KR102568196B1 - 와이어소 장치 - Google Patents

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코지 키타가와
유이치 시미즈
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신에쯔 한도타이 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 복수의 와이어가이드에 권회되고, 축방향으로 왕복주행하는 와이어에 의해 형성된 와이어열과, 상기 와이어에 쿨런트 또는 슬러리를 공급하는 노즐과, 유지한 워크를 상기 와이어열에 압압하는 워크이송기구를 구비하고, 상기 노즐로부터 상기 와이어에 상기 쿨런트 또는 상기 슬러리를 공급하면서, 상기 워크이송기구에 의해 유지된 상기 워크를 상기 와이어열에 압압하여 절입 이송함으로써, 상기 워크를 웨이퍼상으로 절단하는 와이어소 장치로서, 상기 노즐은 상기 와이어열의 상방에, 이 와이어열과 직행하도록 배치되고, 이 배치된 노즐의 축방향에서 본 좌우 양방에 방풍판이 배치된 것을 특징으로 하는 와이어소 장치이다. 이에 따라, 쿨런트 또는 슬러리의 유량을 줄였다고 하더라도, 쿨런트 또는 슬러리를 와이어열에 균일하게 공급할 수 있는 와이어소 장치가 제공된다.

Description

와이어소 장치{WIRE SAW DEVICE}
본 발명은 와이어소 장치에 관한 것이다.
종래, 반도체 잉곳으로부터 웨이퍼를 잘라내는 수단으로서, 와이어소가 알려져 있다. 와이어소 장치는, 복수의 와이어가이드의 주위에 절단용 와이어가 다수 권회됨으로써 와이어열이 형성되어 있고, 그 절단용 와이어가 축방향으로 고속 구동되고, 또한, 탄화규소 등의 유리지립을 포함한 슬러리가 적당히 공급되면서 상기 와이어열에 대하여 워크가 절입 이송됨으로써, 이 워크가 각 와이어위치까지 동시에 절단되도록 한 것이다.
보다 상세하게는, 상기 워크의 둘레방향의 일부에 그 축방향 대략 전역에 걸친 슬라이스 베이스가 고착되고, 이 슬라이스 베이스가 워크홀더에 유지된 상태로 워크전체가 절입 이송되고, 상기 슬라이스 베이스와 반대측으로부터 절단용 와이어에 의해 절입된다. 이때, 와이어열에 워크를 압압하는 방향은, 이 워크를 와이어열에 상방으로부터 압압하는 방법과, 하방으로부터 압압하는 방법이 알려져 있으나, 반도체 실리콘 잉곳의 절단에 있어서는, 워크를 와이어열에 상방으로부터 압압하는 방법이 주류이다.
또한 최근에는, 유리지립을 포함한 슬러리를 공급하는 대신에, 와이어 표면에 다이아몬드 지립이 고정된 와이어를 이용하여, 쿨런트만을 공급하면서 절단하는 방법도 이용되고 있다. 이후, 유리지립을 포함한 슬러리를 공급하는 방법을 유리지립방식, 와이어 표면에 다이아몬드 지립이 고정된 와이어를 이용하는 방법을 고정지립방식이라 부른다.
여기서, 도 3에, 일반적인 와이어소 장치의 일례의 개요를 나타낸다.
와이어소 장치(101)는, 워크(102)를 절단하기 위한 와이어(103), 와이어(103)를 감은 복수의 와이어가이드(104), 와이어(103)에 장력을 부여하기 위한 와이어장력부여기구(105, 105a), 절단되는 워크(102)를 유지하고, 하방으로 송출하는 워크이송기구(106), 절단시에 쿨런트 또는 슬러리를 공급하는 노즐(107)을 구비하고 있다.
가공액공급기구(108)는, 노즐(107), 탱크(109), 칠러(110) 등으로 구성되어 있다. 노즐(107)은, 와이어열(103a)의 상방에, 와이어열(103a)과 직행하도록 설치되어 있다. 노즐(107)은 탱크(109)에 접속되어 있고, 쿨런트 또는 슬러리는 탱크(109)에서 교반되고, 칠러(110)에 의해 온도조절된 후, 노즐(107)로부터 와이어(103)에 공급할 수 있도록 되어 있다.
