JP2016209947A5 - - Google Patents
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Claims (3)
- 複数のワイヤガイドに巻回され、軸方向に往復走行するワイヤによって形成されたワイヤ列と、前記ワイヤにクーラント又はスラリを供給するノズルと、保持したワークを前記ワイヤ列に押圧するワーク送り機構を具備し、前記ノズルから前記ワイヤに前記クーラント又は前記スラリを供給しつつ、前記ワーク送り機構により保持された前記ワークを前記ワイヤ列に押圧して切り込み送りすることで、前記ワークをウェーハ状に切断するワイヤソー装置であって、
前記ノズルは前記ワイヤ列の上方に、該ワイヤ列と直行するように配置され、該配置されたノズルの軸方向から見た左右両方に防風板が前記クーラント又は前記スラリと接触しないように配置されたものであることを特徴とするワイヤソー装置。 - 前記防風板は、
前記ノズルの下面に設けられたスリットの中心との距離が５ｍｍ以上４０ｍｍ以下の範囲となるように配置されたものであることを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー装置。 - 前記防風板は、
該防風板の下面と前記ワイヤ列との距離が１ｍｍ以上１０ｍｍ以下の範囲となるように配置されたものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のワイヤソー装置。
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| JP2000218615A (ja) * | 1999-01-29 | 2000-08-08 | Nippei Toyama Corp | ワイヤソー及びワークの脱着方法 |
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| JP5072204B2 (ja) * | 2005-08-31 | 2012-11-14 | 信越半導体株式会社 | ウエーハの表面のナノトポグラフィを改善する方法及びワイヤソー装置 |
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| WO2010120491A2 (en) * | 2009-04-01 | 2010-10-21 | Cabot Microelectronics Corporation | Self-cleaning wiresaw apparatus and method |
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| KR101185683B1 (ko) * | 2011-02-23 | 2012-09-24 | 주식회사 엘지실트론 | 단결정 잉곳 절단장치 |
| JP5775381B2 (ja) * | 2011-06-28 | 2015-09-09 | コマツＮｔｃ株式会社 | ワイヤソーの加工液ノズル |
| JP2013129046A (ja) * | 2011-12-22 | 2013-07-04 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ワークの切断方法 |
| CN202685118U (zh) * | 2012-07-03 | 2013-01-23 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 | 一种金刚线切片机 |
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