JP3376355B2 - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
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- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
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- H03H9/02—Details
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- H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波を用いた
弾性表面波フィルタに関わり、特に同一の圧電性基板上
に配設された縦モード結合２ポート弾性表面波共振子
と、この弾性表面波共振子に接続して配設された弾性表
面波共振子とを有する弾性表面波フィルタに関する。
弾性表面波フィルタに関わり、特に同一の圧電性基板上
に配設された縦モード結合２ポート弾性表面波共振子
と、この弾性表面波共振子に接続して配設された弾性表
面波共振子とを有する弾性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】自動車電話や携帯電話などに用いられる
ＲＦ ＳＡＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗ
ａｖｅ）フィルタは、主として数百ＭＨｚ〜数ＧＨｚの
周波数帯域にその通過周波数帯域を有するものが用いら
れている。この周波数および必要とされる周波数帯域は
用いるシステムに応じて決められてくる。一般に、周波
数帯域は数％の比帯域が要求される。
ＲＦ ＳＡＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｗ
ａｖｅ）フィルタは、主として数百ＭＨｚ〜数ＧＨｚの
周波数帯域にその通過周波数帯域を有するものが用いら
れている。この周波数および必要とされる周波数帯域は
用いるシステムに応じて決められてくる。一般に、周波
数帯域は数％の比帯域が要求される。
【０００３】またこうした携帯電話などの用途に用いら
れるＳＡＷフィルタには、挿入損失の低いものが要求さ
れる。このため、例えば特開平５−１８３３８０に見ら
れるような弾性表面波共振子を梯子状に接続したラダー
型フィルタ、あるいは特開平４−２０７６１５に見られ
るような複数の櫛形電極を反射器で挟んだ形の縦モード
結合共振子型フィルタ、さらにこれらを組み合わせた弾
性表面波フィルタが主として用いられてきた。
れるＳＡＷフィルタには、挿入損失の低いものが要求さ
れる。このため、例えば特開平５−１８３３８０に見ら
れるような弾性表面波共振子を梯子状に接続したラダー
型フィルタ、あるいは特開平４−２０７６１５に見られ
るような複数の櫛形電極を反射器で挟んだ形の縦モード
結合共振子型フィルタ、さらにこれらを組み合わせた弾
性表面波フィルタが主として用いられてきた。
【０００４】いずれの弾性表面波フィルタも、比較的挿
入損失の小さなフィルタを実現できることを特徴の一つ
としている。これらのフィルタを携帯電話用のＲＦフィ
ルタに適用する場合、実現可能な通過帯域幅はそのフィ
ルタの形成される圧電性基板の電気機械結合係数ｋ２に
大きく依存する。このため、比較的大きな電気機械結合
係数ｋ２をもつ３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａＯ３や、６４°
Ｙ−Ｘ ＬｉＮｂＯ３、４１°Ｙ−Ｘ ＬｉＮｂＯ３等
の圧電性基板が多く用いられてきた。
入損失の小さなフィルタを実現できることを特徴の一つ
としている。これらのフィルタを携帯電話用のＲＦフィ
ルタに適用する場合、実現可能な通過帯域幅はそのフィ
ルタの形成される圧電性基板の電気機械結合係数ｋ２に
大きく依存する。このため、比較的大きな電気機械結合
係数ｋ２をもつ３６°Ｙ−Ｘ ＬｉＴａＯ３や、６４°
Ｙ−Ｘ ＬｉＮｂＯ３、４１°Ｙ−Ｘ ＬｉＮｂＯ３等
の圧電性基板が多く用いられてきた。
【０００５】これらの圧電性基板は以下のような問題を
有している。このような圧電性基板は、基板上で櫛歯状
電極や反射器などを形成する導電性薄膜の膜厚を厚くす
ると、弾性表面波からバルク波への変換損失が増大して
しまう。このため、その膜厚で形成したフィルタの挿入
損失が増大するという問題を有する。また膜厚を薄くす
ると、圧電性基板上の櫛歯状電極を形成する電極部の電
気抵抗が増大する。このため、やはり挿入損失は増大し
てしまうという問題を有する。このような事情から、こ
れらの圧電性基板を用いる場合、圧電性基板上に配設す
る導電性薄膜の厚さｈには最適値がある。この最適値は
圧電性基板の表面を伝搬させる弾性表面波の波長λで規
格化した規格化膜厚（ｈ／λ）で数％程度（約３〜８％
程度）である。
有している。このような圧電性基板は、基板上で櫛歯状
電極や反射器などを形成する導電性薄膜の膜厚を厚くす
ると、弾性表面波からバルク波への変換損失が増大して
しまう。このため、その膜厚で形成したフィルタの挿入
損失が増大するという問題を有する。また膜厚を薄くす
ると、圧電性基板上の櫛歯状電極を形成する電極部の電
気抵抗が増大する。このため、やはり挿入損失は増大し
てしまうという問題を有する。このような事情から、こ
れらの圧電性基板を用いる場合、圧電性基板上に配設す
る導電性薄膜の厚さｈには最適値がある。この最適値は
圧電性基板の表面を伝搬させる弾性表面波の波長λで規
格化した規格化膜厚（ｈ／λ）で数％程度（約３〜８％
程度）である。
【０００６】縦モード結合２ポート弾性表面波共振子と
弾性表面波共振子を接続したタイプの弾性表面波フィル
タにおいては、通常どちらの素子とも圧電性基板上に形
成した導電性薄膜、例えばＡｌ薄膜や、Ｓｉ、Ｃｕ等を
微小量組成中に含んだＡｌ薄膜等をパターニングして作
成する。このため両素子とも同一膜厚で形成されること
になる。
弾性表面波共振子を接続したタイプの弾性表面波フィル
タにおいては、通常どちらの素子とも圧電性基板上に形
成した導電性薄膜、例えばＡｌ薄膜や、Ｓｉ、Ｃｕ等を
微小量組成中に含んだＡｌ薄膜等をパターニングして作
成する。このため両素子とも同一膜厚で形成されること
になる。
【０００７】移動体通信用途で必要とされる通過帯域幅
は比帯域で数％程度と広い。このことから、縦モード結
合２ポート弾性表面波共振子においては、上述のように
高い電気機械結合係数ｋ２を有する圧電性基板上に、所
定の範囲の規格化膜厚で導電性膜を形成して用いてい
る。また、挿入損失を低減する見地から、隣接する電極
指の電極指幅／電極指配設ピッチ（Ｗ／Ｐ、以下デュー
ティーと略称する）を５０〜６５％程度に設定すること
が多い。
は比帯域で数％程度と広い。このことから、縦モード結
合２ポート弾性表面波共振子においては、上述のように
高い電気機械結合係数ｋ２を有する圧電性基板上に、所
定の範囲の規格化膜厚で導電性膜を形成して用いてい
る。また、挿入損失を低減する見地から、隣接する電極
指の電極指幅／電極指配設ピッチ（Ｗ／Ｐ、以下デュー
ティーと略称する）を５０〜６５％程度に設定すること
が多い。
【０００８】この２ポート弾性表面波共振子と接続され
る弾性表面波共振子には、通過帯域近傍の減衰を得る効
果がある。移動体通信用途では送信・受信両帯域が近接
しているため、これらのどちらかの帯域を減衰させるた
めに多用される。
る弾性表面波共振子には、通過帯域近傍の減衰を得る効
果がある。移動体通信用途では送信・受信両帯域が近接
しているため、これらのどちらかの帯域を減衰させるた
めに多用される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら広帯域を
要求される縦モード結合２ポート弾性表面波共振子と同
一の膜厚で形成されている。このため、接続されている
