JP3454239B2 - 弾性表面波フィルタ - Google Patents

弾性表面波フィルタ

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JP3454239B2 JP2000262975A JP2000262975A JP3454239B2 JP 3454239 B2 JP3454239 B2 JP 3454239B2 JP 2000262975 A JP2000262975 A JP 2000262975A JP 2000262975 A JP2000262975 A JP 2000262975A JP 3454239 B2 JP3454239 B2 JP 3454239B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば通信システ
ムにおいて帯域フィルタとして用いられる弾性表面波フ
ィルタに関し、より詳細には、縦結合共振子型弾性表面
波フィルタに弾性表面波共振子が接続されている構成を
備える弾性表面波フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、携帯電話システムでは、加入者の
増加及びサービスの多様化に伴って、送信側周波数帯と
受信側周波数帯が近接しているシステムが増加してい
る。また、システムによっては、別の通信システムとの
干渉を防止するために、通過帯域のごく近傍の減衰量を
大きくする必要がある。そのため、携帯電話機のRF段
のバンドパスフィルタとして広く用いられている弾性表
面波フィルタにおいても、通過帯域のごく近傍に減衰域
を設けることが強く求められている。
【0003】他方、近年、部品点数の削減を果たすため
に、2個の弾性表面波フィルタ素子を1つのパッケージ
内において組み合わせ、それらの入力端子、出力端子ま
たは両方を共通化すること、あるいは弾性表面波フィル
タに平衡−不平衡変換機能、いわゆるバラン機能を持た
せることが強く求められてきている。従って、最近で
は、携帯電話のRF段のバンドパスフィルタとして、平
衡−不平衡信号変換に容易に対応し得る縦結合共振子型
弾性表面波フィルタが広く用いられてきている。
【0004】例えば、特開平5−267990号公報に
は、このような縦結合共振子型弾性表面波フィルタの一
例として、縦結合二重モードSAWフィルタが開示され
ている。
【0005】また、特開平10−126212号公報に
は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタを用いて構成さ
れた梯子型回路構成を有するフィルタが開示されてい
る。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
5−267990号公報に開示されている縦結合共振子
型弾性表面波フィルタでは、通過帯域の高域側ごく近傍
における急峻性が悪いという問題があった。そのため、
PCS方式のシステムなどで要求されている、通過帯域
の高域側の減衰量が、特に、通過帯域のごく近傍で十分
に確保できないという問題があった。
【0007】これに対して、特開平10−126212
号公報に開示されている弾性表面波フィルタでは、通過
帯域の高域側ごく近傍における急峻性を高めることかで
きる。しかしながら、特開平10−126212号公報
に開示されている梯子型の弾性表面波フィルタでは、平
衡−不平衡変換機能を持たせることができなかった。
【0008】すなわち、従来、通過帯域の高域側ごく近
傍の急峻性に優れ、かつ平衡−不平衡変換機能を有する
弾性表面波フィルタが求められているにもかかわらず、
これを実現することができなかった。
【0009】本発明の目的は、通過帯域の近傍、特に高
域側ごく近傍における急峻性に優れ、さらに平衡−不平
衡変換機能を容易に持たせ得る、弾性表面波フィルタを
提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明に係る弾性表面波
フィルタは、圧電基板上において、弾性表面波の伝搬方
向に沿って配置された少なくとも2つのインターデジタ
ルトランスデューサを有する縦結合共振子型弾性表面波
フィルタと、入力端子及び/または出力端子と前記縦結
合共振子型弾性表面波フィルタとの間に接続されてい
る、少なくとも1つの弾性表面波共振子とを備える弾性
表面波フィルタにおいて、前記縦結合共振子型弾性表面
波フィルタの共振モードのうち少なくとも1つの共振モ
ードと、前記弾性表面波共振子の誘導性とを利用して通
過帯域が形成されてされており、前記弾性表面波共振子
の***振周波数が、前記縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタの共振モードのうち、最も高周波側に位置する共振
モードよりも低い周波数に位置されていると共に、前記
縦結合共振子型弾性表面波フィルタの共振モードのう
ち、最も高周波側に位置する共振モードが、IDT−I
DT間隔部に弾性表面波の強度分布のピークを有するモ
ードであることを特徴とする。
【0011】
【0012】第2の発明は、圧電基板上において、弾性
表面波の伝搬方向に沿って配置された少なくとも2つの
インターデジタルトランスデューサを有する縦結合共振
子型弾性表面波フィルタと、入力端子及び/または出力
端子と前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタとの間に
接続されている、少なくとも1つの弾性表面波共振子と
を備える弾性表面波フィルタにおいて、前記縦結合共振
子型弾性表面波フィルタの共振モードのうち少なくとも
1つの共振モードと、前記弾性表面波共振子の誘導性と
を利用して通過帯域が形成されており、前記弾性表面波
共振子の共振周波数が、前記縦結合共振子型弾性表面波
フィルタの通過帯域を構成している共振モードのうち、
最も高周波側に位置する共振モードより高い周波数に位
置されている。この場合、好ましくは、弾性表面波共振
子の***振周波数が、縦結合共振子型弾性表面波フィル
タの共振モードのうち、最も高周波側に位置する共振モ
