JPH0360154A - カラー固体撮像素子 - Google Patents
カラー固体撮像素子Info
- Publication number
- JPH0360154A JPH0360154A JP1196079A JP19607989A JPH0360154A JP H0360154 A JPH0360154 A JP H0360154A JP 1196079 A JP1196079 A JP 1196079A JP 19607989 A JP19607989 A JP 19607989A JP H0360154 A JPH0360154 A JP H0360154A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shielding film
- film
- polymer resin
- light shielding
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims abstract description 14
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 abstract description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 abstract description 5
- 238000002161 passivation Methods 0.000 abstract description 4
- AJDUTMFFZHIJEM-UHFFFAOYSA-N n-(9,10-dioxoanthracen-1-yl)-4-[4-[[4-[4-[(9,10-dioxoanthracen-1-yl)carbamoyl]phenyl]phenyl]diazenyl]phenyl]benzamide Chemical compound O=C1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=CC=C2NC(=O)C(C=C1)=CC=C1C(C=C1)=CC=C1N=NC(C=C1)=CC=C1C(C=C1)=CC=C1C(=O)NC1=CC=CC2=C1C(=O)C1=CC=CC=C1C2=O AJDUTMFFZHIJEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 239000001043 yellow dye Substances 0.000 abstract description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 abstract 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 11
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 3
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 3
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 3
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 3
- 229920002189 poly(glycerol 1-O-monomethacrylate) polymer Polymers 0.000 description 2
- 235000018102 proteins Nutrition 0.000 description 2
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 2
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005018 casein Substances 0.000 description 1
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 description 1
- 230000002759 chromosomal effect Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- SOCTUWSJJQCPFX-UHFFFAOYSA-N dichromate(2-) Chemical compound [O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O SOCTUWSJJQCPFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、カラー固体撮像素子に関し、特に、チップ上
に直接色フィルタ層が形成されているカラー固体撮像素
子に関する。
に直接色フィルタ層が形成されているカラー固体撮像素
子に関する。
［従来の技術］
一般に、カラー固体撮像素子は、カメラの光学系を介し
て入射された光を赤、青、緑あるいはこれらの補色等に
色分離し、カラー映像信号を電気信号として取り出すも