쿨런트 또는 슬러리는, 와이어열(103a)의 각 와이어(103)에 균일하게 공급하기 위하여, 노즐(107)의 하면에 마련된 일정폭의 슬릿을 개재하여 커튼상으로 공급된다. 그리고, 쿨런트 또는 슬러리는 와이어열(103a)에 실려서, 워크(102)의 절단부에 보내진다. 그 후, 공급된 쿨런트 또는 슬러리는 탱크(109)로 되돌아가서, 순환이용된다.
와이어(103)는, 일방의 와이어릴(111)로부터 조출되고, 트래버서(112)를 개재하여 토크모터(113) 등으로 이루어진 와이어장력부여기구(105)를 거쳐, 와이어가이드(104)에 들어가고 있다. 와이어(103)는 이 와이어가이드(104)에 300~400회 정도 감아 축방향으로 주행시켜, 와이어열(103a)을 형성한 후, 토크모터(113a)와 트래버서(112a)를 구비하는 다른 일방의 와이어장력부여기구(105a)를 거쳐 와이어릴(111a)에 권취되어 있다.
이러한 와이어소 장치(101)를 이용하여 워크(102)를 웨이퍼상으로 절단하고, 절단된 웨이퍼의 형상을 조사해보면, 큰 Warp가 발생하는 경우가 있다. Warp는 반도체웨이퍼의 절단에 있어서의 중요품질 중 하나이며, 제품의 품질요구가 높아짐에 따라, 더욱 저감이 요구되고 있다.
워크(102)의 절단에 의해 발생하는 Warp 중, 절단의 후반부에 있어서 발생하는 것은, 공급한 슬러리의 비산이 강하게 영향을 주고 있는 것을 알 수 있다. 이 때문에, 특허문헌 1에 개시된 바와 같이 워크유지부의 하단면과 워크의 상면의 거리를 크게 함으로써, 비산한 슬러리의 튐의 영향을 작게 하거나, 특허문헌 2, 특허문헌 3에 개시된 바와 같이, 슬러리가 비산하는 방향을 제어함으로써 영향을 줄이는 대책이 이루어졌다.
일본특허공개 2010-23208호 공보 일본특허공개 2009-113173호 공보 일본특허공개 2012-179712호 공보
그러나, 제품의 품질요구가 더욱더 높아지자, Warp의 개선이 충분하지는 않았다. 특히 워크의 절단의 종료직전, 즉, 제품이 되는 웨이퍼의 외주에 가까운 부분의 Warp형상의 개선이 충분하지는 않았다.
워크의 절단의 후반부에서 발생하는 Warp는, 와이어 상에 공급된 슬러리가 워크의 측면에 닿아 비산하는 것이 강하게 영향을 주므로, 공급하는 슬러리의 양을 줄임으로써, 비산량을 줄일 수 있다.
이때, 워크는 원주형상이므로, 워크의 절단의 후반부에서는 절단길이(와이어와 워크가 접촉되어 있는 길이)가, 워크의 중앙부와 비교했을 때 짧기 때문에, 절단에 필요한 슬러리의 양은, 워크중앙부와 비교했을 때 소량이며, 슬러리의 공급량을 워크의 절단의 후반부에서 워크중앙부와 비교했을 때 소량으로 해도, 절단능력이 떨어지는 일은 없고, 비산하는 슬러리의 양을 줄일 수 있다.
그러나, 비산하는 슬러리의 양을 줄이도록 슬러리의 공급량을 소량으로 하면, 와이어열의 상방에, 와이어열과 대략 직행하도록 설치한 노즐로부터, 노즐 하면에 마련된 일정폭의 슬릿을 개재하여 커튼상으로 공급되는 슬러리커튼의 길이방향의 균일성이 악화되는 문제가 있었다.
즉, 어느 일정유량 이상으로 슬러리를 공급하고 있는 경우에는, 슬러리커튼은 안정된 상태이나, 공급하는 슬러리의 유량을 소량으로 하면, 슬러리커튼이 길이방향과 수직인 방향으로 흔들려 움직이거나, 길이방향의 일부에서 슬러리커튼이 도중에 끊기거나 하는 현상이 발생한다는 문제가 있었다.