弾性表面波共振子においてもその共振、***振周波数は
比較的大きな周波数差を有することになる。
要求される縦モード結合２ポート弾性表面波共振子と同
一の膜厚で形成されている。このため、接続されている
弾性表面波共振子においてもその共振、***振周波数は
比較的大きな周波数差を有することになる。
【００１０】加えて縦モード結合２ポート弾性表面波共
振子の引き回し部の構成は比較的複雑であり、その配線
部にインダクタンス成分を有する。さらにパッケージ、
ボンティングワイヤー等もインダクタンス成分を有す
る。
振子の引き回し部の構成は比較的複雑であり、その配線
部にインダクタンス成分を有する。さらにパッケージ、
ボンティングワイヤー等もインダクタンス成分を有す
る。
【００１１】これらのインダクタンス成分が弾性表面波
共振子に附加されると、見かけ上共振周波数、***振周
波数間の周波数差がさらに広がって見えてしまう。
共振子に附加されると、見かけ上共振周波数、***振周
波数間の周波数差がさらに広がって見えてしまう。
【００１２】直列腕の弾性表面波共振子においては***
振周波数で急峻な減衰特性が得られ、共振周波数近傍で
通過特性が得られる。弾性表面波フィルタの通過帯域の
高域側近傍に減衰させたい周波数帯域があるときには、
この減衰させたい周波数帯の低域側端付近に直列腕の弾
性表面波共振子の***振周波数をあわせる必要がある。
振周波数で急峻な減衰特性が得られ、共振周波数近傍で
通過特性が得られる。弾性表面波フィルタの通過帯域の
高域側近傍に減衰させたい周波数帯域があるときには、
この減衰させたい周波数帯の低域側端付近に直列腕の弾
性表面波共振子の***振周波数をあわせる必要がある。
【００１３】このとき、直列腕の弾性表面波共振子の共
振周波数が縦モード結合２ポート弾性表面波共振子側の
通過帯域中央付近にあれば問題はない。ところが、直列
腕の弾性表面波共振子の共振周波数が通過帯域低域側に
シフトしてくると、通過帯域高域側において損失が増大
する。このため弾性表面波フィルタ全体としての通過特
性の肩が丸まってしまうという問題があった。すなわち
通過帯域高域側近傍の減衰域が、通過帯域に非常に近接
し、通過帯域自身広帯域特性が要求される場合には、通
過帯域の高域側で損失が悪化するという問題がある。
振周波数が縦モード結合２ポート弾性表面波共振子側の
通過帯域中央付近にあれば問題はない。ところが、直列
腕の弾性表面波共振子の共振周波数が通過帯域低域側に
シフトしてくると、通過帯域高域側において損失が増大
する。このため弾性表面波フィルタ全体としての通過特
性の肩が丸まってしまうという問題があった。すなわち
通過帯域高域側近傍の減衰域が、通過帯域に非常に近接
し、通過帯域自身広帯域特性が要求される場合には、通
過帯域の高域側で損失が悪化するという問題がある。
【００１４】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたものである。
になされたものである。
【００１５】すなわち本発明は損失が小さく、遮断特性
の優れた弾性表面波フィルタを提供することを目的と
し、特に通過帯域高域側近傍の減衰特性の優れた移動体
通信用弾性表面波フィルタを提供することを目的とす
る。
の優れた弾性表面波フィルタを提供することを目的と
し、特に通過帯域高域側近傍の減衰特性の優れた移動体
通信用弾性表面波フィルタを提供することを目的とす
る。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明の弾性表面波フィ
ルタは、圧電性基板と、この圧電性基板上に第１のデュ
ーティーを有するように配設された櫛歯状電極を有する
縦モード結合２ポートの第１の弾性表面波共振子と、前
記圧電性基板上で前記第１の弾性表面波共振子と直列腕
に接続され、前記第１のデューティーに対して異ならし
めかつこれよりも小さな第２のデューティーを有するよ
うに配設された櫛歯状電極を有する１ポートの第２の弾
性表面波共振子とを具備したことを特徴とする。
ルタは、圧電性基板と、この圧電性基板上に第１のデュ
ーティーを有するように配設された櫛歯状電極を有する
縦モード結合２ポートの第１の弾性表面波共振子と、前
記圧電性基板上で前記第１の弾性表面波共振子と直列腕
に接続され、前記第１のデューティーに対して異ならし
めかつこれよりも小さな第２のデューティーを有するよ
うに配設された櫛歯状電極を有する１ポートの第２の弾
性表面波共振子とを具備したことを特徴とする。
【００１７】前記第１のデューティーと前記第２のデュ
ーティーとは、前記第２の弾性表面波共振子の櫛歯状電
極を構成する電極指１本あたりの反射率が、前記第１の
弾性表面波共振子の櫛歯状電極を構成する電極指１本あ
たりの反射率よりも小さくなるように調節するようにし
てもよい。
ーティーとは、前記第２の弾性表面波共振子の櫛歯状電
極を構成する電極指１本あたりの反射率が、前記第１の
弾性表面波共振子の櫛歯状電極を構成する電極指１本あ
たりの反射率よりも小さくなるように調節するようにし
てもよい。
【００１８】また、前記第１のデューティーと前記第２
のデューティーとは、前記第２の弾性表面波共振子の櫛
歯状電極と前記圧電性基板の電気機械結合係数が、前記
第１の弾性表面波共振子の櫛歯状電極と前記圧電性基板
の電気機械結合係数よりも小さくなるように調節するよ
うにしてもよい。
のデューティーとは、前記第２の弾性表面波共振子の櫛
歯状電極と前記圧電性基板の電気機械結合係数が、前記
第１の弾性表面波共振子の櫛歯状電極と前記圧電性基板
の電気機械結合係数よりも小さくなるように調節するよ
うにしてもよい。
【００１９】また、前記第１の弾性表面波共振子は３対
以上の櫛歯状電極を具備するとともに、前記第１の弾性
表面波共振子と前記第２の弾性表面波共振子とを接続す
る配線は、前記第１の弾性表面波共振子の少なくとも１
対の櫛歯状電極の接地側に接続されたパッド部を回り込
むように配設された場合、第２の弾性表面波共振子の共
振周波数と***振周波数との周波数差が大きく開くのを
防止することができる。
以上の櫛歯状電極を具備するとともに、前記第１の弾性
表面波共振子と前記第２の弾性表面波共振子とを接続す
る配線は、前記第１の弾性表面波共振子の少なくとも１
対の櫛歯状電極の接地側に接続されたパッド部を回り込
むように配設された場合、第２の弾性表面波共振子の共
振周波数と***振周波数との周波数差が大きく開くのを
防止することができる。
【００２０】前記圧電性基板は３６°ＹカットＸ伝搬Ｌ
ｉＴａＯ３を用いるようにしてもよい。この他にも、例
えば、６４°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ３、４１°Ｙカ
ットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ３、４５°ＸカットＺ伝搬Ｌｉ２
Ｂ４Ｏ７など他の圧電性基板を用いるようにしてもよ
い。
ｉＴａＯ３を用いるようにしてもよい。この他にも、例
えば、６４°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ３、４１°Ｙカ
ットＸ伝搬ＬｉＮｂＯ３、４５°ＸカットＺ伝搬Ｌｉ２
Ｂ４Ｏ７など他の圧電性基板を用いるようにしてもよ
い。
【００２１】また、圧電性基板として３６°ＹカットＸ
伝搬ＬｉＴａＯ３またはこの基板と同等の圧電性基板を
用いる場合には、前記第１の弾性表面波共振子および前
記第２の弾性表面波共振子を構成する電極膜厚は約６％
〜約８％の規格化膜厚（ｈ／λ）を有するとともに、前
記第１のデューティーは約４５〜約６０％であり、前記
第２のデューティーは約４５％以下にするようにするこ
とが好適である。このように調節することにより、弾性
表面波フィルタの周波数特性を向上することができる。
伝搬ＬｉＴａＯ３またはこの基板と同等の圧電性基板を
用いる場合には、前記第１の弾性表面波共振子および前
記第２の弾性表面波共振子を構成する電極膜厚は約６％