ードよりも低い周波数に位置される。また、上記最も高
周波側に位置する共振モードとは、IDT−IDT間隔
部に弾性表面波の強度分布のピークを有するモードであ
る。
【0013】本発明のさらに他の特定の局面では、前記
弾性表面波共振子と前記縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタの合成インピーダンスが、前記縦結合共振子型弾性
表面波フィルタの共振モードのインピーダンスに略一致
されている。
【0014】本発明のさらに他の特定の局面では、前記
弾性表面波共振子と前記縦結合共振子型弾性表面波フィ
ルタの合成インピーダンスにより発生する減衰極の周波
数におけるVSWRが3.5以上とされている。
【0015】本発明に係る弾性表面波フィルタの他の特
定の局面では、前記弾性表面波共振子が間引き重み付け
が施されている。本発明のさらに別の特定の局面では、
前記弾性表面波共振子が、前記縦結合共振子型弾性表面
波フィルタよりも電気機械結合係数が小さくなるように
構成されている。
【0016】本発明の他の特定の局面では、前記弾性表
面波共振子が、前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
よりも電気機械結合係数が小さい圧電基板を用いて構成
されている。
【0017】本発明の弾性表面波フィルタの別の特定の
局面では、前記弾性表面波共振子が直列に接続されてい
る入力端子及び/または出力端子に、並列に接続された
インダクタンス素子が設けられている。
【0018】本発明に係る弾性表面波フィルタの別の特
定の局面では、少なくとも2個の弾性表面波フィルタが
備えられており、該2個の弾性表面波フィルタの入力端
子、出力端子の少なくとも一方が共通化されており、該
少なくとも2個の弾性表面波フィルタのうち少なくとも
1個が、本発明に係る弾性表面波フィルタにより構成さ
れている。
【0019】本発明に係る弾性表面波フィルタの特定の
局面では、平衡−不平衡変換機能が持たされている。本
発明に係る通信機は、本発明に係る弾性表面波フィルタ
を用いて構成されていることを特徴とする。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
に係る弾性表面波フィルタの具体的な実施例を説明する
ことにより、本発明を明らかにする。
【0021】図1は、本発明の第1の実施例の弾性表面
波フィルタの模式的平面図である。本実施例及び以後の
実施例に係る弾性表面波フィルタは、PCS用送信フィ
ルタに応用した例である。
【0022】本実施例では、40±5°YカットX伝搬
LiTaO3 基板上に、Alからなる図示の電極構造が
形成されている。ここでは、この電極構造により、縦結
合共振子型弾性表面波フィルタ101と、縦結合共振子
型弾性表面波フィルタ101に直列に接続されている弾
性表面波共振子102とが構成されている。
【0023】縦結合共振子型弾性表面波フィルタ101
では、表面波伝搬方向に沿って第1〜第3のIDT10
3〜105が形成されている。IDT103,105の
外側には、反射器106,107が配置されている。ま
た、IDT103,105の各一端が入力端子119に
接続されている。IDT104の一端が弾性表面波共振
子102の一端に接続されている。IDT103〜10
5の各他端は、グラウンド電位に接続されている。
【0024】なお、図1では、弾性表面波共振子102
におけるIDT116の両側に、略図的に示すグレーテ
ィング型反射器117a,117bが配置されている。
また、弾性表面波共振子102のIDT104に接続さ
れている側とは反対側の端部が、出力端子120に接続
されている。そして、弾性表面波共振子102の端部と
出力端子120との間の接続点121とアース電位との
間にインダクタンス素子118が挿入されている。
【0025】このインダクタンス素子118は、本実施
例では8.2nHの大きさを有するように構成されてい
る。IDT103〜105には、残りの電極指部に比べ
て電極指ピッチが狭い狭ピッチ電極指部が設けられてい
る。図1から明らかなように、IDT103〜105に
おいては、隣り合うIDTに隣接する側に、それぞれ、
狭ピッチ電極指部103a,104a,104b,10
5aが構成されている。言い換えれば、隣り合うIDT
間において、各IDTに隣接するIDT側端部に狭ピッ
チ電極指部が設けられている。
【0026】より具体的には、IDT103を例にとる
と、狭ピッチ電極指部103aを構成している電極指ピ
ッチは、IDT103の残りの電極指部分の電極指ピッ
チよりも狭くされている。
【0027】なお、図1では、図を簡潔とするために、
実際の電極指の数よりも電極指の数が少なく示されてい
る。本実施例の弾性表面波フィルタの具体的な設計を説
明する。本実施例では、IDT103〜105の狭ピッ
チ電極指部103a〜105aの電極指ピッチは全て等
しくされており、この狭ピッチ電極指部のピッチで定め
られる表面波の波長をλI2、他の電極指部分のピッチ
で定まる表面波の波長をλI1とすると、縦結合共振子
型弾性表面波フィルタ101の設計は以下の通りであ
る。
【0028】交叉幅W=70.4λI1 IDT103,105の電極指の本数:狭ピッチ電極指
部の電極指の本数=4本、残りの電極指部の電極指の本
数=35本 IDT104の電極指の本数:狭ピッチ電極指部104
aの電極指の本数=4本、狭ピッチ電極指部104bの
電極指本数=4本、残りの電極指部の電極指の本数=5
5本 λI1=2.13μm、λI2=1.82μm 反射器106,107の波長λR=2.14μm 反射器の電極指の本数=70本 狭ピッチ電極指部と残りの電極指との電極指中心間距離
(例えば、図1の参照番号110,112,113,1
15で示されている部分の中心間距離)=0.25λI
1+0.25λI2 IDT−IDT間の電極指中心間距離(例えば、図1の
参照番号111,114で定められている部分の中心間
距離)=0.50λI2 IDTと反射器との間隔=0.54λR IDT103〜105のデューティー=0.60 反射器のデューティー=0.60
