JP4403329B2 - 液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、液晶表示装置およびその製造方法に関し、特に、TFTアクティブマトリクス型液晶表示装置に適用して好適なものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、薄膜トランジスタ(TFT)アクティブマトリクス型の液晶表示装置においては、それぞれの画素ごとに画素信号スイッチング用薄膜トランジスタが設けられている。これらの画素は水平方向および垂直方向に渡る配線によりマトリクス状にレイアウトされている。この従来技術によるTFTアクティブマトリクス型の液晶表示装置について以下に具体的に説明する。
【0003】
すなわち、図9に示すように、TFTアクティブマトリクス型液晶表示装置は、TFTアクティブマトリクス型の液晶表示基板101上に、水平走査回路102、位相調整回路103、画像信号供給スイッチ104、走査方向の制御を行う垂直走査回路105およびクロストークを防止するためのクロストーク防止回路106を搭載して構成される。なお、符号107は外部ICを示し、符号108はこの外部IC107の接続端子を示す。
【0004】
また、画像信号供給スイッチ104や垂直走査回路105には、各画素制御用のTFT109がマトリクス状に配設されている。このTFT109は、ソース/ドレイン電極SDおよびゲート電極Gにより構成されている。ゲート電極Gは垂直走査回路105に共通に接続されている。ソース/ドレイン電極SDは、画像信号供給スイッチ104およびクロストーク防止回路106に共通的に接続されている。
【0005】
以上のように構成されたTFTアクティブマトリクス型の液晶表示装置における画素を図10に示す。図10に示すように、遮光領域における石英ガラス基板111上に所定形状の多結晶Siからなる薄膜半導体層112が設けられ、この薄膜半導体層112上にゲート誘電膜113が設けられている。このゲート誘電膜113上にはゲート配線114が設けられている。図示は省略するが、薄膜半導体層112中にはゲート配線114に対して自己整合的にソース領域およびドレイン領域が形成されている。ゲート配線114からなるゲート電極とこれらのソース領域およびドレイン領域とにより、画素電極駆動用の多結晶SiTFTが構成されている。ドレイン領域の上方の所定部分におけるゲート誘電膜113上には保持容量配線115が設けられている。この保持容量配線115とドレイン領域との間にゲート誘電膜113を挟んだ構造により、保持用容量素子が構成されている。
【0006】
ゲート配線114および保持容量配線115を覆うように層間絶縁膜116が設けられている。この層間絶縁膜116およびゲート誘電膜113の所定部分にはコンタクトホール117、118が設けられている。層間絶縁膜116上には、コンタクトホール117を通じて多結晶SiTFTのドレイン領域に接続されて引き出し電極119が設けられているとともに、コンタクトホール118を通じて多結晶SiTFTのソース領域に接続されて信号配線120が設けられている。これらの引き出し電極119および信号配線120を覆うように層間絶縁膜121が設けられている。引き出し電極119上の所定部分における層間絶縁膜121にはコンタクトホール122が設けられている。層間絶縁膜121上にこのコンタクトホール122を通じて引き出し電極119と接続された上層遮光膜123が設けられている。この上層遮光膜123と引き出し電極119および信号配線120との重ね合わせにより、上方からの入射光に対して、画素開口領域以外の領域の全ての遮光がなされている。上層遮光膜123を覆うように層間絶縁膜124が設けられている。上層遮光膜123上の所定部分におけるこの層間絶縁膜124にはコンタクトホール125が設けられている。層間絶縁膜124上には、このコンタクトホール125を通じて上層遮光膜123と接続された透明な画素電極126が設けられている。この画素電極126を覆うように配向膜127が設けられている。
【0007】
配向膜127上には液晶層128が設けられており、この液晶層128上に配向膜129および対向共通電極130が設けられている。また対向共通電極130上には、透明の対向電極用基板131が設けられている。
【0008】
以上のように構成された液晶表示装置においては、TFTを構成する薄膜半導体層112に接続された透明な画素電極126に印加する電圧によって、液晶層128中の液晶分子の配向を変え、表示を制御する。
【0009】
また、表示領域には、信号配線、ゲート配線、保持容量配線および薄膜トランジスタなどが設けられている。これらの配線およびトランジスタは、TFT基板中または対向基板中に設けた画素間遮光領域内に配置される。この配置の一例を図11に示す。図11は、TFT基板の信号配線と上層遮光膜とによって相補的に遮光領域を形成している場合の平面レイアウトの一例である。
【0010】
図11に示すように、従来の液晶表示装置においては、ゲート配線114と保持容量配線115とが互いにほぼ平行に設けられている。信号配線120がこれらのゲート配線114および保持容量配線115と垂直な方向に設けられている。引き出し電極119がゲート配線114と保持容量配線115とにまたがり、かつ信号配線120に重ならない領域に設けられている。上層遮光膜123が隣接する2本の信号配線120にまたがり、この隣接する2本の信号配線120間の保持容量配線115、ゲート配線114および引き出し電極119を覆うような形状に設けられている。信号配線120と薄膜半導体層112との重なる部分の端部にコンタクトホール118が形成されている。保持容量配線115および信号配線120の下層には薄膜半導体層112が設けられている。保持容量配線115には、コンタクトホール117を避けた凹形状の部分が設けられている。この凹形状の重ならない部分に設けられたコンタクトホール117を通じて、薄膜半導体層112と引き出し電極119とが接続されている。また、引き出し電極119と上層遮光膜123との重なる領域の部分に、これらを接続するためのコンタクトホール122が形成されている。また、上層遮光膜119の保持容量配線115と重なる領域の部分に、これらを接続するためのコンタクトホール125が形成されている。
