JP2573382B2 - 固体撮像素子の製法 - Google Patents
固体撮像素子の製法Info
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- JP2573382B2 JP2573382B2 JP2006904A JP690490A JP2573382B2 JP 2573382 B2 JP2573382 B2 JP 2573382B2 JP 2006904 A JP2006904 A JP 2006904A JP 690490 A JP690490 A JP 690490A JP 2573382 B2 JP2573382 B2 JP 2573382B2
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/1012—Auxiliary members for bump connectors, e.g. spacers
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、光電変換部の近傍にボンディングパッド
部を有する固体撮像素子の製法に関する。
部を有する固体撮像素子の製法に関する。
［従来の技術］ 第２図は、光電変換部の近傍にボンディングパッド部
を有するカラー固体撮像素子の一例の断面構造を示して
いる。
を有するカラー固体撮像素子の一例の断面構造を示して
いる。
同図において、１は固体撮像素子基板であり、２は画
像情報となる入射光を受けて電荷を発生蓄積する受光部
2aおよび受光部2aで発生蓄積した電荷を転送するための
転送部2bからなる光電変換部であり、３は光電変換部２
の近傍の固体撮像素子基板１上に形成されたボンディン
グパッド部としてのアルミ電極である。
像情報となる入射光を受けて電荷を発生蓄積する受光部
2aおよび受光部2aで発生蓄積した電荷を転送するための
転送部2bからなる光電変換部であり、３は光電変換部２
の近傍の固体撮像素子基板１上に形成されたボンディン
グパッド部としてのアルミ電極である。
４は光電変換部２の表面の凹凸を一定値以下に抑える
ために形成された平坦化膜である。５はこの平坦化膜４
上に光電変換部２の受光部2aに対応して形成された３原
色のカラーフィルタであり、5rは第１染色層（レッド
層）、5gは第２染色層（グリーン層）、5bは第３染色層
（ブルー層）である。６はカラーフィルタ５上に形成さ
れた保護膜である。そして、７はアルミ電極３にボンデ
ィングするために開けられたパッド窓である。
ために形成された平坦化膜である。５はこの平坦化膜４
上に光電変換部２の受光部2aに対応して形成された３原
色のカラーフィルタであり、5rは第１染色層（レッド
層）、5gは第２染色層（グリーン層）、5bは第３染色層
（ブルー層）である。６はカラーフィルタ５上に形成さ
れた保護膜である。そして、７はアルミ電極３にボンデ
ィングするために開けられたパッド窓である。
第３図は、光電変換部の近傍にボンディングパッド部
を有するカラー固体撮像素子の他の例の断面構造を示し
ている。この第３図において、第２図と対応する部分に
は同一符号を付して示している。
を有するカラー固体撮像素子の他の例の断面構造を示し
ている。この第３図において、第２図と対応する部分に
は同一符号を付して示している。
第３図例は、保護膜６上に光電変換部２の各受光部2a
に対応してマイクロレンズ８が形成されるものである。
このマイクロレンズ８によって入射光は各受光部2aに集
光されるため、感度の向上が図られる。
に対応してマイクロレンズ８が形成されるものである。
このマイクロレンズ８によって入射光は各受光部2aに集
光されるため、感度の向上が図られる。
第２図例のカラー固体撮像素子は、以下のような工程
で製造される。
で製造される。
まず、光電変換部２が形成された固体撮像素子基板１
にボンディングパッド部としてのアルミ電極３を所定の
パターンで被着形成する（第４図Ａに図示）。
