JP3839267B2 - 半導体装置及びそれを用いた通信端末装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、1次側回路と2次側回路との間で信号を伝達し、かつ1次側回路と2次側回路を電気的に絶縁分離する容量性絶縁手段を有するマルチチップ構成の半導体装置と、それを応用した集積回路、特にアナログフロントエンドやモデム,通信端末装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
複数の回路間を電気的に絶縁分離し信号を伝達する必要がある場合は、絶縁カプラやアイソレータと呼ばれている個別部品のトランスやフォトカプラなどを用いていた。例えば通信分野では、公共性の高いネットワーク設備の保護と端末装置の保護のために、ネットワークと端末の境界に高い絶縁性が要求されていて、通信用小型トランスなどのアイソレータが使われてきた。また、計測,医療等の分野では、人体や計測機器に対する安全性や対ノイズ性のため、センサ部と信号波形処理回路など信号検出部と信号処理部との絶縁分離手段としてアイソレータが用いられてきた。
【0003】
トランスで絶縁する場合は用いる材料や構造などの制約のために小型化,軽量化に限界があり、価格も高い欠点がある。発光素子と受光素子を組合せたフォトカプラを用いたアイソレータは小型,軽量,低価格である。しかし、フォトカプラは、温度変化などで電気特性が変化しやすく、これらの補正には精密な制御が必要な補正回路を要する。また、一般的な半導体装置の製造工程とは別に発光,受光素子用に別の製造工程が必要になる。
【0004】
また、絶縁バリアを構成する個別部品として、電力用、あるいはサージ保護用のセラミックキャパシタがあり、これを用いた信号伝送用回路は容量性絶縁アンプ、もしくは容量性絶縁カプラと呼ばれている。容量性絶縁バリアを通じて信号を伝送する伝送方法として、PWM(パルス幅変調)方式などが用いられている。特開平7−307708号公報には、3つの容量性絶縁バリアとこれを用いたディジタルPWM信号伝送のモデル応用回路が開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
アイソレータには、今後さらなる小型化,軽量化,低価格化等の要求があり、この観点でこれら従来技術には、以下の課題と問題点がある。
【0006】
高い耐電圧性能を有する絶縁バリアと、入力信号を伝送に適した波形にする信号変調回路部、受け取った伝送信号を元の信号に戻す信号復調回路部はそれぞれ別の部品であり、複数の部品を同一パッケージに搭載してアイソレータを構成している。したがって、部品点数が多く、しかも組立工程も複雑になり、複数の部品を基板に実装するので、小型化にも限界がある。
【0007】
トランスやフォトカプラなどを用いた従来技術のアイソレータの場合、実装における部品点数の多さや部品自体の構造のため、市場が求めるような小型化や低価格化には限界があった。また、容量性絶縁バリアを用いたアイソレータでは、容量性バリアやその伝送回路が個別部品であるので、小型化には限界があった。
【0008】
本発明の目的は、高い絶縁性を有する絶縁バリアをパッケージ或いはモジュール内部に内蔵したマルチチップ構成の半導体、およびこれを用いた実装面積の小さな小型の応用回路ICを実現し、提供する事である。本発明の他の目的は、これらのアイソレータを内蔵したマルチチップ構成のICを応用した電子装置を提供する事である。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体装置は、複数の半導体チップ上に形成した高耐圧容量の外部電極間を、ワイヤボンディング或いはプリント基板配線,リードフレーム等で電気的に接続する。そして、半導体チップ上に形成された信号送信用のドライバ回路、又は信号受信用のレシーバ回路は、前記高耐圧容量の基板側電極と電気的に接続する。これにより、1次側回路と2次側回路との間で信号を伝達し、かつ1次側回路と2次側回路を絶縁分離する容量性絶縁手段が形成される。前記2つの半導体チップは1つのパッケージ或いは1つのモジュールに収められる。