【0011】
さて、上述のように構成された液晶表示装置は、近年、液晶プロジェクターのライトバルブとしても多く用いられている。これとともに、表示においてさらなる高光透過率および高精細化が望まれている。これらの高光透過率および高精細化を実現するには、液晶表示装置における画素間遮光領域の縮小化が必要である。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図11に示すように、従来の液晶表示装置においては、トランジスタ、信号配線120、ゲート配線114および保持容量配線115などがそれぞれ面積を占有し、画素開口率を向上させる妨げになっていた。
【0013】
したがって、この発明の目的は、保持容量面積を確保しつつ画素間遮光領域を縮小させることができ、これによって、高光透過率で高精細化することができる液晶表示装置およびその製造方法を提供することにある。
【0014】
【課題を解決するための手段】
すなわち、上記目的を達成するために、この発明の第1の発明は、
基板上に、画素電極の駆動用の薄膜トランジスタと保持容量素子とが設けられた液晶表示装置において、
保持容量素子が薄膜トランジスタを構成する薄膜半導体層の下層に設けられている
ことを特徴とするものである。
【0015】
この第1の発明において、典型的には、保持容量配線は一定の電位に設定可能に構成されている。そして、この第1の発明において、典型的には、表示領域の外側の保持容量配線の両端部を接地し、電位を0Vの定電位に設定する。この定電位は、薄膜トランジスタのしきい値電圧Vthに影響を与えない範囲であれば、対向共通電極や走査回路供給電源の電位などと同様の電位にしてもよい。
【0016】
この第1の発明において、TFT基板の裏面側から薄膜トランジスタに入射する光の低減を図るため、典型的には、保持容量配線は、平面的に薄膜トランジスタのチャネル形成領域と重なりつつ覆う領域に設けられており、典型的には、保持容量配線の配置領域は、平面的に薄膜トランジスタのチャネル形成領域に対して1.0μm程度の余裕を有して配置される。また、この第1の発明において、斜め方向からの入射光に対する遮光性を向上させるために、典型的には、保持容量配線は、薄膜トランジスタのチャネル形成領域より大きい領域に配置され、好適には、薄膜トランジスタのチャネル形成領域に対して、この領域の外側に向けて各方向に0.5μm以上大きい領域とする。
【0017】
この第1の発明において、典型的には、保持容量用画素電極は、薄膜トランジスタのチャネル形成領域に重なる領域で、かつチャネル形成領域よりも広い領域に設けられている。
【0018】
この第1の発明において、誘電率と耐圧を向上させるために、典型的には、保持容量用誘電膜は、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、または酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層膜から構成される。
【0019】
この第1の発明において、保持容量素子における十分な保持容量Cs を確保するために、典型的には、保持容量用誘電膜の膜厚は5nm以上300nm以下であり、好適には、10nm以上100nm以下である。
【0020】
この発明の第2の発明は、
基板上に、画素電極の駆動用の薄膜トランジスタと保持容量素子とが設けられた液晶表示装置の製造方法において、
基板上に保持容量素子を形成し、
保持容量素子の上層に層間絶縁膜を介して薄膜トランジスタを形成するようにした
ことを特徴とするものである。
【0021】
この第2の発明において、典型的には、保持容量用画素電極上に層間絶縁膜を形成し、層間絶縁膜上に薄膜半導体層を形成し、薄膜半導体層上にゲート誘電膜を介してゲート配線を形成するようにする。そして、薄膜半導体層に形成されたソース/ドレイン領域と、薄膜半導体層上にゲート誘電膜を介して形成されたゲート配線とにより、薄膜トランジスタが構成される。
【0022】
この第2の発明において、典型的には、ゲート配線を形成するとともに、薄膜トランジスタのソース/ドレイン領域と保持容量用画素電極とを接続する導電層を形成する。
【0023】
この第2の発明において、典型的には、信号配線を形成するとともに、薄膜トランジスタのソース/ドレイン領域と保持容量用画素電極とを接続する導電層を形成する。
【0024】
また、この発明において、薄膜トランジスタを構成する薄膜半導体層は、典型的には多結晶シリコン膜であるが、非晶質シリコン膜、単結晶シリコン膜、またはヒ化ガリウム(GaAs)などの化合物半導体を用いることも可能である。
【0025】
この発明において、典型的には、保持容量配線および保持容量用画素電極の少なくとも一方の材料は、タングステン、モリブデン、タンタル、クロム、チタン、ケイ化タングステン、ケイ化モリブデン、ケイ化タンタル、ケイ化クロム、ケイ化チタン、タングステン合金、モリブデン合金、タンタル合金、クロム合金、チタン合金、および不純物がドープされた多結晶シリコンからなる群より選ばれた材料から構成され、さらに、基板、誘電膜、層間絶縁膜などとの密着性を確保するために、不純物が導入された多結晶シリコンとの2層構造、または3層構造により構成してもよい。
【0026】
また、この発明において、典型的には、ゲート配線は、タングステン膜、モリブデン膜、タンタル膜、クロム膜、チタン膜、ケイ化タングステン膜、ケイ化モリブデン膜、ケイ化タンタル膜、ケイ化クロム膜、ケイ化チタン膜、タングステン合金膜、モリブデン合金膜、タンタル合金膜、クロム合金膜、チタン合金膜、または不純物が導入されたシリコン膜から構成され、さらに、基板、誘電膜、層間絶縁膜などとの密着性を確保するために、不純物が導入された多結晶シリコンとの2層構造、または3層構造により構成してもよい。
