JP7372097B2 - ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法 - Google Patents

Description

本発明は、ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法に関する。

一般に、半導体材料や磁性材料などのワークをワイヤによって切断するワイヤソーは、ワーク送りが、通常、垂直方向にしか駆動しない構造になっている。このため、ワイヤソーでは、ワイヤソー外にワークを出し入れする際に、例えば、特許文献１に記載されているように、ワーク受け渡し装置等の付帯装置によって行われている。

特許文献１に記載のワイヤソーシステムでは、ワークを搬送する際に、ワイヤソーとは別体に形成されたワーク運搬用台車と、ワーク受け渡し装置と、を作業員によって手動的に移動させてワークの搬送を行っている。

特開２０１０－１４９２４８号公報

しかし、特許文献１に記載のワイヤソーシステムでは、ワーク受け渡し装置でワークの交換を行っている際、ワイヤソーを稼働させることができない。このため、ワーク受け渡し装置でワークを交換している場合は、ワイヤソーを停止して中断している時間が非加工時間となるので、生産性が低下するという問題点があった。

本発明は、前記した問題点を解決して、生産性を向上させることができるワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法を提供することを課題とする。

前記課題を解決するため、本発明に係るワイヤソーは、ワイヤによってワークを切断するワイヤソーにおいて、前記ワークを支持する仮置台と、前記ワークを支持するスライダを含み、前記ワークを加工室に搬入及び前記加工室から搬出させる移送装置と、前記加工室に配置され、前記ワークを加工する加工装置と、前記加工室に配置され、前記ワークをクランプするクランプ装置と、前記クランプ装置を昇降させる昇降装置と、を備え、前記移送装置は、前記仮置台から前記加工室Ｒへ前記ワークを搬送し、前記スライダは、互いに平行に配置された一対の部材から成ると共に、前記スライダの互いに対向する内側面にそれぞれ突設された一対の支持部を有し、前記ワークを搬送する際に、前記ワークの両側端部が前記一対の支持部に載置され、前記ワークを加工する際に、前記クランプ装置によって前記ワークをクランプすると共に前記スライダが移動することで、前記一対の支持部から前記ワークが離間され、前記一対のスライダ間を前記昇降装置によって下降させることを特徴とする。

また、本発明は、請求項１から請求項３のいずれかの請求項に記載のワイヤソーを使用してワークを搬入及び搬出するワイヤソーのワークの搬入出方法であって、加工完了のワークをスライダにてアンロード用の仮置台に搬出する搬出工程と、ロード用の仮置台の未加工のワークを前記スライダにて加工室内に搬入する搬入工程と、前記加工室内に搬入された前記未加工のワークをクランプ装置によってクランプするクランプ工程と、前記スライダを加工室内に退避させる退避工程と、前記未加工のワークを昇降装置によって昇降させることによって加工装置で加工する加工工程と、前記未加工のワークを加工中に、前記搬出工程で前記アンロード用の仮置台に載置された前記加工完了のワークを前記アンロード用の仮置台から取り外すと共に、未加工のワークをロード用の仮置台に載置する取外載置工程と、をこの順序で実行することを特徴とする。

本発明は、生産性を向上させることができるワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法を提供することができる。

