JPS6394670A - 固体撮像素子及びその製造方法 - Google Patents
固体撮像素子及びその製造方法Info
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- JPS6394670A JPS6394670A JP61240507A JP24050786A JPS6394670A JP S6394670 A JPS6394670 A JP S6394670A JP 61240507 A JP61240507 A JP 61240507A JP 24050786 A JP24050786 A JP 24050786A JP S6394670 A JPS6394670 A JP S6394670A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
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- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
色彩画像を撮像する固体撮像素子とその製造方法との改
良である。
良である。
各色に対応する受光素子上に、その色の色素を含有する
ＰＭＭＡ −ＰＧＭＡ等の高分子化合物の膜を形成し、
この高分子化合物の膜をカラーフィルタとして機能させ
ることにした固体撮像素子と、固体撮像素子の各画素を
構成する受光素子のそれぞれの上にリフトオフ法、また
は、レジストのアッシングレートとＰＭＭＡのアッシン
グレートとの相違を利用するエツチング法を使用して色
素を含有するＰＭＭＡ −ＰＧＭＡ等の高分子化合物の
膜を形成して固体撮像素子を製造する方法とである。
ＰＭＭＡ −ＰＧＭＡ等の高分子化合物の膜を形成し、
この高分子化合物の膜をカラーフィルタとして機能させ
ることにした固体撮像素子と、固体撮像素子の各画素を
構成する受光素子のそれぞれの上にリフトオフ法、また
は、レジストのアッシングレートとＰＭＭＡのアッシン
グレートとの相違を利用するエツチング法を使用して色
素を含有するＰＭＭＡ −ＰＧＭＡ等の高分子化合物の
膜を形成して固体撮像素子を製造する方法とである。
本発明は、色彩画像を撮像する固体撮像素子とその製造
方法との改良に関する。特に、固体撮像素子の解像度を
向上し、厚さを減少するとともに、固体撮像素子の製造
方法においては、毒性物質を使用する必要をなくし、製
造歩留りを向上する改良に関する。
方法との改良に関する。特に、固体撮像素子の解像度を
向上し、厚さを減少するとともに、固体撮像素子の製造
方法においては、毒性物質を使用する必要をなくし、製
造歩留りを向上する改良に関する。
（従来の技術〕
ＣＯＤ等を使用する固体撮像素子をもって色彩固体撮像
素子を実現するには、複数の受光素子をもって各画素を
構成しておき、その受光素子のそれぞれをもって、加色
混合方式または減色混合方式における三原色のそれぞれ
の画像を撮像することが必要である。
素子を実現するには、複数の受光素子をもって各画素を
構成しておき、その受光素子のそれぞれをもって、加色
混合方式または減色混合方式における三原色のそれぞれ
の画像を撮像することが必要である。
これを可能にするため、各画素の構成要素である複数の
受光素子のそれぞれにはカラーフィルタが設けられる必
要があるが、カラーフィルタ配置の例を、原色系と補色
系とについて、それぞれ、第１θ図と第１１図とに図示
する０図において、Ｒは赤を、Ｇは緑を、Ｂは青を、Ｙ
は黄を、Ｃはシアンを、Ｍはマジェンタを、それぞれ示
す。
受光素子のそれぞれにはカラーフィルタが設けられる必
要があるが、カラーフィルタ配置の例を、原色系と補色
系とについて、それぞれ、第１θ図と第１１図とに図示
する０図において、Ｒは赤を、Ｇは緑を、Ｂは青を、Ｙ
は黄を、Ｃはシアンを、Ｍはマジェンタを、それぞれ示
す。
ところで、従来、上記のカラーフィルタはＣＣＤ等の上
に貼り付けられるガラスフィルタをもって構成される場
合と、ＣＯＤ等の上に直接形成される染色されたゼラチ
