JP2016094265A - 物品収納設備 - Google Patents
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Abstract
Description
そこで、従来では、物品収納棚を新たに設置した場合等において、作業者が水平器を用いて支持体の傾きを計測し、その計測した支持体の傾きが適正な設置状態に比べて許容角度以上に傾いている場合に、その傾いている支持体を適正な設置状態となるように修正していた。
そこで、物品収納棚に備えられている複数の収納部における支持体の傾きを計測する計測時間の短縮を図ることが望まれている。また、このように計測時間の短縮を図る場合において、コストの増加を抑えながら計測時間の短縮を図ることが望ましい。
前記支持体に載置支持された状態で当該支持体の水平方向に対する傾きを計測する計測用治具が備えられ、前記制御装置が、前記複数の収納部の全て又は一部を計測対象の収納部として、前記計測用治具を前記計測対象の収納部における前記支持体に載置支持される状態に搬送した後、当該計測用治具を予め設定した設定順序で次に設定されている前記計測対象の収納部における前記支持体に載置支持される状態に搬送するという態様で、前記計測用治具を複数の前記計測対象の収納部に順次搬送するべく、前記物品搬送装置の作動を制御する傾き計測制御を実行するように構成されている点にある。
また、計測用治具の搬送に、物品を搬送するために設けられた物品搬送装置を利用することで、計測用治具を搬送するための装置を別途用意する必要がないため、計測時間の短縮を図ることに伴うコストの増加を抑えることができる。
そして、全棚計測制御において計測用治具により計測された支持体の水平方向に対する傾きが許容角度以上傾いているか否が判別部にて判別され、その判別部にて許容角度以上傾いていると判別された支持体が備えられている収納部を特定する情報が、表示装置に表示される。
従って、作業者は、表示装置に表示されている情報を確認することで、複数の収納部のうちの許容角度以上傾いていると判別された支持体が存在する収納部を確認することができる。そのため、作業者は、許容角度以上傾いている支持体を纏めて適正な設置状態に修正することができるので、計測用治具にて許容角度以上傾いている支持体が計測される毎に全棚計測制御を中断して傾いている支持体を適正な設置状態に修正する場合に比べて、支持板の修正を効率よく行える。
つまり、判別部にて許容角度以上傾いていると判別された支持体の傾きを作業者が適正な設置状態に修正した後、制御手段が再計測制御を実行することで、傾いていた支持体が適正な設置状態に修正できているかを確認することができる。また、このように適正な設置状態に修正できているかの確認を、全棚計測制御を実行して確認するのではなく再計測制御を実行して確認することで、計測時間の短縮を図ることができる。
つまり、物品搬送装置により計測用治具が計測対象の収納部に搬送された後、搬送が完了したことを示す情報を物品搬送装置から計測用治具に送信する必要がなく、このように情報を送信する機器を物品搬送装置や計測用治具に備える必要がないため、物品搬送装置や計測用治具の構成の簡素化を図ることができる。
前記計測用治具が、前記複数の支持用部材により適正姿勢で載置支持される被支持部と、当該被支持部に支持されて前記支持体の水平方向に対する傾きを計測する計測部と、を備えていると好適である。
つまり、収納部に搬送された計測用治具は、収納部に収納されている物品と同様に、複数の支持用部材にて載置支持された姿勢となり、このような物品と同様の姿勢で支持体の傾きを計測することで、当該計測用治具にて支持体の傾きを適正に計測し易い。
図1に示すように、物品収納設備には、物品としての容器Wを収納する収納部1を複数備えた物品収納棚2と、容器Wを搬送する物品搬送装置としてのスタッカークレーン3と、物品収納棚2やスタッカークレーン3が設置される設置空間を覆う壁体Kと、壁体Kを貫通する状態で配設されて容器Wを載置搬送する入出庫コンベヤ4と、が備えられている。