本発明の実施形態に係るワイヤソーを示す概略側面図である。 本発明の実施形態に係るワイヤソーの概略正面図である。 図２の要部拡大概略図である。 ワークに取り付けられたワーク治具と、ワーク治具を支持するスライダとの配置状態を示す要部拡大概略斜視図である。 未加工のワークを加工室に搬入したときの状態を示す説明図である。 スライダを退避位置に退避させたときの状態を示す説明図である。 加工後のワークをスライダで支持したときの状態を示す説明図である。 加工後のワークを加工室から搬出させたときの状態を示す説明図である。 未加工のワークをロード用の仮置台に支持させ、加工装置で加工したワークを昇降装置で上昇させたときの状態を示す説明図である。 移送装置をロード側に移動した状態を示す説明図である。 移送装置をアンロード側に移動した状態を示す説明図である。 移送装置を退避位置に移動した状態を示す説明図である。 ワークを昇降装置で下降させて加工しているときの状態を示す説明図である。 ワーク加工中に加工後のワークをアンロード用の仮置台から取外し、未加工のワークをロード用の仮置台に載置したときの状態を示す説明図である。 本発明の実施形態に係るワイヤソーのワークの搬入出方法を示す工程図である。 本発明の実施形態に係るワイヤソーの第１変形例を示す概略側面図である。 本発明の実施形態に係るワイヤソーの第２変形例を示す概略側面図である。 本発明の実施形態に係るワイヤソーの第２変形例を示す図で、（ａ）はスライダがロード位置にあるときの状態を示す要部拡大概略側面図、（ｂ）はスライダがアンロード位置にあるときの状態を示す要部拡大概略側面図である。

本発明の実施形態に係るワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法を図１～図１５を参照して説明する。
なお、図１に示す仮置台１１がある位置をロード位置Ｌｏ（ロード側）、仮置台１２がある位置をアンロード位置Ｕｎ（アンロード側）として説明する。また、図１に示す仮置台１１がある方向を前（Ｆ）、仮置台１２がある方向を後（Ｂ）、鉛直上方側を上（Ｕ）、鉛直下方側を下（Ｄ）、図２に示すモータＭがある方向を左（Ｌ）、モータＭがある左（Ｌ）側と対向する方向を右（Ｒ）として適宜説明する。

＜ワーク＞
図１に示すように、ワークＷは、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料から成る。ワークＷは、ワイヤソー１に配置された加工装置５のワイヤ５３に押し当てることで切削して切断される。

＜ワイヤソー＞
図１に示すワイヤソー１は、加工装置５のワイヤ５３によってワークＷを切断する切断装置である。ワイヤソー１は、仮置台１１，１２と、クランプ装置２と、昇降装置３と、移送装置４と、加工装置５と、を備えて構成されている。

＜仮置台＞
仮置台１１，１２は、ワークＷを支持するための載置台である。仮置台１１，１２は、ワイヤソー１の加工室Ｒ外の前後にそれぞれ配置されている。ロード位置Ｌｏ側（前側）の仮置台１１（ロード用の仮置台）は、未加工のワークＷをロード位置Ｌｏ側から加工室Ｒに搬入する際に、ワークＷを載置するのに使用される。
アンロード位置Ｕｎ側（後側）の仮置台１２（アンロード用の仮置台）は、加工室Ｒから移送装置４によってアンロード位置Ｕｎに搬出された加工完了後のワークＷを載置するのに使用される。

＜クランプ装置＞
クランプ装置２は、加工装置５でワークＷを加工する際に、加工室Ｒに搬入された未加工のワークＷをクランプするための保持機構である。つまり、クランプ装置２は、ロード位置Ｌｏから加工室Ｒに搬入された未加工のワークＷを、ワーク治具２３を介在して間接的にクランプしてから、そのワークＷを加工装置５のワイヤ５３に押し当てて加工して、加工完了後のワークＷを移送装置４上に置くまで保持してアンクランプする。クランプ装置２からアンクランプされたワークＷは、移送装置４上に載せてからアンロード位置Ｕｎに搬出される。図２に示すように、クランプ装置２は、複数（例えば、４つ）のクランプ部材２６と、複数のクランプ部材２６を保持したワーク保持部材２５と、を備えている。

ワークＷの上面には、ガラスプレート２１、金属プレート２２を介在して金属製のワーク治具２３が着脱可能に装着されている。ワーク治具２３の上面には、複数の被クランプ部材２４が設けられている。

ワーク保持部材２５は、加工用ローラ５１，５２間に掛装されたワイヤ５３の上方において、昇降装置３の下端にボルト締めされて、昇降装置３によって昇降可能に配置されている。ワーク保持部材２５の下面には、被クランプ部材２４に係合及び離間可能な複数のクランプ部材２６が取り付けられている。