のである。
て入射された光を赤、青、緑あるいはこれらの補色等に
色分離し、カラー映像信号を電気信号として取り出すも
のである。
従来、この種のカラー固体撮像素子としては、第２図に
示す断面構造のものが採用されてきた。
示す断面構造のものが採用されてきた。
この固体撮像素子は、半導体基板１の表面領域内に入射
光を光電変換する受光部２を有し、半導体基板１上には
パッシベーション膜３を介して受光部２上に入射光に対
する開孔を有するアルミニウム遮光膜４を備えている。
光を光電変換する受光部２を有し、半導体基板１上には
パッシベーション膜３を介して受光部２上に入射光に対
する開孔を有するアルミニウム遮光膜４を備えている。
そして、その上部に基板表面を平滑にするための混色防
止層７（例えばＰＧＭＡ、ＰＭＭＡ、ＧＣＭなどの透明
高分子樹脂膜）を介して所定の形状にパターニングされ
染色されたシアン染色層８が、さらに、その上部に混色
防止層７を介してイエロー染色層９が形成されており、
最上層にも混色防止層７を有する構造となっている。染
色層８．９は、染色母体とじてゼラチン、カゼイン、グ
ルー等の蛋白質、またはポリビニルアルコールに重クロ
ム酸塩を添加した水溶性レジストを用い、これに染色を
施したものである。
止層７（例えばＰＧＭＡ、ＰＭＭＡ、ＧＣＭなどの透明
高分子樹脂膜）を介して所定の形状にパターニングされ
染色されたシアン染色層８が、さらに、その上部に混色
防止層７を介してイエロー染色層９が形成されており、
最上層にも混色防止層７を有する構造となっている。染
色層８．９は、染色母体とじてゼラチン、カゼイン、グ
ルー等の蛋白質、またはポリビニルアルコールに重クロ
ム酸塩を添加した水溶性レジストを用い、これに染色を
施したものである。
［発明が解決しようとする課題］
上述した従来のカラー固体撮像素子では、色フィルタを
混色防止膜を介してアルミニウム遮光膜４の上にパター
ニングしていくため、水溶性レジストは露光時に光の乱
反射を受ける。そのため水溶性レジストには精確なパタ
ーニングがなされないので、従来の染色層では他のセル
にまで飛び出したパターンが形成されたり必要なパター
ンが欠如してしまったりする場合があった。その場合に
は、色むらが発生しまた色再現性が劣化する。
混色防止膜を介してアルミニウム遮光膜４の上にパター
ニングしていくため、水溶性レジストは露光時に光の乱
反射を受ける。そのため水溶性レジストには精確なパタ
ーニングがなされないので、従来の染色層では他のセル
にまで飛び出したパターンが形成されたり必要なパター
ンが欠如してしまったりする場合があった。その場合に
は、色むらが発生しまた色再現性が劣化する。
［課題を解決するための手段］
本発明のカラー固体撮像素子は、複数の光電変換領域が
形成されている半導体基板上に透明高分子樹脂膜と色フ
ィルタ層とが積層されたものであって、前記半導体基板
と前記透明高分子樹脂膜との間には前記光電変換領域上
に開孔を有するアルミニウム遮光膜および紫外線または
それ以下の特定の波長の電磁波を吸収する被膜が形成さ
れている。
形成されている半導体基板上に透明高分子樹脂膜と色フ
ィルタ層とが積層されたものであって、前記半導体基板
と前記透明高分子樹脂膜との間には前記光電変換領域上
に開孔を有するアルミニウム遮光膜および紫外線または
それ以下の特定の波長の電磁波を吸収する被膜が形成さ
れている。
［実施例］
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図（ｆ＞は、本発明の一実施例を示す断面図である
。同図において、第２図の従来例と共通する部分には同
一の参照記号が付されている。この実施例の、第２図の
従来例と相違する点は、アルミニウム遮光膜７上に、波
長４３６ｎｍ付近の紫外線を吸収する高分子樹脂膜ｗＡ
５が形成されている点である。
。同図において、第２図の従来例と共通する部分には同
一の参照記号が付されている。この実施例の、第２図の
従来例と相違する点は、アルミニウム遮光膜７上に、波
長４３６ｎｍ付近の紫外線を吸収する高分子樹脂膜ｗＡ
５が形成されている点である。
このカラー固体撮像素子は、第１図（ａ）〜（ｅ）に示
された各工程を経て形成される。すなわち、まず、その
表面領域内に受光部２が形成された半導体基板１上にパ
ッシベーション膜３を介して受光部以外を遮光するアル
ミニウム遮光膜４を形成し、固体撮像素子を構成する〔
第１図（ａ）〕０次に、水銀ランプ光の波長である４３
６ｎｍ付近の波長を吸収するイエロー染料を含んだＰＧ
ＭＡ等の高分子樹脂膜５を１μｍの厚さになるようにス
ピン塗布し、１２０℃でベークを行い熱硬化させる〔第
１図（ｂ〉〕。続いて、ゼラチン等の天然蛋白質に重ク
ロム酸塩を添加した水溶性レジスト６を２μｍの厚さに
なるようにスピン塗布し、これを水銀ランプで露光し現
像してアルミニウム遮光膜４上に残しパターンを形成す
る〔第１図（Ｃ））、次に、酸素プラズマやオゾン等の
レジスト除去手段を用いてアッシングを行い水溶性レジ
ストをマスクに受光部上のイエロー染料を含む高分子樹
脂膜を除去する〔第１図（ｄ））、次に、水溶性レジス
トを水酸化カリウム等のアルカリ性水溶液で剥離する〔
第１図（ｅ））。
された各工程を経て形成される。すなわち、まず、その
