JP2007199583A - ステージ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】従来のステージ装置に比べて低コストで製造可能であり、しかもステージ板移動時の抵抗を極力小さく出来るステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ板４０、４１と一体的に移動し駆動用ヨーク板３２より飽和磁束量が少なくベースヨーク板３１及び磁石ＭＸ、ＭＹとの間に吸着用磁気回路ＭＣＣＸ、ＭＣＣＹを構成する吸着用ヨーク板５０と、吸着用ヨーク板と磁石の間の隙間に位置し、吸着用磁気回路の磁力を受けることにより吸着用ヨーク板と磁石とに吸着する磁性流体ＭＬと、を備えることを特徴とするステージ装置。
【選択図】図８

Description

本発明は、ステージ板が特定の平面上を自由に移動できるステージ装置に関する。

撮像素子または補正レンズを搭載したステージ板を、光軸に対して直交する平面上をスライドさせることにより手振れ（像ぶれ）を補正するカメラの手振補正装置の従来技術としては、例えば、ステージ板の少なくとも３カ所に、カメラボディに対して移動不能な金属球を回転可能に接触させ、金属球によってステージ板を移動可能に挟持するものが知られている。
この手振補正装置のステージ板は、光軸に対して直交する平面上を互いに直交するＸ方向とＹ方向とに直線移動可能であり、さらにこの平面上を回転可能である。従ってこの手振補正装置は、Ｘ方向とＹ方向の手振れ（像振れ）だけでなく回転方向の手振れ（回転振れ）も補正可能である。
特開２００５−３１６２２２号公報

上記の手振補正装置のように金属球によってステージ板を支持する場合には、ステージ板の移動（回転）時に金属球とステージ板との間に比較的大きな摩擦抵抗が生じる。この摩擦抵抗はステージ板の移動制御の精度低下や動作がバラつく要因となる。
さらに、金属球の間隔（相対位置）を精度よく設定しないと、ステージ板が光軸に対して直交しなくなってしまう。しかし、金属球の位置精度を高めようとすると、手振補正装置の製造コストが高くなってしまう。

本発明の目的は、従来のステージ装置に比べて低コストで製造可能であり、しかもステージ板移動時の抵抗を極力小さく出来るステージ装置を提供することにある。

本発明のステージ装置は、磁石を固着したベースヨーク板と、該ベースヨーク板と略平行に対向する駆動用ヨーク板と、両ヨーク板の間に位置するスライド可能なステージ板と、飽和磁束量が上記両ヨーク板よりも少ない吸着用ヨーク板と駆動用コイルとを重ねて構成した、上記ステージ板と一緒に移動する駆動部と、上記吸着用ヨーク板と上記磁石との間に充填され、上記ステージ板をスライド移動可能に吸着保持する磁性流体と、を備えることを特徴としている。

別の表現によると本発明のステージ装置は、略平行に対向する駆動用ヨーク板及びベースヨーク板と、上記駆動用ヨーク板とベースヨーク板の間に位置し、特定の平面上をスライド可能なステージ板と、上記ベースヨーク板の上記ステージ板との対向面に固定され、上記駆動用ヨーク板及びベースヨーク板との間に駆動用磁気回路を構成する磁石と、上記ステージ板上に備えられ、上記駆動用磁気回路の磁界内に位置する状態で電流が流れたときに、上記ステージ板をスライド移動させる駆動力を発生する駆動用コイルと、上記ステージ板と一緒に移動し、上記ベースヨーク板及び磁石との間に吸着用磁気回路を構成する、上記駆動用ヨーク板より飽和磁束量が少ない吸着用ヨーク板と、上記吸着用ヨーク板と上記磁石の間の隙間に位置し、上記吸着用磁気回路の磁力を受けることにより上記吸着用ヨーク板と上記磁石とに吸着し、上記ステージ板のスライド移動を許容しつつ該吸着用ヨーク板と磁石の間隔を保持する磁性流体と、を備えることを特徴としている。