【0010】
本発明の半導体装置では、前記半導体チップには、SOI(Silicon On
Insulator)基板を用いたトレンチ分離や誘電体分離基板を用いた誘電体分離等の特別な絶縁分離手段を設ける必要は特になく、低圧LSIで一般に用いる通常のPN接合分離で十分である。
【0011】
本発明のアナログフロントエンドを備えた半導体装置では、1次側回路と2次側回路とが、各々アナログ入出力側,ディジタル入出力側回路であり、前記容量性絶縁手段を用いてアナログ入出力側回路とディジタル入出力側回路との間で信号を伝達し、かつ、アナログ入出力側回路とディジタル入出力側回路とを絶縁分離する。
【0012】
本発明のモデル装置では、アナログフロントエンドを備えた半導体装置を有し、その半導体装置には、1次側回路と2次側回路が各々アナログ入出力側,ディジタル入出力側回路であり、前記容量性絶縁手段を用いてアナログ入出力側回路とディジタル入出力側回路との間で信号を伝達し、かつ、アナログ入出力側回路とディジタル入出力側回路とを絶縁分離されるアナログフロントエンドを備えた半導体装置を用いる。
【0013】
本発明の回線に接続されるトランシーバを備える半導体装置では、その1次側回路と2次側回路が、各々トランシーバ回路,応用制御回路であり、前記容量性絶縁手段を用いてトランシーバ回路と前記応用制御回路との間で信号を伝達し、かつ、トランシーバ回路と応用制御回路とを絶縁分離する。
【0014】
本発明の通信端末装置では、回線に接続されるトランシーバを備えた半導体装置を有し、その半導体装置には、その1次側回路と2次側回路が各々トランシーバ回路,応用制御回路であり、前記容量性絶縁手段を用いてトランシーバ回路と前記応用制御回路との間で信号を伝達し、かつ、トランシーバ回路と応用制御回路とを絶縁分離されるトランシーバを備えた半導体装置を用いる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図を用いて、本発明の実施例を詳しく説明する。
【0016】
(実施例1)
図1に本実施例の半導体装置の略平面構成を示す。図1の矢印A,A′での略断面構造を図2に示す。図1,図2では、本実施例の半導体装置をマルチチップIC1として示す。マルチチップIC1は第1のチップ10と、第2のチップ20と、チップに信号を入出力するための端子であるリードフレーム60,62と、前記2チップを実装する際の支持体となるリードフレーム61,63、とこれらを実装するためのパッケージ30を備える。
【0017】
第1のチップ10は、1次側回路210,レシーバ回路410,411,413,ドライバ回路312,高耐圧容量110,111,112,113からなり、パッド92はリードフレーム60に入出力する信号を、ボンディングワイヤを介して1次側回路210と電気的に接続するための電極、パッド90は高耐圧容量110,111,112,113の外部側電極として設けられ、ボンディングワイヤ50を介して第2のチップ20に形成された高耐圧容量120,121,122,123の外部電極であるパッド91と接続される。配線70は1次側回路210とレシーバ回路410,411,413或いはドライバ回路312を電気的に結ぶ信号配線であり、配線80は高耐圧容量110,111,112,113の基板側電極900(図2)とレシーバ回路410,411,413或いはドライバ回路312を電気的に結ぶ信号配線である。
【0018】