【0029】なお、デューティーとは、電極指の幅の
(電極指の幅+電極指間のギャップの幅)に対する比を
示す。 電極膜厚=0.08λI1 また、弾性表面波共振子102の設計は以下の通りであ
る。 交叉幅W=34.1λ 但し、λは弾性表面波共振子の電極指ピッチで定められ
る表面波の波長を示す。
【0030】IDT116の本数=301本 λ=2.05μm 反射器の電極指の本数=30本 IDT−反射器の間隔=0.50λ IDT及び反射器のデューティー=0.60 電極膜厚=0.083λ 弾性表面波共振子102では、共振周波数−***振周波
数の間隔を狭くするために、IDT116に間引き重み
付けが施されている。
【0031】IDT116は、くし歯電極116a,1
16bを有する。くし歯電極116a側の電極指の符号
を+、くし歯電極116b側の電極指の符号を−とし
て、間引き重み付けの状態を表現する。この場合、図1
の左側から右側への方向に沿って、+の電極指及び−の
電極指が順に並んでいる場合「+1」、−の電極指及び
+の電極指が順に並んでいる場合「−1」、+の電極指
の隣に+の電極指が並んでいる場合または−の電極指の
隣に−の電極指が並んでいる場合に「0」とすると、I
DT116は、「1、0、0、−1、0、0、1、0、
0、−1、………−1、0、0、1、0、0、−1、
0、0、1」となるように間引き重み付けが施されてい
る。なお、図1では、図を簡潔にするために、IDT1
16の電極指の数は少なく表されている。
【0032】本実施例の弾性表面波フィルタ100の減
衰量周波数特性を図2に実線で示す。また、比較のため
に、図3に示す従来の弾性表面波フィルタの減衰量周波
数特性を図2に破線で示す。図2においては、減衰量周
波数特性の要部が、縦軸の右側のスケールで拡大されて
併せて図示されている。
【0033】なお、図3に示す弾性表面波フィルタ20
0は、第1の実施例の弾性表面波フィルタ100と同様
に、40±5°YカットX伝搬LiTaO3 基板上に縦
結合共振子型弾性表面波フィルタ201及び弾性表面波
共振子202をAl電極により形成した構造を有する。
また、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ201におい
ても、IDT203〜205が表面波伝搬方向に沿って
順に配置されており、かつ隣り合うIDT側端部に、I
DT203〜205において狭ピッチ電極指部203
a,204a,204b,205aが同様に構成されて
いる。この縦結合共振子型弾性表面波フィルタの詳細な
設計を以下に示す。ここでも、狭ピッチ電極指部のピッ
チで定められる波長をλI2、残りの電極部のピッチで
定められる波長をλI1とする。
【0034】交叉幅W=66.0λI1 IDT203、205の電極指の本数:狭ピッチ電極指
部203a,205aの電極指の本数=4本、残りの電
極指の電極指の本数=27本 IDT204の電極指の本数:狭ピッチ電極指部204
aの電極指の本数=4本、狭ピッチ電極指部204bの
電極指の本数=4本、残りの電極指部の電極指の本数=
33本 λI1=2.12μm、λI2=1.94μm 反射器206,207の波長λR=2.14μm 反射器206,207の電極指の本数=60本 波長λIの電極指とλI2の電極指の挟まれた部分の電
極指中心間距離(例えば、図3の参照番号210,21
2,213,215で示されている間隔)=0.25λ
I1±0.25λI2 IDT−IDT間隔(図3の参照番号211,214で
示されている部分の電極指中心間距離)=0.50λI
2 IDT−反射器の間隔=0.50λR IDT及び反射器のデューティー=0.60 電極指膜厚=0.080λI1 弾性表面波共振子202の詳細な設計は以下の通りであ
る。
【0035】交叉幅W=33.2λ IDTの本数=341本 IDT及び反射器の波長λ=2.11μm 反射器の電極指の本数=30本 IDT−反射器の間隔=0.50λ IDT及び反射器のデューティー=0.60 電極指膜厚=0.080λ 図3に示した弾性表面波フィルタ200は、例えば特開
平7−66679号公報に開示されている公報に従って
構成されているものである。
【0036】図2から明らかなように、上記従来の弾性
表面波フィルタ200に比べて、第1の実施例の弾性表
面波フィルタ100では、通過帯域の高域側ごく近傍に
おける急峻性が高められていることがわかる。例えば、
スルーレベルから4.5dBの位置から10dBの位置
に達するまでの周波数幅を比較すると、従来例では5.
6MHzであるのに対し、第1の実施例では3.4MH
zであり、従って2.2MHz狭くなっていることがわ
かる。
【0037】次に、本実施例に即して、本発明の原理を
説明する。図4は、第1の実施例で用いられている縦結
合共振子型弾性表面波フィルタ101の減衰量周波数特
性を示し、図5は弾性表面波共振子102の減衰量周波
数特性を示し、図6は上記従来例で用いられている縦結
合共振子型弾性表面波フィルタの減衰量周波数特性を、
図7は弾性表面波共振子202の減衰量周波数特性を示
す各図である。
【0038】なお、図4及び図5における×印は、弾性
表面波共振子102の共振周波数及び***振周波数の位
置を示す。この場合、周波数が低い側の×印が共振周波
数を、高いの方の×印が***振周波数の位置を示す。ま
た、図6及び図7における×印は、弾性表面波共振子2
02の共振周波数及び***振周波数の位置を示す。この
場合においても、周波数が低い側の×印が共振周波数の
位置を、周波数が高い側の×印が***振周波数の位置を
示す。
【0039】図8(a)及び(b)に示すように、3個
のIDTを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタで
は、0次モード(矢印Bで示す共振モード)、2次モー
ド(矢印Aで示す共振モード)並びにIDT−IDT間
隔部に、弾性表面波の強度分布のピークを有するモード
(矢印Cで示す共振モード)の3つを用いて通過帯域が
形成される。
【0040】通過帯域の高域側ごく近傍の急峻性は、上
記3つの共振モードのうち、矢印Cで示す共振モードの