＜昇降装置＞
昇降装置３は、下端部にワーク治具２３等を介在してワークＷを保持するクランプ装置２を備えて、ワークＷを昇降させるための装置である。昇降装置３は、ワークＷをスライダ４５上から上昇させたり、ワークＷを加工装置５のワイヤ５３に押し付けて加工したり、加工完了後のワークＷを下降させてスライダ４５上に載置させたりする。
昇降装置３は、クランプ装置２を上下させるボールねじ等の移動機構（図示省略）と、その移動機構を作動させるサーボモータ等の移動用駆動モータ（図示省略）等と、を備えて構成されている。

＜移送装置＞
図１に示すように、移送装置４は、ロード位置Ｌｏ側の仮置台１１に載置したワークＷを加工室Ｒに搬入したり、加工装置５によって加工された加工完了後のワークＷを加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎに搬出させたりするための搬送装置である。換言すると、移送装置４は、図１に示すように、ロード位置Ｌｏ側の仮置台１１に載置した未加工のワークＷに取り付けたワーク治具２３の掛止部２３ａを、スライダ４５の支持部４５ｃで支持して、図５に示すようにワークＷを加工室Ｒに搬入する。加工室Ｒに搬入後、図６に示すように、空状態のスライダ４５の支持部４５ｃ，４５ｄを退避位置に退避させる。また、移送装置４は、図７に示すように、アンロード位置Ｕｎ側の空状態のスライダ４５の支持部４５ｄを加工室Ｒに移動させる。その後、移送装置４は、図８に示すように、加工完了後のワークＷを支持した支持部４５ｄを加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎに搬出させる。

移送装置４は、スライダ連結部４１，４２と、モータＭと、駆動歯車４３と、変換歯車４４と、スライダ４５と、ガイド４６と、ブラケット４７と、仮置台１１，１２と、を備えて構成されている。

図４に示すように、スライダ連結部４１，４２は、左右のスライダ４５の前端部及び後端部をそれぞれ連結するための部材である。スライダ連結部４１，４２は、ワイヤソー１の左右側に配置されているスライダ４５の前端部及び後端部に架設された正面視して略逆ハット形状（略凹形状）の板状部材から成る。このため、スライダ連結部４１，４２は、スライダ４５が前後方向に移動することによって、ロード位置Ｌｏと加工室Ｒとの間と、アンロード位置Ｕｎと加工室Ｒとの間と、をそれぞれ一体に往復移動する。

図１～図３に示すように、モータＭは、駆動歯車４３を回転駆動させるための動力源である。モータＭは、例えば、加工室カバー６外の左側に配置されている。
駆動歯車４３は、モータＭの回転を変換歯車４４に伝達するための歯車である。駆動歯車４３は、図１及び図２に示すように、ワイヤソー１の左右の前後方向中央部にそれぞれ配置されている。

図５に示すように、変換歯車４４は、駆動歯車４３の回転を直線運動に変換させる歯車である。変換歯車４４は、前後方向に延設された平板状の棒状部材に、歯形部を歯切形成したラックから成る。つまり、ラックである変換歯車４４は、ピニオンである駆動歯車４３に回転力が加えられると、変換歯車４４が水平方向に動くように構成されている。

スライダ４５は、変換歯車４４によって前後方向に水平に進退（往復移動）される左右一対の移動体である（図４参照）。スライダ４５は、変換歯車４４の上側に設置されて、変換歯車４４に沿って平行に前後方向に伸びたレール状の部材から成る。スライダ４５の前端部には、支持部４５ｃが形成され、スライダ４５の後端部には、支持部４５ｄが形成されている。図３に示すように、スライダ４５は、ガイド溝４５ａと、ストッパ４５ｂと、支持部４５ｃ，４５ｄと、有している。

図４に示すように、左右のスライダ４５の左右外側には、複数のガイド４６が摺動自在に係合された縦断面視して凹部形状のガイド溝４５ａが、前端から後端に亘って延設されている。左右のスライダ４５の左右上端部には、ワークＷを、正面視して略凹形状のスライダ連結部４１，４２に係合するときに、ワーク治具２３の左右端部の位置を規制して位置決めするためのストッパ４５ｂが突出形成されている。