第2のチップ20も同様に、2次側回路220,レシーバ回路422,ドライバ回路320,321,323,高耐圧容量120,121,122,123からなり、パッド93はリードフレーム62に入出力される信号を、ボンディングワイヤを介して2次側回路220と電気的に接続するための電極、パッド91は高耐圧容量120,121,122,123の外部側電極として設けられ、ボンディングワイヤ50を介して第1のチップ10に形成された高耐圧容量110,111,112,113の外部電極であるパッド90と接続される。配線71は2次側回路220とレシーバ回路422或いはドライバ回路320,321,323を電気的に結ぶ信号配線であり、配線81は高耐圧容量120,121,122,123の基板側電極910(図2)とレシーバ回路422或いはドライバ回路320,321,323を電気的に結ぶ信号配線である。
【0019】
図2に示すように、第1のチップ10と第2のチップ20は絶縁性を有するパッケージ30に収められるので、第1のチップ10の基板11と第2のチップ20の基板21はパッケージ材料によって絶縁分離される。なお、所望の耐圧が得られる距離まで第1,第2のチップは離されてパッケージングされる。従って、第1,第2のチップでは、SOI(Silicon On Insulator)基板を用いたトレンチ分離や誘電体分離基板を用いた誘電体分離等の特別な絶縁分離手段を設ける必要はなく、低圧LSIで一般に用いる通常のPN接合分離で十分である。
【0020】
アイソレータ回路100(図2)は、第1のチップ10のドライバ回路312,高耐圧容量112,ボンディングワイヤ50,第2のチップ20の高耐圧容量122、及びレシーバ回路422からなる。図1ではアイソレータ回路を4つ設けている。そして、アイソレータ回路100に接続された1次側回路210と2次側回路220は、1次側の高耐圧容量110,111,112,113及び2次側の高耐圧容量120,121,122,123を介して電気的に絶縁されている。即ち、1500Vの異常な高電圧が商用周波数でリードフレーム60と62の間に印加されたとしても、その電圧の大部分が高耐圧容量110,111,112,113と120,121,122,123に加わる。例えば1次側の高耐圧容量110,111,112,113と2次側の高耐圧容量120,121,122,123の容量値が同じ場合、1次側の高耐圧容量と2次側の高耐圧容量で、各々750Vずつ均等に分担される。このため、1次側,2次側回路,レシーバ、及びドライバ回路に異常電圧は掛からず、左記の回路を定格3.3V 以下の低電圧素子で形成できる。
【0021】
図3(a),図3(b)とを用いてアイソレータ回路の動作を説明する。図3(a)にアイソレータ回路のブロック構成概略図、図3(b)に動作波形を示す。ドライバ回路312は入力パルス信号INから相補のパルス信号P、/P(Pバー;Pの反転信号を明細書の表記上の制約により以下「/P」と表す)を出力する差動増幅回路、112,122は共に相補のパルス信号P、/Pを容量結合でレシーバ回路422へ伝送するペアの高耐圧容量(図1,図2では簡単のために差動出力とはせずにシングル出力,シングル容量で表す)、レシーバ回路422内のRは高耐圧容量112,122と組合せることにより、容量結合により伝送される相補パルス信号P、/Pを微分信号D、/D(Dバー;Dの反転信号を明細書の表記上の制約により以下「/D」と表す)にする微分抵抗、4220は微分信号D、/Dから入力パルス信号INの遷移タイミングを検出する遷移検出回路、4221は遷移検出回路4220で検出した遷移検出信号S,Rから元のパルス信号を再生するパルス再生回路である。
【0022】
1次側回路210から2次側回路220へ伝送すべきパルス信号INは、差動増幅回路からなるドライバ回路312により相補のパルス信号P、/Pを生成して、高耐圧容量112の1次側(図2の900に相当)を駆動する。高耐圧容量112,122及び微分抵抗Rにより、高耐圧容量122の2次側(図2の81に相当)に微分信号D、/Dが出力される。微分信号D、/Dから遷移検出回路4220により入力パルス信号INの遷移タイミングに関わる遷移検出信号S,Rが得られる。遷移検出信号S,Rはパルス再生回路4221によりパルスを再生して再生パルス信号OUTを出力し、これが2次側回路220へ入力される。本発明の半導体装置によれば、入力と出力の間に高い絶縁特性を実現しながら信号成分のみを出力側に伝達できる。
