石６０Ｃ及び電磁石６０Ｄの構成である。即ち、電磁石６０Ａ（Ｙ用第１磁石）、電磁石６０Ｂ（Ｘ用第１磁石）、電磁石６０Ｃ（Ｙ用第１磁石）及び電磁石６０Ｄ（Ｘ用第１磁石）は軟磁性体６１Ａ、軟磁性体６１Ｂ、軟磁性体６１Ｃ及び軟磁性体６１Ｄにコイル３３Ａ、コイル３３Ｂ、コイル３３Ｃ及びコイル３３Ｄを巻回し、かつ軟磁性体６１Ａ、軟磁性体６１Ｂ、軟磁性体６１Ｃ及び軟磁性体６１Ｄの両端部に、永久磁石６１ＡＮ（磁界発生部）と永久磁石６１ＡＳ（磁界発生部）、永久磁石６１ＢＮ（磁界発生部）と永久磁石６１ＢＳ（磁界発生部）、永久磁石６１ＣＮ（磁界発生部）と永久磁石６１ＣＳ（磁界発生部）、永久磁石６１ＤＮ（磁界発生部）と永久磁石６１ＤＳ（磁界発生部）とをそれぞれ設けた構成である。永久磁石６１ＣＮ、６１ＣＳは永久磁石６１ＡＮ、６１ＡＳよりも強く（永久磁石６１ＣＮと永久磁石６１ＣＳは同じ強さであり、永久磁石６１ＡＮと永久磁石６１ＡＳは同じ強さ）、永久磁石６１ＢＮ、６１ＢＳ、６１ＤＮ、６１ＤＳは総て同じ強さである。永久磁石６１ＡＳ、６１ＢＳ、６１ＣＳ、６１ＤＳは、鉄材４３Ａ、４３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄの各Ｓ極との対向部がＳ極であり、永久磁石６１ＡＮ、６１ＢＮ、６１ＣＮ、６１ＤＮは、鉄材４３Ａ、４３Ｂ、４３Ｃ、４３Ｄの各Ｎ極との対向部がＮ極である。
コイル３３Ａ、コイル３３Ｂ、コイル３３Ｃ及びコイル３３Ｄは台座３０を介さずに前側固定支持基板２１に直接固定してある。上記移動範囲規制手段の働きにより、永久磁石６１ＡＮ、永久磁石６１ＢＮ、永久磁石６１ＣＮ、永久磁石６１ＤＮのＮ極は鉄材４３ＡのＮ極、鉄材４３ＢのＮ極、鉄材４３ＣのＮ極、鉄材４３ＤのＮ極と常にそれぞれ対向し、永久磁石６１ＡＳ、永久磁石６１ＢＳ、永久磁石６１ＣＳ、永久磁石６１ＤＳのＳ極は鉄材４３ＡのＳ極、鉄材４３ＢのＳ極、鉄材４３ＣのＳ極、鉄材４３ＤのＳ極と常にそれぞれ対向する。

電磁石６０Ａ、電磁石６０Ｂ、電磁石６０Ｃ及び電磁石６０Ｄをこのように構成したので、コイル３３Ａ、コイル３３Ｂ、コイル３３Ｃ、コイル３３Ｄに電流を流さなくても、永久磁石６１ＡＮのＮ極と鉄材４３ＡのＮ極の間、及び永久磁石６１ＡＳのＳ極と鉄材４３ＡのＳ極の間には同じ大きさの反発力が生じ、永久磁石６１ＣＮのＮ極と鉄材４３ＣのＮ極の間、及び永久磁石６１ＣＳのＳ極と鉄材４３ＣのＳ極の間には互いに同じ大きさでかつ永久磁石６１ＡＮのＮ極と鉄材４３ＡのＮ極の間、及び、永久磁石６１ＡＳのＳ極と鉄材４３ＡのＳ極の間の反発力より大きい反発力が生じる。一方、永久磁石６１ＢＮと鉄材４３ＢのＮ極の間、永久磁石６１ＢＳと鉄材４３ＢのＳ極の間、永久磁石６１ＤＮと鉄材４３ＤのＮ極の間、及びＳ極６１ＳＮと鉄材４３ＤのＳ極の間には同じ大きさの反発力が生じる。従って、コイル３３Ａ、コイル３３Ｂ、コイル３３Ｃ、コイル３３Ｄに電流を流さなくてもステージ板４０は初期位置の近傍に保持される。