急峻性によって決定される。しかしながら、この急峻性
だけでは、通過帯域の高域側ごく近傍において十分な急
峻性を得ることはできない。
【0041】そこで、従来、縦結合共振子型弾性表面波
フィルタの通過帯域幅を必要帯域幅よりも広く設計して
おき、縦結合共振子型弾性表面波フィルタに接続される
弾性表面波共振子の***振周波数を通過帯域の高域側に
合致させ、弾性表面波共振子の周波数特性の急峻性を利
用することにより、通過帯域の高域側ごく近傍における
急峻性が実現されていた。
【0042】これに対して、第1の実施例では、図4か
ら明らかなように、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
101の通過帯域幅は、図2に示した弾性表面波共振子
が直列接続されている場合の通過帯域幅よりも狭いこと
がわかる。つまり、上述した従来例と異なり、弾性表面
波共振子102が直列に接続されることにより、通過帯
域幅が広くなる。これを、反射特性(弾性表面波共振子
を直列接続したS22側における反射特性)を用いて説
明する。
【0043】図9(a)は、縦結合共振子型弾性表面波
フィルタ101の反射特性を、(b)は弾性表面波共振
子102の反射特性を示す。第1の実施例の弾性表面波
フィルタの反射特性は、この2つの反射特性の合成、す
なわち図9(c)に示す通りとなる。
【0044】図9において、矢印Xで示したマーカー
は、弾性表面波共振子102の共振周波数(=190
9.5MHz)であり、矢印Yで示したマーカーは***
振周波数(=1925MHz)である。
【0045】縦結合共振子型弾性表面波フィルタ101
では、弾性表面波共振子の共振周波数−***振周波数間
の周波数領域は、容量性(スミスチャートの下半分の領
域)である。これに対して、弾性表面波共振子102の
共振周波数−***振周波数間の領域は、誘導性(スミス
チャートの上半分の領域)であるため、縦結合共振子型
弾性表面波フィルタ101のこの周波数領域は、誘導性
領域に引っ張られることになる。これにより、図9
(c)に示すように、新たに弾性表面波共振子の誘導性
が影響することにより生じる共振モードZが現れる。共
振モードZのインピーダンスを、図示のように縦結合共
振子型弾性表面波フィルタ101の他の共振モードのイ
ンピーダンスと略一致させることにより、通過帯域幅が
広げられる。但し、共振モードZは、弾性表面波の強度
分布により発生する共振モードとは異なり、LC共振に
よるモードであると考えられる。共振モードZは、弾性
表面波共振子102の共振周波数を、縦結合共振子型弾
性表面波フィルタ101の通過帯域を形成している共振
モードのうち、最も高周波数側にある共振モード(図9
(c)の矢印Wで示すモード)の周波数よりも高い周波
数とすることにより発生する。
【0046】以上のような方法により通過帯域を形成す
ることにより、弾性表面波共振子の周波数特性の急峻性
が、ほぼそのままフィルタの周波数特性上における急峻
性として利用され得る。上述した従来例においても、弾
性表面波共振子への周波数特性の急峻性を利用してフィ
ルタ全体の急峻性が高められているが、図8の最も高域
側の共振モードの急峻性も影響するため、弾性表面波共
振子の急峻性をそのまま利用することはできなかった。
【0047】これに対して、第1の実施例で示したよう
に、本発明においては、不要となる最も高域側の共振モ
ードが、図4の矢印Cで示すように、通過帯域外に配置
されている。従って、従来例では、通過帯域の高域ごく
近傍の急峻性を悪化させる原因となっていた共振モード
Cの影響が、本実施例では現れず、弾性表面波共振子の
急峻性がそのままフィルタ特性の急峻性を高めるために
利用され得る。よって、フィルタの通過帯域の高域側ご
く近傍の急峻性をより一層高めることができる。
【0048】次に、本発明において、通過帯域の高域側
ごく近傍における減衰量を十分に得るための条件を調べ
た。本発明において、通過帯域の高域側ごく近傍におけ
る減衰量は、縦結合共振子型弾性表面波フィルタと弾性
表面波共振子の合成インピーダンスにより発生する減衰
極(図2の矢印Pで示す減衰極)の減衰量により定ま
る。この減衰極Pの減衰量は、減衰極Pのインピーダン
スにより定まる。すなわち、減衰極のインピーダンスが
整合条件からずれている量、すなわちVSWRがどの程
度かにより定まる。そこで、第1の実施例の弾性表面波
フィルタの弾性表面波共振子102の容量を変えてい
き、減衰極Pの減衰量に対する減衰極PのVSWRの値
を調べた。結果を図10に示す。
【0049】第1の実施例で用いられているPCS受信
用弾性表面波フィルタ100では、通過帯域の高域側ご
く近傍の減衰量は8dB以上必要であり、他のシステム
においてもこの程度の減衰量は必要である。図10から
明らかなように、減衰極の減衰量が8dB以上となって
いる減衰極のVSWRが約3.5である。従って、VS
WRが約3.5以上であれば、十分な減衰量の得られる
ことがわかる。
【0050】本実施例では、図4に示したように、各共
振モードが配置されることにより、フィルタ特性の急峻
性が高められているが、このように各共振モードを配置
する方法については、種々の方法が存在する。第1の実
施例では、狭ピッチ電極指部のピッチを調整する方法が
用いられている。従来例と比較すれば明らかなように、
第1の実施例の弾性表面波フィルタでは、縦結合共振子
型弾性表面波フィルタ101における狭ピッチ電極指部
以外の電極指部のピッチに対する狭ピッチ電極指部の電
極指ピッチの比が小さくされている。従来例では、この
比が0.915であるのに対し、第1の実施例では0.
854とされている。この比を0.900以下にする
と、上述したフィルタ特性の急峻性を高めるのに有効な
共振モード配置が実現される。
【0051】また、図1に示した電極指中心間距離11
0〜115を調整する方法によっても、有効な共振モー
ド配置を実現することができる。さらに、狭ピッチ電極
指を有しない、例えば、特開平5−267990号公報
に記載の弾性表面波フィルタでは、一般にIDT−ID
T間隔はIDTの表面波を波長λIとした場合、(0.