〜約８％の規格化膜厚（ｈ／λ）を有するとともに、前
記第１のデューティーは約４５〜約６０％であり、前記
第２のデューティーは約４５％以下にするようにするこ
とが好適である。このように調節することにより、弾性
表面波フィルタの周波数特性を向上することができる。
【００２２】すなわち本発明の弾性表面波フィルタは、
圧電性基板上に設けられた少なくとも１つの縦モード結
合２ポートの第１の弾性表面波共振子と、この第１の弾
性表面波共振子に対し直列腕に接続された１ポートの第
２の弾性表面波共振子を有する弾性表面波フィルタであ
る。そして、第２の弾性表面波共振子部の（電極指幅／
電極指ピッチ）すなわちデューティーを、第１の弾性表
面波共振子の電極指幅／電極指ピッチすなわちデューテ
ィに対して異ならしめかつこれよりも小さくしたもので
ある。
圧電性基板上に設けられた少なくとも１つの縦モード結
合２ポートの第１の弾性表面波共振子と、この第１の弾
性表面波共振子に対し直列腕に接続された１ポートの第
２の弾性表面波共振子を有する弾性表面波フィルタであ
る。そして、第２の弾性表面波共振子部の（電極指幅／
電極指ピッチ）すなわちデューティーを、第１の弾性表
面波共振子の電極指幅／電極指ピッチすなわちデューテ
ィに対して異ならしめかつこれよりも小さくしたもので
ある。
【００２３】このような構成を採用することにより本発
明の弾性表面波フィルタにおいては、第２の弾性表面波
共振子の電極指１本当たりの反射率を、それが接続され
た縦モード結合２ポートの第１の弾性表面波共振子の電
極指１本当たり反射率より小さくするように設定するこ
とができる。このため、第２の弾性表面波共振子の特性
にインダクタンス成分の影響が付加される場合において
も共振周波数ｆｒと***振周波数ｆａｒとの周波数差を
小さくすることができる。このため、弾性表面波フィル
タの通過帯域高域側の損失悪化が低減することができ
る。また通過帯域高域側近傍の減衰特性が向上すること
ができる。さらに、第１の弾性表面波共振子と第２の弾
性表面波共振子とを異なった膜厚にする必要がないた
め、弾性表面波フィルタの生産性が向上する。
明の弾性表面波フィルタにおいては、第２の弾性表面波
共振子の電極指１本当たりの反射率を、それが接続され
た縦モード結合２ポートの第１の弾性表面波共振子の電
極指１本当たり反射率より小さくするように設定するこ
とができる。このため、第２の弾性表面波共振子の特性
にインダクタンス成分の影響が付加される場合において
も共振周波数ｆｒと***振周波数ｆａｒとの周波数差を
小さくすることができる。このため、弾性表面波フィル
タの通過帯域高域側の損失悪化が低減することができ
る。また通過帯域高域側近傍の減衰特性が向上すること
ができる。さらに、第１の弾性表面波共振子と第２の弾
性表面波共振子とを異なった膜厚にする必要がないた
め、弾性表面波フィルタの生産性が向上する。
【００２４】本発明は、電気機械結合係数ｋ２、反射率
を小さくすることにより第２の弾性表面波共振子に付加
されるインダクタンス成分の悪影響を回避したものであ
る。具体的には、第２の弾性表面波共振子側での電極指
１本当たりの反射率が第１の弾性表面波共振子の電極指
１本当たり反射率より小さくなるように、第２の弾性表
面波共振子のデューティーを第１の弾性表面波共振子の
デューティーよりも小さくしている。この他にも、例え
ば第２の弾性表面波共振子を構成する電極膜厚を薄くす
ることによっても同様の効果を得ることができると考え
られる。しかし、この場合には、同一の圧電性基板上に
配設される複数の弾性表面波共振子の膜厚を個別に調節
する必要が生じる。したがって弾性表面波フィルタの製
造工程が複雑になり、生産性が大きく低下してしまう。
本発明の弾性表面波フィルタでは、第１の弾性表面波共
振子および第２の弾性表面波共振子ともに同一膜厚ｈで
構成することができる。このため弾性表面波フィルタの
生産性を大きく向上することができる。
を小さくすることにより第２の弾性表面波共振子に付加
されるインダクタンス成分の悪影響を回避したものであ
る。具体的には、第２の弾性表面波共振子側での電極指
１本当たりの反射率が第１の弾性表面波共振子の電極指
１本当たり反射率より小さくなるように、第２の弾性表
面波共振子のデューティーを第１の弾性表面波共振子の
デューティーよりも小さくしている。この他にも、例え
ば第２の弾性表面波共振子を構成する電極膜厚を薄くす
ることによっても同様の効果を得ることができると考え
られる。しかし、この場合には、同一の圧電性基板上に
配設される複数の弾性表面波共振子の膜厚を個別に調節
する必要が生じる。したがって弾性表面波フィルタの製
造工程が複雑になり、生産性が大きく低下してしまう。
本発明の弾性表面波フィルタでは、第１の弾性表面波共
振子および第２の弾性表面波共振子ともに同一膜厚ｈで
構成することができる。このため弾性表面波フィルタの
生産性を大きく向上することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下に本発明の弾性表面波フィル
タについてさらに詳細に説明する。
タについてさらに詳細に説明する。
【００２６】（実施例１）
図１は本発明の弾性表面波フィルタの構成を概略的に示
す図である。
す図である。
【００２７】この弾性表面波フィルタは圧電性基板１０
０上に配設された第１の弾性表面波共振子１０と、この
第１の弾性表面波共振子１０と直列腕に接続された第２
の弾性表面波共振子２０とが入出力端子間に間挿された
ものである。第１の弾性表面波共振子１０は縦モード結
合２ポートの弾性表面波共振子である。第２の弾性表面
波共振子２０は１ポートの弾性表面波共振子である。
０上に配設された第１の弾性表面波共振子１０と、この
第１の弾性表面波共振子１０と直列腕に接続された第２
の弾性表面波共振子２０とが入出力端子間に間挿された
ものである。第１の弾性表面波共振子１０は縦モード結
合２ポートの弾性表面波共振子である。第２の弾性表面
波共振子２０は１ポートの弾性表面波共振子である。
【００２８】第１の弾性表面波共振子１０および第２の
弾性表面波共振子２０は、対向噛み合わせ配置された１
対の櫛歯状電極からなるＩＤＴと、グレーティング状の
反射器とから構成されている。
弾性表面波共振子２０は、対向噛み合わせ配置された１
対の櫛歯状電極からなるＩＤＴと、グレーティング状の
反射器とから構成されている。
【００２９】第１の弾性表面波共振子１０は、入力パッ
ド１１と接続されている。第１の弾性表面波共振子１０
は、入力パッド１１に供給された電気信号を弾性表面波
に変換するＩＤＴ１２ａ、１２ｂと、このＩＤＴ１２
ａ、１２ｂが励振した弾性表面波を受信して電気信号に
変換する３個のＩＤＴ１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、および
これらのＩＤＴを挟み込むように配設された反射器１４
ａ、１４ｂとから構成されている。
ド１１と接続されている。第１の弾性表面波共振子１０
は、入力パッド１１に供給された電気信号を弾性表面波
に変換するＩＤＴ１２ａ、１２ｂと、このＩＤＴ１２
ａ、１２ｂが励振した弾性表面波を受信して電気信号に
変換する３個のＩＤＴ１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、および
これらのＩＤＴを挟み込むように配設された反射器１４
ａ、１４ｂとから構成されている。
【００３０】第２の弾性表面波共振子２０は、受信ＩＤ
Ｔ１３ａ、１３ｂ、１３ｃと、引き回し配線１５ａ、１
５ｂ、１５ｃを介して接続されたＩＤＴ１６と、このＩ
ＤＴ１６を挟み込むように配設された反射器１７ａ、１
７ｂとにより構成されている。ＩＤＴ１６の一方の櫛歯
状電極は電気信号は出力パッド１８と接続されている。
Ｔ１３ａ、１３ｂ、１３ｃと、引き回し配線１５ａ、１
５ｂ、１５ｃを介して接続されたＩＤＴ１６と、このＩ
ＤＴ１６を挟み込むように配設された反射器１７ａ、１