左右のスライダ４５の左右内側の前後両端部には、ワーク治具２３の左右端部に突出形成された掛止部２３ａが支持（載置）される支持部４５ｃ，４５ｄが突設されている。このため、ワーク治具２３に固定されたワークＷは、掛止部２３ａを支持部４５ｃ，４５ｃに支持されることによって、スライダ４５上に載置可能になっている。

前側の支持部４５ｃは、図１及び図５に示すように、未加工のワークＷをロード位置Ｌｏから加工室Ｒに搬入する際に、ワークＷに取り付けられたワーク治具２３の掛止部２３ａが支持される部位である。
後側の支持部４５ｄは、図７及び図８に示すように、加工完了後のワークＷを加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎに搬出する際に、ワークＷに取り付けられたワーク治具２３の掛止部２３ａが支持される部位である。支持部４５ｃ，４５ｄは、左右のスライダ４５の前後端部に形成されている。

ワークＷは、図４に二点鎖線で示すように、左右のスライダ４５間において、前側の支持部４５ｃと、後側の支持部４５ｄとの間では、掛止部２３ａがスライダ４５から離間しているので、上下方向に昇降可能に配置される。このため、ワークＷは、掛止部２３ａをスライダ４５の前後端部の支持部４５ｃ，４５ｄ間に配置することで、昇降装置３によって加工装置５のワイヤ５３がある加工位置まで下降可能となる。

図５に示すように、ガイド４６は、スライダ４５を前後方向に進退自在に支持するガイド部材である。ガイド４６は、ブラケット４７の上部に前後方向に適宜な間隔で複数配置された略円筒状の回転体から成る。ガイド４６は、ブラケット４７の上部右側にボルトによって回転自在に取り付けられている（図３参照）。

ブラケット４７は、駆動歯車４３を回転自在に軸支して、前後方向に延設された平板部材である。ブラケット４７は、ガイド４６、スライダ４５を介在してスライダ連結部４１，４２に取り付けられている。

＜加工装置＞
図１に示すように、加工装置５は、クランプ装置２にクランプされた未加工のワークＷを加工する切削機構である。加工装置５は、適宜な間隔で水平方向に対向配置された一対の加工用ローラ５１，５２と、加工用ローラ５１と加工用ローラ５２とに巻き掛けられたワイヤ５３と、加工用ローラ５１，５２を回転駆動させる駆動モータ（図示省略）と、を備えて構成されている。加工装置５は、基台１３上のコラム１４に設けられている。

加工装置５の上方において、コラム１４には、ワークＷを支持するクランプ装置２が昇降装置３によって昇降可能に配置されている。そして、ワイヤソー１の運転時には、ワイヤ５３が加工用ローラ５１，５２間で走行されて、クランプ装置２で保持されたワークＷが、昇降装置３によって加工装置５に向かって下降されてワイヤ５３に押し付けられることで切断される。

加工用ローラ５２，５２は、駆動モータ（図示省略）によって回転されることで、ワイヤ５３を加工用ローラ５２，５３間だけ走行させるように構成されている。加工用ローラ５２，５３は、少なくとも一対であればよく、相互間隔をおいて平行に配置される構成であれば、３本以上でもよい。

ワイヤ５３は、例えば、１本の線材によって構成された加工用ワイヤである。ワイヤ５３は、加工用ローラ５２，５３によって、一定量前進及び一定量後退を繰り返して、全体として歩進的に前進し、または、一方向に連続して前進するように駆動される。

＜加工室カバー＞
図１及び図２に示すように、加工室カバー６は、加工装置５における加工領域を覆って加工室Ｒを形成するカバー部材である。加工室カバー６は、ワークＷの加工領域に供給されたクーラントが飛散しないように設けられる箱状部材から成る。加工室カバー６は、加工室Ｒ内のワークＷの着脱作業等の際に、開閉する扉（図示省略）を備えている。