ン膜をもって構成される場合とがあり、本発明は後者の
改良である。後者すなわち、ＣＯＤ等の上に直接ゼラチ
ン膜を形成しこれを染色してカラーフィルタを形成する
従来技術に係る固体撮像素子の製造方法について説明す
る。
に貼り付けられるガラスフィルタをもって構成される場
合と、ＣＯＤ等の上に直接形成される染色されたゼラチ
ン膜をもって構成される場合とがあり、本発明は後者の
改良である。後者すなわち、ＣＯＤ等の上に直接ゼラチ
ン膜を形成しこれを染色してカラーフィルタを形成する
従来技術に係る固体撮像素子の製造方法について説明す
る。
第１２図参照
ＣＯＤ＄１上にＰＳＧＳ簿膜を形成し、分離層としての
ＰＭＭＡ膜またはＰＧＭＡｌ１９３を形成し、選択され
た受光素子上に重クロム酸カリウムとゼラチン感材との
膜４を形成し、紫外線露光し、その後現像により目的の
パターン形成されたゼラチン膜４を選択された色に染色
し、再び分離層としてのＰＭＭＡ膜またはＰＧＭＡ膜３
を形成し、他の選択された受光素子上に重クロム酸カリ
ウムとゼラチン感材との膜４を形成し、紫外線露光し、
その後現像により目的のパターン形成されたゼラチン膜
４を他の選択された色に染色し、さらに、分離層として
のＰＭＭＡ膜またはＰＧＭＡ Ｉ’？２３を形成し、第
３の選択された受光素子上に重クロム酸カリウムとゼラ
チン感材との膜４を形成し、紫外線露光し、その後現像
により目的のパターン形成されたゼラチンｌｌＩ２４を
第３の選択された色に染色し、その上に保護膜としての
ＰＭＭＡ膜またはＰＧＭＡ膜３を形成していた。この例
は原色系にもとづき示されているが、補色系でも可能で
ある。
ＰＭＭＡ膜またはＰＧＭＡｌ１９３を形成し、選択され
た受光素子上に重クロム酸カリウムとゼラチン感材との
膜４を形成し、紫外線露光し、その後現像により目的の
パターン形成されたゼラチン膜４を選択された色に染色
し、再び分離層としてのＰＭＭＡ膜またはＰＧＭＡ膜３
を形成し、他の選択された受光素子上に重クロム酸カリ
ウムとゼラチン感材との膜４を形成し、紫外線露光し、
その後現像により目的のパターン形成されたゼラチン膜
４を他の選択された色に染色し、さらに、分離層として
のＰＭＭＡ膜またはＰＧＭＡ Ｉ’？２３を形成し、第
３の選択された受光素子上に重クロム酸カリウムとゼラ
チン感材との膜４を形成し、紫外線露光し、その後現像
により目的のパターン形成されたゼラチンｌｌＩ２４を
第３の選択された色に染色し、その上に保護膜としての
ＰＭＭＡ膜またはＰＧＭＡ膜３を形成していた。この例
は原色系にもとづき示されているが、補色系でも可能で
ある。
この従来技術に係る色彩固体撮像素子においては、カラ
ーフィルタとしてゼラチン膜を使用しているため解像限
界が５〜６終麿と低く、また。
ーフィルタとしてゼラチン膜を使用しているため解像限
界が５〜６終麿と低く、また。
分離層が必要であるからカラーフィルタの膜厚が全体と
して厚くなり色彩固体撮像素子の膜厚が全体として厚く
なるという欠点があった。
して厚くなり色彩固体撮像素子の膜厚が全体として厚く
なるという欠点があった。
また、従来技術に係る固体撮像素子の製造方法において
は、発癌物質である重クロム酸カリウムを使用するため
、管理上特別な配慮を必要とする欠点があり、ゼラチン
膜の染色時に塵等が付着しやすく欠陥発生の原因となり
やすく製造歩留りが低下し、さらに、ゼラチンは２５０
℃程度の温度をもって分解するので４００℃程度の温度
を必要とするガラス封止法等の使用が制限される簿の欠
点があった。
は、発癌物質である重クロム酸カリウムを使用するため
、管理上特別な配慮を必要とする欠点があり、ゼラチン
膜の染色時に塵等が付着しやすく欠陥発生の原因となり
やすく製造歩留りが低下し、さらに、ゼラチンは２５０
℃程度の温度をもって分解するので４００℃程度の温度
を必要とするガラス封止法等の使用が制限される簿の欠
点があった。
本発明の目的は、これらの欠点を解消することにあり、
解像度が高く、厚さが薄い色彩固体撮像素子と毒性物質
の使用を必要とせず、製造歩留りが高く、制限温度が高