上記ステージ板の上記磁石との対向面に上記駆動用コイルが固着され、 上記駆動用コイルの上記磁石との対向面に上記吸着用ヨーク板が固着されているのが好ましい。

上記ステージ板の移動範囲を、上記吸着用ヨーク板と上記磁石が対向関係を維持する範囲内に制限する移動範囲規制手段を備えるのが好ましい。

上記移動範囲規制手段は例えば、上記ステージ板を貫通する移動範囲制限孔と、上記駆動用ヨーク板とベースヨーク板とを連結し該移動範囲制限孔を相対移動可能に貫通する移動範囲規制ピンと、によって構成可能である。

上記磁性流体は油性の磁性流体であるのが好ましい。

上記磁石が、上記駆動用ヨーク板及びベースヨーク板との間にＸ方向駆動用磁気回路を構成するＸ用磁石と、上記駆動用ヨーク板及びベースヨーク板との間にＹ方向駆動用磁気回路を構成するＹ用磁石と、を備え、上記駆動用コイルが、上記Ｘ方向駆動用磁気回路の磁束中に位置する状態で電流が流れることにより、上記ステージ板に特定のＸ方向の駆動力を与えるＸ方向駆動用コイルと、上記Ｙ方向駆動用磁気回路の磁束中に位置する状態で電流が流れることにより、上記ステージ板にＸ方向に直交するＹ方向の駆動力を与えるＹ方向駆動用コイルと、を備えるのが好ましい。

上記吸着用ヨーク板を、上記Ｘ用磁石及びＹ用磁石と対向する単一部材とすれば、部品点数の削減を図れる。

上記ステージ装置を内蔵したカメラと、上記ステージ板に固定された撮像素子または補正レンズと、上記カメラのＸ方向の振動とＹ方向の振動を検出する振動検出センサと、該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘ方向駆動用コイルと上記Ｙ方向駆動用コイルにカメラの手振れを補正するように電流を流す制御手段と、を備えることによりカメラの手振れ補正装置が得られる。

本発明によると、吸着用磁気回路の磁界内に充填された磁性流体が磁界内に集中する特性を利用してステージ板をスライド可能に支持しているので、ステージ板が移動するときの抵抗を従来に比べて極めて小さくすることが可能になる。
さらに磁性流体はその外形形状を自由に変化させる構成要素なので、ステージ装置内における磁性流体の位置精度の如何に関わらず、ステージ板を特定の平面上に位置させる働きをする。従って本発明を利用したステージ装置は、硬質部材によりステージ板の前後両面を挟持する従来構造に比べて組み立てが容易であり、製造コストを低く抑えることが可能である。

以下、添付図面を参照して本発明の一実施形態について説明する。以下の説明では図１及び図２の矢線で示すように、デジタルカメラ２０（手振補正装置３０）の左右方向をＸ方向、上下方向をＹ方向、前後方向をＺ方向と定義する。
図１に示すように、デジタルカメラ２０（レンズ鏡筒）内には、複数のレンズＬ１、Ｌ２、Ｌ３からなる光学系が配設されており、レンズＬ３の後方には手振補正装置（ステージ装置）３０が配設されている。

手振補正装置３０は図２から図８に示す構造である。
図２から図８に示すように手振補正装置３０は、軟鉄等の磁性体からなる正面視横長方形のベースヨーク板３１と、正面形状がベースヨーク板３１と同一で軟鉄等の磁性体からなりベースヨーク板３１の後方に位置する駆動用ヨーク板３２と、を備えている。ベースヨーク板３１の後面の四隅には後向に向かって延出する４本の円柱形状の支柱３３が突設されており、各支柱３３の後端面が駆動用ヨーク板３２の前面の四隅に固着されている。ベースヨーク板３１と駆動用ヨーク板３２は互いに平行をなしている。ベースヨーク板３１の中央部には方形開口３４が穿設されている。ベースヨーク板３１の後面の方形開口３４の両側部には、２本の円柱形状をなす移動範囲規制ピン（移動範囲規制手段）３５が後方に延びるように突設されており、左右の移動範囲規制ピン３５の後端面は駆動用ヨーク板３２の前面に固着されている。
ベースヨーク板３１の前面は、図示を省略した固定ねじによってカメラボディ内面に固定されている。