【0023】
本発明の半導体装置は特別な半導体製造工程やLSI組立工程を含まない通常の製造プロセスによって製造できる。また、高耐圧容量を含む2つのチップを同時に実装してパッケージに収めるので従来技術に比べ実装面積が低減されると共に、実装工数が減る。
【0024】
なお、本実施例では第1のチップ10、第2のチップ20共に高耐圧容量を有する場合を示したが、要求される絶縁耐圧に応じて一方のチップのみに高耐圧容量を形成しても良い。また、本実施例では高耐圧容量110,120の基板側の電極を、第1及び第2のチップ10,20内に形成された拡散層900,910としているが、この代りにメタル或いはポリシリコン配線層を用いても良い。また、パッケージに実装する半導体チップの数は2つ以上であっても良い。
【0025】
(実施例2)
図4に本実施例の半導体装置の略断面構造を示す。実施例1との相違点は、第1のチップ10,第2のチップ20の素子形成領域を図4下向きに配置し、高耐圧容量112外部側電極90と高耐圧容量122の外部側電極91の接続をボンディングワイヤの代りに、外部側電極90,91の表面に設けた半田ボールとリードフレーム64で行った点と、1次側回路210の電極92とリードフレーム60の接続、2次側回路220の電極93とリードフレーム62の接続を、ボンディングワイヤ51,52の代りに、外部側電極92,93の表面に設けた半田ボールで行った点とである。
【0026】
本実施例も実施例1と同様に、入力と出力の間に高い絶縁特性を実現しながら信号成分を出力側に伝達できる。
【0027】
(実施例3)
図5に本実施例の半導体装置の略断面構造を示す。本実施例は、第2の実施例2のリードフレーム60,62,64の代りに、各々プリント基板上の配線510,515,520を用いたものである。配線510は半田ボールを介して1次側回路210の電極92と、配線515は半田ボールを介して2次側回路220の電極92と接続される。また、配線520は高耐圧容量112外部側電極90と高耐圧容量122の外部側電極91の接続を行っている。
【0028】
本実施例ではプリント基板上にベアチップが設けられるので、第1,第2のチップはパッケージの代りに絶縁樹脂40で封止される。本実施例でも実施例1と同様に、入力と出力の間に高絶縁特性を実現しながら信号成分を出力側に伝達できる。
【0029】
(実施例4)
図6に本実施例の半導体装置の略断面構造を示す。本実施例と実施例1との相違点は、第1のチップ10,第2のチップ20共に高耐圧容量を設けず、代りに高耐圧容量チップ130の電極131及び132を、各々第1のチップに設けたドライバ回路312の出力側配線80、及び第2のチップに設けたレシーバ回路422の入力側配線81と接続した。ここで、高耐圧容量チップ130は、例えば高耐圧用の積層セラミックコンデンサ或いはセラミックコンデンサである。
【0030】
本実施例の場合も、例え1500Vの異常な高電圧が商用周波数でリードフレーム60と62の間に印加されても、その電圧の大部分が高耐圧容量130に加わる。従って、本実施例でも実施例1と同様に、入力と出力の間に高い絶縁特性を実現しながら信号成分を出力側に伝達できる。
【0031】
本発明の半導体装置は特別な半導体製造工程やLSI組立工程を含まない通常の製造プロセスによって製造できる。また、高耐圧容量チップ130と2つの半導体チップを同時に実装してパッケージに収めるので従来技術に比べ実装面積が低減されると共に、実装工数が減る。
【0032】
(実施例5)
本実施例は実施例1から実施例4の半導体装置をアナログフロントエンド(以下、AFE)に応用した。図7に本実施例の回路ブロック図を示す。図7において、1000は実施例1から実施例4の半導体装置である。
【0033】
第1のチップ10の1次側回路210は、主に2線4線変換回路,マルチプレクサ(MUX),AD変換回路,DA変換回路,プレフィルタ,ポストフィルタ,リセットやパワーダウンを行う制御回路、及び基準電圧発生回路からなる。基準電圧発生回路は、アナログ系回路に供給する基準電圧Vrefを発生する。