くガラス封止法等の使用が制限されない固体撮像素子の
製造方法を提供することにある。
解像度が高く、厚さが薄い色彩固体撮像素子と毒性物質
の使用を必要とせず、製造歩留りが高く、制限温度が高
くガラス封止法等の使用が制限されない固体撮像素子の
製造方法を提供することにある。
上記の目的を達成するために本発明が採った第１の手段
は、各画素の構成要素である複数の受光素子のそれぞれ
の上に、色素があらかじめ添加されている高分子化合物
例えばＰＭＭＡ。
は、各画素の構成要素である複数の受光素子のそれぞれ
の上に、色素があらかじめ添加されている高分子化合物
例えばＰＭＭＡ。
ＰＧＭＡ等の膜を形成し、この色素を含有する高分子化
合物の膜をカラーフィルタとして機能させることにある
。
合物の膜をカラーフィルタとして機能させることにある
。
上記の色は、加色混合方式における三原色（赤、緑、青
）の組か、減色混合方式におけるＥ原色（黄、シアン、
マジェンタ）の組であることが望ましい。
）の組か、減色混合方式におけるＥ原色（黄、シアン、
マジェンタ）の組であることが望ましい。
受光素子はＣＯＤをもって構成していることが現実的で
ある。
ある。
上記の目的を達成するために本発明が採った第２の手段
は、各画素を構成する複数の受光素子のそれぞれの上に
、リフトオフ法を使用して、色素を含有しカラーフィル
タをなす高分子化合物の膜を、順次、形成して固体撮像
素子を製造する方法にある。
は、各画素を構成する複数の受光素子のそれぞれの上に
、リフトオフ法を使用して、色素を含有しカラーフィル
タをなす高分子化合物の膜を、順次、形成して固体撮像
素子を製造する方法にある。
上記の目的を達成するために本発明が採った第３の手段
は、各画素を構成する複数の受光素子の上に、色素を含
有しカラーフィルタをなす高分子化合物の膜と二酸化シ
リコン等の中間層とレジスト膜との三重層を形成し、こ
の三重層を構成する二酸化シリコン等の中間層とレジス
ト膜とを、一部領域から除去し、露出した領域から色素
を含有しカラーフィルタをなす高分子化合物の膜をアッ
シングして除去する工程を、各色に対応する受光素子の
上に繰り返えして固体撮像素子を製造する方法にある。
は、各画素を構成する複数の受光素子の上に、色素を含
有しカラーフィルタをなす高分子化合物の膜と二酸化シ
リコン等の中間層とレジスト膜との三重層を形成し、こ
の三重層を構成する二酸化シリコン等の中間層とレジス
ト膜とを、一部領域から除去し、露出した領域から色素
を含有しカラーフィルタをなす高分子化合物の膜をアッ
シングして除去する工程を、各色に対応する受光素子の
上に繰り返えして固体撮像素子を製造する方法にある。
本発明の第１の手段は、ＰＭＭＡ、ＰＧＭＡ等の高分子
化合物が安定に色素を含有することができ、しかも、こ
れらの高分子化合物の膜はパターニングしやすい点に着
目して、染色されたゼラチン膜に代えて、色素を含む高
分子化合物の膜をカラーフィルタの要素として使用した
ものであり１本発明の第２の手段は、上記と同様の着想
にもとづき、重クロム酸ゼラチンの膜をパターニングし
てから染色する工程に代えて、あらかじめ色素を含有す
る高分子化合物の膜をリフトオフ法を使用してパターニ
ングする工程を使用するものであり、本発明の第３の手
段は、第２の手段の改良であり、二酸化シリコン、Ｐｔ
Ｏ２，ＡＲＣ等の中間層とレジスト膜を重ねて使用する
多層レジスト法とレジストと高分子化合物とのアッシン
グ速度の差を利用するパターニング法との組み合わせを
利用し、高分子化合物膜をより均一にするものである。
化合物が安定に色素を含有することができ、しかも、こ
れらの高分子化合物の膜はパターニングしやすい点に着
目して、染色されたゼラチン膜に代えて、色素を含む高
分子化合物の膜をカラーフィルタの要素として使用した
ものであり１本発明の第２の手段は、上記と同様の着想
にもとづき、重クロム酸ゼラチンの膜をパターニングし
てから染色する工程に代えて、あらかじめ色素を含有す
る高分子化合物の膜をリフトオフ法を使用してパターニ
ングする工程を使用するものであり、本発明の第３の手