ベースヨーク板３１の後面の左右両端部には、Ｓ極とＮ極がＸ方向に並ぶＸ用磁石ＭＸがそれぞれ固定されている。これら左右のＸ用磁石ＭＸは互いにＸ方向に並んでおり、両者のＹ方向位置は一致している。そして、ベースヨーク板３１及び駆動用ヨーク板３２がＸ用磁石ＭＸの磁束を通すことにより、ベースヨーク板３１及び左右のＸ用磁石ＭＸと駆動用ヨーク板３２との間にＸ方向駆動用磁気回路ＭＣＸが形成されている（図８参照。図示は省略してあるが、もう一方のＸ用磁石ＭＸ側にも同様にＸ方向駆動用磁気回路ＭＣＸが形成されている）。
一方、ベースヨーク板３１の後面の下端部には、Ｓ極とＮ極がＹ方向に並ぶ一対のＹ用磁石ＭＹが固定されている。これら左右のＹ用磁石ＭＹは互いにＸ方向に並んでおり、両者のＹ方向位置は一致している。そして、図８に示すように、ベースヨーク板３１及び駆動用ヨーク板３２が左右のＹ用磁石ＭＹの磁束を通すことにより、ベースヨーク板３１及び左右のＹ用磁石ＭＹと駆動用ヨーク板３２の間にＹ方向駆動用磁気回路ＭＣＹが形成されている（図示は省略してあるが、もう一方のＹ用磁石ＭＹ側にも同様にＹ方向駆動用磁気回路ＭＣＹが形成されている）。

ベースヨーク板３１と駆動用ヨーク板３２の間にはベースヨーク板３１及び駆動用ヨーク板３２と平行な平板状の電気基板（ステージ板）４０が位置している。電気基板４０の後面には、正面形状が電気基板４０と同一の補強板（ステージ板）４１が固着され、電気基板４０と補強板４１が一体化している。電気基板４０及び補強板４１には、これらをＺ方向に貫通する左右一対の移動範囲規制孔（移動範囲規制手段）４２が穿設されている。左右の移動範囲規制孔４２は共に方形孔であり、左右の移動範囲規制孔４２を左右の移動範囲規制ピン３５がそれぞれ貫通している。電気基板４０及び補強板４１は、図３に示す初期位置からベースヨーク板３１に対してＸ方向とＹ方向を含むＸＹ平面上を移動可能（直線移動だけでなく回転も可能）であるが、電気基板４０及び補強板４１のＸＹ平面上の移動範囲は、左右の移動範囲規制ピン３５及び移動範囲規制孔４２によって制限される。

電気基板４０の前面中央部には、ＣＣＤ（撮像素子）４５が固着されている。図３に示すようにＣＣＤ４５は正面視で長方形をなし、かつ、図３において（電気基板４０が初期位置にあるとき）Ｘ方向と平行をなす上下一対のＸ方向側辺４５Ｘと、図３においてＹ方向と平行をなす左右一対のＹ方向側辺４５Ｙとを具備している。ＣＣＤ４５の前面は光軸Ｏに対して直交する撮像面４６であり、電気基板４０が初期位置にあるとき撮像面４６の中心が光軸Ｏ上に位置する。
電気基板４０の前面には、ＣＣＤ４５を囲むＣＣＤホルダ４７が固着されている。図４に示すように、ＣＣＤホルダ４７の前端部は方形開口３４を通ってベースヨーク板３１の前方に突出している。ＣＣＤホルダ４７の前壁には窓孔４８が穿設されている。そして、ＣＣＤホルダ４７の前壁とＣＣＤ４５の間には光学ローパスフィルタ４９が嵌合固定されており、光学ローパスフィルタ４９とＣＣＤホルダ４７の前壁の間は気密状態に保たれている。ＣＣＤ４５の撮像面４６はレンズＬ１〜Ｌ３と光学ローパスフィルタ４９を透過した像が結像する結像面である。

