JP4389181B2 - 物品処理設備 - Google Patents
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Description
そして、物品収納棚に、物品載置体を突出位置と引退位置とに出退操作する出退操作手段が設けられていた(例えば、特許文献1参照。)。
ちなみに、物品収納棚の外方に突出する突出位置と物品収納棚の内部に引退する引退位置とに出退自在な物品載置体を設けて、物品を物品収納棚の内部と外部とに移動させるものであるから、物品載置体を引退状態に引退させておくことによって物品載置体が突出する空間を有効利用することができ、また、物品収納棚や物品搬送体をダウンフロー式のクリーン空間に配置した場合では、物品載置体を引退状態に引退させておくことによって、ダウンフローの気流が物品収納棚から突出する物品載置体にて乱されないようにすることができる。
前記物品搬送体に、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記物品載置体を前記突出位置と前記引退位置とに出退操作する出退操作手段が設けられ、
前記物品搬送体が、前記物品載置体よりも上方の移動経路に沿って移動するように構成され、且つ、前記物品載置体に対する物品受け渡し及び受け取りのために昇降操作自在な物品保持部を備えるように構成され、
前記物品載置体が、載置している物品を、前記引退位置と前記突出位置との出退により前記物品収納棚の外部と内部とに移動させるように構成され、
前記物品載置体が、前記出退操作手段の出退作動により直接に移動操作される収納用***作体と収納用リンク機構にて連動連結され、
前記出退操作手段が、その突出作動により前記物品載置体を前記引退位置から前記突出位置に移動操作し、かつ、その引退作動により前記物品載置体を前記突出位置から前記引退位置に移動操作するように構成されている点にある。
従って、物品収納棚の構成を簡素なものとして、全体構成の簡素化を図ることができる物品処理設備を提供することができるに至った。
従って、物品載置体を必要な移動ストロークで出退移動させることができながらも、物品収納棚の収納効率の低下を抑制することができる物品処理設備を提供することができるに至った。
従って、物品保管棚の構成を簡素なものとして、全体構成の簡素化を図ることができる物品処理設備を提供することができるに至った。
従って、物品保管棚を必要な移動ストロークで出退移動させることができながらも、物品保管棚の配置スペースを小さくすることができる物品処理設備を提供することができるに至った。
図1及び図2に示すように、物品処理設備は、床面上に設置される物品収納棚1と、天井に吊り下げ支持される保管用棚2と、前記物品収納棚1に対する物品移載箇所及び前記保管用棚2に対する物品移載箇所を経由する移動経路に沿って移動自在な物品搬送体としての移動車3とを備えて構成されている。
そして、物品収納棚1は、物品としての容器5を収納する物品収納部1aを縦横に備えて構成され、保管用棚2は、1つの容器5を一時的に保管するように構成されている。
ちなみに、図示は省略するが、物品処理設備には半導体基板の製造途中での半製品等に対して所定の処理を行う物品処理部も備えられており、移動経路は物品処理部に対する物品移載箇所も経由するように設定されている。
また、保管用棚2の支持板81は、前記物品収納棚1側に突出する物品授受位置(図7参照)と前記物品収納棚1から離れる側に引退する物品保管位置(図6参照)とに出退移動自在に設けられており、前記移動車3が、前記保管用棚2に対する物品移載箇所に停止した状態において、前記物品授受位置の前記支持板81に対して容器5の受け渡し及び受け取りを行うように構成されている。
ちなみに、載置板50が物品載置体に相当し、支持板81が物品保管棚に相当するものであり、また、物品収納棚1に対する物品移載箇所と、この物品収納棚1に設けられた載置板50の正面に位置する支持板81(保管用棚2)に対する物品移載箇所とは同じ箇所に設定されている。
そして、移動車3の移動経路の横一側方には物品収納棚1が配設され、また、移動車3の移動経路の横他側方には保管用棚2が配設されており、支持板81が、前記物品収納棚1に対して前記載置板50の突出方向に離間し且つ前記載置板50に対向する箇所に設けられている。
また、図3及び図4に示すように、前記移動体3は、前記載置板50及び前記支持板81に対する物品受け渡し及び受け取りのために昇降操作自在な物品保持部23を備えるように構成されている。
そして、空気が循環する循環経路の途中には外気取入流路33及び排気流路34が接続されており、送風ファン31にて循環されるクリーン空間内の空気の一部が外気と交換されている。