にボンディングパッド部としてのアルミ電極３を所定の
パターンで被着形成する（第４図Ａに図示）。
次に、固体撮像素子基板１上の光電変換部２およびア
ルミ電極３上に平坦化膜４を塗布し、加熱等の処理によ
って硬化させる（同図Ｂに図示）。この平坦化膜４は、
例えばアクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、
エポキシ樹脂、アルキッド樹脂、フェノール樹脂、シリ
コーン樹脂、ガラスレジン、尿素樹脂、ポリエステル樹
脂等の合成樹脂をもって形成される。
ルミ電極３上に平坦化膜４を塗布し、加熱等の処理によ
って硬化させる（同図Ｂに図示）。この平坦化膜４は、
例えばアクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、
エポキシ樹脂、アルキッド樹脂、フェノール樹脂、シリ
コーン樹脂、ガラスレジン、尿素樹脂、ポリエステル樹
脂等の合成樹脂をもって形成される。
次に、平坦化膜４上にカラーフィルタ５を構成する第
１染色層5rを被着させる（同図Ｃに図示）。この第１染
色層5rは、例えばゼラチン、カイゼン、グリュー、ポリ
ビニルアルコール等と重クロム酸塩からなる被染色感光
液を塗布し、選択露光、現像を行なってパターン形成
し、このパターンを基板ごとレッドの染色液に浸漬して
形成する。そして、パターン染色後、タンニン酸水溶
液、酒石酸アンチモニルカリウム水溶液、ホルムアルデ
イド水溶液等により、染料の定着や染色層の硬化を行な
って以降の染色層の混色を回避する。
１染色層5rを被着させる（同図Ｃに図示）。この第１染
色層5rは、例えばゼラチン、カイゼン、グリュー、ポリ
ビニルアルコール等と重クロム酸塩からなる被染色感光
液を塗布し、選択露光、現像を行なってパターン形成
し、このパターンを基板ごとレッドの染色液に浸漬して
形成する。そして、パターン染色後、タンニン酸水溶
液、酒石酸アンチモニルカリウム水溶液、ホルムアルデ
イド水溶液等により、染料の定着や染色層の硬化を行な
って以降の染色層の混色を回避する。
次に、第１染色層5rの形成と同様の工程を染色液の種
類を変えて繰り返すことにより、平坦化膜４上に第２染
色層5gおよび第３染色層5bを形成する。これによって３
原色のカラーフィルタ５が形成される（同図Ｂに図
示）。
類を変えて繰り返すことにより、平坦化膜４上に第２染
色層5gおよび第３染色層5bを形成する。これによって３
原色のカラーフィルタ５が形成される（同図Ｂに図
示）。
次に、カラーフィルタ５上に保護膜６を形成する（同
図Ｅに図示）。この保護膜６の材料は、例えば平坦化膜
４と同じものが使用され、平坦化膜４と同様に加熱等の
処理をして硬化させる。
図Ｅに図示）。この保護膜６の材料は、例えば平坦化膜
４と同じものが使用され、平坦化膜４と同様に加熱等の
処理をして硬化させる。
次に、保護膜６上にパッド窓開け用レジスト膜11を塗
布すると共に、フォトリソグラフィによりパターニング
を行なう（同図Ｆに図示）。
布すると共に、フォトリソグラフィによりパターニング
を行なう（同図Ｆに図示）。
次に、フッ化炭素CF4と酸素O2からなるプラズマ雰囲
気でドライエッチングを行なってアルミ電極３上の平坦
化膜４および保護膜６を除去してパッド窓７を形成する
（同図Ｇに図示）。
気でドライエッチングを行なってアルミ電極３上の平坦
化膜４および保護膜６を除去してパッド窓７を形成する
（同図Ｇに図示）。
最後に、パッド窓開け用レジスト膜11を剥離除去する
（同図Ｈに図示）。
（同図Ｈに図示）。
また、第３図例のカラー固体撮像素子は、以下のよう
な工程で製造される。
な工程で製造される。
上述した第２図例の製造工程と同様にカラーフィルタ
５上に保護膜６を形成したのち、この保護膜６上にマイ
クロレンズ用レジスト膜８′を塗布すると共に、フッ化
炭素CF4と酸素O2からなるプラズマ雰囲気でドライエッ
チングを行なってパターニングを行なう（第４図Ｉに図