이는, 와이어열이 고속으로 주행하거나, 와이어열을 고속으로 주행시키기 위하여 와이어가이드가 고속으로 회전함으로써 풍압이 발생하고, 이에 따라 슬러리커튼이 날라가기 때문이다. 이와 같이 슬러리커튼의 상태가 불안정해지고, 와이어열에 대한 슬러리의 공급량의 균일성이 악화되면, 절단 후의 웨이퍼의 Warp가 현저히 악화되므로 확실히 피해야 한다.
본 발명은 상기 서술한 바와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 쿨런트 또는 슬러리의 유량을 줄였다고 하더라도, 쿨런트 또는 슬러리를 와이어열에 균일하게 공급할 수 있는 와이어소 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 복수의 와이어가이드에 권회되고, 축방향으로 왕복주행하는 와이어에 의해 형성된 와이어열과, 상기 와이어에 쿨런트 또는 슬러리를 공급하는 노즐과, 유지한 워크를 상기 와이어열에 압압하는 워크이송기구를 구비하고, 상기 노즐로부터 상기 와이어에 상기 쿨런트 또는 상기 슬러리를 공급하면서, 상기 워크이송기구에 의해 유지된 상기 워크를 상기 와이어열에 압압하여 절입 이송함으로써, 상기 워크를 웨이퍼상으로 절단하는 와이어소 장치로서,
상기 노즐은 상기 와이어열의 상방에, 이 와이어열과 직행하도록 배치되고, 이 배치된 노즐의 축방향에서 본 좌우 양방에 방풍판이 배치된 것을 특징으로 하는 와이어소 장치를 제공한다.
이러한 것이면, 와이어열의 주행이나 와이어가이드의 회전에 의해 발생한 풍압을 방풍판에 의해 방지할 수 있으므로, 쿨런트 또는 슬러리의 유량을 줄였다고 하더라도, 쿨런트 또는 슬러리를 와이어열에 균일하게 공급할 수 있다. 이에 따라, 쿨런트 또는 슬러리가 풍압에 의해 흔들려 움직이거나, 날라가거나 하는 것을 방지할 수 있으므로, Warp의 악화를 방지할 수 있다. 또한, 워크의 절단종료에 있어서의 쿨런트 또는 슬러리의 유량을, 워크의 중심부에 있어서의 쿨런트 또는 슬러리의 유량과 비교했을 때 저유량으로 할 수 있으므로, 워크의 단면부의 Warp를 개선할 수 있다.
또한 이때, 상기 방풍판은,
상기 노즐의 하면에 마련된 슬릿의 중심과의 거리가 5mm 이상 40mm 이하의 범위가 되도록 배치된 것이 바람직하다.
이러한 것이면, 방풍판이 커튼상의 쿨런트 또는 슬러리에 접촉하는 것을 방지하면서, 와이어열의 주행이나 와이어가이드의 회전에 의해 발생한 풍압을 방풍판에 의해 방지하는 것을 보다 확실히 할 수 있으므로, 쿨런트 또는 슬러리의 유량을 줄였다고 하더라도, 쿨런트 또는 슬러리를 와이어열에 균일하게 공급하는 것을 보다 확실히 할 수 있다.
또한 이때, 상기 방풍판은,
이 방풍판의 하면과 상기 와이어열의 거리가 1mm 이상 10mm 이하의 범위가 되도록 배치된 것이 바람직하다.
이러한 것이면, 와이어열 상의 쿨런트 또는 슬러리의 막을 방풍판의 하면에서 긁어내는 것을 방지할 수 있으므로, 워크의 절단의 품질이 악화되는 것을 방지할 수 있다. 나아가, 와이어열의 주행이나 와이어가이드의 회전에 의해 발생한 풍압을 방풍판에 의해 방지하는 것을 보다 확실히 할 수 있으므로, 쿨런트 또는 슬러리의 유량을 줄였다고 하더라도, 쿨런트 또는 슬러리를 와이어열에 균일하게 공급하는 것을 보다 확실히 할 수 있다.