電気基板４０の前面の左右両端部には、同一仕様のＸ方向駆動用コイル（駆動部）ＣＸが固着されている。Ｘ方向駆動用コイルＣＸはコイル線が百回以上渦巻き状に巻かれた（電気基板４０と平行な方向にも電気基板４０の板厚方向にも巻かれている）ＸＹ平面と平行なコイルであり、左右のＸ方向駆動用コイルＣＸ同士はＸ方向側辺４５Ｘと平行な方向に並んでいる（図３においてＸ方向に並んでいる）。別言すると、左右のＸ方向駆動用コイルＣＸ同士のＹ方向側辺４５Ｙと平行な方向の位置（図３においてはＹ方向の位置）は一致している。左右のＸ方向駆動用コイルＣＸは電気基板４０及び補強板４１がいずれの位置に移動しても、左右のＸ用磁石ＭＸとＺ方向に対向する（左右のＸ方向駆動用磁気回路ＭＣＸ内に位置する）。
そして、このＸ方向駆動用コイルＣＸと、ベースヨーク板３１、駆動用ヨーク板３２、及びＸ用磁石ＭＸによってＸ方向駆動手段が構成されている。
さらに電気基板４０の前面の左右両側部には、左右のＸ方向駆動用コイルＣＸの中心部に位置するホール素子ＳＸがそれぞれ固着されている。このホール素子ＳＸは対応するＸ方向駆動用磁気回路ＭＣＸの磁束密度分布を利用して左右のＸ方向駆動用コイルＣＸのＸ方向位置をそれぞれ検出する。

電気基板４０の前面の下端部には、互いに同一仕様のＹ方向駆動用コイル（駆動部）ＣＹＡとＹ方向駆動用コイル（駆動部）ＣＹＢが固着されている。Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢは共にコイル線が百回以上渦巻き状に巻かれた（電気基板４０と平行な方向にも電気基板４０の板厚方向にも巻かれている）ＸＹ平面と平行なコイルであり、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢは下側のＸ方向側辺４５Ｘに沿って並んでいる（図３においてはＸ方向に並んでいる）。別言すると、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢのＹ方向側辺４５Ｙと平行な方向の位置（図３におけるＹ方向位置）は一致している。Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢは電気基板４０及び補強板４１がいずれの位置に移動しても、左右のＹ用磁石ＭＹとＺ方向に対向する（左右のＹ方向駆動用磁気回路ＭＣＹ内に位置する）。
そして、このＹ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢと、ベースヨーク板３１、駆動用ヨーク板３２、及びＹ用磁石ＭＹによってＹ方向駆動手段が構成されている。
さらに電気基板４０の前面の下端部の左右２カ所には、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢの内部にそれぞれ位置する一対のホール素子ＳＹがそれぞれ固着されている。このホール素子ＳＹは対応するＹ方向駆動用磁気回路ＭＣＹの磁束密度分布を利用して、対応するＹ方向駆動用コイルＣＹＡ、ＣＹＢのＹ方向位置をそれぞれ検出する。
上述したＸ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＢ、ホール素子ＳＸ及びホール素子ＳＹはすべて、カメラに内蔵されたＣＰＵ等によって構成される制御手段Ｃ（図１参照）に電気的に接続されている。