示）。レジスト膜８′は、例えば紫外線あるいは遠紫外
線用のネガ型の感光性樹脂をスピンコート法等によって
塗布する。
５上に保護膜６を形成したのち、この保護膜６上にマイ
クロレンズ用レジスト膜８′を塗布すると共に、フッ化
炭素CF4と酸素O2からなるプラズマ雰囲気でドライエッ
チングを行なってパターニングを行なう（第４図Ｉに図
示）。レジスト膜８′は、例えば紫外線あるいは遠紫外
線用のネガ型の感光性樹脂をスピンコート法等によって
塗布する。
次に、加熱処理でレジスト膜８′を熱変形させて球状
のマイクロレンズ８を形成する（同図Ｊに図示）。そし
て、紫外線あるいは遠紫外線を照射して露光処理をする
ことにより、マイクロレンズ８を硬化させる。
のマイクロレンズ８を形成する（同図Ｊに図示）。そし
て、紫外線あるいは遠紫外線を照射して露光処理をする
ことにより、マイクロレンズ８を硬化させる。
次に、マイクロレンズ８上にパッド窓開け用レジスト
膜11を塗布すると共に、フォトリソグラフィによりパタ
ーニングを行なう（同図Ｋに図示）。
膜11を塗布すると共に、フォトリソグラフィによりパタ
ーニングを行なう（同図Ｋに図示）。
次に、フッ化炭素CF4と酸素O2からなるプラズマ雰囲
気でドライエッチングを行なってアルミ電極３上の平坦
化膜４および保護膜６を除去してパッド窓７を形成する
（同図Ｌに図示）。
気でドライエッチングを行なってアルミ電極３上の平坦
化膜４および保護膜６を除去してパッド窓７を形成する
（同図Ｌに図示）。
最後に、パッド窓開け用レジスト膜11を剥離除去する
（同図Ｍに図示）。
（同図Ｍに図示）。
［発明が解決しようとする課題］ 上述したように、パッド窓７を形成する工程で２層レ
ジスト膜（保護膜６またはマイクロレンズ８（マイクロ
レンズ用レジスト膜８′）とパッド窓開け用レジスト膜
11）を用いる場合、いずれのレジスト膜も一般的に有機
溶剤を使用しているため、レジスト膜の界面で一部が混
合し、その後にパッド窓開け用レジスト膜11の剥離を行
なっても、剥離液に対して不溶な界面層が形成される。
この界面層は不均一に形成されると共に透過率を減少さ
せるので、透過率の不均一による撮像ムラが増加して歩
留りを低下させる。
ジスト膜（保護膜６またはマイクロレンズ８（マイクロ
レンズ用レジスト膜８′）とパッド窓開け用レジスト膜
11）を用いる場合、いずれのレジスト膜も一般的に有機
溶剤を使用しているため、レジスト膜の界面で一部が混
合し、その後にパッド窓開け用レジスト膜11の剥離を行
なっても、剥離液に対して不溶な界面層が形成される。
この界面層は不均一に形成されると共に透過率を減少さ
せるので、透過率の不均一による撮像ムラが増加して歩
留りを低下させる。
なお上述せずも、パッド窓開け用レジスト膜11を塗布
してパッド窓７を形成する工程を平坦化膜４を形成後に
行なうことも考えられている。この場合にも、レジスト
膜の界面層が形成され、この界面層が次工程のカラーフ
ィルタの形成の妨げとなり、また透過率の不均一による
撮像ムラの原因となる。
してパッド窓７を形成する工程を平坦化膜４を形成後に
行なうことも考えられている。この場合にも、レジスト
膜の界面層が形成され、この界面層が次工程のカラーフ
ィルタの形成の妨げとなり、また透過率の不均一による
撮像ムラの原因となる。
ここで、２つのレジスト膜の間に水溶性樹脂膜を介在
させることによって、レジスト膜間の相溶、不溶な界面
層の生成を防止することが提案されている（特開昭59−
175725号公報）。
させることによって、レジスト膜間の相溶、不溶な界面
層の生成を防止することが提案されている（特開昭59−
175725号公報）。
しかし、上層レジスト膜（パッド窓開け用レジスト
膜）のパターニング後、露出した水溶性樹脂膜部分を水
または水を含む溶液で除去する際、サイド方向の溶解が
進行するので精度のよいレジストパターンを形成が困難
であり、またパターンのリフトオフによる上層レジスト