25+0.5n)λI(但し、nは0または整数)前後
に設定されるが、これを、(0.28+0.5n)λI
〜(0.40+0.5n)λIとすることにより、上述
した有効な共振モード配置を実現することができる。
【0052】本発明においては、直列接続される弾性表
面波共振子の共振周波数と***振周波数との間隔は狭い
ことが望ましい。弾性表面波共振子の周波数特性上にお
ける急峻性は、この周波数間隔で定まる。従って、弾性
表面波フィルタ全体の通過帯域の高域側ごく近傍の急峻
性も、上記周波数間隔に依存する。第1の実施例では、
弾性表面波共振子102を間引き重み付けすることによ
り、上記周波数間隔が狭められている。間引き重み付け
により、弾性表面波共振子102のインピーダンスが高
くなるため、図9(c)に示したように、弾性表面波フ
ィルタの通過帯域内のインピーダンスが容量性となる。
第1の実施例では、これを補正するために、並列にイン
ダクタンス素子118が接続されており、それによって
インピーダンス整合が図られている(これにより、図9
(d)に示す反射特性が実現される)。
【0053】上記インピーダンス整合を図る方法は、上
記インダクタンス素子118を挿入する方法に限定され
ず、他のインダクタンスやキャパシタンスの組み合わせ
等により構成してもよい。
【0054】第1の実施例では、通過帯域の高域側ごく
近傍の急峻性が高められるが、それより高域側に少し離
れた周波数域の減衰量は、従来例に比べて悪化してい
る。従って、好ましくは、これを改善するために、図1
1に示すように、弾性表面波共振子301,302を入
力端子119と縦結合共振子型弾性表面波フィルタ10
1との間に直列に接続することが望ましい。図11に示
した変形例の周波数特性を図12に示す。なお、弾性表
面波共振子301,302の詳細な設計は、下記の表1
に示す通りである。
【0055】
【表1】
【0056】なお、弾性表面波共振子301,302を
付加させずに、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ10
1のIDT103〜105を間引き重み付けすることに
より、通過帯域の高域側ごく近傍から高域側に少し離れ
た周波数域の減衰量を増大させてもよい。
【0057】第1の実施例では、縦結合共振子型弾性表
面波フィルタに直列に接続されている弾性表面波共振子
102の共振周波数−***振周波数間の周波数間隔が間
引き重み付けにより狭くされていた。第2の実施例で
は、間引き重み付けではなく、弾性表面波共振子の電気
機械結合係数を小さくすることにより、上記周波数間隔
が狭められている。図13は、第2の実施例の弾性表面
波フィルタの電極構造を示す模式的平面図である。
【0058】縦結合共振子型弾性表面波フィルタ101
に直列に弾性表面波共振子401が接続されている。縦
結合共振子型弾性表面波フィルタ101は、第1の実施
例と同様に構成されている。弾性表面波共振子401で
は、斜線のハッチングを付して示すように、SiO2
が積層されている。すなわち、第2の実施例では、圧電
基板上において、弾性表面波共振子401が形成されて
いる部分においてのみ、SiO2 膜401aが積層され
ている。このSiO2 膜401aにより、弾性表面波共
振子401の電気機械結合係数が小さくなり、共振周波
数−***振周波数の周波数間隔が狭くされている。
【0059】第2の実施例では、SiO2 膜401aを
弾性表面波共振子401上に積層することにより、電気
機械結合係数が低くされていたが、SiO2 膜以外に、
酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化タンタル、
酸化チタン、酸化ニオブ、窒化シリコン、酸化窒化シリ
コンなどの誘電体もしくは絶縁体膜を積層してもよい。
【0060】さらに、弾性表面波共振子の電気機械結合
係数のみを小さくする方法としては、弾性表面波共振子
におけるIDTや反射器を構成する電極膜厚を薄くする
方法を用いてもよい。
【0061】さらに、図14に示す変形例のように、縦
結合共振子型弾性表面波フィルタ101が構成される圧
電基板100とは別の圧電基板500上に、弾性表面波
共振子501を構成してもよい。この場合、圧電基板5
00aとして、例えば、40±5°YカットX伝搬Li
TaO3 基板より電気機械結合係数が小さい圧電基板、
例えば、水晶基板、45°XカットZ伝搬Li247
基板、Xカット112°伝搬LiTaO3 基板またはラ
ンガサイト基板などを挙げることができる。
【0062】図15は、本発明の第3の実施例を説明す
るための回路図である。本発明の弾性表面波フィルタで
は、インダクタンス素子などのインピーダンスマッチン
グ素子を必要とすることが多い。インピーダンスマッチ
ング素子を、パッケージの外に配置した場合には、実装
面積が大きくなる。また、図15に示す回路のように、
弾性表面波フィルタ601,602の入力端子及び出力
端子のうち一方を共通にした構成では、共通接続されて
いる側のインピーダンス整合のために、外付けのインダ
クタンス素子603を接続することが多い。同様に、図
16に示す例のように、弾性表面波フィルタ601,6
02の入力端子及び出力端子の双方を共通化した構造に
おいては、入力端子側及び出力端子側のいずれにおいて
もインピーダンスマッチングを図るために、インダクタ
ンス素子603,604を挿入することが多い。
【0063】すなわち、従来、2個の弾性表面波フィル
タの一方の端子を共通接続する場合、インピーダンスマ
ッチングのために外付けのインダクタンス素子が挿入さ
れていた。従って、図15及び図16に示した弾性表面
波フィルタにおいて、一方の弾性表面波フィルタ601
または弾性表面波フィルタ602として、本発明の弾性
表面波フィルタを用いれば、新たにインピーダンス整合
用素子を付加することなく、本発明の効果を得ることが
できる。
【0064】図17は、第3の実施例の弾性表面波フィ
ルタを説明するための模式的平面図である。第3の実施
例では、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ701、弾
性表面波共振子703,705,707からなる第1の
弾性表面波フィルタ部と、縦結合共振子型弾性表面波フ
ィルタ702、弾性表面波共振子704,706,70
8からなる第2の弾性表面波フィルタ部とが並列に接続
されている。第1,第2の弾性表面波フィルタ部は、第
1の実施例と同様に、縦結合共振子型弾性表面波フィル
タ701,702と、これに直列に接続された弾性表面
波共振子707,708とを有する。また、図11に示
した変形例と同様に、入力端子710と縦結合共振子型