撮影者がカメラボディ１２に設けたメインスイッチＭＳを押すと、制御手段ＣがバッテリＢの電力をコイル３３Ａ、コイル３３Ｂ、コイル３３Ｃ及びコイル３３Ｄに流し、ステージ板４０を初期位置に移動させる。上述のように、コイル３３Ａ、コイル３３Ｂ、コイル３３Ｃ、コイル３３Ｄに電流を流さなくてもステージ板４０は初期位置の近傍に保持されるので、ステージ板４０の初期位置への移動に必要な電流は少量である。
そしてカメラボディ１２に手振が生じたときに、制御手段Ｃがコイル３３Ａ、コイル３３Ｂ、コイル３３Ｃ、及びコイル３３Ｄに流す電流を制御（増減）すれば、ステージ板４０がＸ方向及び（または）Ｙ方向に移動するので、第１の実施形態と同様に手振れを補正できる。

２つ目の相違点は、図６から明らかなように、永久磁石６１ＡＳ、６１ＡＮ、６１ＢＳ、６１ＢＮ、６１ＣＮ、６１ＣＳ、６１ＤＮ、６１ＤＳが位置する平面に比べて、ステージ板４０、永久磁石４２Ａと鉄材４３Ａ、永久磁石４２Ｂと鉄材４３Ｂ、永久磁石４２Ｃと鉄材４３Ｃ及び永久磁石４２Ｄと鉄材４３Ｄが位置する平面が後側固定支持基板２２側に位置する点である。
このような位置関係でステージ板４０、永久磁石４２Ａと鉄材４３Ａ、永久磁石４２Ｂと鉄材４３Ｂ、永久磁石４２Ｃと鉄材４３Ｃ及び永久磁石４２Ｄと鉄材４３Ｄを配置したので、図６の矢印で示すように、鉄材４３Ａには永久磁石６１ＡＳのＳ極及び永久磁石６１ＡＮのＮ極から後側固定支持基板２２側への付勢力が掛かり、鉄材４３Ｃには永久磁石６１ＣＳのＳ極及び永久磁石６１ＣＮのＮ極から後側固定支持基板２２側への付勢力が掛かる。同様に鉄材４３Ｂには永久磁石６１ＢＳのＳ極及び永久磁石６１ＢＮのＮ極から後側固定支持基板２２側への付勢力が掛かり、鉄材４３Ｄには永久磁石６１ＤＳのＳ極及び永久磁石６１ＤＮのＮ極から後側固定支持基板２２側への付勢力が掛かるので、ステージ板４０の後面は常にボール３６（支持部材）に回転可能に接触する。

このように本実施形態では、コイル３３Ａ、コイル３３Ｂ、コイル３３Ｃ、コイル３３Ｄに電流を流さなくてもステージ板４０を初期位置近傍に保持できるので、第１の実施形態に比べてさらに省エネルギー化を図ることが可能である。
さらに、微弱な電流でステージ板４０が初期位置に移動及び保持できるので、手振補正時における制御も第１の実施形態に比べて容易である。

また、コイル３３Ａ、３３Ｂ、３３Ｃ、３３Ｄの巻き線を第１の実施形態に比べて少なくできる。従って、手振補正装置２０をより小型化かつ軽量化することが可能である。
しかも、永久磁石６１ＡＳ、６１ＡＮ、６１ＢＳ、６１ＢＮ、６１ＣＮ、６１ＣＳ、６１ＤＮ、６１ＤＳの磁力によってステージ板４０の後面が常にボール３６に回転可能に接触するので、第１の実施形態では必要だった４つの支持突部２８及びボール２９が不要になる。従って、第１の実施形態に比べて部品点数を少なくすることが可能である。