【0027】
上述のように構成されたこの発明による液晶表示装置およびその製造方法によれば、保持容量素子を薄膜トランジスタの下層に設けるようにしていることにより、保持容量素子のレイアウトにおける他の配線や電極による制約を低減することができるので、その設計自由度を向上させることができ、保持容量素子により平面的に占有される面積を低減することができる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態の全図においては、同一または対応する部分には同一の符号を付す。
【0029】
図1は、この発明の第1の実施形態による液晶表示装置のTFT基板の一例を示し、図2は、このTFT基板の平面レイアウトの一例を示す。この液晶表示装置は例えばアクティブマトリクス型の液晶表示装置である。
【0030】
図1に示すように、この液晶表示装置においては、遮光領域における石英ガラス基板などの絶縁性透明基板1上に所定形状の保持容量用画素電極2が設けられている。この保持容量用画素電極2は、例えば膜厚が50nmのWSi膜からなる。この保持容量用画素電極2上には保持容量用誘電膜3が設けられている。この保持容量用誘電膜3は例えば膜厚が60nmのSiO2 膜からなる。この保持容量用誘電膜3上には、表示領域を横断するようにパターンニングされた保持容量配線4が設けられている。この保持容量配線4は例えば膜厚が200nmのWSi膜からなる。この保持容量配線4と保持容量用画素電極2との間に保持容量用誘電膜3を挟んだ構造により、保持容量素子が構成されている。
【0031】
また、保持容量配線4を覆うように層間絶縁膜5が設けられている。この層間絶縁膜5は例えば膜厚が600nmのノンドープシリケートガラス(NSG、珪酸ガラス)からなる。保持容量用画素電極2上の層間絶縁膜5の部分にはコンタクトホール6が設けられている。
【0032】
層間絶縁膜5上に、所定形状の薄膜半導体層7が設けられている。この薄膜半導体層7は例えば膜厚が75nmの多結晶Siからなる。図示は省略するが、薄膜半導体層7中にはLDD(Lightly Doped Drain) 構造のソース領域およびドレイン領域が形成されている。この薄膜半導体層7上にゲート誘電膜8が設けられている。ゲート誘電膜8は例えば膜厚が30nmのSiO2 膜からなる。このゲート誘電膜8上にはゲート配線Gが設けられている。ゲート配線Gは、例えば膜厚が100nmのリン(P)などの不純物が高濃度にドープされた多結晶Si膜9および例えば膜厚が100nmのWSi膜10が順次積層された積層膜からなる。このゲート配線Gから構成されるゲート電極とLDD構造のソース領域およびドレイン領域とにより、画素電極駆動用の多結晶SiTFTが構成されている。
【0033】
また、薄膜半導体層7およびゲート配線Gを覆うように層間絶縁膜11が設けられている。この層間絶縁膜11およびゲート誘電膜8の所定部分にコンタクトホール12、13が形成されているとともに、コンタクトホール6上の層間絶縁膜11の部分に開口14が設けられている。また、遮光領域における層間絶縁膜11上に、コンタクトホール12を通じ多結晶SiTFTのソース領域に接続された信号配線15が設けられている。また、層間絶縁膜11上に、コンタクトホール13を通じ多結晶SiTFTのドレイン領域に接続された引き出し電極16が設けられ、この引き出し電極16が開口14およびコンタクトホール6を通じて保持容量用画素電極2に接続されている。これらの信号配線15および引き出し電極16は、例えば膜厚が400nmの、Siを1%含むAl合金からなる。これらの引き出し電極16および信号配線15を覆うように層間絶縁膜17が設けられている。この層間絶縁膜17は、例えばオゾン(O3 )ガスとテトラエチルオキソシラン(TEOS)を原料ガスとして用いたCVD法により成膜された膜厚が400nmのリンシリケートガラス(リン珪酸ガラス、PSG)からなる。層間絶縁膜17の所定部分における引き出し電極16上にはコンタクトホール18が設けられている。
【0034】
層間絶縁膜17上には、導電性の上層遮光膜19が設けられている。この上層遮光膜19は、例えば膜厚が250nmのTi膜からなる。上層遮光膜19は、コンタクトホール18を通じて引き出し電極16と接続されている。これらの上層遮光膜19と引き出し電極16および信号配線15との重ね合わせにより、上方からの入射光に対して、画素開口領域以外の領域の全ての遮光がなされている。
【0035】
上層遮光膜19を覆うように層間絶縁膜20が設けられている。この層間絶縁膜20は、例えばTEOSを原料ガスとして用いたプラズマCVD法により成膜された膜厚が2.5μmのNSG膜からなる。上層遮光膜19上の所定部分におけるこの層間絶縁膜20にはコンタクトホール21が設けられている。また、層間絶縁膜20の表面は、コンタクトホール21の部分を除いて、平坦化されている。層間絶縁膜20上には、このコンタクトホール21を通じて上層遮光膜19と接続された透明な画素電極22が設けられている。この画素電極22は、例えば膜厚が140nmのインジウム錫酸化物(ITO)からなる。
【0036】
また、図示省略したが、この画素電極22を覆うように配向膜(図示せず)が設けられている。
【0037】
以上のようにして構成されたTFT基板と、図示省略したガラス基板の一主面上に対向電極としての透明電極および液晶の配向膜を順次積層したものとの間に液晶が封入されて、液晶表示装置が構成されている。
【0038】