［作用］
次に、本発明の実施形態に係るワイヤソー１及びワイヤソー１のワークＷの搬入出方法の作用を、図１５を主に図１～図１５を参照しながら作業工程順に説明する。

図９に示すように、加工の完了したワークＷを昇降装置３でワーククランプアンクランプ位置まで上昇させ、加工室カバー６（図１参照）を開き、図１０に示すように移送装置４のスライダ４５をロード位置Ｌｏ側に移動し、加工後のワークＷに取り付けたワーク治具２３をスライダ４５の支持部４５ｄで支持する。このとき、仮置台１１に載置された未加工のワークＷのワーク治具２３が、スライダ４５の支持部４５ｃに支持される。続いて、クランプ装置２にクランプされている加工後のワークＷをアンクランプし、クランプ装置２を退避位置まで上昇させて、図１１に示すように、加工後のワークＷを移送装置４によってアンロード位置Ｕｎに搬出し、移送装置４のスライダ４５の支持部４５ｄから加工後のワークＷをアンロード位置Ｕｎの仮置台１２に載置し（搬出工程Ｓ１）、このとき、ロード位置Ｌｏの仮置台１１に載置された未加工のワークＷに取り付けたワーク治具２３の掛止部２３ａをスライダ４５の支持部４５ｃに支持して、移送装置４によって加工室Ｒ内に搬入する（搬入工程Ｓ２）。

次に、昇降装置３をワーククランプアンクランプ位置まで下降して、加工室Ｒ内に搬入された未加工のワークＷに固定したワーク治具２３をクランプ装置２でクランプする（クランプ工程Ｓ３）。

次に、図１２に示すように、移送装置４のスライダ４５に何も載置していない状態で、ワークＷがスライダ４５の前後方向の中央部に位置するように退避させる（退避工程Ｓ４）。続いて、加工室カバー６（図１参照）を閉めて、図１３に示すように、クランプ装置２でクランプした未加工のワークＷに取り付けたワーク治具２３を昇降装置３で昇降させることによって、加工装置５のワイヤ５３に押し当ててワークＷを切削加工する（加工工程Ｓ５）。

そして、図１４に示すように、未加工のワークＷを加工中に、搬出工程Ｓ１でアンロード位置Ｕｎに搬出されて仮置台１２に支持される加工後のワークＷをワイヤソー１外に運び出す。このとき、未加工のワークＷを仮置台１１に載置する（取外載置工程Ｓ６）。

こうすることで、加工済みのワークＷの加工室Ｒからの搬出と、未加工のワークＷの加工室Ｒへの搬入と、が同時に行うことができるため、ワークＷの搬送を効率よく行いながらワイヤソー１による切削加工を行うことができる。
以上の搬出工程Ｓ１から取外載置工程Ｓ６を繰り返して、ワークＷを順次に加工して生産する。

このように、本発明は、図１に示すように、ワイヤ５３によってワークＷを切断するワイヤソー１において、ワークＷを支持する仮置台１１，１２と、ワークＷを支持するスライダ４５を含み、ワークＷを加工室Ｒに搬入及び加工室Ｒから搬出させる移送装置４と、加工室Ｒに配置され、ワークＷを加工する加工装置５と、加工室Ｒに搬入され、ワークＷをクランプするクランプ装置２と、クランプ装置２を昇降させる昇降装置３と、を備え、移送装置４は、仮置台１１，１２から加工室ＲへワークＷを搬送する。

これにより、ワイヤソー１は、未加工のワークＷを加工室Ｒに搬入し、加工後のワークＷを加工室Ｒから搬出させる移送装置４を備えていることで、ワイヤソー１の停止及び中断している時間を削減してワイヤソー１の稼働率を向上させることができる。このため、ワークＷを生産する生産時間を短縮させて生産性を向上させることができる。また、移送装置４は、従来使用していたワークリフタ等の付帯装置を不要とするため、ワイヤソー１の構造を簡素化して、コストダウンを図ることができる。