段は、第２の手段の改良であり、二酸化シリコン、Ｐｔ
Ｏ２，ＡＲＣ等の中間層とレジスト膜を重ねて使用する
多層レジスト法とレジストと高分子化合物とのアッシン
グ速度の差を利用するパターニング法との組み合わせを
利用し、高分子化合物膜をより均一にするものである。
以下、図面を参照しつ＼、本発明の第２の手段と第３の
手段とに係る固体撮像素子の製造方法を説明し、本発明
に係る固体撮像素子の構成と特有の効果とをさらに説明
する。
手段とに係る固体撮像素子の製造方法を説明し、本発明
に係る固体撮像素子の構成と特有の効果とをさらに説明
する。
ｌ１ｊ（第２の手段に対応）
第２図参照
ＣＣＤ′：ｇｌ上にＰＳＧ膜等膜上２成し、レジスト膜
５を形成した後、第１の色（本例においてはシアン）の
カラーフィルタが形成される受光素子上の領域Ａのみま
たはその反対の領域のみを露光し、領域Ａのみからレジ
スト膜５を除去する。
５を形成した後、第１の色（本例においてはシアン）の
カラーフィルタが形成される受光素子上の領域Ａのみま
たはその反対の領域のみを露光し、領域Ａのみからレジ
スト膜５を除去する。
この工程に対応する工程では、従来技術においては、ゼ
ラチン膜のパターニングがなされていたが、この実施例
の工程では、フォトリソグラフィー法を使用してなされ
るので、高精度のパターニングが可能である。
ラチン膜のパターニングがなされていたが、この実施例
の工程では、フォトリソグラフィー法を使用してなされ
るので、高精度のパターニングが可能である。
第１の色（本例においてはシアン）が添加されたＰＭＭ
Ａを塗布して、シアン色のＰＭＭＡ膜６を形成する。
Ａを塗布して、シアン色のＰＭＭＡ膜６を形成する。
第３図参照
リフトオフ法を使用してシアン色のＰＭＭＡ膜６を望城
Ａ上のみに残留する。すなわち、レジスト膜５を溶解し
て、シアン色のＰＭＭＡＭ６を領域Ａ上のみに残留する
。その後、ベーキングをなしてシアン色のＰＭＭＡＪＩ
Ｑ６を硬化する。
Ａ上のみに残留する。すなわち、レジスト膜５を溶解し
て、シアン色のＰＭＭＡＭ６を領域Ａ上のみに残留する
。その後、ベーキングをなしてシアン色のＰＭＭＡＪＩ
Ｑ６を硬化する。
第４図参照
レジスト膜７を形成した後、上記のシアン色のＰＭＭＡ
膜６の領域Ａと一方に隣接する領域Ｂまたはその反対領
域のみを露光し、上記の領域（上記のシアン色のＰＭＭ
Ａ膜６の領域Ａと一方に隣接する領域Ｂ）のみからレジ
スト膜７を除去する。
膜６の領域Ａと一方に隣接する領域Ｂまたはその反対領
域のみを露光し、上記の領域（上記のシアン色のＰＭＭ
Ａ膜６の領域Ａと一方に隣接する領域Ｂ）のみからレジ
スト膜７を除去する。
上記せる理由と同一の理由により、このパターニングも
高精度になしうる。
高精度になしうる。
第２の色（本例においては黄）が添加されたＰＭＭＡを
塗布して、黄色のＰＭＭＡＭ８を形成する。
塗布して、黄色のＰＭＭＡＭ８を形成する。
第５図参照
レジスト膜７を溶解（リフトオフ法）して、黄色のＰＭ
ＭＡ膜８を領域Ａ、Ｂ上のみに残留し、ベーキングをな
して黄色のＰＭＭＡ膜８を硬化する。
ＭＡ膜８を領域Ａ、Ｂ上のみに残留し、ベーキングをな
して黄色のＰＭＭＡ膜８を硬化する。
領域Ａは黄色とシアンとが重なるので緑色となる。その
結果、緑色・黄色や白色をもって構成される画素が形成
される。
結果、緑色・黄色や白色をもって構成される画素が形成
される。
第１ａ図参照
保護膜としての二酸化シリコン膜またはＰＬＯ３Ｗ２９
を形成する。
を形成する。
以上の工程のおいては、毒性の重クロム酸カリウムは使
用されておらず管理玉有利であり、染色工程を含まない
ので欠陥発生の機会が少なく、カラーフィルタ材として
ゼラチンを使用しないので温度制限もない。
用されておらず管理玉有利であり、染色工程を含まない
ので欠陥発生の機会が少なく、カラーフィルタ材として
ゼラチンを使用しないので温度制限もない。
また、以上の工程をもって製造した色彩固体撮像素子の
カラーフィルタは色素を含有するＰＭＭＡであり、パタ
ーニングが正確になされており、色ずれやにじみがなく