図2Aに、信号配線15および引き出し電極16の形成直後におけるTFT基板の平面レイアウトを示す。図2Aに示すように、この第1の実施形態においては、信号配線15が互いに平行に設けられている。隣接する信号配線15の間の領域には、引き出し電極16が設けられている。信号配線15の長手方向に垂直な方向にゲート配線Gが設けられている。保持容量用画素電極2が、信号配線15に沿った部分と引き出し電極16に沿った部分とでL字型に設けられている。保持容量配線4(図2中、斜線部)が、その長手方向がこのゲート配線Gに平行になるように設けられている。また、保持容量配線4には薄膜半導体層7の部分を覆う凸形状の部分と、コンタクトホール6の領域を避ける凹形状の部分とが設けられている。そして、引き出し電極16とが重ならない領域における保持容量配線4の凹形状の領域に設けられたコンタクトホール6を通じて、引き出し電極16と保持容量用画素電極2とが接続されている。
【0039】
薄膜半導体層7は、ゲート配線Gに重なる部分と保持容量配線4に重なる部分とにおいてL字型に設けられている。薄膜半導体層7の領域の信号配線15と重なった領域の一端にはコンタクトホール12が形成されている。このコンタクトホール12を通じて、薄膜半導体層7と信号配線15とが接続されている。薄膜半導体層7の領域における引き出し電極16と重なった領域の他端にはコンタクトホール13が形成されており、薄膜半導体層7と引き出し電極16とがこのコンタクトホール13を通じて接続されている。
【0040】
図2Bは、画素電極22の形成後におけるTFT基板の平面レイアウトを示す。図2Bに示すように、互いに平行な隣接した信号配線15間をまたがり、引き出し電極16を重なって、上層遮光膜19が設けられている。上層遮光膜19と引き出し電極16との重なった領域の部分にコンタクトホール18が形成されている。このコンタクトホール18を通じて、上層遮光膜19と引き出し電極16とが互いに接続されている。画素電極22は、信号配線15の部分と上層遮光膜19の部分とに重なりつつ、信号配線15および上層遮光膜19に覆われていない部分を覆うようにして設けられている。画素電極22と上層遮光膜19との重なった領域にコンタクトホール21が形成されている。このコンタクトホール21を通じて、上層遮光膜19と画素電極22とが接続されている。
【0041】
次に、上述のように構成されたこの第1の実施形態による液晶表示装置の製造方法の一例について説明する。
【0042】
まず、図1に示すように、絶縁性透明基板1上に、例えばCVD法により、WSi膜を形成した後、この膜を各画素ごとの島状にパターニングすることにより保持容量用画素電極2を形成する。次に、例えばCVD法により保持容量用画素電極2上にSiO2 膜からなる保持容量用誘電膜3を形成する。この保持容量用誘電膜3の形成における加熱温度は例えば800℃である。次に、例えばCVD法により、全面にWSi膜を形成した後、この膜を表示領域を横断するようにパターンニングすることにより保持容量配線4を形成する。次に、全面に、例えば常圧化学気相成長(AP−CVD)法によりNSG膜を成膜することによって、層間絶縁膜5を形成する。
【0043】
次に、例えば減圧化学気相成長(LP−CVD)法により層間絶縁膜5上に薄膜Si層を形成し、例えば熱処理を行うことによって結晶粒を成長させた後、この薄膜Si層をパターンニングすることにより、多結晶Siからなる薄膜半導体層7を形成する。次に、薄膜半導体層7表面を酸化した後、全面に例えばホウ素(B)などのp型不純物を低濃度にイオン注入する。
【0044】
次に、例えばCVD法により薄膜半導体層7上にSiO2 膜を成膜することにより、ゲート誘電膜8を形成する。
【0045】
次に、例えばLP−CVD法によりゲート誘電膜8上に多結晶Si膜9を形成した後、例えばPOCl3 ガス中において熱処理を行うことにより、多結晶Si膜9中にPを拡散させ、低比抵抗化させる。次に、この多結晶Si膜9上に、例えばCVD法によりWSi膜10を形成する。その後、この多結晶Si膜9およびWSi膜10からなる積層膜をゲート配線形状にパターニングすることにより、ゲート配線Gを形成する。
【0046】
次に、全面にn型不純物のPを低濃度でイオン注入する。次に、リソグラフィ工程によりレジストパターン(図示せず)を形成することによって、pチャネルMOSトランジスタの形成領域と、nチャネルMOSトランジスタの形成領域におけるLDD形成部とをマスクした後、例えばAsなどのn型不純物を高濃度にイオン注入する。これにより、薄膜トランジスタを始めとするnチャネルMOSトランジスタにおいて、LDD構造を有するソース/ドレイン領域が形成される。その後、レジストパターンを除去する。
【0047】
次に、リソグラフィ工程によりレジストパターン(図示せず)を形成することによって、薄膜トランジスタおよび回路内のnチャネルMOSトランジスタの形成領域をマスクした後、例えばBなどのp型不純物を高濃度にイオン注入し、回路内のpチャネルMOSトランジスタを形成する。
【0048】
次に、O3 ガスとTEOSガスとを用いたCVD法により、全面にPSG膜を成膜することにより、層間絶縁膜11を形成する。その後、高温で熱処理を行うことにより、ソース領域およびドレイン領域のイオン注入領域の結晶性を回復させ、不純物を活性化させる。
【0049】
次に、表示領域の左右端の保持容量配線4の部分と、コンタクトホール6の形成領域とに開口を有するレジストパターンを形成した後、例えばウェットエッチング法により層間絶縁膜11をエッチングする。これにより、開口14が形成される。
【0050】
次に、リソグラフィ工程により、表示領域の左右端の保持容量配線4の部分と、コンタクトホール6、12、13の形成領域に開口を有するレジストパターンを形成する。次に、このレジストパターンをマスクとして、例えばドライエッチング法によりエッチングを行う。これにより、薄膜半導体層7上の層間絶縁膜11の部分にコンタクトホール12、13が形成されるとともに、保持容量用画素電極2上の層間絶縁膜5の部分にコンタクトホール6が形成される。また、図示省略したが、保持容量配線2、ゲート配線Gおよび画素外の回路の部分に所定のコンタクトホールが形成される。その後、レジストパターンを除去する。