膜の剥がれがダストの原因となる。
膜）のパターニング後、露出した水溶性樹脂膜部分を水
または水を含む溶液で除去する際、サイド方向の溶解が
進行するので精度のよいレジストパターンを形成が困難
であり、またパターンのリフトオフによる上層レジスト
膜の剥がれがダストの原因となる。
そこで、この発明では、レジスト膜間に撮像ムラとな
る不溶な界面層が形成されないようにすると共に、パッ
ド窓開け用レジスト膜のパターンを精度よく形成できる
ようにしたものである。
る不溶な界面層が形成されないようにすると共に、パッ
ド窓開け用レジスト膜のパターンを精度よく形成できる
ようにしたものである。
［課題を解決するための手段］ この発明は、光電変換部の近傍にボンディングパッド
部を有する固体撮像素子を製造する方法であって、平坦
化膜、保護膜、マイクロレンズ用レジスト膜等の第１の
レジスト膜上にパッド窓開け用の第２のレジスト膜を形
成してパターニングし、ボンディングパッド部に通じる
パッド窓を形成する際、第１のレジスト膜上に水溶性樹
脂膜および第２のレジスト膜の現像液に不溶な水溶性樹
脂膜保護レジスト膜をこの順序で形成したのち第２のレ
ジスト膜を形成することを特徴とするものである。
部を有する固体撮像素子を製造する方法であって、平坦
化膜、保護膜、マイクロレンズ用レジスト膜等の第１の
レジスト膜上にパッド窓開け用の第２のレジスト膜を形
成してパターニングし、ボンディングパッド部に通じる
パッド窓を形成する際、第１のレジスト膜上に水溶性樹
脂膜および第２のレジスト膜の現像液に不溶な水溶性樹
脂膜保護レジスト膜をこの順序で形成したのち第２のレ
ジスト膜を形成することを特徴とするものである。
［作 用］ 上述方法においては、第１のレジスト膜とパッド窓開
け用の第２のレジスト膜11の間に水溶性樹脂膜９が介在
されるので、２つのレジスト膜が混合することはなく、
不溶な界面層の生成が防止される。
け用の第２のレジスト膜11の間に水溶性樹脂膜９が介在
されるので、２つのレジスト膜が混合することはなく、
不溶な界面層の生成が防止される。
また、水溶性樹脂膜９とパッド窓開け用の第２のレジ
スト膜11の間に第２のレジスト膜11の現像液に不溶な水
溶性樹脂膜保護レジスト膜10が介在されるので、第２の
レジスト膜11のパターニングの際に現像液より水溶性樹
脂膜９が保護され、この水溶性樹脂膜９のサイド方向の
溶解が防止される。
スト膜11の間に第２のレジスト膜11の現像液に不溶な水
溶性樹脂膜保護レジスト膜10が介在されるので、第２の
レジスト膜11のパターニングの際に現像液より水溶性樹
脂膜９が保護され、この水溶性樹脂膜９のサイド方向の
溶解が防止される。
［実 施 例］ 以下、この発明に係る固体撮像素子の製法の一例につ
いて説明する。本例は、第２図に示すようなカラー固体
撮像素子を製造する例である。
いて説明する。本例は、第２図に示すようなカラー固体
撮像素子を製造する例である。
まず、第１図Ａ〜Ｅ（第４図Ａ〜Ｅと同じ）に示すよ
うに、従来と同様に光電変換部２の形成された固体撮像
素子基板１にアルミ電極３を形成し、これら光電変換部
２およびアルミ電極３上に平坦化膜４を形成し、この平
坦化膜４上にカラーフィルタ５を形成し、さらに、この
カラーフィルタ５上に保護膜６を形成する。
うに、従来と同様に光電変換部２の形成された固体撮像
素子基板１にアルミ電極３を形成し、これら光電変換部
２およびアルミ電極３上に平坦化膜４を形成し、この平
坦化膜４上にカラーフィルタ５を形成し、さらに、この
カラーフィルタ５上に保護膜６を形成する。
次に、保護膜６上に水溶性樹脂膜９を塗布し、さら
に、この水溶性樹脂膜９上に水溶性樹脂膜保護レジスト
膜10を塗布する。そして、この水溶性樹脂膜保護レジス
ト膜10上にパッド窓開け用レジスト膜11を塗布すると共
に、フォトリソグラフィによりパターニングを行なう
（第１図Ｆに図示）。
に、この水溶性樹脂膜９上に水溶性樹脂膜保護レジスト