、分離層が不必要なため、厚さが■くなっている。
カラーフィルタは色素を含有するＰＭＭＡであり、パタ
ーニングが正確になされており、色ずれやにじみがなく
、分離層が不必要なため、厚さが■くなっている。
ｌ１ｊ（第３の手段に対応）
第６図参照
ＣＣＤ等ｌ上に２３０１１１ｇ等２を形成し、第１の色
（本例においてはシアン）が添加されたＰＭＭＡを塗布
して、シアン色のＰＭＭＡ膜６を形成し、二酸化シリコ
ン、ＰＬＯ３等の中間層１０を形成し、その後、レジス
ト膜５を形成する。シアン層が形成されない領域Ｃのみ
からレジスト膜５と中間層１０とを除去する。
（本例においてはシアン）が添加されたＰＭＭＡを塗布
して、シアン色のＰＭＭＡ膜６を形成し、二酸化シリコ
ン、ＰＬＯ３等の中間層１０を形成し、その後、レジス
ト膜５を形成する。シアン層が形成されない領域Ｃのみ
からレジスト膜５と中間層１０とを除去する。
この工程に対応する工程は、従来技術においては、ゼラ
チン膜のパターニングをなされていたが、この工程はフ
ォトリソグラフィー法を使用してなされるので、高精度
にパターニングが可能である。
チン膜のパターニングをなされていたが、この工程はフ
ォトリソグラフィー法を使用してなされるので、高精度
にパターニングが可能である。
第７図参照
酸素プラズマを使用してなすアッシングをなして、領域
Ｃ上からシアン色のＰＭＭＡ膜６を除去し、使用済みの
レジスト膜５と中間層１０とを除去し、ベーキングをな
してシアン色のＰＭＭＡＩＩ！６を硬化する。
Ｃ上からシアン色のＰＭＭＡ膜６を除去し、使用済みの
レジスト膜５と中間層１０とを除去し、ベーキングをな
してシアン色のＰＭＭＡＩＩ！６を硬化する。
第８図参照
７ｆＳ２の色（本例においては員）が添加されたＰＭＭ
Ａを塗布して、黄色のＰＭＭＡ膜８を形成し、二酸化シ
リコン、ＰＬＯ３等の中間８１０を形成し、レジスト膜
５を形成する。黄色のψ域と緑色の領域（シアン上に黄
色が重ねられる領域）上のみに、レジスト膜５と中間層
ｌＯとを残留して、その他の領域からレジストｌｌ９５
と中間層１０とを除去する。
Ａを塗布して、黄色のＰＭＭＡ膜８を形成し、二酸化シ
リコン、ＰＬＯ３等の中間８１０を形成し、レジスト膜
５を形成する。黄色のψ域と緑色の領域（シアン上に黄
色が重ねられる領域）上のみに、レジスト膜５と中間層
ｌＯとを残留して、その他の領域からレジストｌｌ９５
と中間層１０とを除去する。
第９図参照
酸素プラズマを使用してなすアッシングをなして、上記
黄色の領域と緑色の領域（シアン上に黄色が重ねられる
領域）上のみに黄色のＰＭＭＡ膜８を残留し、ベーキン
グをなして黄色のＰＭＭＡ膜８を硬化する。その結果、
緑色・黄色・白色・シアンを構成される画素が形成され
る。
黄色の領域と緑色の領域（シアン上に黄色が重ねられる
領域）上のみに黄色のＰＭＭＡ膜８を残留し、ベーキン
グをなして黄色のＰＭＭＡ膜８を硬化する。その結果、
緑色・黄色・白色・シアンを構成される画素が形成され
る。
第１ｂ図参照
保護膜としての二酸化シリコン膜またはＰＬＯＳ膜９を
形成する。
形成する。
以上の工程においては、毒性の重クロム酸カリウムは使
用されておらず管理上有利であり、染色工程を含まない
ので欠陥発生の機会が少なく、カラーフィルタ材として
ゼラチンを使用しないので温度制限もない。
用されておらず管理上有利であり、染色工程を含まない
ので欠陥発生の機会が少なく、カラーフィルタ材として
ゼラチンを使用しないので温度制限もない。
また、以上の工程をもって製造した色彩固体撮像素子の
カラーフィルタは色素を含有するＰＭＭＡであり、パタ
ーニングが正確になされており、色ずれやにじみがなく
、分離層が不必要なため、厚さが薄くなっている。第１
例に加えて、この第２例にあっては、製造工程において
中間層が使用されているので、平坦化がより容易である
。
カラーフィルタは色素を含有するＰＭＭＡであり、パタ
ーニングが正確になされており、色ずれやにじみがなく
、分離層が不必要なため、厚さが薄くなっている。第１
例に加えて、この第２例にあっては、製造工程において