表面領域内に受光部２が形成された半導体基板１上にパ
ッシベーション膜３を介して受光部以外を遮光するアル
ミニウム遮光膜４を形成し、固体撮像素子を構成する〔
第１図（ａ）〕０次に、水銀ランプ光の波長である４３
６ｎｍ付近の波長を吸収するイエロー染料を含んだＰＧ
ＭＡ等の高分子樹脂膜５を１μｍの厚さになるようにス
ピン塗布し、１２０℃でベークを行い熱硬化させる〔第
１図（ｂ〉〕。続いて、ゼラチン等の天然蛋白質に重ク
ロム酸塩を添加した水溶性レジスト６を２μｍの厚さに
なるようにスピン塗布し、これを水銀ランプで露光し現
像してアルミニウム遮光膜４上に残しパターンを形成す
る〔第１図（Ｃ））、次に、酸素プラズマやオゾン等の
レジスト除去手段を用いてアッシングを行い水溶性レジ
ストをマスクに受光部上のイエロー染料を含む高分子樹
脂膜を除去する〔第１図（ｄ））、次に、水溶性レジス
トを水酸化カリウム等のアルカリ性水溶液で剥離する〔
第１図（ｅ））。
次に、ＰＧＭＡ等の透明高分子樹脂膜を１μｍ程度の厚
さに形成して基板表面を平坦化させ、その後、ゼラチン
等の水溶性レジストを１μｍの厚さになるようにスピン
塗布し、水銀ランプを用いて受光部上の所定の位置に残
しパターンを形成するａｍいて５０℃に熱したシアン染
色液を用いて染色しシアン染色層８を形成する０次に、
透明高分子樹脂膜を厚さ１μｍ程度に形成し、シアン染
色層と同様にイエロー染色層９を形成し、最上部にも透
明高分子樹・脂をｌＪｉｍ形成して、第１、図（ｆ）図
示の素子を得る。
さに形成して基板表面を平坦化させ、その後、ゼラチン
等の水溶性レジストを１μｍの厚さになるようにスピン
塗布し、水銀ランプを用いて受光部上の所定の位置に残
しパターンを形成するａｍいて５０℃に熱したシアン染
色液を用いて染色しシアン染色層８を形成する０次に、
透明高分子樹脂膜を厚さ１μｍ程度に形成し、シアン染
色層と同様にイエロー染色層９を形成し、最上部にも透
明高分子樹・脂をｌＪｉｍ形成して、第１、図（ｆ）図
示の素子を得る。
上記工程において、染色層８．９のパターニングに際し
て水銀ランプの紫外線は高分子樹脂Ｊｕｌ（５で吸収さ
れてアルミニウム遮光１１ｉ４で反射されることがなく
なるので、染色層８．９のパターニングは精確になされ
る。
て水銀ランプの紫外線は高分子樹脂Ｊｕｌ（５で吸収さ
れてアルミニウム遮光１１ｉ４で反射されることがなく
なるので、染色層８．９のパターニングは精確になされ
る。
なお、高分子樹脂膜５に吸収される電磁波の波長は使用
される露光手段に応じて決定されるべきものである。
される露光手段に応じて決定されるべきものである。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明は、アルミニウム遮光膜上
に、感光性レジストをパターニングする際に用いられる
露光光源の波長の電磁波を吸収する被覆を形成したもの
であるので、本発明によれば、遮光膜上に形成される色
フィルタの一部が欠如したり他のセル上に飛び出したり
する不良がなくなる、したがって、本発明によれば、色
むらがなくかっ色再現性の良好なカラー固体撮像素子を
提供することができる。
に、感光性レジストをパターニングする際に用いられる
露光光源の波長の電磁波を吸収する被覆を形成したもの
であるので、本発明によれば、遮光膜上に形成される色
フィルタの一部が欠如したり他のセル上に飛び出したり
する不良がなくなる、したがって、本発明によれば、色
むらがなくかっ色再現性の良好なカラー固体撮像素子を
提供することができる。
第１図（ｆ）は、本発明の一実施例を示す断面図、第１
図（ａ）〜第１図（ｅ）は、その製造工程を説明するた
めのチップの断面図、第２図は、従来例を示す断面図で
ある。 １・・・半導体基板、 ２・・・受光部、 ３・・
・パッシベーション膜、 ４・・・アルミニウム遮光膜
、５・・・イエロー染〒４を含む高分子樹脂膜、 ６
・・・水溶性レジスト、 ７・・・混色防止層、
８・・・シアン染色層、 ９・・・イエロー染色層
。
図（ａ）〜第１図（ｅ）は、その製造工程を説明するた
めのチップの断面図、第２図は、従来例を示す断面図で
ある。 １・・・半導体基板、 ２・・・受光部、 ３・・
・パッシベーション膜、 ４・・・アルミニウム遮光膜
、５・・・イエロー染〒４を含む高分子樹脂膜、 ６
・・・水溶性レジスト、 ７・・・混色防止層、
８・・・シアン染色層、 ９・・・イエロー染色層
。
Claims (1)
- 表面領域内に複数の光電変換領域が形成されている半導
体基板と、該半導体基板上に絶縁膜を介して形成された
前記複数の光電変換領域上に開孔を有するアルミニウム
遮光膜と、該アルミニウム遮光膜上に形成された紫外線
またはそれ以下の特定の波長の電磁波を吸収する被膜と
、その上に透明高分子樹脂膜を介して所定の光電変換領
域を覆うように形成された色フィルタ層とを具備するカ