板部材8は、矩形状から一部が切り欠かれた形状に形成されており、平面視で角ばったU字状に形成されている。また、板部材8は、その棚前後方向の後端部が物品収納棚2を構成する部材に連結して設置されている。位置決め突起9は、板部材8における切欠きの周縁部の3か所に、板部材8の上面から上方に突出する状態で備えられている。
そして、容器Wが収納部1に収納されている状態では、当該容器Wの凹部10に位置決め突起9が下方から係合した状態となっており、容器Wは、凹部10に係合している3つの位置決め突起9により水平方向への位置ずれが規制され、且つ、凹部10に係合している3つの位置決め突起9にて載置支持されている。
また、容器Wがパージ用の物品収納棚2の収納部1に収納されている状態では、3つの位置決め突起9にて載置支持されるとともに、窒素ガス供給装置6における窒素ガスを吐出する吐出部が給気口に接続される。
尚、本実施形態では、半導体基板を収容するFOUP(Front Opening Unified Pod)を容器Wとしている。また、3つの位置決め突起9の上端の高さが同じ高さとなる状態が、支持体7の適正な設置状態となる。
また、物品搬送設備では、スタッカークレーン3にて容器Wが収納部1から入出庫コンベヤ4の内部移載箇所4bに搬送されると、当該容器Wは、入出庫コンベヤ4にて内部移載箇所4bから外部移載箇所4aに載置搬送された後、天井搬送車B又は作業者にて外部移載箇所4aから降ろされる。
そして、ノンパージ用の物品収納棚2の収納部1に収納されている容器Wに対して窒素ガスの供給が必要になった場合は、当該容器Wを、スタッカークレーン3にてノンパージ用の物品収納棚2の収納部1からパージ用の物品収納棚2の収納部1に搬送される。また、パージ用の物品収納棚2の収納部1に収納されている容器Wに対する窒素ガスの供給が完了して当該収納部1から容器Wを退避させる場合は、当該容器Wを、スタッカークレーン3にてパージ用の物品収納棚2の収納部1からノンパージ用の物品収納棚2の収納部1に搬送される。
このように、スタッカークレーン3は、内部移載箇所4bと収納部1との間及び収納部1同士の間で容器Wを搬送する。
また、移載装置15は、物品保持部15aを縦軸心周りに回転させることで、パージ用の物品収納棚2が位置する側又はノンパージ用の物品収納棚2が位置する側に択一的に突出自在に構成されており、一対の物品収納棚2のいずれの収納部1に対しても各収納部1との間で容器Wを移載できるように構成されている。尚、物品保持部15aの出退方向は棚前後方向と同じ方向である。
図4〜図6に示すように、計測用治具17には、3つの位置決め突起9により適正姿勢で載置支持される被支持部18と、被支持部18が支持体7に載置支持された載置状態を検出する検出部19と、支持体7の傾きを計測する計測部20と、当該計測部20等に電力を供給するバッテリー21と、が備えられている。
着座センサ19aは、対応する係合溝18aに位置決め突起9が係合することで支持体7の板部材8に接触するように設けられている。収納部1の支持体7にて計測用治具17が適正姿勢で支持されている状態では、3つの着座センサ19aの全てが板部材8を検出する。また、位置決め突起9に係合溝18aの周縁部が乗り上げている場合のように、収納部1の支持体7にて計測用治具17が適正姿勢で支持されていない状態では、3つの着座センサ19aの一部又は全てが板部材8を検出しない。
ちなみに、計測用治具17が移載装置15の物品保持部15aにて載置支持されている状態では3つの着座センサ19aが物品保持部15aに接触しないように、3つの着座センサ19aは計測用治具17に備えられている。
計測用制御装置22は、検出部19が被支持部18の載置状態(計測用治具17の着座)を検出してから計測開始用設定時間後に水平器23にて支持体7の傾きを計測し、その水平器23にて計測された計測値を記憶部に記憶するように構成されている。このように、計測部20は、検出部19が被支持部18の載置状態を検出してから計測開始用設定時間後に計測部20にて支持体7の傾きを計測するようになっている。