以上、上記実施形態を利用して本発明を説明したが、本発明は本実施形態に限定されるものではなく、様々な変更を施しながら実施可能である。
例えば、図７及び図８に示すように、第１の実施形態の前側固定支持基板２１の左右両側部に切欠２７を形成し、左右の切欠２７に電磁石７０Ｂ（Ｘ用第１磁石）と電磁石７０Ｄ（Ｘ用第１磁石）を嵌合固定してもよい。
電磁石７０Ｂと電磁石７０Ｄは、側面視略長方形をなす板状の鉄芯７１Ｂと鉄芯７１Ｄにコイル３３Ｂとコイル３３Ｄを巻回し、鉄芯７１Ｂと鉄芯７１Ｄの上下の端面に磁性体からなるＳ極部材７２ＢＳ（磁界発生部）、Ｎ極部材７２ＢＮ（磁界発生部）、Ｓ極部材７２ＤＳ（磁界発生部）及びＮ極部材７２ＤＮ（磁界発生部）をそれぞれ固着し、コイル３３Ｂとコイル３３Ｄを切欠２７の壁面に固着したものである。鉄芯７１Ｂと鉄芯７１ＤはＸ方向よりもＺ方向の板厚が大きい板状部材であり、Ｓ極部材７２ＢＳ、Ｎ極部材７２ＢＮ、Ｓ極部材７２ＤＳ及びＮ極部材７２ＤＮはＺ方向よりＸ方向の板厚が大きい板状部材である。
このような変形例によれば、電磁石７０Ｂと電磁石７０ＤのＸ方向寸法を第１の実施例の電磁石３１Ｂ及び電磁石３１Ｄより小さくすることができるので、手振補正装置２０のＸ方向寸法を第１の実施形態により小さくすることが可能である。
なお、第１の実施形態の電磁石３１Ａや電磁石３１Ｃを電磁石７０Ｂ及び電磁石７０Ｄと同一の構成にしたり、第２の実施形態の電磁石６０Ａ、電磁石６０Ｂ、電磁石６０Ｃ、電磁石６０Ｄを電磁石７０Ｂ及び電磁石７０Ｄと同一の構成にすることも可能である。

また図９に示すように、第１または第２の実施形態（上記変形例を含む）の永久磁石４２Ｃと鉄材４３Ｃの共に平面である前後両面を互いに連続させ、永久磁石４２Ｃと鉄材４３Ｃの前面間及び後面間にＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）製の連結板７５を接着し、前後の連結板７５により永久磁石４２Ｃと鉄材４３Ｃを結合してもよい。
このようにすれば、永久磁石４２Ｃと鉄材４３Ｃの端面同士を接着する場合に比べて、永久磁石４２Ｃと鉄材４３Ｃをより簡単かつ確実に固定することができる。
なお、このように連結板７５を用いた結合方法は、永久磁石４２Ａと鉄材４３Ａ、永久磁石４２Ｂと鉄材４３Ｂ、あるいは永久磁石４２Ｄと鉄材４３Ｄの間にも当然適用可能である。

さらに、図１０に示すように電磁石３１Ｃの鉄芯３２Ｃの左右両端部よりやや内側にＳ極とＮ極を構成する突部を構成してもよい。
また、図１１に示すように左右の軟磁性体６１Ｃの端部よりやや内側に永久磁石６１ＣＮと永久磁石６１ＣＳを突設してもよい。
なお、図１０の変形例は電磁石３１Ａ、電磁石３１Ｂ及び電磁石３１Ｄにも当然適用可能であり、図１１の変形例は電磁石６０Ａ、電磁石６０Ｂ及び電磁石６０Ｄにも当然適用可能である。