ラー固体撮像素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1196079A JPH0360154A (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | カラー固体撮像素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1196079A JPH0360154A (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | カラー固体撮像素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0360154A true JPH0360154A (ja) | 1991-03-15 |
Family
ID=16351853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1196079A Pending JPH0360154A (ja) | 1989-07-28 | 1989-07-28 | カラー固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0360154A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003046822A (ja) * | 2001-08-01 | 2003-02-14 | Konica Corp | 撮像ユニット |
| JP2006175604A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-07-06 | Seiko Epson Corp | 成膜方法、液体供給ヘッドおよび液体供給装置 |
| CN100463201C (zh) * | 2005-03-11 | 2009-02-18 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 减少互补式金氧半场效晶体管影像感测器杂讯的结构 |
-
1989
- 1989-07-28 JP JP1196079A patent/JPH0360154A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003046822A (ja) * | 2001-08-01 | 2003-02-14 | Konica Corp | 撮像ユニット |
| JP2006175604A (ja) * | 2004-12-20 | 2006-07-06 | Seiko Epson Corp | 成膜方法、液体供給ヘッドおよび液体供給装置 |
| JP4595527B2 (ja) * | 2004-12-20 | 2010-12-08 | セイコーエプソン株式会社 | 成膜方法、液体供給ヘッドおよび液体供給装置 |
| CN100463201C (zh) * | 2005-03-11 | 2009-02-18 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 减少互补式金氧半场效晶体管影像感测器杂讯的结构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR960016178B1 (ko) | 고체촬상장치 및 그 제조방법 | |
| JPS6167003A (ja) | カラ−イメ−ジセンサ− | |
| JPH0235282B2 (ja) | ||
| JPH0360154A (ja) | カラー固体撮像素子 | |
| JP2992515B1 (ja) | 相補形金属−酸化物−半導体（ｃｍｏｓ）センサデバイスの製造方法 | |
| JPS6041872B2 (ja) | カラ−固体撮像素子板 | |
| JPS59167053A (ja) | カラ−固体撮像素子の製造方法 | |
| JPS63173002A (ja) | 固体カラ−撮像素子 | |
| JPH01149459A (ja) | カラー固体撮像素子 | |
| KR0166807B1 (ko) | 고체촬상 소자의 칼라필터 제조방법 | |
| JPS6214103A (ja) | カラ−フイルタの製造方法 | |
| JPH0582113B2 (ja) | ||
| KR100564078B1 (ko) | 칼라 센서 구조 및 그것의 제조 방법 | |
| JPH0296372A (ja) | カラー固体撮像素子の製造方法 | |
| KR950012000B1 (ko) | 고체 촬상 소자 제조방법 | |
| JPH07161950A (ja) | 固体撮像装置及びこの装置の製造方法 | |
| JPS623203A (ja) | カラ−固体撮像装置およびその製造方法 | |
| JPS60114807A (ja) | 微細色フイルタ−作製法 | |
| JPH03191302A (ja) | カラー固体撮像素子 | |
| JPS6382325A (ja) | 受光素子 | |
| JPS61144869A (ja) | カラ−固体撮像装置の製造方法 | |
| JPS6041256A (ja) | カラ−固体撮像素子およびその製造方法 | |
| JPS59228757A (ja) | カラ−固体撮像素子の製造方法 | |
| JPH03211768A (ja) | 固体撮像素子の製法 | |
| KR940002314B1 (ko) | 컬러필터상의 마이크로 렌즈 제조방법 |