充電部27は、充電器等が備えられているとともに、計測用治具17から取り外したバッテリー21を収納できるように構成されており、収納したバッテリー21に充電器を接続することでバッテリー21の充電が行えるように構成されている。
調整部28は、計測用治具17を載置支持する載置板28aが備えられている。載置板28aは、床面が傾いている場合でも載置板28aの上面が水平に調整できるように、治具収納棚25の治具収納部26に対して角度調整自在に治具収納部26に支持されている。
複数の収納部1の夫々及び複数の内部移載箇所4bの夫々について、棚横幅方向での位置が定められた走行停止位置が予め設定されている。また、複数の収納部1の夫々及び複数の内部移載箇所4bの夫々について、上下方向での位置が定められた掬い用昇降停止位置(図6参照)と、その掬い用昇降停止位置よりも設定量高い降し用昇降停止位置(図5参照)とが予め設定されている。そして、これら走行停止位置の情報、掬い用昇降停止位置の情報及び降し用昇降停止位置の情報は、制御装置Hに記憶されている。
また、制御装置Hには、判別部hにて許容角度以上傾いていると判別された支持体7が備えられている収納部1(以下、異常と判別された収納部1と称する場合がある)を特定する情報を表示する液晶ディスプレイ等の表示装置Dが接続されている。
掬い用移載処理では、物品保持部15aを突出位置に突出(図6に仮想線で示す状態)させた後、搬送元に対応する降し用昇降停止位置に昇降台14を上昇移動(図5に仮想線で示す状態)させ、その後、物品保持部15aを引退位置に引退(図5に実線で示す状態)させるべく、スタッカークレーン3の作動を制御する。
これら掬い用移動制御と掬い用移載制御とを実行することで、搬送元に位置していた容器Wが物品保持部15a上に移載される。
降し用移載制御では、物品保持部15aを突出位置に突出(図5に仮想線で示す状態)させた後、搬送先に対応する掬い用昇降停止位置に昇降台14を下降移動(図6に仮想線で示す状態)させ、その後、物品保持部15aを引退位置に引退(図6に実線で示す状態)させるべく、スタッカークレーン3の作動を制御する。
これら降し用移動制御と卸し用移載制御とを実行することで、移載装置15の物品保持部15a上に位置していた容器Wが搬送先に移載される。
制御装置Hは、傾き計測制御として、全棚計測制御及び再計測制御を実行する。
全棚計測制御は、複数の収納部1の全て又は複数の収納部1から任意に選択した一部を計測対象の収納部1として、計測対象の収納部1に計測用治具17を順次搬送するべく、スタッカークレーン3の作動を制御する制御である。
また、再計測制御は、異常と判別された収納部1の全て又は異常と判別された収納部1から任意に選択した一部を計測対象の収納部1として、計測対象の収納部1に計測用治具17を順次搬送するべく、スタッカークレーン3の作動を制御する制御である。
全棚計測制御を選択すると、表示装置Dには、複数の収納部1の全てについてのアドレスとともにチェックボックスが表示され、全てのアドレスのチェックボックスにチェックが入っている状態で全棚計測制御を実行する操作を行うことで、複数の収納部1の全てを計測対象の収納部1として全棚計測制御が実行される。ちなみに、複数の収納部1の全てのアドレスのチェックボックスのうちの一部のチェックを外した状態で全棚計測制御を実行する操作を行うことで、複数の収納部1のうちの任意の収納部1を計測対象の収納部1として全棚計測制御が実行される。
また、再計測制御を選択すると、表示装置Dには、異常と判別されている収納部1の全てについてのアドレスとともにチェックボックスが表示され、異常と判別されている収納部1の全てのアドレスのチェックボックスにチェックが入っている状態で再計測制御を実行する操作を行うことで、異常と判別されている収納部1の全てを計測対象の収納部1として再計測制御が実行される。ちなみに、異常と判別されている収納部1の全てのアドレスのチェックボックスのうちの一部のチェックを外した状態で再棚計測制御を実行する操作を行うことで、異常と判別されている収納部1のうちの任意の収納部1を計測対象の収納部1として再計測制御が実行される。