さらに、第１の実施形態において鉄芯３２Ａ、鉄芯３２Ｂ、鉄芯３２Ｃ、鉄芯３２Ｄを第２の実施形態のように永久磁石に代えて、この４つの永久磁石と鉄材４３Ａ、鉄材４３Ｂ、鉄材４３Ｃ及び鉄材４３Ｄの間に吸引力を発生させてもよい。また、このように鉄芯３２Ａ、鉄芯３２Ｂ、鉄芯３２Ｃ、鉄芯３２Ｄを永久磁石に代えた場合に、この永久磁石よりもステージ板４０を前側固定支持基板２１側または後側固定支持基板２２側に位置させて、この永久磁石と鉄材４３Ａ、鉄材４３Ｂ、鉄材４３Ｃ及び鉄材４３Ｄの間に生じる吸引力を利用してステージ板４０を前側固定支持基板２１側または後側固定支持基板２２側に吸引し、ステージ板４０の前面または後面をボール２９とボール３６の一方に接触させ、ボール２９（及び支持突部２８）とボール３６（及び支持突部３５）の他方を省略してもよい。
また、ステージ板４０に固定した鉄材４３Ａ及び鉄材４３ＣのＳ極とＮ極のＸ方向寸法を鉄芯３２Ａと鉄芯３２ＣのＳ極とＮ極のＸ方向寸法より大きくしたり、永久磁石６１ＡＳ、永久磁石６１ＡＮ、永久磁石６１ＣＳ、永久磁石６１ＣＮのＸ方向寸法より大きくしてもよい。同様に、鉄材４３Ｂ及び鉄材４３ＤのＳ極とＮ極のＹ方向寸法を鉄芯３２Ｂと鉄芯３２ＤのＳ極とＮ極のＹ方向寸法より大きくしたり、永久磁石６１ＢＳ、永久磁石６１ＢＮ、永久磁石６１ＤＳ、永久磁石６１ＤＮ、Ｓ極部材７２ＢＳ、Ｎ極部材７２ＢＮ、Ｓ極部材７２ＤＳ、Ｎ極部材７２ＤＮのＹ方向寸法より大きくしてもよい。
さらに、第１及び第２の実施形態において、永久磁石４２Ａ、鉄材４３Ａ、永久磁石４２Ｂ、鉄材４３Ｂ、永久磁石４２Ｃ、鉄材４３Ｃ、永久磁石４２Ｄ、鉄材４３Ｄの板厚をステージ板４０の板厚より薄くし、永久磁石４２Ａ、鉄材４３Ａ、永久磁石４２Ｂ、鉄材４３Ｂ、永久磁石４２Ｃ、鉄材４３Ｃ、永久磁石４２Ｄ、鉄材４３Ｄをステージ板４０の前後両面から突出させずに切欠４１Ａ、切欠４１Ｂ、切欠４１Ｃ、切欠４１Ｄ内に収めて実施してもよい。

また、前側固定支持基板２１に固定した磁石を（電磁石ではなく）永久磁石とし、ステージ板４０に固定した磁石を電磁石としてもよい。
さらに、鉄芯３２Ａ、鉄芯３２Ｂ、鉄芯３２Ｃ、鉄芯３２Ｄ、鉄材４３Ａ、鉄材４３Ｂ、鉄材４３Ｃ、鉄材４３Ｄ、鉄芯７１Ｂ、鉄芯７１Ｄ、Ｓ極部材７２ＢＳ、Ｓ極部材７２ＤＳ、Ｎ極部材７２ＢＮ、Ｎ極部材７２ＤＮの材料として鉄を用いたが、これらの材料として鉄以外の磁性体を利用してもよい。

また図１２に示すように、手振補正装置２０をレンズＬ１とレンズＬ３の間に設けて（手振補正装置２０の他のレンズとの位置関係はこれに限定されない）、ステージ板４０の中心部にレンズ保持孔を貫通孔として設け、このレンズ保持孔に補正レンズＣＬを嵌合固定し、さらに、カメラボディ１２の内部にレンズＬ３の直後に位置する撮像素子４７を固定して実施してもよい。
このような手振補正装置２０の補正レンズＣＬをＸ方向とＹ方向に直進移動させても、手振れ補正を行うことが可能である。さらに、このような補正レンズＣＬを用いた手振補正装置２０は、撮像素子４７を省略することにより銀塩カメラにも適用可能となる。

さらに、本発明は手振補正装置とは用途が異なるステージ装置（特定の部材がＸ方向やＹ方向への直線移動や回転が可能な装置）にも適用可能である。

本発明の第１の実施形態の手振れ補正装置を内蔵したデジタルカメラの縦断側面図である。 手振れ補正装置を、その後側固定支持基板を省略して示す背面図である。 図２のIII−III矢線に沿う断面図である。 図２のIV矢線方向に見た平面図である。 本発明の第２の実施形態の手振れ補正装置の図２と同様の背面図である。 図５のVI−VI矢線に沿う断面図である。 変形例の図２と同様の背面図である。 図７のVI矢線方向に見た底面図である。 別の変形例のステージ板の底面図である。 さらに別の変形例の永久磁石及び鉄材と電磁石の平面図である。 さらに別の変形例の永久磁石及び鉄材と電磁石の平面図である。 さらに別の変形例のデジタルカメラの縦断側面図である。