【0051】
次に、例えばスパッタリング法により、全面に、Siを1%含むAl合金(Al−Si合金)膜を成膜する。次に、リソグラフィ工程により、信号配線15および引き出し電極16の形成領域上と、回路内配線およびパッド(いずれも図示せず)の形成領域上とにレジストパターン(図示せず)を形成する。次に、このレジストパターンをマスクとして、例えばドライエッチング法によりAl合金膜をパターニングする。これにより、信号配線15および引き出し配線16を形成するとともに、パッドおよび回路内配線を形成する。なお、これらの配線や電極は、Al−Si合金以外にも、Al−Si−Cu合金、Al−Cu合金などのAl基合金や、Cu基合金を用いてもよく、さらには、これらのAl基合金やCu基合金の下層もしくは上層に、Ti、TiN、TiON、WSiなどのバリアメタルを設けた多層構造としてもよい。
【0052】
次に、例えばO3 ガスとTEOSガスとを用いたCVD法により、全面にPSG膜を成膜することにより、層間絶縁膜17を形成する。次に、層間絶縁膜17上にコンタクトホール18およびパッドの形成領域に開口を有するレジストパターン(図示せず)を形成する。その後、このレジストパターンをマスクとして、例えばドライエッチング法により、層間絶縁膜17を、引き出し電極16の表面が露出するまでエッチングする。これにより、パッドに接続するためのコンタクトホールが形成されるとともに、引き出し電極16上にコンタクトホール13が形成される。その後、レジストパターンを除去する。
【0053】
次に、例えばスパッタリング法により全面にTi膜を成膜した後、リソグラフィ工程およびエッチング工程によりこのTi膜を所定形状にパターニングすることによって、上層遮光膜19を形成する。
【0054】
次に、例えばTEOSガスを用いたプラズマCVD法により、NSG膜を成膜することによって、層間絶縁膜20を形成する。
【0055】
次に、リソグラフィ工程により、層間絶縁膜20上にコンタクトホール21の形成領域とパッドの形成領域とに開口を有するレジストパターン(図示せず)を形成した後、このレジストパターンをマスクとして、例えばドライエッチング法により層間絶縁膜20をエッチングする。これによって、コンタクトホール21が形成されるとともに、パッド表面が露出する。その後、レジストパターンを除去する。
【0056】
次に、Hを4%含んだN2 ガス中において熱処理を行うことにより、トランジスタ特性を向上させる。
【0057】
次に、例えばスパッタリング法により全面にITO膜を成膜した後、このITO膜をパターニングすることにより、透明の画素電極22を形成する。
【0058】
その後、画素電極22上に配向膜を形成して、TFT基板を製造した後、従来公知の方法にしたがってプロセスを進め、目的とする液晶表示装置を完成させる。
【0059】
以上説明したように、この第1の実施形態によれば、薄膜トランジスタを構成する薄膜半導体層7の下層に保持容量配線4、保持容量用誘電膜3および保持容量用画素電極2から構成される保持容量素子を設けていることにより、保持容量配線4および保持容量用画素電極3が、平面的にTFTのゲート配線Gなどの他の配線による制約を受けることがないので、画素間遮光面積を低減しつつ保持用容量素子の容量形成面積を十分に確保することができ、その保持容量Cs を十分に確保することができる。このため、各画素の薄膜トランジスタがオフのときの画素信号電位を安定化することができるので、表示画質を向上させることができる。また、保持容量配線4を、薄膜トランジスタのチャネル形成領域に対して、平面的に1.0μm以上の余裕を有し、各方向に0.5μm以上の幅を有する領域に配置されていることにより、TFT基板の裏面側からの光入射に対して、保持容量用画素電極2および保持容量配線4がTFTに対する遮光膜として働き、斜め方向から薄膜トランジスタに入射する光を低減することができるので、光励起電流に起因した画質の劣化を防止することができ、表示画質のさらなる向上を図ることができる。したがって、画素間遮光面積を低減しつつ表示画質の向上を図ることができるので、液晶表示装置における高光透過率および高精細化を実現することができる。
【0060】
次に、この発明の第2の実施形態による液晶表示装置について説明する。図3はこの第2の実施形態による液晶表示装置のTFT基板の一例を示す。
【0061】
図3に示すように、この第2の実施形態による液晶表示装置においては、第1の実施形態と異なり、層間絶縁膜17上にその表面が平坦化された層間絶縁膜31が設けられている。引き出し電極16上の層間絶縁膜31、17の部分にコンタクトホール32が設けられている。層間絶縁膜31上には上層遮光膜19が設けられており、コンタクトホール32を通じて引き出し電極16と上層遮光膜19とが接続されている。層間絶縁膜31上に上層遮光膜19を覆うように層間絶縁膜33が設けられている。上層遮光膜19上の層間絶縁膜33の部分にはコンタクトホール34が設けられている。層間絶縁膜33上には画素電極22が設けられており、コンタクトホール34を通じて、画素電極22と上層遮光膜19とが接続されている。その他の構成については第1の実施形態と同様であるので説明を省略する。
【0062】
以上のように構成された液晶表示装置の製造方法においては、まず、第1の実施形態におけると同様にして層間絶縁膜17の形成まで行う。次に、第1の実施形態とは異なり、層間絶縁膜17上に層間絶縁膜31を形成する。次に、例えばCMP法により層間絶縁膜31表面を平坦化する。次に、リソグラフィ工程およびエッチング工程により、引き出し電極16上の層間絶縁膜17、31の部分にコンタクトホール32を形成する。次に、例えばスパッタリング法により全面にTi膜を形成した後、このTi膜をパターニングすることにより、上層遮光膜19を形成する。次に、例えばCVD法により、上層遮光膜19を覆うようにして層間絶縁膜31上に層間絶縁膜33を形成する。次に、上層遮光膜19上の層間絶縁膜33の部分にコンタクトホール34を形成する。その後、例えばスパッタリング法により全面にITO膜を成膜した後、このITO膜を所定形状にパターニングすることにより、所定形状の画素電極22を形成する。液晶表示装置の製造方法におけるその他のプロセスについては第1の実施形態におけると同様であるので、説明を省略する。