作業者は、全棚計測制御を実行する前に、計測開始用の収納部1の支持体7上に計測用治具17を載せて、このように計測開始用の収納部1の支持体7上に計測用治具17を載せられた状態で全棚計測制御の実行を開始する。また、計測開始用の収納部1の支持体7に計測用治具17を載せることで、当該計測開始用の収納部1における支持体7の傾きが計測される。
この計測用移載処理では、次のようにスタッカークレーン3の作動を制御する。つまり、まず物品保持部15aを引退位置(図5に実線で示す位置)から突出位置(図5に仮想線で示す位置)に突出させ、その後、搬送先に対応する掬い用昇降停止位置(図6に仮想線で示す位置)に昇降台14を下降移動させる。そして、昇降台14が掬い用昇降停止位置で予め設定された移動開始用設定時間だけ待機した後、搬送先に対応する降し用昇降停止位置(図5に仮想線で示す位置)に昇降台14を上昇移動させ、その後、物品保持部15aを引退位置(図5に実線で示す位置)に引退させる。
この再計測制御を実行するときも全棚計測制御と同様に、作業者は、再計測制御を実行する前に、計測開始用の収納部1の支持体7上に計測用治具17を載せておき、このように計測開始用の収納部1の支持体7上に計測用治具17を載せられた状態で再計測制御の実行を開始する。このように計測開始用の収納部1に計測用治具17を載せることで、当該計測開始用の収納部1における支持体7の傾きは計測される。
そして、降し用移動処理と計測用移動処理とを繰り返し実行して、計測用治具17を複数の計測対象の収納部1に順次搬送し、計測対象の収納部1の全てに計測用治具17を搬送した後は、計測開始用の収納部1を搬送先とする降し用移動処理と降し用移載処理を実行する。
つまり、パージ用の物品収納棚2に属する収納部1は、ノンパージ用の物品収納棚2に属する収納部1より計測順位が高く設定されている。また、下段に位置する収納部1ほど計測順位が高く設定されている。また、奇数段の収納部1は左側に位置するほど計測順位が高く、偶数段の収納部1は右側に位置するほど計測順位が高く設定されている。そして、設定順序は、計測順位に基づいて設定されており、計測対象の収納部1のうちから計測順位が高いものから順に設定される。
そのため、例えば、複数の収納部1の全てを計測対象の収納部1とした場合では、図2において矢印で設定順序の一部を図示しているように、設定順序は最下段から上段に向けてつづら折り状に設定される。
(1)上記実施形態では、制御装置Hに判別部hとしての機能を備えたが、計測用制御装置22に判別部hとしての機能を備えてもよい。このように、計測用制御装置22に判別部hとしての機能を備えた場合、計測用治具17と制御装置Hとを通信ケーブルにて接続した状態で、計測情報に加えて判別部hにて判別された情報である判別情報を計測用治具17から制御装置Hに送信するように構成してもよく、また、判別情報のみを計測用治具17から制御装置Hに送信するように構成してもよい。
具体的には、例えば、計測用治具17にブザーやランプ等の報知部とともに判別部hを備え、計測部20にて支持体7の傾きが計測されるに伴って当該計測部20にて計測された支持体7の傾きが許容角度以上傾いているか否かを判別部hにて判別し、判別部hにて支持体7の傾きが許容角度以上傾いていると判別された場合は、許容角度以上傾いている支持体7が存在したことを報知部にて報知するように構成してもよい。
また、傾き計測制御を行うときに予め計測用治具17を移動させておく個所を、入出庫部(内部移載箇所4b)や移載装置15の物品保持部15a上としてもよい。ちなみに、入出庫部とした場合は、傾き計測制御を実行するときの最初の搬送元を入出庫部とし、移載装置15の物品保持部15a上とした場合は、傾き計測制御を実行するときの最初の掬い用移動処理と掬い用移載制御とを実行しないようにする。