弾性表面波フィルタ701,702との間に、それぞ
れ、弾性表面波共振子703,705,704,706
が接続されている。従って、第3の実施例は、図11に
示した変形例の弾性表面波フィルタを2個並列に接続し
た構造を有する。
【0065】ここで、出力端子711,712間には、
インダクタンス素子713が接続されている。このよう
に、本発明に従って構成された弾性表面波フィルタが2
個並列接続されて、本実施例では、入力インピーダンス
50Ω、出力インピーダンス200Ωである平衡−不平
衡変換機能を有する弾性表面波フィルタが構成されてい
る。
【0066】なお、縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
701,702及び弾性表面波共振子703〜708
は、図1及び図11に示した弾性表面波フィルタに対
し、交叉幅が全て1/2とされていること、縦結合共振
子型弾性表面波フィルタ702のIDT709が反転さ
れていること以外は、同様に設計されている。縦結合共
振子型弾性表面波フィルタ702の中央のIDT709
の極性が反転されているのは、縦結合共振子型弾性表面
波フィルタ701の出力信号に対し、縦結合共振子型弾
性表面波フィルタ702の出力信号の位相を180°反
転させるためである。
【0067】もっとも、位相を180°反転させる方法
は、この方法に限定されるものではない。平衡出力端子
である出力端子711,712間に接続されているイン
ダクタンス素子713は、本設計例では、15nHの大
きさとされている。
【0068】第3の実施例の弾性表面波フィルタの周波
数特性を図18に示す。図18から明らかなように、第
1の実施例で得られていた、通過帯域の高域側ごく近傍
の急峻性とほぼ同等の急峻性が実現されていることがわ
かる。従って、第3の実施例によれば、通過帯域の高域
側ごく近傍における急峻性が改善され、かつ平衡−不平
衡変換機能を有する弾性表面波フィルタの得られること
がわかる。
【0069】第3の実施例では、入力インピーダンスと
出力インピーダンスが異なる平衡−不平衡変換機能を有
する弾性表面波フィルタを示したが、入力インピーダン
スと出力インピーダンスがほぼ等しい平衡−不平衡変換
機能を有する弾性表面波フィルタを構成することもでき
る。例えば、図19に示す変形例では、縦結合共振子型
弾性表面波フィルタ801に直列に、弾性表面波共振子
802が接続されている。ここで、縦結合共振子型弾性
表面波フィルタ801の中央のIDT804の両端が、
平衡出力を取り出すための平衡出力端子811,812
に接続されている。また、IDT803,805の一端
が弾性表面波共振子802に接続されている。弾性表面
波共振子802のIDT803,805が接続されてい
る側とは反対側の端部が不平衡入力端子813に接続さ
れている。不平衡入力端子813と弾性表面波共振子8
02との間の接続点814とグラウンド電位との間にイ
ンダクタンス素子815が挿入されている。なお、80
6,807は反射器を示す。
【0070】このように、IDT804の両端を平衡出
力端子811,812に接続することにより、入力イン
ピーダンスと出力インピーダンスがほぼ等しい、平衡−
不平衡変換機能を有する弾性表面波フィルタが得られ
る。この場合においても、上述した実施例に従って、縦
結合共振子型弾性表面波フィルタ801、弾性表面波共
振子802及びインダクタンス素子815を設計するこ
とにより、通過帯域の高域側ごく近傍側において、急峻
性を効果的に高めることができる。
【0071】上述した実施例では、圧電基板として、4
0±5°YカットX伝搬LiTaO 3 基板を用いたが、
本発明においては、圧電基板としては、上記LiTaO
3 基板に限定されず、64〜72°YカットX伝搬Li
NbO3 基板、YカットX伝搬LiNbO3 基板などの
様々な圧電性を有する基板を用いることができる。
【0072】また、第1の実施例では、図8に示した共
振モードA,Bと、弾性表面波共振子102の誘導性に
よる共振モード等を用いて通過帯域が形成されていた
が、通過帯域幅が狭くともよい場合には、設計パラメー
タを調整して、共振モードAも通過帯域外に配置し、共
振モードBと弾性表面波共振子102の誘導性による共
振モードとの2つの共振モードで通過帯域を形成しても
よい。
【0073】さらに、従来の縦結合共振子型弾性表面波
フィルタよりも広い通過帯域が求められる場合には、図
8に示す共振モードA〜Cの3つの共振モードと、弾性
表面波共振子102の誘導性による共振モードとの4つ
の共振モードで通過帯域を形成してもよい。
【0074】さらに、上述してきた各実施例では、3個
のIDTを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタを
用いた例を示したが、本発明では、2個のIDTを有す
る縦結合共振子型弾性表面波フィルタ、あるいは4個以
上のIDTを有する縦結合共振子型弾性表面波フィルタ
を用いてもよい。
【0075】図20及び図21は、本発明に係る弾性表
面波フィルタを用いた通信機160を説明するための各
概略ブロック図である。図20において、アンテナ16
1に、ディプレクサ162が接続されている。ディプレ
クサ162と受信側ミキサ163との間に、弾性表面波
フィルタ164及び増幅器165が接続されている。ま
た、ディプレクサ162と送信側のミキサ166との間
には、増幅器167及び弾性表面波フィルタ168が接
続されている。このように、増幅器165が平衡信号に
対応されている場合、本発明に従って構成された弾性表
面波フィルタを上記弾性表面波フィルタ164として好
適に用いることができる。
【0076】また、図21に示すように、受信側におい
て用いられている増幅器165Aが不平衡信号対応の場
合にも、本発明に従って構成された弾性表面波フィルタ
を弾性表面波フィルタ164Aとして好適に用いること
ができる。
【0077】
【発明の効果】本発明に係る弾性表面波フィルタでは、
縦結合共振子型弾性表面波フィルタと該縦結合共振子型
弾性表面波フィルタに直列に接続された弾性表面波共振
子とを備える構造において、縦結合共振子型弾性表面波
フィルタの共振モードのうち少なくとも1つの共振モー
ドと、弾性表面波共振子の誘導性とを利用して通過帯域
が形成されている。従って、弾性表面波素子の急峻性
を、弾性表面波フィルタの急峻性としてそのまま利用す
ることができる。よって、共振周波数−***振周波数の
周波数間隔の狭い弾性表面波共振子を用いることによ
り、通過帯域の高域側ごく近傍における急峻性を効果的
に高めることができる。
【0078】また、弾性表面波共振子の***振周波数