【0063】
この第2の実施形態によれば、薄膜半導体層7の下層に保持容量素子を設けるようにしていることにより、第1の実施形態と同様の効果を得ることができるとともに、平坦化された層間絶縁膜31上に上層遮光膜19を設けるようにしていることにより、上層遮光膜19のカバレッジ形状を改善することができ、対向基板側からの入射光を効率よく遮光することができる。また、信号配線15と上層遮光膜19との間の寄生容量を低減することができる。したがって、この液晶表示装置における表示画質のさらなる向上を図ることができる。
【0064】
次に、この発明の第3の実施形態による液晶表示装置について説明する。図4はこの第3の実施形態による液晶表示装置のTFT基板の一例を示す。
【0065】
図4に示すように、この第3の実施形態による液晶表示装置においては、第1の実施形態とは異なり、信号配線15および引き出し電極16を、Siを1%含むAl合金膜41a上に例えばTiN膜41bを設けた2層構造とする。そして、これらの信号配線15および引き出し電極16を覆うように層間絶縁膜17が設けられている。また、層間絶縁膜17上には上層遮光膜が設けられておらず、その表面が平坦化された層間絶縁膜42が設けられている。引き出し電極16上の層間絶縁膜17、42の部分にコンタクトホール43が形成されている。層間絶縁膜42上に画素電極22が設けられている。画素電極22と引き出し電極16とはコンタクトホール43を通じて接続されている。また、図示は省略するが、第1の実施形態におけるTFT基板の上層遮光膜19に対応する画素間遮光領域は、TFT基板の上方の液晶層を介した対向基板中に設けられている。液晶表示装置のその他の構成については第1の実施形態におけると同様であるので、説明を省略する。
【0066】
以上のように構成された第3の実施形態による液晶表示装置の製造方法においては、まず、第1の実施形態におけると同様にして層間絶縁膜11の形成まで行う。その後、開口14およびコンタクトホール6、12、13を順次形成する。次に、例えばスパッタリング法により、全面にSiを1%含むAl合金膜41aを形成した後、Al合金膜41a上にTiN膜41bを形成する。次に、このTiN膜41bおよびAl合金膜41aからなる積層膜を所定形状にパターニングすることにより、信号配線15および引き出し電極16を形成する。次に、これらの信号配線15および引き出し電極16を覆うようにして、全面に層間絶縁膜17を形成する。次に、例えばCVD法により、層間絶縁膜17上に層間絶縁膜42を形成する。その後、例えばCMP法によりその表面を研磨することにより平坦化する。次に、リソグラフィ工程およびエッチング工程により、引き出し電極16上の層間絶縁膜17、42の部分を、TiN膜41bの表面が露出するまでエッチングすることにより、コンタクトホール43を形成する。次に、層間絶縁膜42上の全面に、例えばスパッタリング法により、コンタクトホール43を通じ引き出し電極16と電気的に接続するようにして、例えばITO膜を形成する。その後、このITO膜を所定形状にパターニングすることにより、画素電極22を形成する。液晶表示装置の製造方法におけるその他のプロセスに関しては、第1の実施形態におけると同様であるので、説明を省略する。
【0067】
また、この第3の実施形態の他の例として、薄膜半導体層7上の層間絶縁膜11、17、42の部分にコンタクトホール(図示せず)を設け、このコンタクトホールを通じて画素電極22と薄膜半導体層7とを直接接続することも可能である。
【0068】
この第3の実施形態によれば、薄膜半導体層7の下層に保持容量素子を設けれいることにより、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、TFT基板中に上層遮光膜19を設けないようにし、引き出し電極16と画素電極22とを直接接続しているが、引き出し電極16をSiを1%含むAl合金膜41a上にTiN膜41bを設けた2層構造としていることにより、引き出し電極16と画素電極22との間で良好な電気的接続を確保することができる。
【0069】
次に、この発明の第4の実施形態による液晶表示装置の一例について説明する。図5はこの第4の実施形態による液晶表示装置のTFT基板の一例を示す。
【0070】
図5に示すように、この第5の実施形態による液晶表示装置においては、第1の実施形態とは異なり、絶縁性透明基板1上に所定形状の保持容量配線4が設けられている。保持容量配線4上には保持容量用誘電膜3を介して保持容量用画素電極2が設けられている。保持容量用画素電極2上の層間絶縁膜5の部分にコンタクトホール6が設けられている。このコンタクトホール6を通じて保持容量用画素電極2と引き出し電極16とが電気的に接続されている。液晶表示装置におけるその他の構成に関しては第1の実施形態におけると同様であるので説明を省略する。
【0071】
以上のように構成された液晶表示装置の製造方法においては、まず、第1の実施形態と異なり、例えばCVD法により、絶縁性ガラス基板1上に例えば膜厚が200nmのWSi膜、例えば膜厚が60nmのSiO2 膜および例えば膜厚が50nmのWSi膜を順次成膜する。次に、リソグラフィ工程およびエッチング工程により、このWSi/SiO2 /WSi膜からなる積層膜をパターニングすることにより、保持容量用画素電極2、保持容量用誘電膜3、保持容量配線4を形成し、これらからなる保持容量素子を形成する。液晶表示装置の製造方法におけるその他のプロセスに関しては、第1の実施形態におけると同様であるので、説明を省略する。