中間層が使用されているので、平坦化がより容易である
。
以上の例のいづれも補色系をもって説明されているが、
原色系でも製造可能である。
原色系でも製造可能である。
以上説明せるとおり、本発明に係る色彩固体撮像素子に
は、色素を含有するＰＭＭＡ、ＰＧＭＡ、シリコン樹脂
、エポキシ樹脂、ポリシロキサン樹脂、ポリメタクリル
酸エステル共重合体。
は、色素を含有するＰＭＭＡ、ＰＧＭＡ、シリコン樹脂
、エポキシ樹脂、ポリシロキサン樹脂、ポリメタクリル
酸エステル共重合体。
ポリメタクリアミド、ポリメチルイソプロペニルケトン
等の高分子化合物の膜がカラーフィルタとして使用され
ており、この高分子化合物の膜は高精度にパターニング
できるので、高い分解能を実現することができ、また１
色ずれやにじみもなく、画素を微細化することができ、
厚さも薄くできる。
等の高分子化合物の膜がカラーフィルタとして使用され
ており、この高分子化合物の膜は高精度にパターニング
できるので、高い分解能を実現することができ、また１
色ずれやにじみもなく、画素を微細化することができ、
厚さも薄くできる。
また１本発明に係る色彩固体撮像素子の製造方法には、
発癌物質である重クロム酸カリウムが使用されていない
ので管理上有利であり、ゼラチンのようにパターン精度
を期待しえない材料でなく、高いパターン精度を期待し
うる高分子化合物をもってフォトリソグラフィー法を使
用してカラーパターンが形成されることとされているの
で、高解像度が実現し、製造工程中に染色の必要がない
ので欠陥発生のおそれが少なく、温度制限もない。
発癌物質である重クロム酸カリウムが使用されていない
ので管理上有利であり、ゼラチンのようにパターン精度
を期待しえない材料でなく、高いパターン精度を期待し
うる高分子化合物をもってフォトリソグラフィー法を使
用してカラーパターンが形成されることとされているの
で、高解像度が実現し、製造工程中に染色の必要がない
ので欠陥発生のおそれが少なく、温度制限もない。
第１ａ図は、本発明の一実施例に係る固体撮像素子の断
面図である。 第１ｂ図は、本発明の他の実施例に係る固体撮像素子の
断面図である。 第２〜５図は、本発明の一実施例に係る固体撮像素子の
製造方法の主要工程完了後の断面図である。 第６〜９図は、本発明の他の実施例に係る固体撮像素子
の製造方法の主要工程完了後の断面図である。 第１０図は、原色系のカラーフィルタ配数例を示す図で
ある。 第１１図は、補色系のカラーフィルタ配置例を示す図で
ある。 第１２図は、従来技術に係る固体撮像素子の断面図であ
る。 ｌ・・拳ＣＣＤ、 ２ΦΦ・ＰＳＧＩＩ１２． ３争・・分離層（ＰＧＭＡ膜）、 ４轡・・ゼラチン感材の膜、 ５・・・レジスト膜、 ６・拳Φシアン色のＰＭＭＡＩｔ！、 ７０φ・レジスト膜、 ８Ｉ１１１・黄色のＰＭＭＡ、 ９・・・保護膜（ＰｕＯ３膜）、 １０＠命・中間Ｐｆ！！（二酸化シリコン、ＰｕＯ２等
のｌ１ｒ２）。
面図である。 第１ｂ図は、本発明の他の実施例に係る固体撮像素子の
断面図である。 第２〜５図は、本発明の一実施例に係る固体撮像素子の
製造方法の主要工程完了後の断面図である。 第６〜９図は、本発明の他の実施例に係る固体撮像素子
の製造方法の主要工程完了後の断面図である。 第１０図は、原色系のカラーフィルタ配数例を示す図で
ある。 第１１図は、補色系のカラーフィルタ配置例を示す図で
ある。 第１２図は、従来技術に係る固体撮像素子の断面図であ
る。 ｌ・・拳ＣＣＤ、 ２ΦΦ・ＰＳＧＩＩ１２． ３争・・分離層（ＰＧＭＡ膜）、 ４轡・・ゼラチン感材の膜、 ５・・・レジスト膜、 ６・拳Φシアン色のＰＭＭＡＩｔ！、 ７０φ・レジスト膜、 ８Ｉ１１１・黄色のＰＭＭＡ、 ９・・・保護膜（ＰｕＯ３膜）、 １０＠命・中間Ｐｆ！！（二酸化シリコン、ＰｕＯ２等
のｌ１ｒ２）。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ［１］各画素は複数の受光素子をもって構成されてなり
、前記複数の受光素子のそれぞれの上には、色素を含有
しカラーフィルタをなす高分子化合物の膜が形成されて