본 발명의 와이어소 장치이면, 와이어열의 주행이나 와이어가이드의 회전에 의해 발생한 풍압을 방풍판에 의해 방지할 수 있으므로, 비록 쿨런트 또는 슬러리의 유량을 줄였다고 하더라도, 쿨런트 또는 슬러리를 와이어열에 균일하게 공급할 수 있다. 이에 따라, 쿨런트 또는 슬러리가 풍압에 의해 흔들려 움직이거나, 날라가거나 하는 것을 방지할 수 있으므로, Warp의 악화를 방지할 수 있다. 또한, 워크의 단면부에 있어서의 쿨런트 또는 슬러리의 유량을, 워크의 중심부에 있어서의 쿨런트 또는 슬러리의 유량과 비교했을 때 저유량으로 할 수 있으므로, 워크의 단면부의 Warp를 개선할 수 있다.
도 1은 본 발명의 와이어소 장치의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 2는 본 발명의 와이어소 장치에 배치되는 방풍판의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 3은 종래의 일반적인 와이어소 장치를 나타낸 개략도이다.
이하, 본 발명에 대하여 실시의 형태를 설명하나, 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니다.
상기 서술한 바와 같이, 공급하는 슬러리의 유량을 소량으로 하면, 슬러리커튼이 길이방향과 수직인 방향으로 흔들려 움직이거나, 길이방향의 일부에서 슬러리커튼이 도중에 끊기거나 하는 현상이 발생한다는 문제가 있었다.
이에, 본 발명자들은 이러한 문제를 해결하기 위하여 예의 검토를 거듭하였다. 그 결과, 쿨런트 또는 슬러리를 공급하는 노즐의 축방향에서 본 좌우 양방에, 방풍판이 배치된 것이면, 와이어열의 주행이나 와이어가이드의 회전에 의해 발생한 풍압을 방풍판에 의해 방지할 수 있으므로, 쿨런트 또는 슬러리의 유량을 줄였다고 하더라도, 쿨런트 또는 슬러리를 와이어열에 균일하게 공급할 수 있는 것을 발견하였다. 그리고, 이들을 실시하기 위한 최량의 형태에 대하여 자세히 조사하여, 본 발명을 완성시켰다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 와이어소 장치(1)는, 워크(2)를 절단하기 위한 와이어(3), 와이어(3)를 감은 복수의 와이어가이드(4), 와이어(3)에 장력을 부여하기 위한 와이어장력부여기구(5, 5a), 절단하는 워크(2)를 유지하고, 이 유지한 워크(2)를 와이어열(3a)에 압압하여 절입 이송함으로써, 워크(2)를 웨이퍼상으로 절단할 수 있는 워크이송기구(6), 워크(2)의 절단시에 쿨런트 또는 슬러리를 공급하는 노즐(7)을 구비하고 있다.
가공액공급기구(8)는, 노즐(7), 탱크(9), 칠러(10) 등으로 구성되어 있다. 노즐(7)은, 와이어열(3a)의 상방에, 와이어열(3a)과 직행하도록 설치되어 있다. 노즐(7)은 탱크(9)에 접속되어 있고, 쿨런트 또는 슬러리는 탱크(9)에서 교반되고, 칠러(10)에 의해 온도조절된 후, 노즐(7)로부터 와이어(3)에 공급할 수 있도록 되어 있다.
슬러리 또는 쿨런트는, 와이어열(3a)의 각 와이어(3)에 균일하게 공급하기 위하여, 도 2에 나타낸 바와 같이, 노즐(7)의 하면에 마련된 일정폭의 슬릿(15)을 개재하여 커튼상으로 공급된다. 그리고, 쿨런트 또는 슬러리는 와이어열(3a)에 실려서, 워크(2)의 절단부로 보내진다. 그 후, 공급된 쿨런트 또는 슬러리는 탱크(9)로 되돌아가서, 순환이용된다.