【0072】
この第4の実施形態によれば、薄膜半導体層7の下層に保持容量素子を設けるようにしていることにより、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、保持容量用画素電極2の下層に保持容量配線4を設けて、第1の実施形態における保持容量素子と積層構造を反対にしていることにより、コンタクトホール6の形成領域を確保するために、保持容量配線4の一部を除去する必要がなくなる。これにより、保持容量素子の保持容量面積をさらに増加させることができるので、その保持容量Cs を増加させることができる。
【0073】
次に、この発明の第5の実施形態による液晶表示装置について説明する。図6はこの第5の実施形態による液晶表示装置のTFT基板の一例を示す。
【0074】
図6に示すように、この第5の実施形態による液晶表示装置においては、第1の実施形態と異なり、層間絶縁膜5に形成されたコンタクトホール6を通じて保持容量用画素電極2に接続された引き出し電極61が、ゲート電極Gと同様の構造、すなわち多結晶Si膜9とWSi膜10との積層膜から構成されている。この引き出し電極61の一端部は薄膜半導体層7のドレイン領域の部分に接続されている。これにより、薄膜トランジスタのドレイン領域と保持容量用画素電極2とが電気的に接続されている。また、層間絶縁膜11に形成されたコンタクトホール13を通じて、薄膜半導体層7のドレイン領域に、例えばSiを1%含むAl合金膜からなる電極62が接続されている。液晶表示装置におけるその他の構成に関しては、第1の実施形態におけると同様であるので説明を省略する。
【0075】
以上のように構成された液晶表示装置の製造方法においては、まず、第1の実施形態と同様にして薄膜半導体層7上のゲート誘電膜8の形成まで行う。次に、第1の実施形態と異なり、リソグラフィ工程およびエッチング工程により、保持容量用画素電極2上の層間絶縁膜5の部分にコンタクトホール6を形成する。次に、例えばLP−CVD法により、全面にPがドープされた多結晶Si膜9とWSi膜10とを順次成膜することにより、積層膜を形成する。次に、この積層膜をゲート配線Gの形状、および平面的に薄膜半導体層7のドレイン領域に重なりつつ、コンタクトホール6を通じて保持容量用画素電極2に接続可能な形状にパターニングする。これにより、多結晶Si膜9とWSi膜10との積層膜からなるゲート配線Gおよび引き出し電極61が形成される。その後、これらのゲート配線Gおよび引き出し電極61を覆うように層間絶縁膜11を形成し、層間絶縁膜11の薄膜半導体層7上の部分にコンタクトホール12、13を形成する。次に、スパッタリング法によりSiを1%含むAl合金膜を形成した後、このAl合金膜を信号配線15および電極62の形状にパターニングする。これにより、コンタクトホール12を通じて薄膜半導体層7のソース領域に接続される信号配線15が形成されるとともに、薄膜半導体層7のドレイン領域に接続される電極62が形成される。次に、O3 ガスとTEOSガスとを用いたCVD法により、全面にPSGからなる層間絶縁膜17を形成する。この液晶表示装置の製造方法におけるその他のプロセスに関しては、第1の実施形態におけると同様であるので、説明を省略する。
【0076】
この第5の実施形態によれば、薄膜半導体層7の下層に保持容量素子を設けるようにしていることにより、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0077】
次に、この発明の第6の実施形態による液晶表示装置について説明する。図7はこの第6の実施形態による液晶表示装置のTFT基板の一例を示す。
【0078】
この第6の実施形態による液晶表示装置においては、第5の実施形態と異なり、保持容量用画素電極2上の層間絶縁膜5の部分に形成されたコンタクトホール6の内部に、例えばWからなるコンタクトプラグ71が埋め込まれている。層間絶縁膜5上にコンタクトプラグ71と接続されて、多結晶Si膜9およびWSi膜10を順次積層した積層膜からなる引き出し電極72が設けられている。これによって、保持容量用画素電極2と引き出し電極72とが、コンタクトプラグ71を通じて電気的に接続されている。液晶表示装置におけるその他の構成に関しては、第5の実施形態におけると同様であるので説明を省略する。
【0079】
以上のように構成された液晶表示装置の製造方法においては、まず、第1の実施形態と同様にして、層間絶縁膜5の形成まで行う。次に、第1の実施形態と異なり、リソグラフィ工程およびエッチング工程により、保持容量用画素電極2上の層間絶縁膜5の部分にコンタクトホール6を形成する。次に、例えばブランケットW−CVD法により、コンタクトホール6の内部に埋め込むようにして、全面にW膜を成膜する。次に、例えば三フッ化塩素(ClF3 )ガスをエッチングガスとして、W膜のエッチバックを行う。これにより、コンタクトホール6の内部にWからなるコンタクトプラグ71が埋め込まれる。次に、第1の実施形態と同様にして、薄膜半導体層7およびゲート誘電膜8を順次形成する。次に、例えばLP−CVD法により、全面にPがドープされた多結晶Si膜9とWSi膜10とを順次成膜することにより、積層膜を形成する。次に、この積層膜をゲート配線Gの形状、およびコンタクトプラグ71に接続しつつ、一端部が薄膜半導体層7に重なるような形状にパターニングする。これにより、多結晶Si膜9とWSi膜10との積層膜からなるゲート配線Gおよび引き出し電極72が形成される。その後、これらのゲート配線Gおよび引き出し電極72を覆うように層間絶縁膜11を形成する。この液晶表示装置の製造方法におけるその他のプロセスに関しては、第1の実施形態におけると同様であるので、説明を省略する。
【0080】