膜10を塗布する。そして、この水溶性樹脂膜保護レジス
ト膜10上にパッド窓開け用レジスト膜11を塗布すると共
に、フォトリソグラフィによりパターニングを行なう
（第１図Ｆに図示）。
水溶性樹脂膜９は、保護膜６とパッド窓開け用レジス
ト膜11とを隔絶し、２つのレジスト膜間に界面層が生成
しないようにするためのものであり、例えばポリビニル
アルコール、メチルセルロース等で形成される。
ト膜11とを隔絶し、２つのレジスト膜間に界面層が生成
しないようにするためのものであり、例えばポリビニル
アルコール、メチルセルロース等で形成される。
水溶性樹脂膜保護レジスト膜10は、パッド窓開け用レ
ジスト膜11の現像液に不溶な合成樹脂であることが必要
である。例えば、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリイ
ミド樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂、フェノール
樹脂、シリコーン樹脂、ガラスレジン、尿素樹脂、ポリ
エステル樹脂等で形成される。
ジスト膜11の現像液に不溶な合成樹脂であることが必要
である。例えば、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ポリイ
ミド樹脂、エポキシ樹脂、アルキッド樹脂、フェノール
樹脂、シリコーン樹脂、ガラスレジン、尿素樹脂、ポリ
エステル樹脂等で形成される。
この水溶性樹脂膜保護レジスト膜10は、パッド窓開け
用レジスト膜11の現像液を遮断するだけの膜厚が必要で
あるが、水溶性樹脂膜９の厚さ以下の膜厚とすることが
望ましい。その理由は、後述するボンディングパッド部
のエッチングによるパッド窓の形成の後、これら水溶性
樹脂膜９や水溶性樹脂膜保護レジスト膜10の剥離を容易
にするためである。つまり、水溶性樹脂膜保護レジスト
膜10は水溶性樹脂膜９の剥離時のリフトオフによって剥
離されるので、水溶性樹脂膜保護レジスト膜10が厚すぎ
るとリフトオフしにくくなるからである。
用レジスト膜11の現像液を遮断するだけの膜厚が必要で
あるが、水溶性樹脂膜９の厚さ以下の膜厚とすることが
望ましい。その理由は、後述するボンディングパッド部
のエッチングによるパッド窓の形成の後、これら水溶性
樹脂膜９や水溶性樹脂膜保護レジスト膜10の剥離を容易
にするためである。つまり、水溶性樹脂膜保護レジスト
膜10は水溶性樹脂膜９の剥離時のリフトオフによって剥
離されるので、水溶性樹脂膜保護レジスト膜10が厚すぎ
るとリフトオフしにくくなるからである。
次に、フッ化炭素CF4と酸素O2からなるプラズマ雰囲
気でドライエッチングを行なってアルミ電極３上の平坦
化膜４、保護膜６、水溶性樹脂膜９および水溶性樹脂膜
保護レジスト膜10を除去してパッド窓７を形成する（同
図Ｇに図示）。
気でドライエッチングを行なってアルミ電極３上の平坦
化膜４、保護膜６、水溶性樹脂膜９および水溶性樹脂膜
保護レジスト膜10を除去してパッド窓７を形成する（同
図Ｇに図示）。
最後に、パッド窓開け用レジスト膜11を剥離除去する
と共に、温水スピンエッチング装置により水溶性樹脂膜
９および水溶性樹脂膜保護レジスト膜10を剥離する（同
図Ｈに図示）。この際、水溶性樹脂膜保護レジスト膜10
は、水溶性樹脂膜９が温水によって溶出してリフトオフ
されて剥離される。
と共に、温水スピンエッチング装置により水溶性樹脂膜
９および水溶性樹脂膜保護レジスト膜10を剥離する（同
図Ｈに図示）。この際、水溶性樹脂膜保護レジスト膜10
は、水溶性樹脂膜９が温水によって溶出してリフトオフ
されて剥離される。
このような本方法においては、保護膜６とパッド窓開
け用レジスト膜11との間に水溶性樹脂膜９が介在される
ので、２つのレジスト膜が混合することはなく、不溶な
界面層が生成されるのを防止することができ、界面層に
起因する撮像ムラによる歩留りの低下を回避することが
できる。