와이어(3)는, 일방의 와이어릴(11)로부터 조출되고, 트래버서(12)를 개재하여 토크모터(13)나 댄서롤러(데드웨이트)(도시하지 않음) 등으로 이루어진 와이어장력부여기구(5)를 거쳐, 와이어가이드(4)로 들어가고 있다. 와이어(3)는 이 와이어가이드(4)에 300~400회 정도 감아 축방향으로 주행시켜, 와이어열(3a)을 형성한 후, 토크모터(13a)와 트래버서(12a)를 구비한 다른 일방의 와이어장력부여기구(5a)를 거쳐 와이어릴(11a)에 권취되어 있다.
또한, 본 발명은, 상기 서술한 유리지립방식 또는, 고정지립방식의 어느 방법에 대해서도 호적하게 적용할 수 있다.
그리고, 도 1, 도 2에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 와이어소 장치(1)에는, 와이어열(3a)의 상방에, 이 와이어열(3a)과 직행하도록 배치된 노즐(7)의 축방향에서 본 좌우 양방에 방풍판(14)이 배치되어 있다.
이러한 것이면, 와이어열(3a)의 주행이나 와이어가이드(4)의 회전에 의해 발생한 풍압을 방풍판(14)에 의해 방지할 수 있으므로, 쿨런트 또는 슬러리의 유량을 줄였다고 하더라도, 쿨런트 또는 슬러리를 와이어열(3a)에 균일하게 공급할 수 있다. 이에 따라, 쿨런트 또는 슬러리가 풍압에 의해 흔들려 움직이거나, 날라가거나 하는 것을 방지할 수 있으므로, Warp의 악화를 방지할 수 있다. 또한, 워크(2)의 단면부에 있어서의 쿨런트 또는 슬러리의 유량을, 워크(2)의 중심부에 있어서의 쿨런트 또는 슬러리의 유량과 비교했을 때 저유량으로 할 수 있으므로, 워크(2)의 단면부의 Warp를 개선할 수 있다.
방풍판(14)의 형상은, 커튼상의 쿨런트 또는 슬러리와 주변의 공간을 구획하여, 쿨런트 또는 슬러리가 풍압에 의해 흔들려 움직이거나, 날라가거나 하는 것을 방지할 수 있으면 어떠한 형상이어도 된다. 예를 들어, 도 2에 나타낸 바와 같은 단면형상의 판상부재를 노즐(7)의 축방향에서 본 좌우 양방에 배치한 것으로 할 수 있다. 또한, 방풍판(14)의 판상부재는, 스테인리스강제가 바람직하다.
도 2에서는, 워크(2)의 절단면 방향에서 본 좌우에, 각각 2개씩의 노즐(7)이 배치되어 있다. 그리고, 4개의 노즐(7) 전부에 방풍판(14)을 배치하고 있다. 이러한 것이면, 모든 노즐(7)에 있어서, 와이어열(3a)의 주행이나 와이어가이드(4)의 회전에 의해 발생한 풍압을 방풍판(14)에 의해 방지할 수 있으므로 바람직하다.
단, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 예를 들어, 워크(2)의 절단면 방향에서 본 좌우의, 워크(2)에 가까운 각각 1개씩의 노즐(7)에, 방풍판(14)을 배치한 것으로 할 수도 있다. 이러한 것이면, 워크(2)의 절단면 방향에서 본 좌우의, 적어도 워크(2)에 가까운 각각 1개씩의 노즐(7)에 있어서, 쿨런트 또는 슬러리를 와이어열(3a)에 균일하게 공급할 수 있으므로, Warp의 악화를 충분히 방지할 수 있다. 또한, 노즐(7)의 수도, 워크(2)의 절단면 방향에서 본 좌우에 각각 1개씩으로 할 수도 있고, 더 많이 설치할 수도 있다.
또한 이때, 방풍판(14)은, 노즐(7)의 하면에 마련된 슬릿(15)의 중심과의 거리가 5mm 이상 40mm 이하의 범위가 되도록 배치된 것이 바람직하다.
이러한 것이면, 방풍판(14)이 커튼상의 쿨런트 또는 슬러리에 접촉하는 것을 방지하면서, 와이어열(3a)의 주행이나 와이어가이드(4)의 회전에 의해 발생한 풍압을 방풍판(14)에 의해 방지하는 것을 보다 확실히 할 수 있으므로, 쿨런트 또는 슬러리의 유량을 줄였다고 하더라도, 쿨런트 또는 슬러리를 와이어열(3a)에 균일하게 공급하는 것을 보다 확실히 할 수 있다.