つまり、計測用治具17に、計測完了を示す情報を送信する送信部を備え、スタッカークレーン3の昇降台14又は移載装置15に、送信部からの情報を受信する受信部を備えて、計測用治具17が、支持体7の傾きの計測が完了するに伴って計測完了を示す情報を送信部から送信するように構成し、制御装置Hが、傾き計測制御において、計測用治具17を計測対象の収納部1における支持体7に載置支持した後、受信部が計測完了を示す情報を受信した直後又は受信してから予め設定した時間が経過した後に、計測用治具17の次の計測対象の収納部1への搬送を開始するようにしてもよい。
つまり、スタッカークレーン3の昇降台14又は移載装置15に、搬送完了を示す情報を送信する送信部を備え、計測用治具17に、送信部からの情報を受信する受信部を備えて、スタッカークレーン3が計測用治具17の搬送が完了した後に、搬送完了を示す情報をスタッカークレーン3の送信部から計測用治具17の受信部に送信し、計測用治具17は、受信部が搬送完了を示す情報を受信した直後又は受信してから予め設定した時間が経過した後に、計測部20が支持体7の傾きを計測するように構成してもよい。
また、支持体7が、物品を支持する形態は適宜変更してもよく、例えば、支持体7を板状の部材にて構成して、物品の下面全体を載置支持する状態で物品を収納するように構成してもよい。
また、物品を、FOUPとしたが、物品を、コンテナやカートンケース等の他の物品でもよい。
2 物品収納棚
3 スタッカークレーン(物品搬送装置)
4b 内部移載箇所(入出庫部)
7 支持体
9 位置決め突起(支持用部材)
17 計測用治具
18 被支持部
19 検出部
20 計測部
D 表示装置
H 制御装置
h 判別部
W 容器(物品)
また、計測用治具の搬送に、物品を搬送するために設けられた物品搬送装置を利用することで、計測用治具を搬送するための装置を別途用意する必要がないため、計測時間の短縮を図ることに伴うコストの増加を抑えることができる。
そして、全棚計測制御において計測用治具により計測された支持体の水平方向に対する傾きが許容角度以上傾いているか否が判別部にて判別され、その判別部にて許容角度以上傾いていると判別された支持体が備えられている収納部を特定する情報が、表示装置に表示される。
従って、作業者は、表示装置に表示されている情報を確認することで、複数の収納部のうちの許容角度以上傾いていると判別された支持体が存在する収納部を確認することができる。そのため、作業者は、許容角度以上傾いている支持体を纏めて適正な設置状態に修正することができるので、計測用治具にて許容角度以上傾いている支持体が計測される毎に全棚計測制御を中断して傾いている支持体を適正な設置状態に修正する場合に比べて、支持体の修正を効率よく行える。
また、物品搬送設備では、スタッカークレーン3にて容器Wが収納部1から入出庫コンベヤ4の内部移載箇所4bに搬送されると、当該容器Wは、入出庫コンベヤ4にて内部移載箇所4bから外部移載箇所4aに載置搬送された後、天井搬送車B又は作業者にて外部移載箇所4aから降ろされる。
そして、ノンパージ用の物品収納棚2の収納部1に収納されている容器Wに対して窒素ガスの供給が必要になった場合は、当該容器Wは、スタッカークレーン3にてノンパージ用の物品収納棚2の収納部1からパージ用の物品収納棚2の収納部1に搬送される。また、パージ用の物品収納棚2の収納部1に収納されている容器Wに対する窒素ガスの供給が完了して当該収納部1から容器Wを退避させる場合は、当該容器Wは、スタッカークレーン3にてパージ用の物品収納棚2の収納部1からノンパージ用の物品収納棚2の収納部1に搬送される。
このように、スタッカークレーン3は、内部移載箇所4bと収納部1との間及び収納部1同士の間で容器Wを搬送する。
降し用移載制御では、物品保持部15aを突出位置に突出(図5に仮想線で示す状態)させた後、搬送先に対応する掬い用昇降停止位置に昇降台14を下降移動(図6に仮想線で示す状態)させ、その後、物品保持部15aを引退位置に引退(図6に実線で示す状態)させるべく、スタッカークレーン3の作動を制御する。