７ｂとにより構成されている。ＩＤＴ１６の一方の櫛歯
状電極は電気信号は出力パッド１８と接続されている。
【００３１】入力パッド１１、出力パッド１８、接地電
位にあるグランドパッド１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９
ｄ、１９ｅは、例えば図示しないボンディングディング
ワイヤ、導電性バンプにより外囲器などの外部回路と接
続される。
位にあるグランドパッド１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９
ｄ、１９ｅは、例えば図示しないボンディングディング
ワイヤ、導電性バンプにより外囲器などの外部回路と接
続される。
【００３２】さてここで、弾性表面波共振子２０には、
ボンディングパッド１８に接続されるボンディングワイ
ヤー、および縦モード結合２ポートの第１の弾性表面波
共振子１０からの引き回し配線１５ａ、１５ｂ、１５ｃ
等によりインダクタンス成分が付加される。
ボンディングパッド１８に接続されるボンディングワイ
ヤー、および縦モード結合２ポートの第１の弾性表面波
共振子１０からの引き回し配線１５ａ、１５ｂ、１５ｃ
等によりインダクタンス成分が付加される。
【００３３】図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃは第２の弾性表面
波共振子２０の周波数とリアクタンスｊＸとの関係を定
性的に示すグラフである。図２Ａは第２の弾性表面波共
振子２０単体のリアクタンスを示している。図２Ｂは付
随するインダクタンス成分に対応するリアクタンス成分
を示している。図２Ｃは第２の弾性表面波共振子自体と
付加されたインダクタンス成分を含めた場合の周波数と
リアクタンスとの関係をそれぞれ示している。なお、各
図の縦軸のスケールは同じではない。
波共振子２０の周波数とリアクタンスｊＸとの関係を定
性的に示すグラフである。図２Ａは第２の弾性表面波共
振子２０単体のリアクタンスを示している。図２Ｂは付
随するインダクタンス成分に対応するリアクタンス成分
を示している。図２Ｃは第２の弾性表面波共振子自体と
付加されたインダクタンス成分を含めた場合の周波数と
リアクタンスとの関係をそれぞれ示している。なお、各
図の縦軸のスケールは同じではない。
【００３４】図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃから、第２の弾性
表面波共振子２０の共振周波数ｆｒと***振周波数ｆａ
ｒとの周波数差は、インダクタンス成分の付加量の増大
とともに広がることがわかる。
表面波共振子２０の共振周波数ｆｒと***振周波数ｆａ
ｒとの周波数差は、インダクタンス成分の付加量の増大
とともに広がることがわかる。
【００３５】ここで、***振周波数ｆａｒの位置は通過
帯域高域側近傍の減衰が必要な周波数帯により決まって
くる。このため共振周波数ｆｒがあまり低周波数側にず
れてしまうと、通過帯域内高域側では第２の弾性表面波
共振子および付随するインダクタンス成分に起因するリ
アクタンスが増大し、このため損失が増大する。
帯域高域側近傍の減衰が必要な周波数帯により決まって
くる。このため共振周波数ｆｒがあまり低周波数側にず
れてしまうと、通過帯域内高域側では第２の弾性表面波
共振子および付随するインダクタンス成分に起因するリ
アクタンスが増大し、このため損失が増大する。
【００３６】このような損失の増大を低減するために、
本発明の弾性表面波フィルタにおいては第２の弾性表面
波共振子２０のデューティーが、縦モード結合２ポート
の第１の弾性表面波共振子１０のデューティーよりも小
さくなるように第１の弾性表面波共振子１０および第２
の弾性表面波共振子２０を圧電性基板上に配設してい
る。
本発明の弾性表面波フィルタにおいては第２の弾性表面
波共振子２０のデューティーが、縦モード結合２ポート
の第１の弾性表面波共振子１０のデューティーよりも小
さくなるように第１の弾性表面波共振子１０および第２
の弾性表面波共振子２０を圧電性基板上に配設してい
る。
【００３７】図３は、デューティーを説明するための図
である。櫛歯状電極３０はバスバー３１に接続された電
極指３２から構成されているが、ここでは、電極指幅Ｗ
と、隣接する電極指の配設ピッチＰとの比Ｗ／Ｐをデュ
ーティーとしている。すなわち本発明の弾性表面波フィ
ルタにおいては、第２の弾性表面波共振子２０の（電極
指幅：Ｗ）／（電極指の配設ピッチ：Ｐ）との比が、第
１の弾性表面波共振子１０の（電極指幅：Ｗ）／（電極
指の配設ピッチ：Ｐ）との比よりも小さくなるように構
成している。図１に例示した構成の本発明の弾性表面波
フィルタでは、縦モード結合２ポートの第１の弾性表面
波共振子１０はデューティー約５０％になるように配設
し、一方、第２の弾性表面波共振子２０はデューティー
約４０％になるように配設している。
である。櫛歯状電極３０はバスバー３１に接続された電
極指３２から構成されているが、ここでは、電極指幅Ｗ
と、隣接する電極指の配設ピッチＰとの比Ｗ／Ｐをデュ
ーティーとしている。すなわち本発明の弾性表面波フィ
ルタにおいては、第２の弾性表面波共振子２０の（電極
指幅：Ｗ）／（電極指の配設ピッチ：Ｐ）との比が、第
１の弾性表面波共振子１０の（電極指幅：Ｗ）／（電極
指の配設ピッチ：Ｐ）との比よりも小さくなるように構
成している。図１に例示した構成の本発明の弾性表面波
フィルタでは、縦モード結合２ポートの第１の弾性表面
波共振子１０はデューティー約５０％になるように配設
し、一方、第２の弾性表面波共振子２０はデューティー
約４０％になるように配設している。
【００３８】このような構成を採用することにより電極
指１本当たりの弾性表面波（リーキー波、ＳＳＢＷ等を
含む）の反射率が低減し、直列腕の弾性表面波共振子２
０の共振周波数ｆｒと***振周波数ｆａｒの周波数差を
狭めることができる。
指１本当たりの弾性表面波（リーキー波、ＳＳＢＷ等を
含む）の反射率が低減し、直列腕の弾性表面波共振子２
０の共振周波数ｆｒと***振周波数ｆａｒの周波数差を
狭めることができる。
【００３９】図４は本発明の弾性表面波フィルタの周波
数特性の例を示す図である。ここでは図１に例示したＰ
ＣＳ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ
Ｓｙｓｔｅｍ）のＴｘ（送信用）フィルタとして用い
られる弾性表面波フィルタの特性を例にとって説明す
る。なお、グラフの左辺のスケールは、プロファイル全
体に対するものである。またグラフの右辺のスケールは
通過帯域を拡大して示したプロファイルに対応してい
る。
数特性の例を示す図である。ここでは図１に例示したＰ
ＣＳ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ
Ｓｙｓｔｅｍ）のＴｘ（送信用）フィルタとして用い
られる弾性表面波フィルタの特性を例にとって説明す
る。なお、グラフの左辺のスケールは、プロファイル全
体に対するものである。またグラフの右辺のスケールは
通過帯域を拡大して示したプロファイルに対応してい
る。
【００４０】この弾性表面波フィルタの中心周波数は１
８８０ＭＨｚであり、システムの要求する帯域幅は６０
ＭＨｚである。このシステムの受信用の帯域は１９６０
ＭＨｚを中心とする６０ＭＨｚである。したがって、Ｔ
ｘフィルタからみて通過帯域高域側近傍ではこの領域の
減衰が要求される。この場合、システムの帯域間の周波
数差は約２０ＭＨｚである。しかしながら、弾性表面波
フィルタを構成する圧電性基板による周波数の温度変動
に対する余裕や、弾性表面波フィルタ形成時のＡｌ膜厚
のばらつきなどの可変的要素に対応するためには、弾性
表面波フィルタとしては非常に急峻な肩特性（減衰特
性）が要求される。
８８０ＭＨｚであり、システムの要求する帯域幅は６０
ＭＨｚである。このシステムの受信用の帯域は１９６０
ＭＨｚを中心とする６０ＭＨｚである。したがって、Ｔ
ｘフィルタからみて通過帯域高域側近傍ではこの領域の