또한 이때, 방풍판(14)은, 이 방풍판(14)의 하면과 와이어열(3a)의 거리가 1mm 이상 10mm 이하의 범위가 되도록 배치된 것이 바람직하다.
이러한 것이면, 와이어열(3a) 상의 쿨런트 또는 슬러리의 막을 방풍판(14)의 하면에서 긁어내는 것을 방지할 수 있으므로, 워크(2)의 절단의 품질이 악화되는 것을 방지할 수 있다. 나아가, 와이어열(3a)의 주행이나 와이어가이드(4)의 회전에 의해 발생한 풍압을 방풍판(14)에 의해 방지하는 것을 보다 확실히 할 수 있으므로, 쿨런트 또는 슬러리의 유량을 줄였다고 하더라도, 쿨런트 또는 슬러리를 와이어열(3a)에 균일하게 공급하는 것을 보다 확실히 할 수 있다.
또한, 본 발명에 있어서, 방풍판(14)은, 쿨런트 또는 슬러리의 유량이 적을 때에 특히 유효하나, 쿨런트 또는 슬러리의 유량을 줄이지 않는 경우에도 적용가능한 것은 말할 필요도 없다.
실시예
이하, 본 발명의 실시예 및 비교예를 나타내어 본 발명을 보다 구체적으로 설명하나, 본 발명은 이들로 한정되는 것은 아니다.
(실시예)
도 2에 나타낸 바와 같은 단면형상의 방풍판(14)이 배치된 도 1에 나타낸 바와 같은 본 발명의 와이어소 장치(1)를 이용하여 워크(2)의 절단을 행하였다. 방풍판(14)은, 스테인리스 강판을 이용하였다.
도 1에 나타낸 바와 같이 와이어소 장치(1)는, 노즐(7)을 워크(2)의 절단면 방향에서 본 좌우에, 각각 2개씩 배치된 것을 이용하였다. 그리고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 배치된 4개의 노즐(7)에, 이 노즐(7)의 축방향에서 본 좌우 양방에 방풍판(14)이 배치되어 있다.
노즐(7)의 하면에는 슬릿(15)이 마련되어 있고, 이 슬릿(15)의 폭은 2mm로 하였다. 그리고, 판두께 1mm의 평판상의 방풍판(14)을, 노즐(7)의 슬릿(15)의 중심과의 거리가 20mm, 방풍판(14)의 하면과 와이어열(3a)의 거리가 5mm가 되도록 배치하였다.
절단하는 워크(2)는, 직경 300mm, 길이 150mm의 실리콘잉곳으로 하였다. 와이어(3)는, 직경이 0.14mm인 것을 이용하고, 와이어장력부여기구(5, 5a)로 와이어(3)에 부여하는 장력을 25N으로 하였다. 와이어(3)의 주행속도는 700m/min로 하였다.
슬러리는, 탄화규소(GC#1500)인 지립과, 글리콜계 쿨런트로 구성하고, 지립농도를 50%, 온도를 23℃로 하였다.
그리고, 슬러리의 유량조건으로서, 절단 개시로부터 워크(2)의 중심까지의 슬러리의 유량을 노즐 1개당 25L/min로 하였다. 그리고, 워크(2)의 절단종료부에서의 슬러리의 유량이 하기의 표 1에 기재한 양이 되도록, 워크(2)의 중심으로부터 절단종료부까지를 직선으로 잇도록 리니어로 감소시켰다. 워크(2)의 절단종료부에 있어서의 슬러리의 유량은, 표 1에 나타낸 바와 같이, 10~20L/min의 범위로 변화시켰다. 그리고, 이때의 슬러리커튼의 모습을 조사하여, 표 1에 나타내었다. 또한, 표 1에는 후술하는 비교예의 결과도 함께 기재하였다.
Figure 112017098083088-pct00001
표 1에 있어서, 슬러리커튼의 모습은, 흔들림이 없이 안정되어 있는 상태, 흔들리고 있는 상태, 길이방향으로 부분적으로 잘려 있는 상태의 3단계로 평가하고 있다.