【0034】
第2のチップ20の2次側回路220は、主にディジタル信号処理&入出力制御、及びリセットやパワーダウンを行う制御回路からなる。ここで、ディジタル信号処理&入出力制御部は、図示しないがDA変換入力バッファ,AD変換出力バッファ,内部ディジタルグナルプロセッサ(以下、DSP),内部DSPの入出力転送制御,受信出力バッファ,送信バッファとからなる。
【0035】
半導体装置1000の内部回路の動作を説明する。2線4線変換回路は半導体装置1000をモデム装置に用いる場合に、LINE+,LINE−に接続された2線回線を送信,受信に合わせて半導体装置1000内部の4線回路と切換えを行う回路で、回線インピーダンス整合及び入出力アンプとして働く。
【0036】
受信系では、アナログ入力信号は2線4線変換回路を経由して入出力されるか、IN+,IN−端子から入力され、この切換えはマルチプレクサMUXによって行われる。アナログ入力信号はプレフィルタ(例えば、カットオフ周波数48KHzの2次の低域通過フィルタ)によりAD変換前に不要な周波数帯の信号が削除される。そして、2Mspsで動作する2次のΔΣ変調器ADCにより0.5μs毎に2ビットのディジタル信号が出力され、次段のデシメータ(図示せず)で32Kspsに間引かれ、16bit/wのデータはアイソレータ回路に入る前に2Mspsにシリアル変換される。アイソレータ回路を経たデータは、ディジタル信号処理&入出力制御回路に入力される。ここでは、平担特性補正や4KHz以下のローパスフィルタ処理が行われ、8Ksps毎に16bit/wのデータとして外部DSP600に伝えられる(RXD端子に入力される)。
【0037】
次に、送信系では、外部DSP600のTDX端子から出力されるデータは、ディジタル信号処理&入出力制御回路で受信時と同様の処理を行われる。16bit/wのデータはアイソレータ回路に入る前に2Mspsにシリアル変換され、アイソレータ回路100を経た後、補間フィルタ(図示せず)に入る。補間処理され6bit/wとなったデータは、ΔΣ変調器DACによりアナログ信号に変換される。補間処理等で残った折り返し成分をポストフィルタで除去して、2線4線変換回路を介してLINE+,LINE−に接続された2線回線に出力される。
【0038】
なお、半導体装置1000の内部回路の動作タイミングは、外部DSP600によって与えられる2MHzのクロック(MCLK)と、それを2次側回路220の制御回路内部にあるPLLで8倍の16MHzに変換したクロックとを基準にして決められている。これらの基準クロック信号は、アイソレータ回路100を介して1次側回路210の制御回路にも伝えられ、それらを基に1次側回路210の各種タイミング制御が行われている。
【0039】
(実施例6)
本実施例は実施例1から実施例4の半導体装置を用いたAFELSI1100を使ったモデム部800とそのホスト700を組合せた通信システムである。図8は本実施例の構成図である。1100は図7と同様にアイソレータ回路,AD変換,DA変換,フィルタ,ディジタル信号処理,制御回路等を含んだAFELSIである。801はDAA(Direct Access Arrangement)で、保護素子,接続スイッチ,直流閉結回路,直流閉結回路スイッチ,呼出信号検出回路等からなる。802は例えばDSP等の変復調手段、803はマルチプロセッサユニット(MPU),メモリ,ソフト等からなる伝送制御回路である。700はPC,WS,PDA等に内蔵されたホストCPUや専用DSP等の応用制御手段であり、ここではホストと呼ぶ。本実施例ではAFELSI1100を用いるので、従来はDAA内にあった高価で実装面積の大きい絶縁トランスを削除できるので、通信システムが小形化できる。
【0040】
(実施例7)