減衰が要求される。この場合、システムの帯域間の周波
数差は約２０ＭＨｚである。しかしながら、弾性表面波
フィルタを構成する圧電性基板による周波数の温度変動
に対する余裕や、弾性表面波フィルタ形成時のＡｌ膜厚
のばらつきなどの可変的要素に対応するためには、弾性
表面波フィルタとしては非常に急峻な肩特性（減衰特
性）が要求される。
【００４１】図４から、本発明の弾性表面波フィルタで
は、従来と比べて通過帯域の高域側の減衰特性が急峻に
なっていることがわかる。このように本発明の弾性表面
波フィルタでは、通過帯域高域側において急峻な肩特性
を得ることができる。
は、従来と比べて通過帯域の高域側の減衰特性が急峻に
なっていることがわかる。このように本発明の弾性表面
波フィルタでは、通過帯域高域側において急峻な肩特性
を得ることができる。
【００４２】図５は有限要素法により３６°ＹカットＸ
伝搬ＬｉＴａＯ３基板の規格化膜厚（ｈ／λ）とデュー
ティーとに対する反射率のシミュレーション結果を示す
図である。なお、図に示された等高線が電極指１本あた
りの反射率に対応している。
伝搬ＬｉＴａＯ３基板の規格化膜厚（ｈ／λ）とデュー
ティーとに対する反射率のシミュレーション結果を示す
図である。なお、図に示された等高線が電極指１本あた
りの反射率に対応している。
【００４３】この圧電性基板では、約６〜約８％の規格
化膜厚に対してはデューティー約５０％近傍に反射率ピ
ークがある。このためデューティー約４５〜約６０％と
なるように縦モード結合２ポートの第１の弾性表面波共
振子を配設し、デューティー約４５％以下となるように
第１の弾性表面波共振子を配設するようにすればよいこ
とがわかる。
化膜厚に対してはデューティー約５０％近傍に反射率ピ
ークがある。このためデューティー約４５〜約６０％と
なるように縦モード結合２ポートの第１の弾性表面波共
振子を配設し、デューティー約４５％以下となるように
第１の弾性表面波共振子を配設するようにすればよいこ
とがわかる。
【００４４】本発明の弾性表面波フィルタにおいては、
第２の弾性表面波共振子のデューティーを、同膜厚にお
いて最大反射率となるデューティーに対して、デューテ
ィーを大きくして反射率を小さくする側には設定してい
ない。これは、一般に第２の弾性表面波共振子の方が２
ポートの第１の弾性表面波共振子より高周波数側に設け
られるために、より大きな（太い）デューティーで形成
することが困難なためである。
第２の弾性表面波共振子のデューティーを、同膜厚にお
いて最大反射率となるデューティーに対して、デューテ
ィーを大きくして反射率を小さくする側には設定してい
ない。これは、一般に第２の弾性表面波共振子の方が２
ポートの第１の弾性表面波共振子より高周波数側に設け
られるために、より大きな（太い）デューティーで形成
することが困難なためである。
【００４５】このように本発明の弾性表面波フィルタに
おいては、第１の弾性表面波共振子のデューティーと、
第２の弾性表面波共振子のデューティーとを、第２の弾
性表面波共振子の櫛歯状電極を構成する電極指１本あた
りの反射率が、第１の弾性表面波共振子の櫛歯状電極を
構成する電極指１本あたりの反射率よりも小さくなるよ
うに調節して配設している。このようにすることによ
り、第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子
とを同一の圧電性基板上に同一の膜厚で配設する場合に
おいても、第２の弾性表面波共振子の共振周波数ｆｒが
低域側にシフトするのを防止することができる。
おいては、第１の弾性表面波共振子のデューティーと、
第２の弾性表面波共振子のデューティーとを、第２の弾
性表面波共振子の櫛歯状電極を構成する電極指１本あた
りの反射率が、第１の弾性表面波共振子の櫛歯状電極を
構成する電極指１本あたりの反射率よりも小さくなるよ
うに調節して配設している。このようにすることによ
り、第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子
とを同一の圧電性基板上に同一の膜厚で配設する場合に
おいても、第２の弾性表面波共振子の共振周波数ｆｒが
低域側にシフトするのを防止することができる。
【００４６】このためこれらの弾性表面波共振子を組み
合わせた弾性表面波フィルタの通過周波数帯域の特性を
向上することができる。特に、第２の弾性表面波共振子
にボンディングワイヤーや、引き回し配線等によりイン
ダクタンス成分が付加された場合でも急峻な肩特性を得
ることができる。このため、弾性表面波フィルタに用い
ている圧電性基板による周波数の温度変動や、弾性表面
波フィルタ形成時の導電性薄膜の膜厚ｈのばらつきなど
の可変的要素に対応することができる。また、弾性表面
波フィルタの性能、信頼性、生産性を向上することがで
きる。
合わせた弾性表面波フィルタの通過周波数帯域の特性を
向上することができる。特に、第２の弾性表面波共振子
にボンディングワイヤーや、引き回し配線等によりイン
ダクタンス成分が付加された場合でも急峻な肩特性を得
ることができる。このため、弾性表面波フィルタに用い
ている圧電性基板による周波数の温度変動や、弾性表面
波フィルタ形成時の導電性薄膜の膜厚ｈのばらつきなど
の可変的要素に対応することができる。また、弾性表面
波フィルタの性能、信頼性、生産性を向上することがで
きる。
【００４７】（実施例２）
図６は本発明の弾性表面波フィルタの構成の別の例を概
略的に示す図である。この弾性表面波フィルタでは、第
２の弾性表面波フィルタ２０ｂとしてアポダイズされた
櫛歯状電極からなるＩＤＴ１６ｂを備えている。
略的に示す図である。この弾性表面波フィルタでは、第
２の弾性表面波フィルタ２０ｂとしてアポダイズされた
櫛歯状電極からなるＩＤＴ１６ｂを備えている。
【００４８】このような構成を採用することにより、特
に、第２の弾性表面波共振子の開口長が大きいときに生
ずる横モードスプリアスにより帯域内高域側特性が悪化
するのを抑制することができる。
に、第２の弾性表面波共振子の開口長が大きいときに生
ずる横モードスプリアスにより帯域内高域側特性が悪化
するのを抑制することができる。
【００４９】（実施例３）
図１に例示した構成の弾性表面波フィルタを実際に製造
した。
した。
【００５０】圧電性基板１００としては、３６°Ｙカッ
トＸ伝搬ＬｉＴａＯ３を用いた。
トＸ伝搬ＬｉＴａＯ３を用いた。
【００５１】まず３６°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ３か
らなるウエハ上に、導電性薄膜としてＳｉ、Ｃｕ等を添
加したＡｌをスパッタ法により成膜した。導電性膜の膜
厚ｈは０．１６μｍに設定した。この膜厚ｈは動作周波
数で規格化した換算膜厚（ｈ／λ）で７．４％程度に相
当する。
らなるウエハ上に、導電性薄膜としてＳｉ、Ｃｕ等を添
加したＡｌをスパッタ法により成膜した。導電性膜の膜
厚ｈは０．１６μｍに設定した。この膜厚ｈは動作周波
数で規格化した換算膜厚（ｈ／λ）で７．４％程度に相
当する。
【００５２】ついで導電性膜をフォトエッチング技術に
より、図１に例示した、第１の弾性表面波共振子１０、
第２の弾性表面波共振子２０を有するようにパターニン
グした。すなわち、縦モード結合２ポートの第１の弾性
表面波共振子１０はデューティー約５０％になるように
配設し、一方、第２の弾性表面波共振子２０はデューテ
ィー約４０％になるようにパターニングした。その後、
ウエハ上に多数形成された弾性表面波フィルタをダイシ
ングにより分離した。
より、図１に例示した、第１の弾性表面波共振子１０、
第２の弾性表面波共振子２０を有するようにパターニン
グした。すなわち、縦モード結合２ポートの第１の弾性
表面波共振子１０はデューティー約５０％になるように
配設し、一方、第２の弾性表面波共振子２０はデューテ
ィー約４０％になるようにパターニングした。その後、
ウエハ上に多数形成された弾性表面波フィルタをダイシ
ングにより分離した。