この第6の実施形態によれば、薄膜半導体層7の下層に保持容量素子を設けるようにしていることにより、第1の実施形態および第5の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、引き出し電極72と保持容量用画素電極2とをコンタクトプラグ71を介して接続するようにしていることにより、引き出し電極72のカバレッジ形状をより改善することができる。
【0081】
次に、この発明の第7の実施形態による液晶表示装置について説明する。図8はこの第7の実施形態による液晶表示装置の平面レイアウトの一例を示す。
【0082】
図8に示すように、この第7の実施形態による液晶表示装置においては、第1の実施形態と異なり、保持容量配線4(図8中、斜線部)を、信号配線15に重なる領域で、信号配線15の長手方向に延長させて設けるようにする。すなわち、保持容量配線4は、信号配線15および引き出し電極16の下層かつ重なる領域で、それらの形状に沿って格子状に設けられている。この第7の実施形態による液晶表示装置の構成およびその製造方法に関しては第1の実施形態におけると同様であるので、説明を省略する。
【0083】
この第7の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の効果を得ることができるとともに、保持容量配線4を、信号配線15の下層でかつ重なる領域に、信号配線15の長手方向に延長した形状、すなわち格子状に形成していることにより、保持容量面積をさらに増加させることができるので、より信頼性の高い液晶表示装置を得ることができる。
【0084】
以上、この発明の実施形態について具体的に説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
【0085】
例えば、上述の実施形態において挙げた数値、構造、形状、材料、プロセスなどはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる数値、構造、形状、材料、プロセスなどを用いてもよい。
【0086】
また、上述の第1の実施形態においては、保持容量用誘電膜3として、SiO2 膜を用いているが、保持容量用誘電膜3として、SiN膜や、SiO2 /SiN/SiO2 膜などを用いることも可能である。
【0087】
また、上述の第1の実施形態においては、保持容量用画素電極2および保持容量配線4としてWSi膜を用いているが、これらの保持容量用画素電極2および保持容量配線4として、不純物をドープした多結晶Si膜を用いることも可能である。また、ゲート配線Gを多結晶Si膜9上にWSi膜10を設けた積層膜としているが、多結晶Si膜9上に設ける膜として、W膜、Mo膜、Ta膜、Cr膜およびTi膜を用いることが可能である。また、これらのシリサイド膜や合金膜を用いることも可能である。
【0088】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によれば、保持容量素子を、薄膜トランジスタを構成する薄膜半導体層の下層に設けるようにしていることにより、保持容量素子の設計自由度を向上させることができるので、保持容量面積を確保しつつ画素間遮光領域を縮小させることができ、これによって、高光透過率で高精細化された液晶表示装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施形態による液晶表示装置のTFT基板を示す断面図である。
【図2】この発明の第1の実施形態による液晶表示装置のTFT基板における平面レイアウトを示す平面図である。
【図3】この発明の第2の実施形態による液晶表示装置のTFT基板を示す断面図である。
【図4】この発明の第3の実施形態による液晶表示装置のTFT基板を示す断面図である。
【図5】この発明の第4の実施形態による液晶表示装置のTFT基板を示す断面図である。
【図6】この発明の第5の実施形態による液晶表示装置のTFT基板を示す断面図である。
【図7】この発明の第6の実施形態による液晶表示装置のTFT基板を示す断面図である。
【図8】この発明の第7の実施形態による液晶表示装置のTFT基板における平面レイアウトを示す平面図である。
【図9】従来技術による液晶表示装置を示すブロック図である。
【図10】従来技術による液晶表示装置を示す断面図である。
【図11】従来技術による液晶表示装置の平面レイアウトを示す平面図である。
【符号の説明】
1・・・絶縁性透明基板、2・・・保持容量用画素電極、3・・・保持容量用誘電膜、4・・・保持容量配線、6、12、13、18、21、32、34、43・・・コンタクトホール、7・・・薄膜半導体層、16、61、72・・・引き出し電極、19・・・上層遮光膜、22・・・画素電極、G・・・ゲート配線
Claims (5)
- 基板上に保持容量素子を形成し、
上記保持容量素子の上層に層間絶縁膜を介して画素電極の駆動用の薄膜トランジスタの薄膜半導体層を、上記保持容量素子が平面的に上記薄膜半導体層と重なるように形成するようにした液晶表示装置の製造方法。 - 上記基板上に保持容量用画素電極、保持容量用誘電膜および保持容量配線を順次形成することにより、上記保持容量素子を形成するようにした請求項1記載の液晶表示装置の製造方法。
- 上記保持容量用画素電極上に層間絶縁膜を形成し、上記層間絶縁膜上に上記薄膜半導体層を形成し、上記薄膜半導体層上にゲート誘電膜を介してゲート配線を形成するようにした請求項2記載の液晶表示装置の製造方法。
- ゲート配線を形成するとともに、上記薄膜トランジスタにおける拡散層と上記保持容量用画素電極とを接続する導電層を形成するようにした請求項2記載の液晶表示装置の製造方法。
- 信号配線を形成するとともに、上記薄膜トランジスタにおける拡散層と上記保持容量用画素電極とを接続する導電層を形成するようにした請求項2記載の液晶表示装置の製造方法。
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