さらに、左右のＸ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢの前面には、軟鉄等の磁性体からなる正面視凹形状の一体成形品である吸着用ヨーク板（駆動部）５０の後面が固着されている。吸着用ヨーク板５０は左右一対の垂直部５１と、左右の垂直部５１の下端部どうしを連結する水平部５２とを備えている。この吸着用ヨーク板５０はベースヨーク板３１及び駆動用ヨーク板３２より肉厚の薄いものや飽和磁束密度が低い磁性体によって構成するので、その飽和磁束量はベースヨーク板３１及び駆動用ヨーク板３２より小さい。図３に示すように左右の垂直部５１は左右のＸ用磁石ＭＸとそれぞれＺ方向に対向しており（重なっており）、水平部５２は左右のＹ用磁石ＭＹとＺ方向に対向している（重なっている）。そして垂直部５１及び水平部５２は、電気基板４０及び補強板４１がいずれの位置に移動しても、この対向関係（重なり関係）を維持する。
従って、左右のＸ用磁石ＭＸ及びベースヨーク板３１の左右両端部と吸着用ヨーク板５０（左右の垂直部５１）の間にはそれぞれ吸着用磁気回路ＭＣＣＸが構成されている（図８参照。図示は省略してあるが、もう一方のＸ用磁石ＭＸ側にも同様に吸着用磁気回路ＭＣＣＸが構成されている）。さらに左右のＹ用磁石ＭＹ及びベースヨーク板３１の下端部と吸着用ヨーク板５０（水平部５２）の間にはそれぞれ吸着用磁気回路ＭＣＣＹが構成されている（図８参照。図示は省略してあるが、もう一方のＸ用磁石ＭＹ側にも同様に吸着用磁気回路ＭＣＣＹが構成されている）。

さらに、左右の垂直部５１と左右のＸ用磁石ＭＸの間にそれぞれ形成された２つの微小隙間及び水平部５２と左右のＹ用磁石ＭＹの間にそれぞれ形成された２つの微小隙間には、油性の磁性流体ＭＬがそれぞれ充填されている。左右の垂直部５１と左右のＸ用磁石ＭＸの微小隙間に充填された磁性流体ＭＬは、左右の吸着用磁気回路ＭＣＣＸの磁界の影響を受けることにより、左右の垂直部５１の前面と左右のＸ用磁石ＭＸの後面にそれぞれ吸着し、左右の垂直部５１と左右のＸ用磁石ＭＸを相対移動可能に結合する。一方、水平部５２と左右のＹ用磁石ＭＹの微小隙間に充填された磁性流体ＭＬは、左右の吸着用磁気回路ＭＣＣＹの磁界の影響を受けることにより、水平部５２の前面と左右のＹ用磁石ＭＹの後面にそれぞれ吸着し、水平部５２と左右のＹ用磁石ＭＹを相対移動可能に結合する。
上述のように吸着用ヨーク板５０の飽和磁束量はベースヨーク板３１及び駆動用ヨーク板３２の飽和磁束量より小さいので、磁性流体ＭＬは適正な吸着力でＸ用磁石ＭＸ、Ｙ用磁石ＭＹ及び吸着用ヨーク板５０に吸着し、吸着用ヨーク板５０と各磁石ＭＸ、ＭＹを適正な間隔に保持する。即ち、上記４つの領域に充填された磁性流体ＭＬは、電気基板４０及び補強板４１のＸＹ平面上の移動（ＸＹ平面上の直線移動及びＸＹ平面上の回転）を許容しつつ、電気基板４０及び補強板４１を常にＸＹ平面と平行な状態に維持する。従って、電気基板４０及び補強板４１が図４から図６及び図８の状態から後方に移動することはない。