【００５３】従来の弾性表面波フィルタでは、第１の弾
性表面波フィルタ１０と第２の弾性表面波フィルタ２０
との薄膜ｈを変える必要があった。このため、一方の弾
性表面波共振子形成領域をレジストで覆って、他方の弾
性表面波共振子形成領域に追加のエッチングを施して薄
膜化していた。あるいは、一方の弾性表面波共振子形成
領域をレジストで覆って、他方の弾性表面波共振子形成
領域に追加のスパッタリングを施して厚膜化を図ってい
た。このため、弾性表面波フィルタの製造工程が煩雑に
なり、生産性が低下していた。例えば導電性膜の膜厚が
異なるために、エッチング工程が増加したり、エッチン
グ条件の管理が難しくなっていた。
性表面波フィルタ１０と第２の弾性表面波フィルタ２０
との薄膜ｈを変える必要があった。このため、一方の弾
性表面波共振子形成領域をレジストで覆って、他方の弾
性表面波共振子形成領域に追加のエッチングを施して薄
膜化していた。あるいは、一方の弾性表面波共振子形成
領域をレジストで覆って、他方の弾性表面波共振子形成
領域に追加のスパッタリングを施して厚膜化を図ってい
た。このため、弾性表面波フィルタの製造工程が煩雑に
なり、生産性が低下していた。例えば導電性膜の膜厚が
異なるために、エッチング工程が増加したり、エッチン
グ条件の管理が難しくなっていた。
【００５４】本発明の弾性表面波フィルタでは、第１の
弾性表面波共振子１０も第２の弾性表面波共振子２０
も、どちらも同一の膜厚ｈで構成することができた。こ
のため、導電性膜の成膜工程や、成膜した導電成膜のパ
ターニング工程が少なくなり、弾性表面波フィルタの生
産性を大幅に向上することができた。
弾性表面波共振子１０も第２の弾性表面波共振子２０
も、どちらも同一の膜厚ｈで構成することができた。こ
のため、導電性膜の成膜工程や、成膜した導電成膜のパ
ターニング工程が少なくなり、弾性表面波フィルタの生
産性を大幅に向上することができた。
【００５５】
【発明の効果】以上説明したように本発明の弾性表面波
フィルタにおいては、第１の弾性表面波共振子のデュー
ティーと、第２の弾性表面波共振子のデューティーと
を、第２の弾性表面波共振子の櫛歯状電極を構成する電
極指１本あたりの反射率が、第１の弾性表面波共振子の
櫛歯状電極を構成する電極指１本あたりの反射率よりも
小さくなるように調節して配設することにより、通過帯
域高域側の損失悪化を低減し、また通過帯域高域側近傍
の減衰特性を向上することができる。特に、第２の弾性
表面波共振子にボンディングワイヤーや、引き回し配線
等によりインダクタンス成分が付加された場合でも急峻
な肩特性を得ることができる。したがって、弾性表面波
フィルタに用いている圧電性基板による周波数の温度変
動や、弾性表面波フィルタ形成時の導電性薄膜の膜厚の
ばらつきなどの可変的要素に対応することができる。ま
た、弾性表面波フィルタの性能、信頼性、生産性を向上
することができる。 ［図面の簡単な説明］
フィルタにおいては、第１の弾性表面波共振子のデュー
ティーと、第２の弾性表面波共振子のデューティーと
を、第２の弾性表面波共振子の櫛歯状電極を構成する電
極指１本あたりの反射率が、第１の弾性表面波共振子の
櫛歯状電極を構成する電極指１本あたりの反射率よりも
小さくなるように調節して配設することにより、通過帯
域高域側の損失悪化を低減し、また通過帯域高域側近傍
の減衰特性を向上することができる。特に、第２の弾性
表面波共振子にボンディングワイヤーや、引き回し配線
等によりインダクタンス成分が付加された場合でも急峻
な肩特性を得ることができる。したがって、弾性表面波
フィルタに用いている圧電性基板による周波数の温度変
動や、弾性表面波フィルタ形成時の導電性薄膜の膜厚の
ばらつきなどの可変的要素に対応することができる。ま
た、弾性表面波フィルタの性能、信頼性、生産性を向上
することができる。 ［図面の簡単な説明］
【図１】本発明の弾性表面波フィルタの構成を概略的に
示す図、
示す図、
【図２】Ａ、Ｂ、Ｃは第２の弾性表面波共振子の周波数
とリアクタンスｊＸとの関係を概略的に示すグラフ、
とリアクタンスｊＸとの関係を概略的に示すグラフ、
【図３】デューティーを説明するための図、
【図４】本発明の弾性表面波フィルタの周波数特性の例
を示す図、
を示す図、
【図５】有限要素法により３６°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴ
ａＯ３基板の規格化膜厚とデューティーとに対する反射
率のシミュレーション結果を示す図、
ａＯ３基板の規格化膜厚とデューティーとに対する反射
率のシミュレーション結果を示す図、
【図６】本発明の弾性表面波フィルタの構成の別の例を
概略的に示す図。
概略的に示す図。
１０：第１の弾性表面波共振子
２０：第２の弾性表面波共振子
１００：圧電性基板
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H03H 9/00
Claims (17)
- 【請求項１】 圧電性基板と、 この圧電性基板上に第１のデューティーを有するように
配設された第１の櫛歯状電極を有する縦モード結合２ポ
ートの通過帯域フィルタを構成する第１の弾性表面波共
振子と、 前記圧電性基板上で前記第１の弾性表面波共振子と直列
腕に接続され、前記通過帯域の高域側近傍に***振周波
数を有し、前記第１のデューティーに対して異ならしめ
かつこれよりも小さな第２のデューティーを有するよう
に配設された第２の櫛歯状電極を有する１ポートの第２
の弾性表面波共振子と を具備したことを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の弾性表面波フィルタに
おいて、前記第１の櫛歯状電極と前記第２の櫛歯状電極
とはその厚さが異なることを特徴とする弾性表面波フィ
ルタ。 - 【請求項３】 請求項１に記載の弾性表面波フィルタに
おいて、前記第１の弾性表面波共振子は３対以上の櫛歯
状電極を具備するとともに、前記第１の弾性表面波共振
子と前記第２の弾性表面波共振子とを接続する配線は、
前記第１の弾性表面波共振子の少なくとも１対の櫛歯状
電極の接地側に接続されたパッド部を回り込むように配
設されたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項４】 請求項１に記載の弾性表面波フィルタに
おいて、前記圧電性基板は３６°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴ
ａＯ３からなることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項５】 請求項１に記載の弾性表面波フィルタに
おいて、前記第１の弾性表面波共振子および前記第２の
弾性表面波共振子を構成する電極膜厚は６％〜８％の規
格化膜厚を有するとともに、前記第１のデューティーは
４５〜６０％であり、前記第２のデューティーは４５％
以下であることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項６】 圧電性基板と、 この圧電性基板上に、電極指１本あたりの反射率が第１
の反射率を有するように配設された第１の櫛歯状電極を
有する縦モード結合２ポートの通過帯域フィルタを構成
する第１の弾性表面波共振子と、 前記圧電性基板上で前記第１の弾性表面波共振子と直列
腕に接続され、前記通過帯域の高域側近傍に***振周波
数を有し、前記電極指１本あたりの反射率が前記第１の
反射率に対して異ならしめかつこれよりも小さな第２の
反射率を有するように配設された第２の櫛歯状電極を有
する１ポートの第２の弾性表面波共振子と を具備したことを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項７】 請求項６に記載の弾性表面波フィルタに
おいて、前記第１の櫛歯状電極は第１のデューティーを
有するように配設され、前記第２の櫛歯状電極は前記第