図3及び図4に示すように、前記移動車3は、案内レール8の内方空間部に位置して案内レール8にて案内される上方車体9と、この上方車体9の下方に位置して上方車体9と前後の連結杆10、11にて連結される下方車体12とを備えて構成されている。
また、上方車体9には、案内レール8の内方空間部に形成された走行案内面16上を転動する走行輪15と案内レール8の内方空間部に形成された振止案内面18上を転動する振止輪17とが備えられている。
さらに、上方車体9には、受電コイル20が設けられており、案内レール8に沿って設けられた給電線19に交流電流を通電させて磁界を発生させ、この磁界により移動車3側での必要電力を受電コイル20に発生させて、移動車3に対して無接触状態で給電を行うように構成されている。
物品保持部23は、回転ドラム26に巻き掛けられた4本のワイヤ6にて吊り下げ支持されており、下方車体12は、ドラム駆動用モータ25にて回転ドラム26を正逆回転させて4本のワイヤ6を同時に巻き取り及び繰り出しすることによって、物品保持部23を略水平姿勢に維持しながら昇降操作するように構成されている。
そして、前記物品保持部23には、容器5の上部に形成されたフランジ5aを把持する一対の把持具23aが設けられている。そして、一対の把持具23aが把持動作用モータ27の正逆回転により互いに近づく方向に揺動してフランジ5aを把持する把持姿勢と、一対の把持具23aが互いに離れる方向に揺動して把持を解除する解除姿勢とに切り換え自在に構成されている。
尚、物品保持部23は、図外の旋回用モータにて旋回操作されるように構成されている。
図6及び図7に示すように、出退操作手段S1と物品保管棚操作手段S2との夫々は、移動車3に固定された棚前後方向に長尺状のベース63と、そのベースに対して棚前後方向に移動自在に設けられた長尺状の操作体64と、その操作体64の先端部の下面側に設けられた係合ローラ65とを備えて構成されている。そして、出退操作手段S1と物品保管棚操作手段S2との夫々は、図外のアクチュエータの作動によりベース63に対して操作体64を出退させて、係合ローラ65を棚側に移動させる突出作動及び棚から離れる側に移動させる引退作動を行うように構成されている。
図2に示すように、前記物品収納棚1に、前記引退位置の前記載置板50と前記物品収納部1aとの間で容器5を搬送すべく水平移動並びに昇降移動自在な物品移載装置としてのスタッカークレーン4が設けられている。
つまり、物品収納棚1は、出し入れ方向が互いに対向するように間隔を隔てて設置された一対の収納棚部分1Aを備えて構成されており、これらの一対の収納棚部分1Aどうしの間に、棚横幅方向に沿って水平移動するスタッカークレーン4が設けられている。
スタッカークレーン4についての詳細な説明は省略するが、棚横幅方向に沿って走行する走行台車に案内ポストが立設されており、この案内ポストに沿って昇降移動する昇降台に自己と物品収納部1aや載置板50との間で容器5を授受するフォーク装置4aが備えられている。
ちなみに、各収納棚部分1Aには物品収納部1aが縦横に備えられている。
そして、物品収納棚1には、物品搬出入用の物品搬出入部1bが備えられており、この物品搬出入部1bは、移動車3の移動経路が位置する側の収納棚部分1Aにおける上から2段目で且つ棚横幅方向に並ぶ2つの収納部1aに相当する部分に形成されている。
また、物品収納棚1は壁部にて覆われているが、壁部における物品搬出入部1bに対応する部分は開口しており、この開口から容器5を搬出入するように構成されている。
図5に示すように、物品収納棚1における物品搬出入部1bには、主案内枠36が、棚横幅方向に並ぶ一対の支柱35に亘って架設されており、可動案内枠37が、主案内枠36に対して棚前後方向(載置板50の出退移動方向)に移動自在に直接に案内支持され、物品載置枠7が、可動案内枠37に対して棚前後方向に移動自在に直接に案内支持されるとともに、前記出退操作手段S1にて直接に操作される収納用***作体55と、この収納用***作体55を物品載置枠7と連動させる収納用リンク機構38と、物品載置枠7を引退位置にロックする収納用ロック手段R1とが備えられている。
そして、左右一対の主案内用レール40の夫々は、前後方向視での断面形状が内方側が開放するコ字状に形成されるとともに、後端が前端より下方に位置する後傾姿勢で設けられており、可動案内枠37を自重にて後方側に付勢する状態で案内支持するように構成されている。