これら降し用移動制御と降し用移載制御とを実行することで、移載装置15の物品保持部15a上に位置していた容器Wが搬送先に移載される。
そして、降し用移動処理と計測用移載処理とを繰り返し実行して、計測用治具17を複数の計測対象の収納部1に順次搬送し、計測対象の収納部1の全てに計測用治具17を搬送した後は、計測開始用の収納部1を搬送先とする降し用移動処理と降し用移載処理を実行する。
また、傾き計測制御を行うときに予め計測用治具17を移動させておく個所を、入出庫部(内部移載箇所4b)や移載装置15の物品保持部15a上としてもよい。ちなみに、入出庫部とした場合は、傾き計測制御を実行するときの最初の搬送元を入出庫部とし、移載装置15の物品保持部15a上とした場合は、傾き計測制御を実行するときの最初の掬い用移動処理と掬い用移載処理とを実行しないようにする。
Claims (6)
- 物品を収納する収納部を上下方向及び棚横幅方向に並ぶ状態で複数備えた物品収納棚と、前記収納部に物品を搬送する物品搬送装置と、前記物品搬送装置の作動を制御する制御装置と、を備え、
前記複数の収納部の夫々が、収納した物品を載置支持する支持体を備え、
前記制御装置が、入出庫部と前記収納部との間で物品を搬送するべく前記物品搬送装置の作動を制御する物品搬送制御を実行するように構成されている物品収納設備であって、
前記支持体に載置支持された状態で当該支持体の水平方向に対する傾きを計測する計測用治具が備えられ、
前記制御装置が、前記複数の収納部の全て又は一部を計測対象の収納部として、前記計測用治具を前記計測対象の収納部における前記支持体に載置支持される状態に搬送した後、当該計測用治具を予め設定した設定順序で次に設定されている前記計測対象の収納部における前記支持体に載置支持される状態に搬送するという態様で、前記計測用治具を複数の前記計測対象の収納部に順次搬送するべく、前記物品搬送装置の作動を制御する傾き計測制御を実行するように構成されている物品収納設備。 - 前記制御装置が、前記傾き計測制御として、前記複数の収納部の全てを前記計測対象の収納部として、前記計測対象の収納部に前記計測用治具を順次搬送する全棚計測制御を実行し、
前記全棚計測制御において前記計測用治具により計測された前記支持体の水平方向に対する傾きが許容角度以上傾いているか否かを判別する判別部と、
前記判別部にて前記許容角度以上傾いていると判別された前記支持体が備えられている前記収納部を特定する情報を表示する表示装置が備えられている請求項1記載の物品収納設備。 - 前記制御装置が、前記傾き計測制御として、前記全棚計測制御に加えて、前記判別部により前記許容角度以上傾いていると判別された前記支持体が備えられている前記収納部のみを前記計測対象の収納部として、前記計測対象の収納部に前記計測用治具を順次搬送する再計測制御を実行する請求項2記載の物品収納設備。
- 前記制御装置が、
前記傾き計測制御において、前記計測用治具を前記計測対象の収納部における前記支持体に載置支持した後、予め設定された移動開始用設定時間後に、前記計測用治具の次の前記計測対象の収納部への搬送を開始するべく、前記物品搬送装置の作動を制御する請求項1〜3のいずれか1項に記載の物品収納設備。 - 前記計測用治具が、当該計測用治具が前記支持体に適正姿勢で載置支持された載置状態を検出する検出部と、前記検出部が前記載置状態を検出してから計測開始用設定時間後に前記支持体の水平方向に対する傾きを計測する計測部と、を備え、
前記計測開始用設定時間が、前記移動開始用設定時間より短い時間に設定されている請求項4記載の物品収納設備。 - 前記支持体が、適正姿勢で物品を載置支持する複数の支持用部材を備え、
前記計測用治具が、前記複数の支持用部材により適正姿勢で載置支持される被支持部と、当該被支持部に支持されて前記支持体の水平方向に対する傾きを計測する計測部と、を備えている請求項1〜5のいずれか1項に記載の物品収納設備。
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