また、移送装置４は、モータＭと、モータＭによって回転する駆動歯車４３と、駆動歯車４３の回転を直線運動に変換させる変換歯車４４と、変換歯車４４によって進退されるスライダ４５と、スライダ４５を進退自在に支持するガイド４６と、スライダ４５に設けられた支持部４５ｃ，４５ｄと、を備えている。

移送装置４は、ワークＷを支持し、スライダ４５に連動して移動する支持部４５ｃ，４５ｄを備えていることで、ワークＷの交換を自動化して容易にすることができる。その結果、ワークＷを生産する際の作業性を向上させて省力化を図ることができる。

また、図１、図２及び図４に示すように、ワークＷは、当該ワークＷを保持するワーク治具２３を有し、スライダ４５は、互いに平行に配置された一対の部材から成ると共に、ワーク治具２３の側面両側にそれぞれ突設された掛止部２３ａが支持される支持部４５ｃを有し、ワーク治具２３は、ワークＷを搬送する際に、掛止部２３ａが、一対のスライダ４５の支持部４５ｃに支持され、ワークＷを加工する際に、掛止部２３ａが、一対のスライダ４５の支持部４５ｃから離間されて一対のスライダ４５間を昇降装置３によって下降させる。

これにより、ワーク治具２３は、ワークＷを搬送する際に、一対のスライダ４５の掛止部２３ａに掛止されるので、スライダ４５を移動させることによって、ワークＷを搬送させることができる。また、ワーク治具２３は、ワークＷを加工する際に、一対のスライダ４５の掛止部２３ａから支持部４５ｃを離間させて一対のスライダ４５間を昇降装置３によって下降させることで、下方に配置された加工装置５のワイヤ５３にワークＷを押し当てて切断することが可能となる。

また、図１に示すように、仮置台１１，１２は、ロード側に配置されるロード用の仮置台１１と、アンロード側に配置されるアンロード用の仮置台１２を有し、スライダ４５は、ロード側に配置されるロード用の支持部４５ｃと、アンロード側に配置されるアンロード用の支持部４５ｄを有し、移送装置４は、ロード用の支持部４５ｃをロード用の仮置台１１から加工室Ｒに搬入すると共に、アンロード用の支持部４５ｄを加工室Ｒからアンロード用の仮置台１２へ搬出させる。

これにより、移送装置４は、ロード用の仮置台１１に載置した未加工のワークＷをロード用の支持部４５ｃで支持して加工室Ｒに搬入し、加工完了後のワークＷを支持したアンロード用の支持部４５ｄをアンロード用の仮置台１２に搬出することで、未加工のワークＷと、加工済のワークＷと、を相違する方向に搬送することができる。このため、未加工のワークＷと、加工済のワークＷとのワークＷ同士が対向する方向に移動するのを解消して、未加工のワークＷと加工済のワークＷを同時に搬送させることが可能になる。その結果、ワークＷの搬送時間を短縮させて、効率よくワークＷを搬送させることができるので、ワークＷの生産性を向上させることができる。

また、図１または図１５に示すように、本発明は、ワイヤソー１を使用してワークＷを搬入及び搬出するワイヤソー１のワークＷの搬入出方法であって、加工完了のワークＷをスライダ４５にてアンロード用の仮置台１２に搬出する搬出工程Ｓ１と、ロード用の仮置台１１の未加工のワークＷをスライダ４５にて加工室Ｒ内に搬入する搬入工程Ｓ２と、加工室Ｒ内に搬入された未加工のワークＷをクランプ装置２によってクランプするクランプ工程Ｓ３と、スライダ４５を加工室Ｒ内に退避させる退避工程Ｓ４と、未加工のワークＷを昇降装置３によって昇降させることによって加工装置５で加工する加工工程Ｓ５と、未加工のワークＷを加工中に、搬出工程Ｓ１でアンロード用の仮置台１２に載置された加工完了のワークＷをアンロード用の仮置台１２から取り外すと共に、未加工のワークＷをロード用の仮置台１１に載置する取外載置工程Ｓ６と、を有する。