本実施例は実施例1から実施例4の半導体装置を用いたAFELSI1200を使ったソフトモデムシステムである。図9は本実施例の構成図である。1200は図7と同様にアイソレータ回路,AD変換,DA変換,フィルタ,ディジタル信号処理,制御回路等を含んだAFELSIである。812は応用制御手段であるホスト710と変復調手段を内蔵したAFELSI1200とを接続するインタフェース手段で、約0.5Mbyte のバッファメモリとその他の制御論理回路を含む。ここで、インタフェース手段(I/F)812は、AFELSI1200に内蔵しても良い。
【0041】
本実施例のソフトモデムシステムは、変復調手段,伝送制御手段をホスト710のCPUで一括処理して、変復調手段であるDSP802、伝送制御手段であるMPU803を削除し、モデム装置の大幅な小形化が図れる。
【0042】
(実施例8)
本実施例は実施例1から実施例4の半導体装置を用いたAFELSI1300を使ったソフトモデムシステムである。図10は本実施例の構成図である。1300は図7と同様にアイソレータ回路,AD変換,DA変換,フィルタ,ディジタル信号処理,制御回路等を含んだAFELSIである。この実施例ではAFELSI1300を用いたソフトモデムの構成要素を全て応用制御手段であるホスト720に取込んでいる。
【0043】
(実施例9)
本実施例は実施例1から実施例4の半導体装置を用いたトランシーバLSI1400,1410を使ったネットワークシステムである。図11は本実施例の構成図である。図11において、213はコントローラ&応用回路、101,102,103はアイソレータ回路、211はトランシーバ、212は電源レギュレータで、これらによってトランシーバLSI1400が構成される。1410は別のトランシーバLSIである。トランシーバLSI1400,1410は、各々ネットワークバス5000に並列接続されている。ネットワークバス5000は、電源バス5010と、信号バス5020と制御信号バス(図示せず)とからなり、電源バス5010にはネットワークバス電源5200が接続されている。トランシーバLSI1400,1410内部のコントローラ&応用回路213は、アイソレータ回路101,102,103によって、トランシーバ211や電源レギュレータ212と絶縁分離されている。トランシーバ211は電源レギュレータ212を介して電源バス5020から電源の供給を受けている。信号バス5020からの受信信号は、トランシーバ211,アイソレータ回路102,コントローラ&応用回路213を順に経てCPU610に伝送される。また、CPU610からの送信信号は、コントローラ&応用回路213,アイソレータ回路101,トランシーバ211を経て信号バス5020に伝送される。
【0044】
トランシーバLSI1400と別のトランシーバLSI1410間で通信する際には、起動するトランシーバLSIのトランシーバのスタンバイ状態を解除し、信号バス5020の受信信号Rを監視して信号バス5020の空きを知り、他のトランシーバLSI宛の送信信号Tを送信する。他のトランシーバLSIは、時々トランシーバのスタンバイを解除し、受信信号Rや制御信号バス(図示せず)の状態を監視し、自分宛の信号を確認したら引き続いて信号を受信する。
【0045】
【発明の効果】
本発明によれば、小型で高い絶縁性の半導体装置が実現できる。本発明のアイソレータ回路及びそれによって絶縁分離された複数の回路領域を内蔵したマルチチップ構成のICパッケージまたはモジュールは、実装面積が低減し実装工数を削除する。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1の平面図である。
【図2】実施例1の略断面図である。
【図3(a)】実施例1の半導体装置のアイソレータ回路部のブロック構成概略図である。
【図3(b)】実施例1の半導体装置のアイソレータ回路部の動作波形である。
【図4】実施例2の略断面図である。
【図5】実施例3の略断面図である。
【図6】実施例4の略断面図である。
【図7】実施例5の通信回路用のアナログフロントエンドの回路ブロック図である。
【図8】実施例6のモデム及びホスト部の構成図である。
