JP4083152B2 - ワイヤーソー装置 - Google Patents
ワイヤーソー装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4083152B2 JP4083152B2 JP2004222254A JP2004222254A JP4083152B2 JP 4083152 B2 JP4083152 B2 JP 4083152B2 JP 2004222254 A JP2004222254 A JP 2004222254A JP 2004222254 A JP2004222254 A JP 2004222254A JP 4083152 B2 JP4083152 B2 JP 4083152B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wires
- workpiece
- wire saw
- machining
- saw device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/007—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
一つの平面内において互いに平行となるように張架された複数のワイヤーと、
前記複数のワイヤーのそれぞれを同複数のワイヤーの各軸線方向に走行させる走行手段と、
前記複数のワイヤーの下方に配置されるとともに上面に被加工物を載置するテーブルと、
前記被加工物が載置されたテーブルと前記複数のワイヤーとの少なくとも一方を前記平面と交差する方向に相対移動させることにより同被加工物を同複数のワイヤーに押し付ける移動手段と、
前記複数のワイヤーの上方位置から下方に向けて加工液を落下させる加工液供給開口を有する加工液供給手段と、
を備え、
前記加工液供給手段により前記加工液供給開口から前記加工液を下方に落下させるとともに前記移動手段により前記被加工物を前記走行させられている複数のワイヤーに押し付けることによって同被加工物を切断するワイヤーソー装置であって、
前記加工液供給手段の加工液供給開口と前記複数のワイヤーとの間に配設され、前記加工液供給開口から落下する加工液が同複数のワイヤーと前記被加工物との当接箇所に到達するように、同加工液が落下する際の同加工液の形状を制御する加工液落下形状制御手段を備えている。
前記複数のワイヤーのうち前記平面内において同複数のワイヤーの各軸線に直交する方向の両端に位置する二本のワイヤー上の任意の点の各鉛直上方位置近傍の二箇所の特定点を結ぶように伸びる軸線を有し且つ前記加工液供給開口として同軸線に実質的に平行に同二箇所の特定点近傍位置の間に亘って延設されたスリット状開口を底面側に有する管状部材及び同管状部材の内部に前記加工液を供給するポンプからなり、
前記加工液落下形状制御手段は、
前記加工液供給開口と前記ワイヤーとの間に配置されるとともに前記被加工物に当接したときに撓屈する可撓性の薄板からなる。
前記二箇所の特定点近傍位置にて前記管状部材に係止されるとともに同管状部材から下方に向けて垂下した少なくとも二つの帯状部材であってもよい。
前記二箇所の特定点近傍位置の間において前記管状部材に係止されるとともに同管状部材から下方に向けて垂下した帯状部材を含んでいてもよい。
前記複数の帯状部材の各下端部近傍を前記管状部材と略平行となるように連結した連結部材を含んでいてもよい。
前記二箇所の特定点近傍位置の一方から他方に亘り延在するとともに前記管状部材から下方に向けて垂下した膜状部材を含んでいてもよい。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態に係るワイヤーソー装置は、斜視図である図1、正面図である図2及び図2の1−1線に沿った平面にてワイヤーソー装置を切断した断面図である図3に示したように、ワイヤー10と、一対の円筒形ローラ11,12と、モータ13と、テーブル14と、移動手段としてのテーブル移動装置15と、加工液供給手段としての加工液供給管16と、加工液落下形状制御手段としての帯状部材17と、を備えている。
次に、本発明の第2実施形態に係るワイヤーソー装置について説明する。第2実施形態に係るワイヤーソー装置は、図6に示したように、加工液供給管16と切断開始前の被加工物30との距離L1を第1実施形態のワイヤーソー装置より短くするとともに、第1実施形態の帯状部材17よりも長手方向の長さが短い帯状部材を二箇所の特定点Q1,Q2の近傍位置にのみ配設した点(帯状部材17a,17bのみを備える点)において、同第1実施形態のワイヤーソー装置と相違している。
次に、本発明の第3実施形態に係るワイヤーソー装置について説明する。第3実施形態に係るワイヤーソー装置は、図7に示したように、加工液供給管16と切断開始前の被加工物30との距離L2を第2実施形態のワイヤーソー装置における距離L1と略同等の距離とし、且つ、帯状部材17a,17bと同等の帯状部材(ここでは4本の帯状部材17c,17d,17e,17f)を二箇所の特定点Q1,Q2の近傍位置の間に1本以上備えたものである。
次に、本発明の第4実施形態に係るワイヤーソー装置について説明する。第4実施形態に係るワイヤーソー装置は、図8に示したように、複数の帯状部材17の各下端部近傍(帯状部材17のZ軸負方向側端部)を連結する連結部材19を備えた点のみにおいて第1実施形態のワイヤーソー装置と相違している。連結部材19は、帯状部材と同一の材質からなり、Y軸方向に長手方向を有する帯状部材である。