これにより、ワイヤソー１のワークＷの搬入出方法は、移送装置４のスライダ４５によって未加工のワークＷの加工室Ｒへの搬入し、加工後のワークＷを加工室Ｒから搬出を容易に行うことができるので、ワークＷを搬入出させるためのワイヤソー１のダウンタイムを削減して、ワークＷの生産性を向上させることができる。

［第１変形例］
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造及び変更が可能であり、本発明はこれら改造及び変更された発明にも及ぶことは勿論である。

次に、図１６を参照して、本発明の実施形態に係るワイヤソーの第１変形例を説明する。なお、既に説明した構成は同じ符号を付してその説明を省略する。
図１６は、本発明の実施形態に係るワイヤソーの第１変形例を示す概略側面図である。

例えば、本発明のワイヤソー１における移送装置４は、図１に示すように、１つのモータＭと、１つのスライダ４５と、を使用してロード位置ＬｏのワークＷを加工室Ｒに搬入したり、加工後のワークＷをアンロード位置Ｕｎ側に搬出したりするものに限定されるものではない。

図１６に示すように、ワイヤソー１Ａにおける移送装置４Ａは、二つのモータＭ１，Ｍ２と、二つのモータＭ１，Ｍ２によってそれぞれ回転する駆動歯車４３Ａ１，４３Ａ２と、駆動歯車４３Ａ１，４３Ａ２の回転をそれぞれ直線運動に変換させる変換歯車４４Ａ１，４４Ａ２と、変換歯車４４Ａ１，４４Ａ２によってそれぞれ進退されるスライダ４５Ａ１，４５Ａ２と、スライダ４５Ａ１，４５Ａ２をそれぞれ進退自在に支持するガイド４６Ａ１，４６Ａ２と、スライダ４５Ａ１，４５Ａ２にそれぞれ連結された仮置台１１，１２と、を備えているものであってもよい。

つまり、移送装置４Ａは、搬入装置４Ａ１と、搬出装置４Ａ２との二つの装置で構成してもよい。

このように構成された第１変形例のワイヤソー１Ａは、搬入専用の搬入装置４Ａ１と、搬出専用の搬出装置４Ａ２と、を備えた移送装置４Ａがワイヤソー１Ａに一体的に設けられていることで、未加工のワークＷの搬入と、加工後のワークＷの搬出を効率よく行うことができる。

［第２変形例］
図１７は、本発明の実施形態に係るワイヤソーの第２変形例を示す概略側面図である。図１８は、本発明の実施形態に係るワイヤソーの第２変形例を示す図で、（ａ）はスライダがロード位置にあるときの状態を示す要部拡大概略側面図、（ｂ）はスライダがアンロード位置にあるときの状態を示す要部拡大概略側面図である。

また、前記実施形態及び第１変形例では、移送装置４，４Ａで未加工のワークＷをロード位置Ｌｏ側から加工室Ｒに搬入して、加工後のワークＷを加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎ側に搬出する場合を説明したが、図１７及び図１８（ａ）、（ｂ）に示す移送装置４Ｂのように、同じ位置方向から搬入して、搬入して来た方向に搬出してもよい。

つまり、ワイヤソー１Ｂは、仮置台１１Ｂを移送装置４Ｂによってロード位置Ｌｏ側から加工室Ｒに搬入し、加工後のワークＷを同じ仮置台１１を使用して、ロード位置Ｌｏと同じ位置にあるアンロード位置Ｕｎ側に戻すように、往復移動させてもよい。