【図9】実施例7のモデム及びホスト部の構成図である。
【図10】実施例8のモデム及びホスト部の構成図である。
【図11】実施例9の回路ブロック図である。
【符号の説明】
10…第1のチップ、20…第2のチップ、30…パッケージ、40…絶縁樹脂、50,51,52…ボンディングワイヤ、60,61,62,63…リードフレーム、70,71,80,81…金属膜配線、90,91,92,93…電極パッド、100,101,102,103…アイソレータ回路、110,111,112,113,120,121,122,123…高耐圧容量、210…1次側回路、211…トランシーバ、212…電源レギュレータ、213…コントローラ&応用回路、220…2次側回路、312,320,321,323,410,411,413…ドライバ回路、422…レシーバ回路、500…プリント基板、510〜520…プリント基板配線層、600…DSP、610…CPU、700,710…PC基本部、800,810…モデム部、900,910,2100,2200,3200,4100…拡散層、1000,1100…マルチチップIC、5000…ネットワークバス、5010…電源バス、5020…信号バス、5200…ネットワークバス電源。
Claims (16)
- 第1の半導体基板と、第2の半導体基板と、前記第1の半導体基板に設けた1次側回路と、前記第2の半導体基板に設けた2次側回路と、前記1次側回路と2次側回路との間で信号を伝達し、前記1次側回路と2次側回路とを絶縁分離する、前記第1の半導体基板に設けた第1の容量性絶縁手段と第2の半導体基板上とに設けた第2の容量性絶縁手段と、前記1次側回路及び2次側回路に各々信号を入出力する第1のリードフレームと、第2のリードフレームと、前記第1の半導体基板を支える第3のリードフレームと、前記第2の半導体基板を支える第4のリードフレームを具備し、
前記第1の容量性絶縁手段の外部電極と、第2の容量性絶縁手段の外部電極とをボンディングワイヤで接続し、前記第1の半導体基板と、第2の半導体基板と、前記第1から第4のリードフレームとを絶縁樹脂で封止したことを特徴とする半導体装置。 - 第1の半導体基板と、第2の半導体基板と、前記第1の半導体基板に設けた1次側回路と、前記第2の半導体基板に設けた2次側回路と、前記1次側回路と2次側回路との間で信号を伝達し、前記1次側回路と2次側回路とを絶縁分離する、前記第1の半導体基板に設けた第1の容量性絶縁手段と第2の半導体基板上とに設けた第2の容量性絶縁手段と、前記1次側回路及び2次側回路に各々信号を入出力する第1のリードフレームと、第2のリードフレームと、第3のリードフレームを具備し、
前記第1の容量性絶縁手段の外部電極と、第2の容量性絶縁手段の外部電極とを導電接着体を介して前記第3のリードフレームで接続し、前記第1の半導体基板と、第2の半導体基板と、前記第1のリードフレームと、第2のリードフレームと、第3のリードフレームとを絶縁樹脂で封止したことを特徴とする半導体装置。 - 第1の半導体基板と、第2の半導体基板と、前記第1の半導体基板に設けた1次側回路と、前記第2の半導体基板に設けた2次側回路と、前記1次側回路と2次側回路との間で信号を伝達し、前記1次側回路と2次側回路とを絶縁分離する、前記第1の半導体基板に設けた第1の容量性絶縁手段と第2の半導体基板上とに設けた第2の容量性絶縁手段と、前記1次側回路及び2次側回路に各々信号を入出力するための第1のプリント基板配線及び第2のプリント基板配線と、前記第1の半導体基板と第2の半導体基板とを支えるプリント基板を具備し、
前記第1の容量性絶縁手段と第2の容量性絶縁手段の外部電極を導電接着体を介して前記プリント基板に配線した第3のプリント基板配線を接続し、前記第1の半導体基板と、第2の半導体基板と、前記第3のプリント基板配線のプリント基板配線と、前記第1,第2のプリント基板配線の一部とを、前記プリント基板上に絶縁樹脂で封止したことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1から請求項3の何れかに記載の半導体装置において、前記第1の容量性絶縁手段が、前記第1の半導体基板上に配置した絶縁層と複数の電極とを備えるキャパシタであり、前記第2の容量性絶縁手段が、前記第2の半導体基板上に配置した絶縁層と複数の電極とを備えるキャパシタであることを特徴とする半導体装置。