次に、本発明の第5実施形態に係るワイヤーソー装置について説明する。第5実施形態に係るワイヤーソー装置は、図9に示したように、第1実施形態の複数の帯状部材17に代えて、膜状部材20(加工液落下形状制御手段を構成する可撓性の薄板の一例)を備えた点のみにおいて第1実施形態と相違している。この膜状部材20は、帯状部材17と同一の材質からなる可撓性の薄板である。膜状部材20は、前記二箇所の特定点Q1,Q2の近傍位置の一方から他方に亘り延在するとともに管状部材16から下方に向けて垂下するように管状部材16に係止されている。
次に、本発明の第6実施形態に係るワイヤーソー装置について説明する。第6実施形態に係るワイヤーソー装置は、図10に示したように、第1実施形態の複数の帯状部材17に代えて、管状部材16と独立分離した支持部材21及び支持部材21に係止されるとともに同支持部材21らから下方に向けて垂下した複数の帯状部材22を備えた点のみにおいて第1実施形態と相違している。
Claims (6)
- 一つの平面内において互いに平行となるように張架された複数の切断用のワイヤーと、
前記複数のワイヤーのそれぞれを同複数のワイヤーの各軸線方向に走行させる走行手段と、
前記複数のワイヤーの下方に配置されるとともに上面に被加工物を載置するテーブルと、
前記被加工物が載置されたテーブルと前記複数のワイヤーとの少なくとも一方を前記平面と交差する方向に相対移動させることにより同被加工物を同複数のワイヤーに押し付ける移動手段と、
前記複数のワイヤーの上方位置から下方に向けて加工液を落下させる加工液供給開口を有する加工液供給手段と、
を備え、
前記加工液供給手段により前記加工液供給開口から前記加工液を下方に落下させるとともに前記移動手段により前記被加工物を前記走行させられている複数のワイヤーに押し付けることによって同被加工物を切断するワイヤーソー装置であって、
前記加工液供給手段の加工液供給開口と前記複数のワイヤーとの間に配設され、前記加工液供給開口から落下する加工液が同複数のワイヤーと前記被加工物との当接箇所に到達するように、同加工液が落下する際の同加工液の形状を制御する加工液落下形状制御手段を備えたワイヤーソー装置において、
前記加工液供給手段は、
前記複数のワイヤーのうち前記平面内において同複数のワイヤーの各軸線に直交する方向の両端に位置する二本のワイヤー上の任意の点の各鉛直上方位置近傍の二箇所の特定点を結ぶように伸びる軸線を有し且つ前記加工液供給開口として同軸線に実質的に平行に同二箇所の特定点近傍位置の間に亘って延設されたスリット状開口を底面側に有する管状部材及び同管状部材の内部に前記加工液を供給するポンプからなり、
前記加工液落下形状制御手段は、
前記加工液供給開口と前記ワイヤーとの間に配置されるとともに前記被加工物に当接したときに撓屈する可撓性の薄板からなるワイヤーソー装置。 - 請求項1に記載のワイヤーソー装置において、
前記加工液落下形状制御手段は、
前記二箇所の特定点近傍位置にて前記管状部材に係止されるとともに同管状部材から下方に向けて垂下した少なくとも二つの帯状部材を含むワイヤーソー装置。 - 請求項2に記載のワイヤーソー装置において、
前記加工液落下形状制御手段は、
前記二箇所の特定点近傍位置の間において前記管状部材に係止されるとともに同管状部材から下方に向けて垂下した帯状部材を含むワイヤーソー装置。 - 請求項1又は請求項2に記載のワイヤーソー装置において、
前記加工液落下形状制御手段は、
前記複数の帯状部材の各下端部近傍を前記管状部材と略平行となるように連結した連結部材を含むワイヤーソー装置。 - 請求項1に記載のワイヤーソー装置において、
前記加工液落下形状制御手段は、
前記二箇所の特定点近傍位置の一方から他方に亘り延在するとともに前記管状部材から下方に向けて垂下した膜状部材を含むワイヤーソー装置。 - 請求項1に記載のワイヤーソー装置において、
前記加工液落下形状制御手段は、
前記複数のワイヤーの上方且つ前記管状部材のスリット状開口の略鉛直下方において同管状部材と平行に伸びた支持部材と、同支持部材に係止されるとともに同支持部材からから下方に向けて垂下し且つ前記被加工物に当接したときに撓屈する可撓性の帯状部材とからなるワイヤーソー装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004222254A JP4083152B2 (ja) | 2004-07-29 | 2004-07-29 | ワイヤーソー装置 |
CNB2005100718380A CN100358697C (zh) | 2004-07-29 | 2005-05-20 | 线锯装置 |
US11/189,552 US20060025051A1 (en) | 2004-07-29 | 2005-07-26 | Wire sawing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004222254A JP4083152B2 (ja) | 2004-07-29 | 2004-07-29 | ワイヤーソー装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006035402A JP2006035402A (ja) | 2006-02-09 |
JP4083152B2 true JP4083152B2 (ja) | 2008-04-30 |
Family
ID=35732952