なることを特徴とする固体撮像素子。 ［２］前記色素の色は、加色混合方式または減色混合方
式における基本色であることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の固体撮像素子。 ［３］前記複数の受光素子はチャージカプルドデバイス
であることを特徴とする特許請求の範囲第１項または第
２項記載の固体撮像素子。 ［４］前記高分子化合物は、ＰＭＭＡ、ＰＧＭＡ、シリ
コン樹脂、エポキシ樹脂、ポリシロキサン樹脂、ポリメ
タクリル酸エステル共重合体、ポリメタクリアミド、ま
たは、ポリメチルイソプロペニルケトンであることを特
徴とする特許請求の範囲第１項、第２項、または、第３
項記載の固体撮像素子。 ［５］各画素を構成する複数の受光素子のそれぞれの上
に、リフトオフ法を使用して、色素を含有しカラーフィ
ルタをなす高分子化合物の膜を、順次、形成することを
特徴とする固体撮像素子の製造方法。 ［６］各画素を構成する複数の受光素子の上に、色素を
含有しカラーフィルタをなす高分子化合物の膜と二酸化
シリコン等の中間層とレジスト膜との三重層を形成し、
該三重層を構成する二酸化シリコン等の中間層とレジス
ト膜とを、一部領域から除去し、該露出した領域から前
記色素を含有しカラーフィルタをなす高分子化合物の膜
をアッシングして除去する工程を、各色に対応する受光
素子の上に繰り返すことを特徴とする固体撮像素子の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61240507A JPS6394670A (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61240507A JPS6394670A (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6394670A true JPS6394670A (ja) | 1988-04-25 |
Family
ID=17060544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61240507A Pending JPS6394670A (ja) | 1986-10-09 | 1986-10-09 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6394670A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2655501A1 (fr) * | 1989-12-02 | 1991-06-07 | Samsung Electronics Co Ltd | Filtre couleur et son procede de fabrication. |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61105506A (ja) * | 1984-10-30 | 1986-05-23 | Canon Inc | カラ−フイルタ−の製造方法 |
-
1986
- 1986-10-09 JP JP61240507A patent/JPS6394670A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61105506A (ja) * | 1984-10-30 | 1986-05-23 | Canon Inc | カラ−フイルタ−の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2655501A1 (fr) * | 1989-12-02 | 1991-06-07 | Samsung Electronics Co Ltd | Filtre couleur et son procede de fabrication. |
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