以上のような構成の手振補正装置３０は、制御手段ＣからＸ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ、及びＹ方向駆動用コイルＣＹＢに電流を流すことにより手振れ補正動作を行う。
即ち、Ｘ方向駆動用コイルＣＸに電流を流すとＸ方向駆動用コイルＣＸには図３の矢印ＦＸ１方向またはＦＸ２方向の駆動力が生じる。また、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ、ＣＹＢに電流を流すとＹ方向駆動用コイルＣＹＡ、ＣＹＢには図３の矢印ＦＹ１方向またはＦＹ２方向の駆動力が生じる。
周知のように、手振れによってカメラボディがＸ方向またはＹ方向に振動したときに、カメラボディに内蔵された振動検出センサＳ（図１参照。制御手段Ｃに電気的に接続されている）でカメラボディのＸ方向とＹ方向の移動距離（手振れ量）を検出し、ホール素子ＳＸ及びホール素子ＳＹでＣＣＤ４５（各磁石ＭＸ、ＭＹ）のカメラボディに対するＸ方向とＹ方向の相対位置を把握しつつ、ＣＣＤ４５をカメラボディに対して手振れ方向と反対方向に手振れ量と同じ距離だけ直線移動させれば、ＣＣＤ４５の手振れ（像振れ）が補正される。従って、ＣＣＤ４５がこのような直線移動を行うように、制御手段Ｃから各Ｘ方向駆動用コイルＣＸ、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ、ＣＹＢに電流を流せば、ＣＣＤ４５のＸ方向とＹ方向の手振れが補正される。

さらに、電気基板４０及び補強板４１（ＣＣＤ４５）はベースヨーク板３１及び駆動用ヨーク板３２に対して相対回転可能なので、制御手段ＣからＹ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢに流す電流の向きを互いに逆にし、Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢに互いに逆向きの駆動力を発生させれば、電気基板４０及び補強板４１（ＣＣＤ４５）が回転する。従って、カメラボディがＸＹ平面上を回転したときに、振動検出センサＳでカメラボディの回転量（手振れ量）を検出し、電気基板４０及び補強板４１（ＣＣＤ４５）が回転振れ方向と逆向きにこの回転量（手振れ量）と同じ距離だけ回転するように、制御手段ＣからＹ方向駆動用コイルＣＹＡとＹ方向駆動用コイルＣＹＢに電流を流せば、いわゆる回転振れが補正される。

このように電気基板４０及び補強板４１が移動（回転）すると、電気基板４０及び補強板４１と一体化している吸着用ヨーク板５０のＸ用磁石ＭＸ及びＹ用磁石ＭＹに対するＸ方向とＹ方向の相対位置が変化することにより、上記４つの領域にそれぞれ充填された各磁性流体ＭＬの外形形状が僅かに変化する。しかし、磁性流体ＭＬが外形形状を変化させる際に生じる電気基板４０及び磁石ＭＸ、ＭＹと磁性流体ＭＬとの間の摩擦抵抗は極めて小さい。従って、本実施形態の手振補正装置３０は、従来のように電気基板４０の前面及び補強板４１の後面を複数の金属球で挟持する場合に比べて、電気基板４０及び補強板４１が移動（回転）するときの抵抗を大幅に低減できる。そのため、従来の手振補正装置に比べて電気基板４０及び補強板４１の移動（回転）を精度よく制御でき、しかも電気基板４０及び補強板４１の移動（回転）状態が安定する。

さらに、磁性流体ＭＬは自由に変形する構成要素なので、手振補正装置３０内における磁性流体ＭＬの充填位置精度が問題となることはない。即ち、磁性流体ＭＬはその充填位置精度の如何に関わらず、電気基板４０及び補強板４１を光軸Ｏに対して直交するようにその姿勢を保持する。それゆえ、従来の手振補正装置のように電気基板４０及び補強板４１を挟持する硬質部材（金属球）の取付位置精度が低くなると電気基板４０及び補強板４１が光軸Ｏに対して直交しなくなる構造に比べて、本実施形態の手振補正装置３０は組み立てが容易であり、そのため製造コストを低く抑えることが可能である。

また、吸着用ヨーク板５０を各Ｘ用磁石ＭＸ（Ｘ方向駆動用コイルＣＸ）、Ｙ用磁石ＭＹ（Ｙ方向駆動用コイルＣＹＡ、ＣＹＢ）とそれぞれ対向する複数の板状部材により構成するのではなく、単一の板状部材によって構成したので、部品点数の増加が抑制されている。さらに吸着用ヨーク板５０を複数の板状部材によって構成する場合に比べて、手振補正装置３０の組み立てを簡単に行うことが可能である。