け用レジスト膜11との間に水溶性樹脂膜９が介在される
ので、２つのレジスト膜が混合することはなく、不溶な
界面層が生成されるのを防止することができ、界面層に
起因する撮像ムラによる歩留りの低下を回避することが
できる。
また、水溶性樹脂膜９とパッド窓開け用レジスト膜11
との間に、パッド窓開け用レジスト膜11の現像液に不溶
な水溶性樹脂膜保護レジスト膜10が介在されるので、パ
ッド窓開け用レジスト膜11のパターニングの際にその現
像液より水溶性樹脂膜９が保護され、この水溶性樹脂膜
９のサイド方向の溶解を防止でき、パッド窓７を形成す
るためのパターンを精度よく形成することができる。
との間に、パッド窓開け用レジスト膜11の現像液に不溶
な水溶性樹脂膜保護レジスト膜10が介在されるので、パ
ッド窓開け用レジスト膜11のパターニングの際にその現
像液より水溶性樹脂膜９が保護され、この水溶性樹脂膜
９のサイド方向の溶解を防止でき、パッド窓７を形成す
るためのパターンを精度よく形成することができる。
次に、この発明に係る固体撮像素子の製法の他の例に
ついて説明する。本例は、第３図に示すようなカラー固
体撮像素子を製造する例である。
ついて説明する。本例は、第３図に示すようなカラー固
体撮像素子を製造する例である。
まず、第１図Ａ〜Ｊ（第４図Ａ〜Ｊと同じ）に示すよ
うに、従来と同様に光電変換部２の形成された固体撮像
素子基板１にアルミ電極３を形成し、これら光電変換部
２およびアルミ電極３上に平坦化膜４を形成し、この平
坦化膜４上にカラーフィルタ５を形成し、このカラーフ
ィルタ５上に保護膜６を形成し、さらに、この保護膜６
上にマイクロレンズ８を形成する。
うに、従来と同様に光電変換部２の形成された固体撮像
素子基板１にアルミ電極３を形成し、これら光電変換部
２およびアルミ電極３上に平坦化膜４を形成し、この平
坦化膜４上にカラーフィルタ５を形成し、このカラーフ
ィルタ５上に保護膜６を形成し、さらに、この保護膜６
上にマイクロレンズ８を形成する。
次に、マイクロレンズ８上に水溶性樹脂膜９を塗布
し、さらに、この水溶性樹脂膜９上に水溶性樹脂膜保護
レジスト膜10を塗布する。そして、この水溶性樹脂膜保
護レジスト膜10上にパッド窓開け用レジスト膜11を塗布
すると共に、フォトリソグラフィによりパターニングを
行なう（第１図Ｋに図示）。
し、さらに、この水溶性樹脂膜９上に水溶性樹脂膜保護
レジスト膜10を塗布する。そして、この水溶性樹脂膜保
護レジスト膜10上にパッド窓開け用レジスト膜11を塗布
すると共に、フォトリソグラフィによりパターニングを
行なう（第１図Ｋに図示）。
次に、フッ化炭素CF4と酸素O2からなるプラズマ雰囲
気でドライエッチングを行なってアルミ電極３上の平坦
化膜４、保護膜６、水溶性樹脂膜９および水溶性樹脂膜
保護レジスト膜10を除去してパッド窓７を形成する（同
図Ｌに図示）。
気でドライエッチングを行なってアルミ電極３上の平坦
化膜４、保護膜６、水溶性樹脂膜９および水溶性樹脂膜
保護レジスト膜10を除去してパッド窓７を形成する（同
図Ｌに図示）。
最後に、パッド窓開け用レジスト膜11を剥離除去する
と共に、温水スピンエッチング装置により水溶性樹脂膜
９および水溶性樹脂膜保護レジスト膜10を剥離する（同
図Ｍに図示）。この際、水溶性樹脂膜保護レジスト膜10
は、水溶性樹脂膜９が温水によって溶出してリフトオフ
されて剥離される。
と共に、温水スピンエッチング装置により水溶性樹脂膜
９および水溶性樹脂膜保護レジスト膜10を剥離する（同
図Ｍに図示）。この際、水溶性樹脂膜保護レジスト膜10
は、水溶性樹脂膜９が温水によって溶出してリフトオフ
されて剥離される。
このような本方法においては、マイクロレンズ８（マ
イクロレンズ用レジスト膜８′）とパッド窓開け用レジ
スト膜11との間に水溶性樹脂膜９が介在されるので、２
つのレジスト膜が混合することはなく、不溶な界面層が
生成されるのを防止することができ、界面層に起因する