符号の説明

１０ デジタルカメラ（カメラ）
１１ レンズ鏡筒
１２ カメラボディ
２０ 手振補正装置
２１ 前側固定支持基板（固定支持基板）
２２ 後側固定支持基板
２３ 連結支柱
２４ 窓孔
２５ 支持枠
２６ 赤外線カットフィルタ
２８ 支持突部
２９ ボール
３０ 台座
３１Ａ ３１Ｂ ３１Ｃ ３１Ｄ 電磁石（Ｘ用第１磁石、Ｙ用第１磁石）
３２Ａ ３２Ｂ ３２Ｃ ３２Ｄ 鉄芯
３３Ａ ３３Ｂ ３３Ｃ ３３Ｄ コイル
３５ 支持突部
３６ ボール（支持部材）
４０ ステージ板（ステージ部材）
４１Ａ ４１Ｂ ４１Ｃ ４１Ｄ 切欠
４２Ａ ４２Ｂ ４２Ｃ ４２Ｄ 永久磁石（Ｘ用第２磁石、Ｙ用第２磁石）
４３Ａ ４３Ｂ ４３Ｃ ４３Ｄ 鉄材
４５ ２軸ホールセンサ
４７ 撮像素子
４７Ｘ Ｘ方向辺
４７Ｙ Ｙ方向辺
４８ 撮像面
４９ ホルダ
５０ 窓孔
５１ 光学ローパスフィルタ
６０Ａ ６０Ｂ ６０Ｃ ６０Ｄ 電磁石（Ｘ用第１磁石、Ｙ用第１磁石）
６１Ａ ６１Ｂ ６１Ｃ ６１Ｄ 軟磁性体
６１ＡＮ ６１ＢＮ ６１ＣＮ ６１ＤＮ 永久磁石（磁界発生部）
６１ＡＳ ６１ＢＳ ６１ＣＳ ６１ＤＳ 永久磁石（磁界発生部）
７０Ｂ ７０Ｄ 電磁石（Ｘ用第１磁石）
７１Ｂ ７１Ｄ 鉄芯
７２ＢＳ ７２ＤＳ Ｓ極部材（磁界発生部）
７２ＢＮ ７２ＤＮ Ｎ極部材（磁界発生部）
７５ 連結板
Ｂ バッテリ（電力供給手段）
Ｃ 制御手段（電力供給手段）
ＣＬ 補正レンズ
ＧＳ ２軸ジャイロセンサ（振動検出センサ）
Ｏ 光軸
ＭＳ メインスイッチ
ＳＷ 手振補正スイッチ

Claims (19)