以上、本発明を一実施形態を利用して説明したが、本発明はこの実施形態に限定されるものではなく、様々な変形を施して実施可能である。
例えば、磁性流体ＭＬとして油性のものを利用したが、磁性流体ＭＬとして原理的には水性のものを利用してもよい。
さらに、ＣＣＤ以外の撮像素子、例えばＣＭＯＳイメージセンサーを利用できるのは勿論である。
またＸ方向及びＹ方向の位置変化検出センサとしてホール素子ＳＸ、ＸＹを利用したが、ホール素子以外のセンサ、例えばＭＲセンサやＭＩセンサを利用することも可能である。

さらに図９に示すように、ＣＣＤ４５をレンズＬ３の後方に配設し、手振補正装置３０をレンズＬ１とレンズＬ２の間（またはレンズＬ２とレンズＬ３の間）に配置し、この手振補正装置３０の電気基板４０及び補強板４１に円形の取付孔６０を穿設して、この取付孔６０に正面視円形の補正レンズＣＬを嵌合固定してもよい。このような構造として補正レンズＣＬをＸＹ平面内で移動させても手振れ補正（回転補正）を行うことが可能である。さらに、このような補正レンズＣＬを用いた手振れ補正装置は、ＣＣＤ４５を省略することにより、銀塩カメラにも適用可能となる。
また、本発明を手振補正装置とは用途が異なるステージ装置（特定の部材がＸ方向やＹ方向へ直線移動したり回転する装置）に適用することが可能なのは勿論である。

本発明の一実施形態である手振補正装置を内蔵したデジタルカメラの縦断側面図である。 手振補正装置を前方から見た分解斜視図である。 駆動用ヨーク板を破断して示す手振補正装置の背面図である。 図３のIV−IV矢線に沿う断面図である。 図３のＶ−Ｖ矢線に沿う断面図である。 図３のVI−VI矢線に沿う断面図である。 ベースヨーク板及び磁石の背面図である。 磁気回路を説明するための図６の下半部の拡大図である。 補正レンズを用いた変形例のデジタルカメラの内部を模式的に示す側面図である。

符号の説明

２０ デジタルカメラ（カメラ）
３０ 手振補正装置（ステージ装置）
３１ ベースヨーク板
３２ 駆動用ヨーク板
３３ 支柱
３５ 移動範囲規制ピン（移動範囲規制手段）
４０ 電気基板（ステージ板）
４１ 補強板（ステージ板）
４２ 移動範囲規制孔（移動範囲規制手段）
４５ ＣＣＤ（撮像素子）
５０ 吸着用ヨーク板（駆動部）
５１ 垂直部
５２ 水平部
６０ 取付孔
Ｃ 制御手段
ＣＬ 補正レンズ
ＣＸ Ｘ方向駆動用コイル（駆動部）
ＣＹＡ ＣＹＢ Ｙ方向駆動用コイル（駆動部）
ＭＣＸ Ｘ方向駆動用磁気回路
ＭＣＹ Ｙ方向駆動用磁気回路
ＭＣＣＸ 吸着用磁気回路
ＭＣＣＹ 吸着用磁気回路
ＭＬ 磁性流体
ＭＸ Ｘ用磁石
ＭＹ Ｙ用磁石
Ｓ 振動検出センサ
ＳＸ ＳＹ ホール素子（位置センサ）
Ｏ 光軸

Claims (9)