１のデューティーよりも小さな第２のデューティーを有
するように配設されたことを特徴とする弾性表面波フィ
ルタ。 - 【請求項８】 請求項６に記載の弾性表面波フィルタに
おいて、前記第１の櫛歯状電極と前記第２の櫛歯状電極
とはその厚さが異なることを特徴とする弾性表面波フィ
ルタ。 - 【請求項９】 請求項６に記載の弾性表面波フィルタに
おいて、前記第１の弾性表面波共振子は３対以上の櫛歯
状電極を具備するとともに、前記第１の弾性表面波共振
子と前記第２の弾性表面波共振子とを接続する配線は、
前記第１の弾性表面波共振子の少なくとも１対の櫛歯状
電極の接地側に接続されたパッド部を回り込むように配
設されたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項１０】 請求項６に記載の弾性表面波フィルタ
において、前記圧電性基板は３６°ＹカットＸ伝搬Ｌｉ
ＴａＯ３からなることを特徴とする弾性表面波フィル
タ。 - 【請求項１１】 請求項７に記載の弾性表面波フィルタ
において、前記第１の弾性表面波共振子および前記第２
の弾性表面波共振子を構成する電極膜厚は６％〜８％の
規格化膜厚を有するとともに、前記第１のデューティー
は４５〜６０％であり、前記第２のデューティーは４５
％以下であることを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項１２】 圧電性基板と、 この圧電性基板上に、前記圧電性基板と第１の電気機械
結合係数を有するように配設された第１の櫛歯状電極を
有する縦モード結合２ポートの通過帯域フィルタを構成
する第１の弾性表面波共振子と、 前記圧電性基板上で前記第１の弾性表面波共振子と直列
腕に接続され、前記通過帯域の高域側近傍に***振周波
数を有し、前記圧電性基板と前記第１の電気機械結合係
数に対して異ならしめかつこれよりも小さな第２の電気
機械結合係数を有するように配設された第２の櫛歯状電
極を有する第２の弾性表面波共振子と を具備したことを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項１３】 請求項１２に記載の弾性表面波フィル
タにおいて、前記第１の櫛歯状電極は第１のデューティ
ーを有するように配設され、前記第２の櫛歯状電極は前
記第１のデューティーよりも小さな第２のデューティー
を有するように配設されたことを特徴とする弾性表面波
フィルタ。 - 【請求項１４】 請求項１２に記載の弾性表面波フィル
タにおいて、前記第１の櫛歯状電極と前記第２の櫛歯状
電極とはその厚さが異なることを特徴とする弾性表面波
フィルタ。 - 【請求項１５】 請求項１２に記載の弾性表面波フィル
タにおいて、前記第１の弾性表面波共振子は３対以上の
櫛歯状電極を具備するとともに、前記第１の弾性表面波
共振子と前記第２の弾性表面波共振子とを接続する配線
は、前記第１の弾性表面波共振子の少なくとも１対の櫛
歯状電極の接地側に接続されたパッド部を回り込むよう
に配設されたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項１６】 請求項１２に記載の弾性表面波フィル
タにおいて、前記圧電性基板は３６°ＹカットＸ伝搬Ｌ
ｉＴａＯ３からなることを特徴とする弾性表面波フィル
タ。 - 【請求項１７】 請求項１３に記載の弾性表面波フィル
タにおいて、前記第１の弾性表面波共振子および前記第
２の弾性表面波共振子を構成する電極膜厚は６％〜８％
の規格化膜厚を有するとともに、前記第１のデューティ
ーは４５〜６０％であり、前記第２のデューティーは４
５％以下であることを特徴とする弾性表面波フィルタ。
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| US6861927B1 (en) * | 2001-04-27 | 2005-03-01 | Sawtek, Inc. | Longitudinally coupled leaky surface acoustic wave resonator filter |
| US6798318B1 (en) | 2001-04-27 | 2004-09-28 | Sawtek, Inc. | Hybrid leaky surface acoustic wave resonator filter |
| JP3780415B2 (ja) * | 2001-06-12 | 2006-05-31 | 株式会社村田製作所 | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ、およびそれを用いた通信機装置 |
| EP1276235A1 (en) | 2001-07-13 | 2003-01-15 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave filter and communication device using the filter |
| JP3864850B2 (ja) * | 2001-08-09 | 2007-01-10 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ、通信装置 |
| JP2003198317A (ja) * | 2001-12-21 | 2003-07-11 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ |
| JP3846409B2 (ja) * | 2002-02-15 | 2006-11-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置、通信装置 |
| CN100338873C (zh) * | 2002-10-30 | 2007-09-19 | 京瓷株式会社 | 弹性表面波元件、使用它的弹性表面波装置和电子仪器 |
| CN100452650C (zh) * | 2003-07-02 | 2009-01-14 | 京瓷株式会社 | 弹性表面波装置及使用该装置的通信装置 |
| WO2005011117A1 (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | １ポート型弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ |
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| EP1944867B1 (en) * | 2005-11-01 | 2011-08-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Elastic wave filter apparatus |
| JP2008131128A (ja) * | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フィルタ、アンテナ共用器、およびそれらの製造方法 |
| US8134426B1 (en) * | 2008-12-01 | 2012-03-13 | Rf Micro Devices, Inc. | Two-track surface acoustic wave structure without internal pads |
| JP5263390B2 (ja) | 2009-04-23 | 2013-08-14 | パナソニック株式会社 | アンテナ共用器とこれを搭載した電子機器 |
| US8620250B2 (en) * | 2010-10-27 | 2013-12-31 | Hollinworth Fund, L.L.C. | Resonator-based filtering |
| US20170085246A1 (en) * | 2015-09-17 | 2017-03-23 | Ishiang Shih | Tunable surface acoustic wave resonators and filters |