撮像ムラによる歩留りの低下を回避することができる。
イクロレンズ用レジスト膜８′）とパッド窓開け用レジ
スト膜11との間に水溶性樹脂膜９が介在されるので、２
つのレジスト膜が混合することはなく、不溶な界面層が
生成されるのを防止することができ、界面層に起因する
撮像ムラによる歩留りの低下を回避することができる。
また、水溶性樹脂膜９とパッド窓開け用レジスト膜11
との間に、パッド窓開け用レジスト膜11の現像液に不溶
な水溶性樹脂膜保護レジスト膜10が介在されるので、パ
ッド窓開け用レジスト膜11のパターニングの際に現像液
より水溶性樹脂膜９が保護され、この水溶性樹脂膜９の
サイド方向の溶解を防止でき、パッド窓７を形成するた
めのパターンを精度よく形成することができる。
との間に、パッド窓開け用レジスト膜11の現像液に不溶
な水溶性樹脂膜保護レジスト膜10が介在されるので、パ
ッド窓開け用レジスト膜11のパターニングの際に現像液
より水溶性樹脂膜９が保護され、この水溶性樹脂膜９の
サイド方向の溶解を防止でき、パッド窓７を形成するた
めのパターンを精度よく形成することができる。
なお、上述例においては、第１レジスト膜が保護膜６
あるいはマイクロレンズ８である例を示したものである
が、パッド窓開け用レジスト膜11を塗布してパッド窓７
を形成する工程を平坦化膜４を形成後に行なうものにも
同様に適用することができる。この場合、第１レジスト
膜は平坦化膜４であり、同様の作用効果を得ことができ
る他、界面層がカラーフィルタの形成を妨げることもな
くなる。
あるいはマイクロレンズ８である例を示したものである
が、パッド窓開け用レジスト膜11を塗布してパッド窓７
を形成する工程を平坦化膜４を形成後に行なうものにも
同様に適用することができる。この場合、第１レジスト
膜は平坦化膜４であり、同様の作用効果を得ことができ
る他、界面層がカラーフィルタの形成を妨げることもな
くなる。
また、上述例においては、カラーフィルタ５を有する
カラー固体撮像素子の製法について述べたものである
が、この発明は白黒用の固体撮像素子を製造する際にも
同様に適用できることは勿論である。要は、光電変換部
の近傍にボンディングパッド部を有する固体撮像素子で
あって、第１のレジスト膜上にパッド窓開け用の第２の
レジスト膜を形成してパターニングし、ボンディングパ
ッド部に通じるパッド窓を形成するものに良好に適用す
ることができる。
カラー固体撮像素子の製法について述べたものである
が、この発明は白黒用の固体撮像素子を製造する際にも
同様に適用できることは勿論である。要は、光電変換部
の近傍にボンディングパッド部を有する固体撮像素子で
あって、第１のレジスト膜上にパッド窓開け用の第２の
レジスト膜を形成してパターニングし、ボンディングパ
ッド部に通じるパッド窓を形成するものに良好に適用す
ることができる。
［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、第１のレジ
スト膜とパッド窓開け用の第２のレジスト膜の間に水溶
性樹脂膜が介在されるので、２つのレジスト膜が混合す
ることはなく、不溶な界面層の生成を防止でき、界面層
に起因する撮像ムラによる歩留りの低下を回避すること
ができる。また、水溶性樹脂膜とパッド窓開け用の第２
のレジスト膜の間に第２のレジスト膜の現像液に不溶な
水溶性樹脂膜保護レジスト膜が介在されるので、第２の
レジスト膜のパターニングの際にその現像液より水溶性
樹脂膜が保護され、この水溶性樹脂膜のサイド方向の溶
解を防止でき、パッド窓を形成するためのパターンを精
度よく形成することができる。
スト膜とパッド窓開け用の第２のレジスト膜の間に水溶
性樹脂膜が介在されるので、２つのレジスト膜が混合す
ることはなく、不溶な界面層の生成を防止でき、界面層
に起因する撮像ムラによる歩留りの低下を回避すること
ができる。また、水溶性樹脂膜とパッド窓開け用の第２
のレジスト膜の間に第２のレジスト膜の現像液に不溶な