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004222254A Expired - Fee Related JP4083152B2 (ja) | 2004-07-29 | 2004-07-29 | ワイヤーソー装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060025051A1 (ja) |
JP (1) | JP4083152B2 (ja) |
CN (1) | CN100358697C (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006050330B4 (de) * | 2006-10-25 | 2009-10-22 | Siltronic Ag | Verfahren zum gleichzeitigen Auftrennen von wenigstens zwei zylindrischen Werkstücken in eine Vielzahl von Scheiben |
DE102006058823B4 (de) * | 2006-12-13 | 2017-06-08 | Siltronic Ag | Verfahren zum Abtrennen einer Vielzahl von Scheiben von einem Werkstück |
CN101618519B (zh) * | 2008-07-01 | 2011-09-14 | 内蒙古晟纳吉光伏材料有限公司 | 硅片线切割方法及其装置 |
JP5370006B2 (ja) * | 2009-08-31 | 2013-12-18 | 株式会社Sumco | ワイヤソー装置 |
EP2535143B1 (en) * | 2010-02-08 | 2018-08-08 | Toyo Advanced Technologies Co., Ltd. | Method of cutting workpiece with wire saw, and wire saw |
CN102133777B (zh) * | 2011-01-05 | 2013-11-20 | 镇江荣德新能源科技有限公司 | 多线切割机断线处理装置 |
DE102011008400B4 (de) * | 2011-01-12 | 2014-07-10 | Siltronic Ag | Verfahren zur Kühlung eines Werkstückes aus Halbleitermaterial beim Drahtsägen |
JP5016122B1 (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-05 | コマツNtc株式会社 | 測定用治具、ワイヤソー、及びワーク装着方法 |
EP2583777A1 (en) * | 2011-10-22 | 2013-04-24 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Clamping assembly for a wire guide of a wire saw |
JP6304118B2 (ja) | 2015-05-01 | 2018-04-04 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソー装置 |
WO2019014147A2 (en) * | 2017-07-09 | 2019-01-17 | Lumenetix, Inc. | TECHNIQUES FOR CREATING CHARACTERIZATION MATRICES FOR REFLECTANCE, LIGHTING OR SENSOR RESPONSE |
DE112019006966B4 (de) * | 2019-04-05 | 2022-05-12 | Mitsubishi Electric Corporation | Drahterodiermaschine |
CN110587451A (zh) * | 2019-09-09 | 2019-12-20 | 上海安稷实业有限公司 | 支持曲面切割的线锯切割机 |
CN113733378A (zh) * | 2021-11-05 | 2021-12-03 | 江苏晟大光电科技有限公司 | 一种太阳能电池板组件晶硅电池片切割加工设备 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4060649A (en) * | 1976-12-06 | 1977-11-29 | Sprague Electric Company | Paint curtain machine and method of painting |
JPS61121870A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 脆性材料の切断方法 |
US4830887A (en) * | 1988-04-22 | 1989-05-16 | Eastman Kodak Company | Curtain coating method and apparatus |
JPH02274460A (ja) * | 1989-04-12 | 1990-11-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ワイヤ式切断装置の切断速度制御方法およびその装置 |