| US11128279B2 (en) * | 2015-10-30 | 2021-09-21 | Kyocera Corporation | Acoustic wave resonator, acoustic wave filter, multiplexer, communication apparatus, and method designing acoustic wave resonator |
| WO2017208629A1 (ja) * | 2016-05-31 | 2017-12-07 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
| CN116346080B (zh) * | 2023-02-15 | 2024-07-12 | 上海馨欧集成微电有限公司 | 一种声表面波滤波器 |
Family Cites Families (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3839687A (en) * | 1972-11-20 | 1974-10-01 | Zenith Radio Corp | Surface wave filter and method |
| US3882433A (en) * | 1974-02-15 | 1975-05-06 | Zenith Radio Corp | Swif with transducers having varied duty factor fingers for trap enhancement |
| US4384264A (en) * | 1979-04-24 | 1983-05-17 | Murata Manufacturing Company Ltd. | Surface acoustic wave device |
| JPS5711520A (en) * | 1980-06-25 | 1982-01-21 | Toshiba Corp | Elastic surface wave resonator |
| JPH071859B2 (ja) * | 1988-03-11 | 1995-01-11 | 国際電気株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
| JP3181090B2 (ja) * | 1992-03-04 | 2001-07-03 | 東洋通信機株式会社 | 縦結合二重モードリーキーｓａｗフィルタ |
| DE69319977T3 (de) * | 1992-08-24 | 2006-06-14 | Nihon Dempa Kogyo Co | Akustisches Oberflächenwellenresonatorfilter |
| JP3191473B2 (ja) * | 1993-03-09 | 2001-07-23 | 三菱電機株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
| US5446330A (en) * | 1993-03-15 | 1995-08-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave device having a lamination structure |
| JP3139225B2 (ja) * | 1993-07-08 | 2001-02-26 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ |
| JP2560991B2 (ja) * | 1993-08-20 | 1996-12-04 | 日本電気株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
| FR2714200B1 (fr) * | 1993-11-25 | 1996-12-27 | Fujitsu Ltd | Dispositif à onde acoustique de surface et son procédé de fabrication. |
| JPH07202631A (ja) * | 1993-11-25 | 1995-08-04 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
| JP3424971B2 (ja) * | 1994-01-20 | 2003-07-07 | 松下電器産業株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
| JP3237387B2 (ja) * | 1994-04-12 | 2001-12-10 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波共振子フィルタ |
| JPH07283682A (ja) * | 1994-04-13 | 1995-10-27 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波共振子フィルタ |
| JP3181475B2 (ja) * | 1994-08-12 | 2001-07-03 | ティーディーケイ株式会社 | 弾性表面波装置 |
| JPH0865097A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-03-08 | Toshiba Corp | 弾性表面波フィルタ装置 |
| US5895996A (en) * | 1994-09-29 | 1999-04-20 | Seiko Epson Corporation | Saw device |
| EP0738039B1 (en) * | 1995-04-12 | 2000-06-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Resonator ladder surface acoustic wave filter |
| JPH098599A (ja) * | 1995-06-16 | 1997-01-10 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 縦結合二重モードｓａｗフィルタ |
| JP3360541B2 (ja) * | 1995-10-20 | 2002-12-24 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置及びその設計方法 |
| DE69620134T2 (de) * | 1995-12-28 | 2002-07-18 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Akustisches Oberflächenwellenresonatorfilter mit longitudinaler Kopplung |
| JP3839866B2 (ja) * | 1996-04-24 | 2006-11-01 | 株式会社東芝 | 弾性表面波フィルタおよび通過周波数帯域の形成方法 |
| JPH10276062A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 弾性表面波デバイス |
| JP3171144B2 (ja) * | 1997-07-07 | 2001-05-28 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置 |
| WO2004102797A1 (ja) * | 1997-07-17 | 2004-11-25 | Michiaki Takagi | ２ポートsaw共振子 |
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