1. 固定支持基板に固定した特定のＸ方向に並ぶ一対のＸ用第１磁石と、
   上記固定支持基板に対して特定の基準平面上を相対移動可能なステージ部材と、
   上記ステージ部材に固定した、上記一対のＸ用第１磁石とそれぞれ上記Ｘ方向に対向し、対向するＸ用第１磁石との間に上記Ｘ方向の吸引力または反発力を発生する一対のＸ用第２磁石と、を備え、
   上記固定支持基板に固定した上記Ｘ方向に対して直交するＹ方向に並ぶ一対のＹ用第１磁石と、
   上記ステージ部材に固定した、上記２つのＹ用第１磁石とそれぞれ上記Ｙ方向に対向し、対向するＹ用第１磁石との間に上記Ｙ方向の吸引力または反発力を発生する一対のＹ用第２磁石と、を備え、
   互いに対向する上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石の一方を永久磁石としかつ他方を電磁石とし、
   互いに対向する上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石の一方を永久磁石としかつ他方を電磁石とし、
   上記ステージ部材を挟んで上記固定支持基板と反対側に該ステージ部材を移動可能に支持する支持部材を設け、
   上記Ｘ用第２磁石を上記Ｘ用第１磁石より上記支持部材側に位置させ、かつ、上記Ｙ用第２磁石を上記Ｙ用第１磁石より上記支持部材側に位置させたことを特徴とするステージ装置。
2. 請求項１記載のステージ装置において、
   Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石が共に上記基準平面と平行な特定の平面上に位置しているステージ装置。
3. 請求項１または２記載のステージ装置において、
   上記Ｘ用第１磁石に、上記基準平面と平行でＸ方向に直交するＹ方向に互いに離間する一対の磁界発生部を設け、かつ、上記Ｘ用第２磁石に該磁界発生部とそれぞれ対向する、互いにＹ方向に離間する一対の磁界発生部を設けたステージ装置。
4. 請求項３記載のステージ装置において、
   上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石のうち永久磁石のものに、該永久磁石のＮ極とＳ極にそれぞれ連続しかつ磁性体からなる一対の上記磁力発生部を設けたステージ装置。
5. 請求項４記載のステージ装置において、
   上記永久磁石と磁性体に互いに面一をなす平面を形成し、該永久磁石と磁性体の上記平面同士にＰＥＴからなる連結板を接着したステージ装置。
6. 請求項３から５のいずれか１項記載のステージ装置において、
   上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石の少なくとも一方のＹ方向の両端部に上記磁界発生部を形成したステージ装置。
7. 請求項３から６のいずれか１項記載のステージ装置において、
   上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石の一方の上記磁界発生部のＹ方向寸法が他方の上記磁界発生部より大きいステージ装置。
8. 請求項１から７のいずれか１項記載のステージ装置において、
   上記Ｘ用第２磁石の板厚を該ステージ部材以下とし、上記Ｘ用第２磁石の表裏両面を上記ステージ部材の表裏両面から突出させず該ステージ部材の板厚内に収めたステージ装置。
9. 請求項１から８のいずれか１項記載のステージ装置において、
   上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石の一方を構成する上記電磁石が、磁性体からなる芯材にコイルを巻回した構造であるステージ装置。
10. 請求項１から９のいずれか１項記載のステージ装置において、
    上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石が共に上記基準平面と平行な特定の平面上に位置しているステージ装置。
11. 請求項１から１０のいずれか１項記載のステージ装置において、
    上記Ｙ用第１磁石に、上記基準平面と平行でＸ方向に互いに離間する一対の磁界発生部を設け、かつ、上記Ｙ用第２磁石に該磁界発生部とそれぞれ対向する、互いにＸ方向に離間する一対の磁界発生部を設けたステージ装置。
12. 請求項１１記載のステージ装置において、
    上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石のうち永久磁石のものに、該永久磁石のＮ極とＳ極にそれぞれ連続しかつ磁性体からなる一対の上記磁力発生部を設けたステージ装置。
13. 請求項１２記載のステージ装置において、
    上記永久磁石と磁性体に互いに面一をなす平面を形成し、該永久磁石と磁性体の上記平面同士にＰＥＴからなる連結板を接着したステージ装置。
14. 請求項１１から１３のいずれか１項記載のステージ装置において、
    上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石の少なくとも一方のＸ方向の両端部に上記磁界発生部を形成したステージ装置。
15. 請求項１１から１４のいずれか１項記載のステージ装置において、
    上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石の一方の上記磁界発生部のＸ方向寸法が他方の上記磁界発生部より大きいステージ装置。
16. 請求項１から１５のいずれか１項記載のステージ装置において、
    上記Ｙ用第２磁石の板厚を該ステージ部材以下とし、上記Ｙ用第２磁石の表裏両面を上記ステージ部材の表裏両面から突出させず該ステージ部材の板厚内に収めたステージ装置。
17. 請求項１から１６のいずれか１項記載のステージ装置において、
    上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石の一方を構成する上記電磁石が、磁性体からなる芯材にコイルを巻回した構造であるステージ装置。
18. 請求項１から１７のいずれか１項記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
    カメラに内蔵した上記ステージ装置と、
    上記ステージ部材の前面に固定された撮像素子と、
    上記カメラのＸ方向の振動とＹ方向の振動を検出する振動検出センサと、
    上記電磁石に電力を供給する電力供給手段と、を備え、
    上記電力供給手段が、上記振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記カメラに生じた手振れを打ち消すように上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石のうちの電磁石のもの、及び上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石のうちの電磁石のものに電流を流すカメラの手振れ補正装置。
19. 請求項１から１７のいずれか１項記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
    カメラに内蔵した上記ステージ装置と、
    上記ステージ部材に固定された補正レンズと、
    上記カメラのＸ方向の振動とＹ方向の振動を検出する振動検出センサと、
    上記電磁石に電力を供給する電力供給手段と、を備え、
    上記電力供給手段が、上記振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記カメラに生じた手振れを打ち消すように上記Ｘ用第１磁石とＸ用第２磁石のうちの電磁石のもの、及び上記Ｙ用第１磁石とＹ用第２磁石のうちの電磁石のものに電流を流すカメラの手振れ補正装置。

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