JP2674227B2 (ja) * | 1989-07-27 | 1997-11-12 | 住友金属工業株式会社 | 脆性材料の切断加工方法 |
US5105758A (en) * | 1990-08-08 | 1992-04-21 | Eastman Kodak Company | Catch pan for use in curtain coating apparatus |
JP2516717B2 (ja) * | 1991-11-29 | 1996-07-24 | 信越半導体株式会社 | ワイヤソ―及びその切断方法 |
JPH064219A (ja) * | 1992-06-20 | 1994-01-14 | Ricoh Co Ltd | フロッピー・ディスクと光ディスクのドライブ接続方法とインターフェース装置および光ディスク分割装置 |
JP2722975B2 (ja) * | 1992-11-19 | 1998-03-09 | 住友金属工業株式会社 | マルチワイヤソーによる切断方法 |
US20030136342A1 (en) * | 2000-03-14 | 2003-07-24 | Benjamin Mendez-Gallon | Application device |
-
2004
- 2004-07-29 JP JP2004222254A patent/JP4083152B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-05-20 CN CNB2005100718380A patent/CN100358697C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-07-26 US US11/189,552 patent/US20060025051A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100358697C (zh) | 2008-01-02 |
JP2006035402A (ja) | 2006-02-09 |
US20060025051A1 (en) | 2006-02-02 |
CN1727167A (zh) | 2006-02-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4083152B2 (ja) | ワイヤーソー装置 | |
US7326300B2 (en) | Coating apparatus and method using the same | |
KR101903676B1 (ko) | 취성 재료 기판의 스크라이브 방법 및 스크라이브 헤드 유닛 | |
JP2008238144A (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
JP4891185B2 (ja) | 粘性流体塗布装置 | |
KR20180087177A (ko) | 본드 아암 자동 정렬을 위한 방법 및 시스템 | |
JP3938388B2 (ja) | 塗布装置 | |
JP5527618B2 (ja) | ワイヤーソー切断装置 | |
JP2007054909A (ja) | ワイヤーソー加工方法 | |
JP6564648B2 (ja) | ノズルおよび塗布装置 | |
JP2010135457A (ja) | ハンダボール印刷機 | |
JP2006013427A (ja) | 微小接着剤ノズルおよび接着剤塗布装置 | |
JP2003165047A (ja) | セラミック加工装置 | |
CN103752450A (zh) | 喷涂设备 | |
JP4748391B2 (ja) | 搬送装置 | |
JP6719637B2 (ja) | ワイヤソーによる溝加工装置とその方法 | |
JP6647468B1 (ja) | ワイヤ放電加工機 | |
TWI680823B (zh) | 蛇腹蓋、及使用其之切割裝置 | |
JPWO2017138077A1 (ja) | 粘性流体供給装置 | |
JP4143866B2 (ja) | 非接触テープガイド装置 | |
JP3820358B2 (ja) | ペースト塗布機 | |
JP2021089976A (ja) | フレーム洗浄機構及び塗布装置 | |
WO2017141306A1 (ja) | 対基板作業装置 | |
JP2000153460A (ja) | 液体供給装置 | |
JP5505835B2 (ja) | ワイヤソー |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060223 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080121 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080212 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120222 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130222 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130222 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |