TWI654125B - 物品收納設備 - Google Patents

物品收納設備

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TWI654125B TW104136327A TW104136327A TWI654125B TW I654125 B TWI654125 B TW I654125B TW 104136327 A TW104136327 A TW 104136327A TW 104136327 A TW104136327 A TW 104136327A TW I654125 B TWI654125 B TW I654125B
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日商大福股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種物品收納設備，其具備在被載置支撐於支撐體的狀態下測量該支撐體之傾斜的測量用治具。控制物品搬送裝置之作動的控制裝置會執行傾斜測量控制，該傾斜測量控制是將複數個收納部之全部或一部分作為測量對象之收納部，並控制物品搬送裝置之作動而將測量用治具依序搬送到複數個測量對象之收納部。

Description

物品收納設備 發明領域
本發明是有關於一種物品收納設備，其具備物品收納架、物品搬送裝置與控制裝置，該物品收納架是以將複數個收納物品之收納部於上下方向及收納架寬度方向上排列的狀態配備，該物品搬送裝置是將物品搬送到前述收納部，該控制裝置是控制前述物品搬送裝置的作動，且前述複數個收納部各自具備載置支撐物品的支撐體，並將前述控制裝置構成為執行物品搬送控制，該物品搬送控制是控制用以在物品支撐部與前述收納部之間搬送物品之前述物品搬送裝置的作動。
發明背景
如上所述之物品收納設備之一例，已記載於日本專利特開2013-133193號公報(專利文獻1)中。此種物品收納設備中，雖然將物品以被載置支撐在支撐體上的狀態收納於收納部中，但當支撐體相對於水平方向傾斜時，被載置支撐於該支撐體上之物品也會相對於水平方向傾斜，因此會使收納於收納部中的物品變得容易從支撐體上掉落。又， 因為支撐體傾斜，而造成支撐體的位置於上下偏移，所以恐有在藉由物品搬送裝置將物品收納於收納部中時及將物品從收納部中取出時，物品會干涉到支撐體之虞。又，物品為收納半導體基板的FOUP，且在使其載置支撐於收納部之支撐體上時，構成為藉由物品的荷重將惰性氣體供給裝置的噴出部連接到物品，在該情況下，會因為物品相對於水平方向傾斜，而有使物品的重心偏移，並使噴出部變得未被適當地連接到物品上之虞。因此，當支撐體產生傾斜時，必須將該傾斜之支撐體修正到適當的設置狀態。
於是，以往在將物品收納架重新設置的情況等中，作業者會使用水平器測量支撐體的傾斜，並在所測量之支撐體的傾斜相較於恰當的設置狀態傾斜到容許角度以上時，將該傾斜的支撐體修正成形成恰當的設置狀態。
發明概要
但是，在物品收納架中，因收納部是以於上下方向及收納架寬度方向上排列的狀態而設置有複數個，因此作業者以上述的形式使用測量器測量支撐體的傾斜時，除了要於梯子中升降來測量於上下方向上排列之複數個收納部中的支撐體的傾斜外，還要使該梯子於收納架寬度方向上移動以測量於收納架寬度方向上排列之收納部中的支撐體的傾斜。像這樣，在測量複數個收納部中所具備之支撐體的傾斜時，因作業者必須於梯子中升降及使該梯子於收 納架寬度方向上移動，因此在測量複數個收納部中的支撐體的傾斜上會花費較多的時間。
於是，所期望的是謀求用於測量物品收納架中所具備之複數個收納部中的支撐體的傾斜的測量時間的縮短。又，在像這樣謀求測量時間之縮短的情況中，所期望的是抑制成本的增加並且謀求測量時間的縮短。
因此，要尋求一種既可以謀求測量時間之縮短，又可抑制伴隨其而來的成本的增加的物品收納設備。
鑒於上述之物品收納設備之特徵構成會存在有以下特點：具備將收納物品之收納部以排列於上下方向及收納架寬度方向的狀態設置複數個的物品收納架、將物品搬送到前述收納部的物品搬送裝置、以及控制前述物品搬送裝置的作動之控制裝置，前述複數個收納部各自具備載置支撐物品的支撐體，且將前述控制裝置構成為執行物品搬送控制，該物品搬送控制是控制用以在物品支撐部與前述收納部之間搬送物品的前述物品搬送裝置的作動， 其還具備以被載置支撐於前述支撐體之狀態測量該支撐體相對於水平方向的傾斜的測量用治具，且將前述控制裝置構成為執行傾斜測量控制，該傾斜測量控制是將前述複數個收納部的全部或一部分作為測量對象的收納部，並控制前述物品搬送裝置之作動以下列態樣將前述測量用治具依序搬送到複數個前述測量對象的收納部，該態樣是搬送前述測量用治具以成為被載置支撐於前述測量對象之收 納部中的前述支撐體上的狀態，然後搬送該測量用治具以成為被載置支撐於在預先設定之設定順序中設定為下一個之前述測量對象的收納部中的前述支撐體上的狀態。
根據此特徵構成，藉由使控制裝置執行傾斜測量控制，可將測量用治具透過物品搬送裝置依序搬送到複數個測量對象的收納部。並且，被搬送到測量對象之收納部的測量用治具，因為是以形成為受到支撐體載置支撐的狀態之形式被搬送，故在其被依序搬送之檢測對象的各收納部中，可以用測量用治具測量支撐體相對於水平方向的傾斜。作業者可以根據測量用治具的測量結果，將傾斜的支撐體修正成恰當的設置狀態。
像這樣，藉由以物品搬送裝置搬送測量用治具以測量複數個測量對象之收納部中的支撐體的傾斜，與作業者一邊於梯子中升降及使該梯子於收納架橫向方向上移動一邊測量的情形相比較，可以謀求測量時間的縮短。
又，在測量用治具的搬送時，利用為了搬送物品而設置之物品搬送裝置，便不需要另外準備用於搬送測量用治具的裝置，因此可以謀求測量時間的縮短還能抑制成本的增加。
1‧‧‧收納部
2‧‧‧物品收納架
3‧‧‧堆高式起重機
4‧‧‧入出庫輸送帶
4a‧‧‧外部移載處
4b‧‧‧內部移載處
6‧‧‧氮氣供給裝置
7‧‧‧支撐體
8‧‧‧板構件
9‧‧‧定位突起
10‧‧‧凹部
12‧‧‧行走台車
13‧‧‧桅桿
14‧‧‧升降台
15‧‧‧移載裝置
15a‧‧‧物品保持部
17‧‧‧測量用治具
18‧‧‧被支撐部
18a‧‧‧卡合槽
19‧‧‧檢測部
19a‧‧‧就位檢測器
20‧‧‧測量部
21‧‧‧電池
22‧‧‧測量用控制裝置
23‧‧‧水平器
25‧‧‧治具收納架
26‧‧‧治具收納部
27‧‧‧充電部
28‧‧‧調整部
28a‧‧‧載置板
29‧‧‧操作裝置
B‧‧‧天花板搬送車
D‧‧‧顯示裝置
H‧‧‧控制裝置
h‧‧‧判別部
W‧‧‧容器
圖1是物品收納設備的側面圖。
圖2是顯示物品收納架之一部分的正面圖。
圖3是顯示支撐容器之狀態的支撐體的平面圖。
圖4是顯示支撐測量用治具之狀態的支撐體的平面 圖。
圖5是顯示使升降台位於下降用升降停止位置的狀態之側面圖。
圖6是顯示使升降台位於拾取用升降停止位置的狀態之側面圖。
圖7為控制方塊圖。
圖8為全收納架測量控制的流程圖。
圖9為治具收納架之正面圖。
用以實施發明之形態
以下根據圖式來說明物品收納設備之實施形態。
如圖1所示，在物品收納設備中具備有：物品收納架2，具備複數個收納作為物品之容器W的收納部1；堆高式起重機3，作為搬送容器W之物品搬送裝置；壁體K，將設置物品收納架2與堆高式起重機3之設置空間包覆；以及入出庫輸送帶4，以貫穿壁體K的狀態配置以載置搬送容器W。
如圖1所示，物品收納架2是以相向的狀態而設置有一對。如圖1及圖2所示，在一對物品收納架2之一邊(圖1之右側的物品收納架2)具備有用於將作為惰性氣體的氮氣供給到收納於收納部1中之容器W的氮氣供給裝置6，該一邊的物品收納架2是作為沖洗用的物品收納架2而被構成。又，如圖1所示，在一對物品收納架2之另一邊的物品收納架2(圖1之左側的物品收納架2)上不具備有氮氣供給裝置6， 該另一邊的物品收納架2是作為非沖洗用的物品收納架2而被構成。
如圖1及圖2所示，一對物品收納架2各自將收納部1以排列於上下方向及收納架寬度方向上的狀態設置有複數個。並且，如圖3所示，複數個收納部1各自具備有載置支撐所收納之容器W的支撐體7。再者，所謂複數個收納部1，是指包含於一對物品收納架2中之所有的收納部1。
如圖3所示，支撐體7具備有板狀的板構件8與3個定位突起9。再者，定位突起9相當於以預先設定之恰當姿勢載置支撐容器W的複數個支撐用構件。
板構件8是形成為從矩形切掉一部分後的形狀，在平面視角下是形成為多角的U字形。又，板構件8是將其收納架前後方向之後端部連結於構成物品收納架2之構件上而被設置。定位突起9是在板構件8中之缺口的周緣部的3個地方，以從板構件8的上表面往上方突出的狀態被配備。
如圖3所示，容器W的底面具備有朝上方凹入之3個凹部10、用於以氮氣供給裝置6將氮氣注入到容器W內之供氣口(圖未示)、及用於將容器W內之氣體排出的排氣口(圖未示)。
並且，在容器W被收納於收納部1的狀態下，會形成定位突起9從下方卡合於該容器W之凹部10的狀態，容器W是藉由卡合於凹部10中的3個定位突起9而使往水平方向的位置偏移受到限制，且透過卡合於凹部10中的3個定位突起9而受到載置支撐。
又，將容器W收納於沖洗用之物品收納架2的收納部1的狀態，是使容器W受到3個定位突起9載置支撐，並且將氮氣供給裝置6中的噴出氮氣的噴出部連接到供氣口。
再者，在本實施形態中，收容半導體基板之FOUP(Front Opening Unified Pod)是形成為容器W。又，是將使3個定位突起9之上端的高度為相同高度的狀態形成為支撐體7之恰當的設置狀態。
如圖1所示，入出庫輸送帶4是構成為，在位於壁體K的外側之外部移載處4a與位於壁體K的內側之內部移載處4b之間，載置搬送容器W。並形成為使天花板搬送車B對設置於較高位置之入出庫輸送帶4的外部移載處4a進行容器W的卸載，且使作業者對設置於較低位置之入出庫輸送帶4的外部移載處4a進行容器W的卸載。
在物品收納設備中，當將容器W裝載到入出庫輸送帶4的外部移載處4a時，該容器W會被入出庫輸送帶4從外部移載處4a載置搬送到內部移載處4b，之後，會被堆高式起重機3從內部移載處4b搬送到收納部1。
又，在物品收納設備中，當以堆高式起重機3將容器W從收納部1搬送到入出庫輸送帶4的內部移載處4b時，該容器W會被入出庫輸送帶4從內部移載處4b載置搬送到外部移載處4a，之後，會被天花板搬送車B或作業者從外部移載處4a卸下。
並且，當必須對被收納於非沖洗用之物品收納架2的收納部1中的容器W供給氮氣時，會藉由堆高式起重機3將該 容器W從非沖洗用之物品收納架2的收納部1搬送到沖洗用之物品收納架2的收納部1。又，當對被收納於沖洗用之物品收納架2的收納部1中的容器W的氮氣供給結束，而使容器W從該收納部1退避時，是藉由堆高式起重機3將該容器W從沖洗用之物品收納架2的收納部1搬送到非沖洗用之物品收納架2的收納部1。
像這樣，堆高式起重機3會在內部移載處4b與收納部1之間以及收納部1彼此之間搬送容器W。在本實施形態中，內部移載處4b相當於「物品支撐部」。在本實施形態中，物品支撐部是作為入出庫部而發揮功能。
如圖1所示，堆高式起重機3具備有：行走台車12，沿著收納架寬度方向於形成於一對物品收納架2之間的行走路徑行走移動；升降台14，沿著直立設置於該行走台車12上的桅桿13而升降移動；及移載裝置15，受升降台14支撐而在收納部1與入出庫輸送帶4之內部移載處4b與其本身之間移載容器W。
移載裝置15中具備有載置支撐容器W之物品保持部15a，並在使其後退到升降台14側的後退位置(圖5及圖6中以實線所示之位置)、與使其相對於升降台14朝收納架前後方向突出的突出位置(圖5及圖6中以虛擬線表示之位置)上進退移動自如。
又，移載裝置15是構成為，使物品保持部15a繞著縱軸心旋轉，藉此讓物品保持部15a擇一地在沖洗用之物品收納架2所在之側或非沖洗用之物品收納架2所在之側突出自如， 並構成為對於一對物品收納架2之任一個收納部1，均可在與各收納部1之間移載容器W。再者，物品保持部15a的進退方向與收納架前後方向相同。
在物品收納設備中，具備有測量用治具17，其是在受到支撐體7載置支撐的狀態下，測量該支撐體7之相對於水平方向的傾斜。
如圖4~圖6所示，測量用治具17中具備有：被支撐部18，被3個定位突起9以恰當姿勢載置支撐；檢測部19，檢測被支撐部18受支撐體7載置支撐的載置狀態；測量部20，測量支撐體7之傾斜；及電池21，供給電力給該測量部20等。檢測部19會檢測測量用治具17之相對於支撐體7的載置狀態。又，測量部20受到被支撐部18所支撐。
被支撐部18中，形成有一凹入於上方的卡合溝18a，且卡合溝18a在被支撐部18中形成有3處，以供3個定位突起9各別卡合。檢測部19是藉由3處卡合溝18a之各自附近所具備的3個就位感測器19a而被構成。
就位感測器19a是設置成藉由將定位突起9卡合於相對應之卡合溝18a而可接觸於支撐體7之板構件8。在測量用治具17以恰當姿勢被收納部1之支撐體7支撐的狀態下，3個就位感測器19a全部都可檢測出板構件8。又，在像是卡合溝18a之周緣部逾越到定位突起9上之情況，而使測量用治具17未被收納部1之支撐體7以恰當姿勢支撐的狀態下，會使3個就位感測器19a的一部份或全部未檢測出板構件8。
檢測部19，是藉由形成使3個就位感測器19a的全 部都檢測出板構件8的狀態，來檢測被支撐部18以恰當姿勢受到支撐體7載置支撐而測量用治具17已就位於支撐體7上之情形。
順帶一提，在測量用治具17受到移載裝置15之物品保持部15a載置支撐的狀態下，是以3個就位感測器19a不接觸到物品保持部15a的形式，將3個就位感測器19a配備在測量用治具17中。
測量部20具備有具備了儲存部之測量用控制裝置22、與測量支撐體7之傾斜之水平器23。
測量用控制裝置22是構成為從檢測部19檢測出被支撐部18之載置狀態(測量用治具17的就位)開始到測量開始用設定時間經過後，以水平器23測量支撐體7的傾斜，並將用該水平器23所測量之測量值儲存於儲存部。像這樣，形成為從測量部20在檢測部19檢測出被支撐部18之載置狀態開始到測量開始用設定時間經過後，以測量部20測量支撐體7的傾斜。亦即，測量部20所作的測量是從藉由檢測部19檢測出測量用治具17為以預先設定好的恰當姿勢受到支撐體7載置支撐的狀態開始，到測量開始用設定時間經過後進行。
測量用治具17通常被收納於圖9所示之治具收納架25中，並因應需要而從治具收納架25中被取出使用。使用測量用治具17時，是由作業者從治具收納架25中取出，以移動到複數個收納部1中之被預先設定的測量開始用的收納部1中。順帶一提，在複數個收納部1中，是將面對沖 洗用之物品收納架2而位於沖洗用之物品收納架2中的最左下方的收納部1設定作為測量開始用的收納部1。
治具收納架25中具備有治具收納部26、充電部27與調整部28。治具收納部26是構成為可以收納不使用的測量用治具17。
充電部27是構成為除了具備有充電器等之外，還可收納從測量用治具17取下的電池21，並構成為藉由將充電器連接至已收納的電池21以進行電池21的充電。
調整部28具備有載置支撐測量用治具17的載置板28a。載置板28a是以相對於治具收納架25的治具收納部26角度調整自如的方式被支撐在治具收納部26上，以便在即使地面傾斜的情況下也可以將載置板28a的上表面調整成水平。
並且，測量用治具17是構成為可使用圖外的通訊電纜來連接到控制裝置H，而形成為在以通訊電纜連接測量用治具17與控制裝置H的狀態下，可以將藉由測量部20所測量到之測量值等測量資訊傳送到控制裝置H。
其次，說明控制堆高式起重機3的作動的控制裝置H。
針對複數個收納部1的各個以及複數個內部移載處4b的各個，會預先設定已將在收納架寬度方向上之位置規定好的行走停止位置。又，針對複數個收納部1的各個以及複數個內部移載處4b的各個，會預先設定已將在上下方向上的位置規定好之拾取用升降停止位置(參照圖6)與比該拾取 用升降停止位置設定量還要高的卸下用升降停止位置(參照圖5)。並且，這些行走停止位置之資訊、拾取用升降停止位置之資訊及卸下用升降停止位置的資訊，都被儲存於控制裝置H中。
如圖6所示，在升降台14位於拾取用升降停止位置之高度的狀態下，會使物品保持部15a之載置支撐容器W的載置面，位於比支撐體7的上表面還下方，並如圖5所示，在升降台14位於卸下用升降停止位置之高度的狀態下，會使物品保持部15a之載置面的高度位於比支撐體7的上表面還上方。
控制裝置H是構成為執行物品搬送控制與傾斜測量控制，該物品搬送控制是控制用以將容器W從搬送起點(收納部1或內部移載處4b)搬送到搬送目的地(收納部1或內部移載處4b)的堆高式起重機3的作動，該傾斜測量控制是控制用以將複數個收納部1的全部或一部分作為測量對象之收納部1，而將測量用治具17依序搬送到複數個測量對象之收納部1的堆高式起重機3的作動。
並且，控制裝置H具備有作為判別部h的功能，該判別部h是判別在傾斜測量控制中以測量用治具17所測量之支撐體7的傾斜是否傾斜到容許角度以上。此判別部h是以程式的形式被配備在控制裝置H中。
又，控制裝置H連接有液晶顯示器等之顯示裝置D，該顯示裝置D會顯示特定下列收納部1之資訊：具備有經判別部h判別為傾斜到容許角度以上之支撐體7的收納部1(以下 有時稱為判別為異常之收納部1)。
當從上位的管理機構(圖未示)下達搬送指令時，控制裝置H即執行物品搬送控制。在此物品搬送控制中，是依拾取用移動處理、拾取用移載處理、卸下用移動處理、卸下用移載處理的順序執行。
在拾取用移動控制中，是控制用以使行走台車12行走到與搬送起點對應之行走停止位置，且使升降台14升降到與搬送起點對應之拾取用升降停止位置的堆高式起重機3的作動。
在拾取用移載處理中，是控制用以進行以下動作之堆高式起重機3的作動：使物品保持部15a朝突出位置突出(圖6中以虛擬線表示的狀態)後，使升降台14上升移動到與搬送起點對應之卸下用升降停止位置(圖5中以虛擬線表示的狀態)，之後，使物品保持部15a後退(圖5中以實線表示之狀態)到後退位置。
藉由執行這些拾取用移動控制與拾取用移載控制，可將位於搬送起點之容器W被移載到物品保持部15a上。
如圖5所示，在卸下用移動控制中，是控制用以進行以下動作的堆高式起重機3的作動：使行走台車12行走到與搬送起點對應之行走停止位置，且使升降台14升降移動到與搬送起點對應之卸下用升降停止位置。
在卸下用移載處理中，是控制用以進行以下動作之堆高式起重機3的作動：使物品保持部15a朝突出位置突出(圖5中以虛擬線表示的狀態)後，使升降台14下降移動到與搬 送起點對應之拾取用升降停止位置(圖6中以虛擬線表示的狀態)，之後，使物品保持部15a後退(圖6中以實線表示之狀態)到後退位置。
藉由執行這些卸下用移動控制與卸下用移載控制，可將位於移載裝置15之物品保持部15a上的容器W移載到搬送目的地。
控制裝置H除了上述之物品搬送控制之外，還執行傾斜測量控制。在傾斜測量控制中，是控制用以進行以下動作之堆高式起重機3的作動：將複數個收納部1之全部或一部分作為測量對象的收納部1，在將測量用治具17搬送成形成為被載置支撐於測量對象之收納部1中的支撐體7上的狀態後，將該測量用治具17搬送成形成為被載置支撐於以預先設定之設定順序而接著所設定之測量對象之收納部1中的支撐體7上的狀態，以將測量用治具17依序搬送到複數個測量對象之收納部1。
其次，說明控制裝置H執行之傾斜測量控制。
控制裝置H會執行全收納架測量控制及再測量控制，以作為傾斜測量控制。
全收納架測量控制是控制下列堆高式起重機3的作動之控制，該堆高式起重機3的作動為用以將複數個收納部1之全部或從複數個收納部1中任意選擇之一部分，作為測量對象之收納部1，將測量用治具17依序搬送到測量對象之收納部1。藉由執行全收納架測量控制，可將測量用治具17依序搬送到測量對象之收納部1的全部。
又，再測量控制是控制下列堆高式起重機3的作動之控制，該堆高式起重機3的作動為用以將判別為異常之收納部1之全部或從判別為異常之收納部1中任意選擇之一部分，作為測量對象之收納部1，將測量用治具17依序搬送到測量對象之收納部1。
進一步說明，則在執行傾斜測量控制時，因為在顯示裝置D上會顯示選擇全收納架測量控制或再測量控制之任一方的畫面，故使用鍵盤或滑鼠等操作裝置29來選擇全收納架測量控制或再測量控制。
選擇全收納架測量控制時，顯示裝置D上會將複數個收納部1之全部的位址與核取方塊一起顯示，並藉由在所有位址之核取方塊均為核取的狀態下進行執行全收納架測量控制的操作，可將複數個收納部1之全部作為測量對象之收納部1來執行全收納架測量控制。順帶一提，藉由在複數個收納部1之全部的位址之核取方塊之中有一部分為未核取的狀態下進行執行全收納架測量控制的操作，可將複數個收納部1中之任意的收納部1作為測量對象之收納部1來執行全收納架測量控制。
又，選擇再測量控制時，會將判別為異常之收納部1之全部的位址與核取方塊一起顯示在顯示裝置D上，藉由在判別為異常之收納部1之全部的位址的核取方塊都為核取的狀態下，進行執行再測量控制的操作，可將判別為異常之收納部1之全部作為測量對象之收納部1來執行再測量控制。順帶一提，藉由在判別為異常之收納部1之全部位址的核取 方塊中有一部分為未核取的狀態下進行執行再測量控制的操作，可將判別為異常之收納部1中之任意的收納部1作為測量對象之收納部1來執行再測量控制。
其次說明全收納架測量控制。
作業者在執行全收納架測量控制前，會在測量開始用之收納部1的支撐體7上裝載測量用治具17，而以像這樣將測量用治具17裝載在測量開始用之收納部1之支撐體7的狀態，開始全收納架測量控制的執行。又，可藉由在測量開始用之收納部1的支撐體7上裝載測量用治具17，以測量該測量開始用之收納部1的支撐體7的傾斜。
如圖8之流程圖所示，在全收納架測量控制中，首先會執行將測量開始用之收納部1作為搬送起點的拾取用移動處理與拾取用移載處理。藉由像這樣執行拾取用移動控制與拾取用移載控制，可將已位於測量開始用之收納部1的測量用治具17移載到物品保持部15a上。
其次，將下一個測量對象之收納部1作為搬送目的地，以執行卸下用移動處理與測量用移載處理。
在此測量用移載處理中，會如以下所述地控制堆高式起重機3的作動。亦即，首先使物品保持部15a從後退位置(圖5中以實線表示的位置)朝突出位置(圖5中以虛擬線表示的位置)突出，之後，使升降台14下降移動到與搬送目的地相對應之拾取用升降停止位置(圖6中以虛擬線表示之位置)。然後，於升降台14在拾取用升降停止位置上以相當於預先設定之移動開始用設定時間待機後，使升降台14上升移動 到與搬送目的地相對應之卸下用升降停止位置(圖5中以虛擬線表示的位置)，之後，使物品保持部15a後退到後退位置(圖5中以實線表示之位置)。
移動開始用設定時間會設定為比測量開始用設定時間長。因此，在全收納架測量控制中，是在已將測量用治具17載置支撐於測量對象之收納部1中的支撐體7上後，於預先設定之移動開始用設定時間之經過後，開始進行測量用治具17往下一個測量對象的收納部1之搬送，藉此，在升降台14於拾取用升降停止位置上在移動開始用設定時間之期間待機的期間，形成為經過測量開始用設定時間而以測量用治具17測量支撐體7的傾斜。
並且，重複執行卸下用移動處理與測量用移載處理，而將測量用治具17依序搬送到複數個測量對象的收納部1，且對測量對象之收納部1的全部都搬送過測量用治具17之後，執行將測量開始用的收納部1作為搬送目的地的卸下用移動處理與卸下用移載處理。
以控制裝置H進行之全收納架測量控制結束時，作業者會使測量用治具17從測量開始用之收納部1移動到治具收納架25之調整部28，並以通訊電纜連接測量用治具17與控制裝置H，將以測量部20所測量到之測量資訊傳送到控制裝置H。控制裝置H會根據設定順序之資訊與來自測量用治具17之測量資訊，針對各檢測對象的收納部1，判別支撐體7的傾斜是否傾斜到容許角度以上。
其次說明再測量控制。
執行此再測量控制時也和全收納架測量控制一樣，作業者在執行再測量控制之前，會在測量開始用之收納部1的支撐體7上裝載測量用治具17，而以像這樣將測量用治具17裝載在測量開始用之收納部1的支撐體7狀態，開始再測量控制的執行。藉由像這樣將測量用治具17裝載在測量開始用之收納部1上，即可測量該測量開始用之收納部1中的支撐體7的傾斜。
再測量控制中，首先執行將測量開始用之收納部1作為搬送起點的拾取用移動處理與拾取用移載處理。藉由像這樣執行拾取用移動控制與拾取用移載控制，可將已位於測量開始用之收納部1的測量用治具17移載到物品保持部15a上。
並且，重複執行卸下用移動處理與測量用移載處理，而將測量用治具17依序搬送到複數個測量對象的收納部1，且對測量對象之收納部1的全部都搬送過測量用治具17之後，執行將測量開始用的收納部1作為搬送目的地的卸下用移動處理與卸下用移載處理。
以控制裝置H進行之再測量控制結束時，作業者會使測量用治具17從測量開始用之收納部1移動到治具收納架25之調整部28，並以通訊電纜連接測量用治具17與控制裝置H，將以測量部20所測量到之測量資訊傳送到控制裝置H。
控制裝置H會根據判別為異常之收納部1的資訊、設定順序之資訊、與來自測量用治具17之測量資訊，針對各檢 測對象的收納部1，判別支撐體7的傾斜是否傾斜到容許角度以上。
順便一提，設定順序是以如下的方式設定。
亦即，測量順位是將屬於沖洗用之物品收納架2的收納部1設定得比屬於非沖洗用之物品收納架2的收納部1還高。又，越是位於下層之收納部1測量順位設定得越高。又，奇數層之收納部1設定成越位於左側測量順位越高，偶數層之收納部1設定成越位於右側測量順位越高。並且，設定順序是根據測量順位來設定，且是從測量對象之收納部1之中由測量順位高者依照順序進行設定。
因此，例如在將複數個收納部1的全部作為測量對象之收納部1時，是如圖2中以箭頭符號圖示設定順序之一部分的方式，設定順序是從最下層以曲折狀的形式朝向上層來進行設定。
像這樣，可藉由控制裝置H執行傾斜測量控制，而以堆高式起重機3將測量用治具17依序搬送到複數個測量對象之收納部1，並可在其被順序搬送之檢測對象的各個收納部1中，用測量用治具17來測量支撐體7的傾斜。因此，與作業者使用測量器一個一個測量支撐體7的情形相比較，可以謀求測量支撐體7之傾斜的測量時間的縮短。
[其他實施形態]
(1)在上述實施形態中，控制裝置H中雖然具備有作為判別部h的功能，也可在測量用控制裝置22中具備有作為判別部h的功能。像這樣，構成為在測量用控制裝置22中具備有 作為判別部h的功能時，在以通訊電纜連接測量用治具17與控制裝置H的狀態下，除了測量資訊之外還將以判別部h所判別之資訊(即判別資訊)也從測量用治具17傳送到控制裝置H亦可，又，構成為僅將判別資訊從測量用治具17傳送到控制裝置H亦可。
(2)在上述實施形態中，雖具備有顯示裝置D，但也可以具備蜂鳴器等通報部以取代顯示裝置D。
具體而言，亦可構成為例如，測量用治具17除了蜂鳴器與燈具等通報部之外還具備判別部h，並随著以測量部20測量支撐體7的傾斜而以判別部h判別以該測量部20所測量到之支撐體7的傾斜是否傾斜到容許角度以上，且在以判別部h判別出支撐體7的傾斜為傾斜到容許角度以上時，以通報部通報已存在有傾斜到容許角度以上的支撐體7。
(3)在上述實施形態中，在進行傾斜測量控制時，將使其預先移動測量用治具17的地點設為測量開始用的收納部1，並將該測量開始用的收納部1設在面對沖洗用之物品收納架2而位於沖洗用之物品收納架2中的最左下方的收納部1，但也可將位於其他地方的收納部1設成測量開始用的收納部1。
又，進行傾斜測量控制時將使其預先移動測量用治具17的地點設為物品支撐部(內部移載處4b)或移載裝置15之物品保持部15a上亦可。順帶一提，設為物品支撐部之情況，是將執行傾斜測量控制時之最初的搬送起點作為物品支撐部，而設為移載裝置15之物品保持部15a上之情況，是將執 行傾斜測量控制時之最初的拾取用移動處理與拾取用移載處理設為不執行。
(4)在上述實施形態中，控制裝置H在傾斜測量控制中是在將測量用治具17載置支撐於測量對象之收納部1中的支撐體7上後，且預先設定之移動開始用設定時間經過後，才開始進行測量用治具17往下一個測量對象的收納部1之搬送，但也可如以下的方式進行。
亦即，測量用治具17中具備將表示測量結束之資訊予以傳送的送訊部，且堆高式起重機3之升降台14或移載裝置15中具備接收來自送訊部之資訊的收訊部，而使測量用治具17構成為随著支撐體7之傾斜的測量結束，而從送訊部傳送出表示測量結束之資訊。並且，將控制裝置H設成在傾斜測量控制中，將測量用治具17載置支撐於測量對象之收納部1的支撐體7上後，且收訊部剛接收到表示測量結束之資訊之後，或於接收後經過預先設定之時間後，即開始進行測量用治具17之往下一個測量對象的收納部1的搬送亦可。
(5)在上述實施形態中，雖然測量用治具17是構成為具備用以檢測該測量用治具17以恰當姿勢載置支撐於前述支撐體7上的載置狀態的檢測部19，而在檢測部19檢測載置狀態後，且測量開始用設定時間經過後，才使測量部20測量支撐體7的傾斜，但也可以構成如下。
亦即，在堆高式起重機3之升降台14或移載裝置15中具備用以傳送表示搬送結束之資訊的送訊部，且測量用治具 17中具備接收來自送訊部之資訊的收訊部，而堆高式起重機3已結束測量用治具17之搬送後，可將表示搬送結束之資訊從堆高式起重機3之送訊部傳送到測量用治具17的收訊部。並且，也可以將測量用治具17構成為：在收訊部剛接收到表示搬送結束之資訊後，或接收之後且預先設定之時間經過後，使測量部20測量支撐體7的傾斜。
(6)在上述實施形態中，雖然是以和物品被支撐體7支撐的狀態相同的狀態，來以測量用治具17測量支撐體7的傾斜，但也可在使測量用治具17直接載置支撐於板構件8的狀態下測量支撐體7的傾斜等，而以和物品被支撐體7支撐的狀態不同的狀態，藉由測量用治具17來測量支撐體7的傾斜。
又，也可以使支撐體7支撐物品的形態適當變更，例如也可以構成以板狀之構件構成支撐體7，而以載置支撐物品的整個下表面的狀態收納物品。
又，雖然將物品設定為FOUP，但物品也可以是貨櫃或紙板箱(carton case)等其他物品。
(7)在上述實施形態中，雖然構成為作為傾斜測量控制，在全收納架測量控制外，還執行再測量控制，但作為傾斜測量控制，亦可僅進行全收納架測量控制。僅進行全收納架測量控制之情況，可以考慮為，在支撐體之修正結束後，再度執行全收納架測量控制之作法，及作業者利用梯子等，僅測量支撐體7之修正已結束的收納部1之作法。
[上述實施形態之概要]
以下，說明在上述上所說明之物品收納設備之概要。
物品收納設備是構成為具備：物品收納架，將收納物品之收納部以於上下方向及收納架寬度方向上排列的狀態設置複數個；物品搬送裝置，將物品搬送到前述收納部；及控制裝置，控制前述物品搬送裝置的作動，且前述複數個收納部各自具備載置支撐物品的支撐體，並將前述控制裝置構成為執行物品搬送控制，該物品搬送控制是控制用以在物品支撐部與前述收納部之間搬送物品的前述物品搬送裝置的作動。
又具備以被載置支撐於前述支撐體上之狀態測量該支撐體之相對於水平方向的傾斜的測量用治具，且將前述控制裝置構成為執行傾斜測量控制，該傾斜測量控制是控制用以將前述複數個收納部的全部或一部分作為測量對象的收納部，而以下列態樣來將前述測量用治具依序搬送到複數個前述測量對象的收納部的前述物品搬送裝置之作動，該態樣為將前述測量用治具搬送成形成為被載置支撐於前述測量對象之收納部中的前述支撐體上的狀態後，以經預先設定之設定順序將該測量用治具搬送成形成為被載置支撐於接著所設定之前述測量對象的收納部中的前述支撐體上的狀態
根據此構成，藉由使控制裝置執行傾斜測量控制，可將測量用治具透過物品搬送裝置依序搬送到複數個測量對象的收納部。並且，被搬送到測量對象之收納部的測量 用治具因為是以形成為受到支撐體載置支撐的狀態之形式被搬送，故在其被依序搬送之檢測對象的各收納部中，可以用測量用治具測量支撐體之相對於水平方向的傾斜。作業者可以根據測量用治具的測量結果，將傾斜的支撐體修正成恰當的設置狀態。
像這樣，藉由以物品搬送裝置搬送測量用治具以測量複數個測量對象之收納部中的支撐體的傾斜，與作業者一邊於梯子中升降及使該梯子於收納架橫向方向上移動一邊測量的情形相比較，可以謀求測量時間的縮短。
又，在測量用治具之搬送時，利用為了搬送物品而設置之物品搬送裝置，便不需要另外準備用於搬送測量用治具的裝置，因此可以謀求測量時間的縮短還能抑制成本的增加。
在此，較理想的是，使前述控制裝置執行全收納架測量控制作為前述傾斜測量控制，該全收納架測量控制為將前述測量用治具依序搬送到前述測量對象之所有的收納部，且宜具備判別部與顯示裝置，該判別部是在前述全收納架測量控制中判別由前述測量用治具所測量之前述支撐體的相對於水平方向的傾斜度是否傾斜到容許角度以上，該顯示裝置會顯示特定下列之前述收納部之資訊，該特定之收納部具備有經前述判別部判別為傾斜到前述容許角度以上之前述支撐體。
根據此構成，藉由控制裝置執行全收納架測量控制，以將測量用治具依序搬送到全部的測量對象之收納部， 可以藉由測量用治具測量全部的測量對象之收納部的支撐體的傾斜。
並且，以判別部判別在全收納架測量控制中藉由測量用治具所測量到之支撐體相對於水平方向的傾斜是否傾斜到容許角度以上，並將具備有經該判別部判別為傾斜到容許角度以上的支撐體的特定收納部之資訊於顯示裝置上顯示。
由此，作業者可以藉由確認顯示於顯示裝置上之資訊，確認複數個收納部中之判別為傾斜到容許角度以上之支撐體存在的收納部。因此，作業者可以將傾斜到容許角度以上之支撐體匯總以修正成適當的設置狀態，所以與必須在每當以測量用治具測量傾斜到容許角度以上的支撐體時就中斷全收納架測量控制，以將傾斜的支撐體修正成適當的設置狀態的情形相比較，可更有效率地進行支撐體的修正。
又，較理想的是，使前述控制裝置在前述全收納架測量控制之外，還執行再測量控制作為前述傾斜測量控制，該再測量控制為僅將具備有已藉由前述判別部判別為傾斜到前述容許角度以上之前述支撐體的前述收納部，作為前述測量對象之收納部，並將前述測量用治具依序搬送至前述測量對象之收納部。
根據此構成，於再測量控制中，是將複數個收納部中之具備有經判別部判別為已傾斜到容許角度以上之支撐體的收納部，作為測量對象之收納部。因此，藉由執行 再測量控制，可將測量用治具依序搬送到具備有經判別部判別為傾斜至容許角度以上之的支撐體的收納部，而可以根據全收納架測量控制的測量結果，以測量用治具對經判別部判別為傾斜到容許角度以上的支撐體的傾斜進行再測量。
亦即，在作業者已將經判別部判別為傾斜到容許角度以上之支撐體的傾斜修正成適當的設置狀態後，使控制手段執行再測量控制，藉此可以確認是否可使已傾斜的支撐體修正成適當的設置狀態。又，像這樣，對於是否可以修正成適當的設置狀態之確認，並不是執行全收納架測量控制來加以確認，而是執行再測量控制來確認，因此可以謀求測量時間的縮短。
又，較理想的是，使前述控制裝置在前述傾斜測量控制中控制前述物品搬送裝置的作動，該物品搬送裝置之作動是用以將前述測量用治具載置支撐於前述測量對象之收納部中的前述支撐體上後，在預先設定之移動開始用設定時間經過後，開始進行前述測量用治具之往下一個前述測量對象的收納部之搬送。
根據此構成，藉由物品搬送裝置將測量用治具載置支撐於測量對象之收納部中的支撐體上後，在移動開始用設定時間已經過的情況下，會開始進行測量用治具之往下一個測量對象的收納部之搬送。預先設定將測量用治具載置支撐於支撐體上之後以該測量用治具測量支撐體之傾斜所需之時間以上的時間，來作為此移動開始用設定時間， 藉此，將測量用治具載置支撐於測量對象之收納部中的前述支撐體上後，於預先設定之移動開始用設定時間經過後，到開始進行測量用治具之往下一個測量對象的收納部之搬送以前，即結束由測量用治具所進行之測量對象之收納部中的支撐體之傾斜的測量。
亦即，在測量用治具測量過支撐體的傾斜後，無需將表示測量已結束之資訊從測量用治具傳送到物品搬送裝置側，因而無需在物品搬送裝置及測量用治具中具備像這樣傳送資訊的機器，所以可以謀求物品搬送裝置及測量用治具的構成的精簡化。
又，較理想的是，前述測量用治具具備檢測部與測量部，該檢測部是檢測該測量用治具之相對於前述支撐體的載置狀態，該測量部是測量前述支撐體之相對於水平方向的傾斜，且前述測量部所進行的測量是在藉由前述檢測部檢測出前述測量用治具為以預先設定之恰當姿勢被載置支撐於前述支撐體之狀態後，且測量開始用設定時間經過後進行，前述測量開始用設定時間是設定為比前述移動開始用設定時間還短的時間。
根據此構成，當藉由物品搬送裝置將測量用治具載置支撐於測量對象之收納部的支撐體上時，可藉由檢測部檢測該測量用支撐體之載置狀態。並且，像這樣從以檢測部測檢測載置狀態到測量開始用設定時間經過後，即可藉由測量部測量支撐體的傾斜。
亦即，在藉由物品搬送裝置將測量用治具搬送到測量 對象之收納部之後，無需將表示已搬送完成之資訊從物品搬送裝置傳送到測量用治具，因而無需在物品搬送裝置及測量用治具中具備像這樣傳送資訊的機器，所以可以謀求物品搬送裝置及測量用治具的構成的精簡化。
又，較理想的是，前述支撐體具備複數個以預先設定之恰當姿勢載置支撐物品之支撐用構件， 且前述測量用治具具備被支撐部與測量部，該被支撐部是藉由前述複數個支撐用構件而以前述恰當姿勢受到載置支撐，該測量部是受到該被支撐部所支撐，並使前述測量部測量前述支撐體之相對於水平方向的傾斜。
根據此構成，可將收納部之支撐體構成為藉由複數個支撐用構件來以恰當姿勢載置支撐物品。並且，測量用治具之被支撐部是藉由支撐體中的複數個支撐用構件而以恰當姿勢受到載置支撐。
亦即，被搬送到收納部之測量用治具會與被收納於收納部之物品一樣，形成為受到複數個支撐用構件載置支撐之姿勢，並以這種與物品同樣的姿勢來測量支撐體的傾斜，藉此，易於以該測量用治具適當地測量支撐體的傾斜。

Claims (6)

  1. 一種物品收納設備，包含以下之構成：物品收納架，將收納物品之收納部以排列於上下方向及收納架寬度方向之狀態設置複數個；物品搬送裝置，將物品搬送到前述收納部；及控制裝置，控制前述物品搬送裝置的作動，在此，前述複數個收納部各自具備載置支撐物品的支撐體，且將前述控制裝置構成為執行物品搬送控制，該物品搬送控制是控制用以在物品支撐部與前述收納部之間搬送物品的前述物品搬送裝置的作動，前述物品收納設備具有以下特徵：具備測量用治具，該測量用治具以被載置支撐於前述支撐體之狀態測量該支撐體相對於水平方向的傾斜，前述測量用治具具備測量前述支撐體相對於水平方向的傾斜的測量部，且前述控制裝置構成為執行傾斜測量控制，該傾斜測量控制是將前述複數個收納部的全部或一部分作為測量對象的收納部，並控制前述物品搬送裝置之作動以下列態樣將前述測量用治具依序搬送到複數個前述測量對象的收納部，該態樣是搬送前述測量用治具以成為 被載置支撐於前述測量對象之收納部中的前述支撐體上的狀態，然後搬送該測量用治具以成為被載置支撐於在預先設定之設定順序中設定為下一個之前述測量對象的收納部中的前述支撐體上的狀態。
  2. 如請求項1之物品收納設備，其中，前述控制裝置執行全收納架測量控制作為前述傾斜測量控制，該全收納架測量控制為將前述測量用治具依序搬送到前述測量對象之所有的收納部，且具備有判別部與顯示裝置，該判別部可在前述全收納架測量控制中判別由前述測量用治具所測量之前述支撐體的相對於水平方向的傾斜是否傾斜到容許角度以上，該顯示裝置會顯示特定下列之前述收納部之資訊，該特定之收納部具備有經前述判別部判別為傾斜到前述容許角度以上之前述支撐體。
  3. 如請求項2之物品收納設備，其中，前述控制裝置除了前述全收納架測量控制之外，還執行再測量控制作為前述傾斜測量控制，該再測量控制為僅將具備有已藉由前述判別部判別為傾斜到前述容許角度以上之前述支撐體的前述收納部，作為前述測量對象之收納部，並將前述測量用治具依序搬送到前述測量對象的收納部。
  4. 如請求項1至3中任一項之物品收納設備，其中，前述控制裝置在前述傾斜測量控制中控制前述物 品搬送裝置的作動，該物品搬送裝置之作動是用以將前述測量用治具載置支撐於前述測量對象之收納部中的前述支撐體上後，且經過預先設定之移動開始用設定時間後，開始進行前述測量用治具之往下一個前述測量對象的收納部之搬送。
  5. 如請求項4之物品收納設備，其中，前述測量用治具具備檢測該測量用治具之相對於前述支撐體的載置狀態的檢測部，前述測量部所作的測量是在藉由前述檢測部檢測出前述測量用治具為以預先設定之恰當姿勢被載置支撐於前述支撐體之狀態後，且經過測量開始用設定時間後進行，前述測量開始用設定時間是設定為比前述移動開始用設定時間短暫的時間。
  6. 如請求項1至3中任一項之物品收納設備，其中，前述支撐體具備複數個以預先設定之恰當姿勢載置支撐物品的支撐用構件，且前述測量用治具具備藉由前述複數個支撐用構件而以前述恰當姿勢受到載置支撐的被支撐部，且前述測量部受到前述被支撐部所支撐。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101903441B1 (ko) * 2014-06-16 2018-10-02 무라다기카이가부시끼가이샤 퍼지 장치, 퍼지 시스템, 퍼지 방법 및 퍼지 시스템에 있어서의 제어 방법
JP6414525B2 (ja) * 2015-09-02 2018-10-31 株式会社ダイフク 保管設備
JP6586936B2 (ja) * 2016-09-21 2019-10-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6794898B2 (ja) * 2017-03-29 2020-12-02 株式会社ダイフク 収納棚
JP6750574B2 (ja) * 2017-06-30 2020-09-02 株式会社ダイフク 物品支持棚
JP6801640B2 (ja) * 2017-12-21 2020-12-16 株式会社ダイフク 収納棚及び物品収納設備
JP6784277B2 (ja) * 2018-06-11 2020-11-11 村田機械株式会社 ストッカ及び搬送車システム
JP7364037B2 (ja) * 2020-03-09 2023-10-18 村田機械株式会社 平面度測定ユニット
JP7238859B2 (ja) * 2020-07-22 2023-03-14 株式会社ダイフク 物品搬送車

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200833578A (en) 2007-01-12 2008-08-16 Daifuku Kk Article transport device and method for detecting article position deviation
TW201038456A (en) 2009-04-24 2010-11-01 Murata Machinery Ltd Measurement unit, transportation system, and measurement method
TW201111246A (en) 2009-08-13 2011-04-01 Samsung Mobile Display Co Ltd Stocker
WO2017038268A1 (ja) 2015-08-28 2017-03-09 村田機械株式会社 ティーチング装置、搬送システム、及び位置決めピンの測定方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4934767A (en) * 1986-05-16 1990-06-19 Thermco Systems, Inc. Semiconductor wafer carrier input/output drawer
DE102004042061B4 (de) * 2004-08-26 2008-08-14 Hänel GmbH & Co KG Lagerregal
JP4849804B2 (ja) * 2004-09-28 2012-01-11 日本電産サンキョー株式会社 ロボットの作動方法
JP4122521B2 (ja) * 2005-01-17 2008-07-23 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4756372B2 (ja) * 2006-09-13 2011-08-24 株式会社ダイフク 基板処理方法
JP4389181B2 (ja) * 2007-03-07 2009-12-24 株式会社ダイフク 物品処理設備
EP2380827B1 (en) * 2009-01-08 2013-11-27 Daifuku Co., Ltd. Article receiving facility
JP2011011883A (ja) * 2009-07-02 2011-01-20 Murata Machinery Ltd スタッカークレーン及び自動倉庫
TWI496732B (zh) * 2009-07-31 2015-08-21 Murata Machinery Ltd 供工具利用之緩衝儲存和運輸裝置
JP5709011B2 (ja) 2011-12-26 2015-04-30 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP5713203B2 (ja) * 2012-03-27 2015-05-07 株式会社ダイフク 物品収納設備
JP5700255B2 (ja) * 2012-03-27 2015-04-15 株式会社ダイフク 物品保管設備及び物品搬送設備
US20140079516A1 (en) * 2012-09-19 2014-03-20 Zenghong Chen Transportation Device of Glass Substrate Cartridges and Warehouse Apparatus
KR101733713B1 (ko) * 2013-02-12 2017-05-10 무라다기카이가부시끼가이샤 보관 선반

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200833578A (en) 2007-01-12 2008-08-16 Daifuku Kk Article transport device and method for detecting article position deviation
TW201038456A (en) 2009-04-24 2010-11-01 Murata Machinery Ltd Measurement unit, transportation system, and measurement method
TW201111246A (en) 2009-08-13 2011-04-01 Samsung Mobile Display Co Ltd Stocker
WO2017038268A1 (ja) 2015-08-28 2017-03-09 村田機械株式会社 ティーチング装置、搬送システム、及び位置決めピンの測定方法

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