1. 磁石を固着したベースヨーク板と、
   該ベースヨーク板と略平行に対向する駆動用ヨーク板と、
   両ヨーク板の間に位置するスライド可能なステージ板と、
   飽和磁束量が上記両ヨーク板よりも少ない吸着用ヨーク板と駆動用コイルとを重ねて構成した、上記ステージ板と一緒に移動する駆動部と、
   上記吸着用ヨーク板と上記磁石との間に充填され、上記ステージ板をスライド移動可能に吸着保持する磁性流体と、を備えることを特徴とするステージ装置。
2. 略平行に対向する駆動用ヨーク板及びベースヨーク板と、
   上記駆動用ヨーク板とベースヨーク板の間に位置し、特定の平面上をスライド可能なステージ板と、
   上記ベースヨーク板の上記ステージ板との対向面に固定され、上記駆動用ヨーク板及びベースヨーク板との間に駆動用磁気回路を構成する磁石と、
   上記ステージ板上に備えられ、上記駆動用磁気回路の磁束中に位置する状態で電流が流れたときに、上記ステージ板をスライド移動させる駆動力を発生する駆動用コイルと、
   上記ステージ板と一緒に移動し、上記ベースヨーク板及び磁石との間に吸着用磁気回路を構成する、上記駆動用ヨーク板より飽和磁束量が少ない吸着用ヨーク板と、
   上記吸着用ヨーク板と上記磁石の間の隙間に位置し、上記吸着用磁気回路の磁力を受けることにより上記吸着用ヨーク板と上記磁石とに吸着し、上記ステージ板のスライド移動を許容しつつ該吸着用ヨーク板と磁石の間隔を保持する磁性流体と、
   を備えることを特徴とするステージ装置。
3. 請求項１または２記載のステージ装置において、
   上記ステージ板の上記磁石との対向面に上記駆動用コイルが固着され、
   上記駆動用コイルの上記磁石との対向面に上記吸着用ヨーク板が固着されているステージ装置。
4. 請求項１から３のいずれか１項記載のステージ装置において、
   上記ステージ板の移動範囲を、上記吸着用ヨーク板と上記磁石が対向関係を維持する範囲内に制限する移動範囲規制手段を備えるステージ装置。
5. 請求項４記載のステージ装置において、
   上記移動範囲規制手段が、
   上記ステージ板を貫通する移動範囲制限孔と、
   上記駆動用ヨーク板とベースヨーク板とを連結し該移動範囲制限孔を相対移動可能に貫通する移動範囲規制ピンと、を備えるステージ装置。
6. 請求項１から５のいずれか１項記載のステージ装置において、
   上記磁性流体が油性の磁性流体であるステージ装置。
7. 請求項１から６のいずれか１項記載のステージ装置において、
   上記磁石が、上記駆動用ヨーク板及びベースヨーク板との間にＸ方向駆動用磁気回路を構成するＸ用磁石と、上記駆動用ヨーク板及びベースヨーク板との間にＹ方向駆動用磁気回路を構成するＹ用磁石と、を備え、
   上記駆動用コイルが、上記Ｘ方向駆動用磁気回路の磁束中に位置する状態で電流が流れることにより、上記ステージ板に特定のＸ方向の駆動力を与えるＸ方向駆動用コイルと、上記Ｙ方向駆動用磁気回路の磁束中に位置する状態で電流が流れることにより、上記ステージ板にＸ方向に直交するＹ方向の駆動力を与えるＹ方向駆動用コイルと、を備えるステージ装置。
8. 請求項７記載のステージ装置において、
   上記吸着用ヨーク板が、上記Ｘ用磁石及びＹ用磁石と対向する単一部材であるステージ装置。
9. 請求項７または８記載のステージ装置を利用したカメラの手振れ補正装置であって、
   上記ステージ装置を内蔵したカメラと、
   上記ステージ板に固定された撮像素子または補正レンズと、
   上記カメラのＸ方向の振動とＹ方向の振動を検出する振動検出センサと、
   該振動検出センサが検出した振動情報に基づいて、上記Ｘ方向駆動用コイルと上記Ｙ方向駆動用コイルにカメラの手振れを補正するように電流を流す制御手段と、を備えることを特徴とするカメラの手振れ補正装置。
   
   

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