が、縦結合共振子型弾性表面波フィルタの共振モードの
うち最も高周波側に位置する共振モードよりも低い周波
数に位置されているので、通過帯域の高域側ごく近傍に
おける急峻性をさらに効果的に高めることができる。
【0079】また、第2の発明では、弾性表面波共振子
の共振周波数が、縦結合共振子型弾性表面波フィルタの
通過帯域を構成している共振モードのうち、最も高周波
側に位置する共振モードよりも高い周波数に位置してい
ため、弾性表面波共振子の誘導性の影響により生じる
共振モードが現れ、該共振モードのインピーダンスを、
縦結合共振子型弾性表面波フィルタの他の共振モードの
インピーダンスと略一致させることにより、通過帯域幅
を広げることができる。第2の発明において、弾性表面
波共振子の***振周波数が、縦結合共振子型弾性表面波
フィルタの共振モードのうち、最も高周波側に位置する
共振モードよりも低い周波数に位置されている場合に
は、通過帯域高域側にごく近傍における急峻性をさらに
効果的に高めることができる。
【0080】弾性表面波共振子と縦結合共振子型弾性表
面波フィルタの合成インピーダンスが、縦結合共振子型
弾性表面波フィルタの共振モードのインピーダンスに略
一致されている場合には、通過帯域幅を広げることがで
きる。
【0081】弾性表面波共振子と縦結合共振子型弾性表
面波フィルタの合成インピーダンスにより発生する減衰
極の周波数におけるVSWRが3.5以上の場合には、
通過帯域の高域側ごく近傍における減衰量を十分な大き
さとすることができる。弾性表面波共振子が間引き重み
付けされている構成においては、弾性表面波共振子の共
振周波数−***振周波数間の周波数間隔を狭めるように
間引き重み付けを行うことにより、通過帯域の高域側ご
く近傍における急峻性を確実に高めることができる。
【0082】弾性表面波共振子が、縦結合共振子型弾性
表面波フィルタよりも電気機械結合係数が小さい場合に
は、それによって弾性表面波共振子の共振周波数−***
振周波数間の間隔を狭めることができ、通過帯域の高域
側ごく近傍における急峻性を効果的に高めることができ
る。この場合、弾性表面波共振子は、縦結合共振子型弾
性表面波フィルタよりも電気機械結合係数が小さい圧電
基板を用いて構成されていてもよい。
【0083】弾性表面波共振子が直列に接続されている
入力端子及び/または出力端子に、弾性表面波共振子に
並列に接続されたインダクタンス素子が設けられている
場合には、通過帯域内におけるフィルタ特性を改善する
ことができる。
【0084】少なくとも2個の弾性表面波フィルタ素子
を有し、該2個の弾性表面波フィルタ素子の入力端子ま
たは出力端子の少なくとも一方が共通化されており、該
少なくとも2個の弾性表面波フィルタ素子の少なくとも
1つが本発明に係る弾性表面波フィルタにより構成され
ている場合には、弾性表面波共振子により上記インダク
タンス素子を兼ねることができるので、弾性表面波フィ
ルタの構造の簡略化を図ることができる。
【0085】また、本発明に係る弾性表面波フィルタ
は、平衡−不平衡変換機能を有するように構成されても
よく、その場合には、平衡−不平衡変換機能を有し、か
つ本発明に従って通過帯域近傍のフィルタ特性の急峻性
が高められた弾性表面波フィルタを提供することができ
る。
【0086】本発明に係る通信機は、本発明に係る弾性
表面波フィルタを用いて構成されているので、該弾性表
面波フィルタにおける通過帯域の高域側ごく近傍におけ
る急峻性が高められるので、選択度に優れた通信機を提
供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例の弾性表面波フィルタの
電極構造を示す模式的平面図。
【図2】第1の実施例及び従来例の弾性表面波フィルタ
の減衰量周波数特性を示す図。
【図3】比較のために用意した従来の弾性表面波フィル
タの電極構造を示す模式的平面図。
【図4】第1の実施例で用いられている縦結合共振子型
弾性表面波フィルタの減衰量周波数特性を示す図。
【図5】第1の実施例で用いられている弾性表面波共振
子の周波数特性を示す図。
【図6】従来例の弾性表面波フィルタで用いられている
縦結合共振子型弾性表面波フィルタの減衰量周波数特性
を示す図。
【図7】従来例の弾性表面波フィルタで用いられている
弾性表面波共振子の周波数特性を示す図。
【図8】(a)及び(b)は、3個のIDTを有する縦
結合共振子型弾性表面波フィルタの共振モードを説明す
るための周波数特性を示す図及び3つの共振モードを模
式的に示す図。
【図9】(a)〜(d)は、それぞれ、本発明の原理を
反射特性S22を用いて説明するための図。
【図10】図2に示した減衰極Pにおける減衰量と、V
SWRとの関係を示す図。
【図11】第1の実施例に変形例に係る弾性表面波フィ
ルタを説明するための模式図。
【図12】図11に示した変形例の減衰量周波数特性を
示す図。
【図13】第2の実施例の弾性表面波フィルタの電極構
造を示す模式的平面図。
【図14】第2の実施例の変形例に係る弾性表面波フィ
ルタを説明するための模式的平面図。
【図15】2個の弾性表面波フィルタ素子を有する弾性
表面波フィルタの概略ブロック図。
【図16】2個の弾性表面波フィルタ素子を有する弾性
表面波フィルタの概略ブロック図。
【図17】第3の実施例に係る縦結合共振子型弾性表面
波フィルタの電極構造を示す模式的平面図。
【図18】第3の実施例の弾性表面波フィルタの減衰量
周波数特性を示す図。
【図19】第3の実施例の変形例に係る弾性表面波フィ
ルタの電極構造を示す模式的平面図。
【図20】本発明に係る弾性表面波フィルタが用いられ
ている通信機を説明するための概略ブロック図。
【図21】本発明に係る弾性表面波フィルタが用いられ
ている通信機の他の例を説明するための概略ブロック
図。
【符号の説明】
100…圧電基板 101…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 102…弾性表面波共振子 103〜105…IDT 103a,104a,104b,105a…狭ピッチ電