- 請求項4に記載の半導体装置において、前記絶縁層が層間絶縁膜であることを特徴とする半導体装置。
- 請求項4に記載の半導体装置において、前記複数の電極内の少なくとも1つが、メタル層,ポリシリコン層、の何れかであることを特徴とする半導体装置。
- 請求項4に記載の半導体装置において、前記複数の電極の1つが、前記第1,第2の半導体基板に形成した拡散層であることを特徴とする半導体装置。
- 請求項7に記載の半導体装置において、前記絶縁層が層間絶縁膜であることを特徴とする半導体装置。
- 請求項8に記載の半導体装置において、前記複数の電極内の少なくとも1つが、メタル層,ポリシリコン層であることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1から請求項3の何れかに記載の半導体装置において、前記第1の半導体基板若しくは第2の半導体基板の何れかの半導体基板の素子間分離がPN接合分離であることを特徴とする半導体装置。
- 第1の半導体基板と、第2の半導体基板と、前記第1の半導体基板に形成した1次側回路と、前記第2の半導体基板に形成した2次側回路と、前記1次側回路に信号を入出力するための第1のリードフレームと、前記2次側回路に信号を入出力するための第2のリードフレームと、前記第1の半導体基板を支える第3のリードフレームと、第2の半導体基板を支える第4のリードフレームを具備し、
前記1次側回路と2次側回路とに電気的に接続していて、前記第1及び第2の半導体基板上の電極間に、導電接着体を介して配置した容量性絶縁手段を備えていて、
前記第1,第2の半導体基板と前記第1から第4のリードフレーム及び前記容量性絶縁手段とを絶縁樹脂で封止したことを特徴とする半導体装置。 - 請求項11に記載の半導体装置において、前記容量性絶縁手段が積層セラミックコンデンサ又はセラミックコンデンサであることを特徴とする半導体装置。
- 請求項1または請求項2または請求項3または請求項11の何れかに記載の半導体装置において、前記1次側回路がアナログ入出力側であり、前記2次側回路がディジタル入出力側であるアナログフロントエンドを備える半導体装置であって、前記アナログ入出力側回路と前記ディジタル入出力側回路との間で前記容量性絶縁手段を介して信号を伝達し、かつ、前記アナログ入出力側回路と前記ディジタル入出力側回路とが絶縁分離していることを特徴とする半導体装置。
- アナログフロントエンドと、変復調手段とを備えたモデム装置であって、前記アナログフロントエンドが、第1の半導体基板に形成した1次側回路と、第2の半導体基板に形成した2次側回路を備えていて、前記1次側回路と前記2次側回路とが容量性絶縁手段を介して信号伝達する半導体装置であることを特徴とするモデム装置。
- 1次側回路にトランシーバ回路を備え、2次側回路に応用制御回路を備える半導体装置であって、前記トランシーバ回路が第1の半導体基板に形成されていて、応用制御回路が第2の半導体基板に形成され、前記トランシーバ回路と前記応用制御回路との間で前記容量性絶縁手段を介して信号を伝達し、かつ、前記トランシーバ回路と前記応用制御回路とが絶縁分離していることを特徴とする半導体装置。
- 信号バス線を介して半導体装置と通信を行う通信端末装置において、トランシーバ回路,応用制御回路及びホストを備え、前記トランシーバ回路が信号バス線に接続され、前記応用制御回路がホストに接続され、かつ、少なくとも前記トランシーバ回路及び前記応用制御回路が、請求項15記載の半導体装置内部に形成されている事を特徴とする通信端末装置。
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