１，１Ａ，１Ｂ ワイヤソー
２ クランプ装置
３ 昇降装置
４，４Ａ，４Ｂ 移送装置
５ 加工装置
１１，１１Ｂ 仮置台（ロード用の仮置台）
１２ 仮置台（アンロード用の仮置台）
２３ ワーク治具
２３ａ 掛止部
４１，４１Ａ，４２，４２Ａ スライダ連結部
４３，４３Ａ１，４３Ａ２ 駆動歯車
４４，４４Ａ１，４４Ａ２ 変換歯車
４５，４５Ａ１，４５Ａ２ スライダ
４５ｃ 支持部（ロード用の支持部）
４５ｄ 支持部（アンロード用の支持部）
４６，４６Ａ１，４６Ａ２ ガイド
５３ ワイヤ
Ｌｏ ロード位置（ロード）
Ｕｎ アンロード位置（アンロード）
Ｍ，Ｍ１，Ｍ２ モータ
Ｒ 加工室
Ｓ１ 搬出工程
Ｓ２ 搬入工程
Ｓ３ クランプ工程
Ｓ４ 退避工程
Ｓ５ 加工工程
Ｓ６ 取外載置工程
Ｗ ワーク

Claims (5)

1. ワイヤによってワークを切断するワイヤソーにおいて、
   前記ワークを支持する仮置台と、
   前記ワークを支持するスライダを含み、前記ワークを加工室に搬入及び前記加工室から搬出させる移送装置と、
   前記加工室に配置され、前記ワークを加工する加工装置と、
   前記加工室に配置され、前記ワークをクランプするクランプ装置と、
   前記クランプ装置を昇降させる昇降装置と、を備え、
   前記移送装置は、前記仮置台から前記加工室へ前記ワークを搬送し、
   前記スライダは、互いに平行に配置された一対の部材から成ると共に、前記スライダの互いに対向する内側面にそれぞれ突設された一対の支持部を有し、
   前記ワークを搬送する際に、前記ワークの両側端部が前記一対の支持部に載置され、
   前記ワークを加工する際に、前記クランプ装置によって前記ワークをクランプすると共に前記スライダが移動することで、前記一対の支持部から前記ワークが離間され、前記一対のスライダ間を前記昇降装置によって下降させる
   ことを特徴とするワイヤソー。
2. 前記移送装置は、モータと、
   前記モータによって回転する駆動歯車と、
   前記駆動歯車の回転を直線運動に変換させる変換歯車と、
   前記変換歯車によって進退される前記スライダと、
   前記スライダを進退自在に支持するガイドと、
   前記スライダに設けられた前記一対の支持部と、を備えている
   ことを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー。
3. 前記ワークは、当該ワークを保持するワーク治具を有し、
   前記ワーク治具の両側にそれぞれ突設された掛止部が前記一対の支持部に載置される
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワイヤソー。
4. 前記仮置台は、ロード側に配置されるロード用の仮置台と、アンロード側に配置されるアンロード用の仮置台を有し、
   前記スライダは、ロード側に配置されるロード用の支持部と、アンロード側に配置されるアンロード用の支持部を有し、
   前記移送装置は、前記ロード用の支持部を前記ロード用の仮置台から前記加工室に搬入すると共に、前記アンロード用の支持部を前記加工室から前記アンロード用の仮置台へ搬出させる
   ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかの請求項に記載のワイヤソー。
5. 請求項１から請求項３のいずれかの請求項に記載のワイヤソーを使用してワークを搬入及び搬出するワイヤソーのワークの搬入出方法であって、
   加工完了のワークをスライダにてアンロード用の仮置台に搬出する搬出工程と、
   ロード用の仮置台の未加工のワークを前記スライダにて加工室内に搬入する搬入工程と、
   前記加工室内に搬入された前記未加工のワークをクランプ装置によってクランプするクランプ工程と、
   前記スライダを加工室内に退避させる退避工程と、
   前記未加工のワークを昇降装置によって昇降させることによって加工装置で加工する加工工程と、
   前記未加工のワークを加工中に、前記搬出工程で前記アンロード用の仮置台に載置された前記加工完了のワークを前記アンロード用の仮置台から取り外すと共に、未加工のワークをロード用の仮置台に載置する取外載置工程と、
   をこの順序で実行する
   ことを特徴とするワイヤソーのワークの搬入出方法。

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