極指部 106,107…反射器 116…IDT 117a,117b…反射器 119…入力端子 120…出力端子 160…通信機 161…アンテナ 162…ディプレクサ 163,166…ミキサ 164…弾性表面波フィルタ 165…増幅器 167…弾性表面波フィルタ 168…増幅器 301,302…弾性表面波共振子 401…弾性表面波共振子 401a…SiO2 膜 500…圧電基板 601,602…弾性表面波フィルタ 701…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 702…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 703,705,707…弾性表面波共振子 704,706,708…弾性表面波共振子 709…IDT 710…入力端子 711,712…出力端子 801…縦結合共振子型弾性表面波フィルタ 802…弾性表面波共振子 803〜805…IDT 806,807…反射器 811,812…出力端子 813…入力端子 815…インダクタンス素子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開2000−165198(JP,A) 特開 平8−265087(JP,A) 特開 平9−162695(JP,A) 特開 平7−307641(JP,A) 特開 平11−68511(JP,A) 特開2002−64358(JP,A) 特開 平10−65481(JP,A) 特開 平9−8599(JP,A) 特開 平6−260876(JP,A) 国際公開99/004489(WO,A1) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H03H 9/64 H03H 9/25

Claims (13)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】圧電基板上において、弾性表面波の伝搬方
    向に沿って配置された少なくとも2つのインターデジタ
    ルトランスデューサを有する縦結合共振子型弾性表面波
    フィルタと、 入力端子及び/または出力端子と前記縦結合共振子型弾
    性表面波フィルタとの間に接続されている、少なくとも
    1つの弾性表面波共振子とを備える弾性表面波フィルタ
    において、 前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタの共振モードの
    うち少なくとも1つの共振モードと、前記弾性表面波共
    振子の誘導性とを利用して通過帯域が形成されており、
    前記弾性表面波共振子の***振周波数が、前記縦結合共
    振子型弾性表面波フィルタの共振モードのうち、最も高
    周波側に位置する共振モードよりも低い周波数に位置さ
    れていると共に、前記縦結合共振子型弾性表面波フィル
    タの共振モードのうち、最も高周波側に位置する共振モ
    ードが、IDT−IDT間隔部に弾性表面波の強度分布
    のピークを有するモードであることを特徴とする、弾性
    表面波フィルタ。
  2. 【請求項2】圧電基板上において、弾性表面波の伝搬方
    向に沿って配置された少なくとも2つのインターデジタ
    ルトランスデューサを有する縦結合共振子型弾性表面波
    フィルタと、 入力端子及び/または出力端子と前記縦結合共振子型弾
    性表面波フィルタとの間に接続されている、少なくとも
    1つの弾性表面波共振子とを備える弾性表面波フィルタ
    において、 前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタの共振モードの
    うち少なくとも1つの共振モードと、前記弾性表面波共
    振子の誘導性とを利用して通過帯域が形成されており、
    前記弾性表面波共振子の共振周波数が、前記縦結合共振
    子型弾性表面波フィルタの通過帯域を構成している共振
    モードのうち、最も高周波側に位置する共振モードより
    高い周波数に位置している、弾性表面波フィルタ。
  3. 【請求項3】前記弾性表面波共振子の***振周波数が、
    前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタの共振モードの
    うち、最も高周波側に位置する共振モードよりも低い周
    波数に位置されている、請求項に記載の弾性表面波フ
    ィルタ。
  4. 【請求項4】前記縦結合共振子型弾性表面波フィルタの
    共振モードのうち、最も高周波側に位置する共振モード
    が、IDT−IDT間隔部に弾性表面波の強度分布のピ
    ークを有するモードである、請求項に記載の弾性表面
    波フィルタ。
  5. 【請求項5】前記弾性表面波共振子と前記縦結合共振子
    型弾性表面波フィルタの合成インピーダンスが、前記縦
    結合共振子型弾性表面波フィルタの共振モードのインピ
    ーダンスに略一致されている、請求項1〜のいずれか
    に記載の弾性表面波フィルタ。
  6. 【請求項6】前記弾性表面波共振子と前記縦結合共振子
    型弾性表面波フィルタの合成インピーダンスにより発生
    する減衰極の周波数におけるVSWRが3.5以上であ
    る、請求項1〜のいずれかに記載の弾性表面波フィル
    タ。
  7. 【請求項7】前記弾性表面波共振子が間引き重み付けさ
    れている、請求項1〜のいずれかに記載の弾性表面波
    フィルタ。
  8. 【請求項8】前記弾性表面波共振子が、前記縦結合共振
    子型弾性表面波フィルタよりも電気機械結合係数が小さ
    い、請求項1〜のいずれかに記載の弾性表面波フィル
    タ。
  9. 【請求項9】前記弾性表面波共振子が、前記縦結合共振
    子型弾性表面波フィルタよりも電気機械結合係数が小さ
    い圧電基板を用いて構成されている、請求項に記載の
    弾性表面波フィルタ。
  10. 【請求項10】前記弾性表面波共振子が直列に接続され
    ている入力端子及び/または出力端子に、並列に接続さ
    れたインダクタンス素子が設けられている、請求項1〜
    のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
  11. 【請求項11】少なくとも2個の弾性表面波フィルタ素
    子を有し、該2個の弾性表面波フィルタ素子の入力端子
    または出力端子の少なくとも一方が共通化されており、
    該少なくとも2個の弾性表面波フィルタ素子の少なくと
    も1つが、請求項1〜10のいずれかに記載の弾性表面
    波フィルタにより構成されている、弾性表面波フィル
    タ。
  12. 【請求項12】平衡−不平衡変換機能を有する、請求項
    1〜11のいずれかに記載の弾性表面波フィルタ。
  13. 【請求項13】請求項1〜12のいずれかに記載の弾性
    表面波フィルタを用いて構成されている通信機。
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