그 결과, 표 1에 나타낸 바와 같이, 실시예에 있어서, 워크(2)의 절단종료부에 있어서의 슬러리의 유량을 줄여도, 슬러리커튼의 상태는 흔들림 없이 안정되어 있어 양호하였다. 또한, 실시예에 있어서 얻어진 절단 후의 웨이퍼의 Warp는, 표 1에 기재한 모든 조건에서 양호한 것이었다.
(비교예)
노즐에 방풍판을 마련하지 않는 종래의 와이어소 장치를 이용한 것 이외는, 실시예와 동일하게 하여 워크의 절단을 행하였다. 그리고, 이 때의 슬러리커튼의 상태를 조사하여, 평가하였다. 이 때의 결과를 상기의 표 1에 나타내었다.
그 결과, 표 1에 나타낸 바와 같이, 워크의 절단종료부의 슬러리의 유량을 17.5L/min로 한 경우에, 슬러리커튼이 흔들리고 있는 상태였다. 또한, 워크의 절단종료부의 슬러리의 유량이 15L/min 이하인 경우에는, 모든 조건에서 슬러리커튼이 길이방향으로 부분적으로 잘려 있는 상태였다. 이와 같이, 비교예에서는, 워크의 절단종료부에 있어서의 슬러리의 유량을 줄인 경우에, 슬러리커튼의 상태가 안정되지 않는 경우가 있었다. 이에 따라, 비교예에 있어서, 워크의 절단종료부의 슬러리의 유량이 17.5L/min 이하의 조건으로 워크를 절단하여 얻어진, 절단후의 웨이퍼는, 현저히 Warp가 악화된 것이었다.
이와 같이 슬러리커튼이 흔들리거나, 슬러리커튼이 길이방향으로 부분적으로 잘려 있거나 하면, 슬러리를 와이어열에 균일하게 공급할 수 없으므로, 절단 후의 웨이퍼의 Warp가 악화되기 때문에, 바람직하지 않다.
또한, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태는 예시이며, 본 발명의 특허청구의 범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 갖고, 동일한 작용효과를 나타내는 것은, 어떠한 것이어도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.

Claims (3)

  1. 복수의 와이어가이드에 권회되고, 와이어의 축방향으로 왕복주행하는 와이어에 의해 형성된 와이어열과, 상기 와이어에 커튼상(curtain shape)의 쿨런트 또는 슬러리를 공급하는 노즐과, 유지한 워크를 상기 와이어열에 압압하는 워크이송기구를 구비하고, 상기 노즐로부터 상기 와이어에 상기 쿨런트 또는 상기 슬러리를 공급하면서, 상기 워크이송기구에 의해 유지된 상기 워크를 상기 와이어열에 압압하여 절입 이송함으로써, 상기 워크를 웨이퍼상으로 절단하는 와이어소 장치로서,
    상기 노즐은 상기 와이어열의 상방에, 이 와이어열과 직행하도록 배치되고, 이 배치된 노즐의 축방향에서 본 좌우 양방에 커튼상의 쿨런트 또는 슬러리와 주변의 공간을 구획하는 형상의 방풍판이 배치되고,
    상기 노즐은 상기 와이어에 상기 쿨런트 또는 상기 슬러리를 공급하는 개구를 포함하고, 상기 노즐의 개구는 상기 와이어열의 와이어에 대향하여, 상기 쿨런트 또는 상기 슬러리가 상기 노즐로부터 상기 와이어로 하측방향으로 흐르게 하고, 상기 방풍판의 하면은 상기 노즐의 개구보다 상기 와이어에 더 가까운 것이며,
    상기 방풍판은,
    이 방풍판의 하면과 상기 와이어열의 거리가 1mm 이상 10mm 이하의 범위가 되도록 배치된 것을 특징으로 하는,
    와이어소 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 방풍판은,
    상기 노즐의 하면에 마련된 슬릿의 중심으로부터 각각의 상기 방풍판까지의 거리가 5mm 이상 40mm 이하의 범위가 되도록 배치된 것을 특징으로 하는,
    와이어소 장치.
  3. 삭제
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