水溶性樹脂膜保護レジスト膜が介在されるので、第２の
レジスト膜のパターニングの際にその現像液より水溶性
樹脂膜が保護され、この水溶性樹脂膜のサイド方向の溶
解を防止でき、パッド窓を形成するためのパターンを精
度よく形成することができる。
第１図はこの発明の実施例を説明する製造工程図、第２
図および第３図は固体撮像素子の一例の構成図、第４図
は従来例を説明する製造工程図である。 １……固体撮像素子基板 ２……光電変換部 ３……アルミ電極 ４……平坦化膜 ５……カラーフィルタ ６……保護膜 ７……パッド窓 ８……マイクロレンズ ９……水溶性樹脂膜 10……水溶性樹脂膜保護レジスト膜 11……パッド窓開け用レジスト膜
図および第３図は固体撮像素子の一例の構成図、第４図
は従来例を説明する製造工程図である。 １……固体撮像素子基板 ２……光電変換部 ３……アルミ電極 ４……平坦化膜 ５……カラーフィルタ ６……保護膜 ７……パッド窓 ８……マイクロレンズ ９……水溶性樹脂膜 10……水溶性樹脂膜保護レジスト膜 11……パッド窓開け用レジスト膜
Claims (1)
- 【請求項１】光電変換部の近傍にボンディングパッド部
を有する固体撮像素子の製法において、 第１のレジスト膜上にパッド窓開け用の第２のレジスト
膜を形成してパターニングし、上記ボンディングパッド
部に通じるパッド窓を形成する際、 上記第１のレジスト膜上に水溶性樹脂膜および上記第２
のレジスト膜の現像液に不溶な水溶性樹脂膜保護レジス
ト膜をこの順序で形成したのち上記第２のレジスト膜を
形成することを特徴とする固定撮像素子の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006904A JP2573382B2 (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 固体撮像素子の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006904A JP2573382B2 (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 固体撮像素子の製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03211768A JPH03211768A (ja) | 1991-09-17 |
| JP2573382B2 true JP2573382B2 (ja) | 1997-01-22 |
Family
ID=11651225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006904A Expired - Fee Related JP2573382B2 (ja) | 1990-01-16 | 1990-01-16 | 固体撮像素子の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2573382B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100866252B1 (ko) * | 2007-05-17 | 2008-10-30 | 주식회사 동부하이텍 | 이미지 센서의 제조방법 |
| JP5668324B2 (ja) * | 2010-05-14 | 2015-02-12 | Jsr株式会社 | ボンディングパッド部に通じるパッド窓の形成方法及び保護膜形成用組成物 |
-
1990
- 1990-01-16 JP JP2006904A patent/JP2573382B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03211768A (ja) | 1991-09-17 |
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