また、左右一対の主案内用規制部材42の夫々には、主案内用レール40の後部下端に内方側に突出する状態に連結支持されて可動案内枠37の主案内枠36に対する設定移動範囲より後方側への移動を規制する引退用の主案内用規制部材42と、主案内用レール40の前部下端に内方側に突出する状態に連結支持されて可動案内枠37の主案内枠36に対する設定移動範囲より前方側への移動を規制する突出用の主案内用規制部材42とが備えられている。
そして、左右一対の可動案内用被案内部材45の夫々は、前後一対の被案内輪45aにて構成されて前記主案内用レール40に対して転動するように構成されており、これら前後一対の被案内輪45aは、可動案内用レール46の長手方向に沿う状態に並べて設けられており、可動案内枠37は、主案内枠36にて後端部が前端部より下方に位置する後傾姿勢で案内支持されている。
また、左右一対の可動案内用被接当部材47の夫々は、可動案内板44の可動案内用被案内部材45と可動案内用レール46との間における後部に下方側に突出する状態に連結支持されて引退用や突出用の主案内用規制部材42に接当するように構成されている。
また、左右一対の可動案内用規制部材48の夫々は、可動案内板44の可動案内用被案内部材45と可動案内用レール46との間における後部に上方側に突出する状態に連結支持されて物品載置枠7の可動案内枠37に対する設定移動範囲より後方側への移動を規制する引退用の可動案内用規制部材48と、可動案内板44の可動案内用被案内部材45と可動案内用レール46との間における前部に上方側に突出する状態に連結支持されて物品載置枠7の可動案内枠37に対する設定移動範囲より前方側への移動を規制する突出用の可動案内用規制部材48とが備えられている。
そして、左右一対の載置用被案内部材51の夫々は、リニアブロックにて構成されており、リニアガイドにて構成された前記可動案内用レール46に対して摺動するように構成されている。
また、載置用被案内部材51の夫々は、載置板50に対して後傾姿勢で連結支持されており、載置板50の載置面を水平な姿勢としながらも可動案内枠37にて後端部が前端部より下方に位置する後傾姿勢で案内支持されるように構成されている。
また、左右一対の載置用被接当部材52の夫々は、載置板50の後部に横外方側に突出する状態に連結支持されて引退用や突出用の可動案内用規制部材48に接当するように構成されている。
ちなみに、可動案内枠37の可動案内板44と物品載置枠7の載置板50との間には、スタッカークレーン4におけるフォーク装置4aを挿抜するための空間が形成されている。
収納用***作体55には、近接位置に位置する状態において棚前後方向と交差する方向に沿って縦軸心P1側に延びる溝部55aが設けられている。この溝部55aは、前端側の端部を前方側に開口させて、く字状に形成されている。
そして、収納用***作体55と載置板50とは、収納用***作体55が近接位置に位置する状態では載置板50が引退位置に位置し、収納用***作体55が離間位置に位置する状態では載置板50が突出位置となるように、収納用リンク機構38にて連動連結されている。
尚、図示は省略するが、移動経路の棚横幅方向の両側には、操作体64に接当して係合ローラ65を適性操作位置に案内する一対の案内ローラが備えられている。
そして、ローラ体60は、載置板50の下面に連結支持されたローラ係合部材54に係合しており、ローラ体60が棚前後方向に移動するに伴って載置板50も棚前後方向に移動するように構成されている。
ちなみに、ローラ係合部材54は、ローラ体60が係合する溝穴を棚横幅方向に長く形成して、ローラ体60がローラ係合部材54に対して棚横幅方向に移動することを許容するように構成されている。
すると、収納用ロック手段R1は、出退操作手段S1の突出作動の初期に、突出する操作体64にて解除用ローラ69が押し上げ操作されて揺動部材67が上方に揺動し、これによって規制板68が収納用***作体55の移動経路から退避してロック解除状態に切り換えられる。
そして、図10〜図12に示すように、収納用***作体55は、出退操作手段S1の突出作動により、係合ローラ65が収納用***作体55の溝部55aに係合した後に溝部55aの奥側の側面が押し操作されて平面視で反時計回りに近接位置から離間位置に切り換え操作される。
このように収納用***作体55が近接位置から離間位置に平面視で反時計回りに操作されると、***作リンク56、上部リンク59、下部リンク61の夫々も反時計回りに揺動してローラ体60が前方側に移動することによって、載置板50が引退位置から突出位置に移動する。
そして、載置板50が引退位置から突出位置に移動する際は、まず、物品載置枠7の載置用被案内部材51が可動案内枠37の可動案内用レール46上を摺動して物品載置枠7が可動案内枠37に対して前方側に移動し、図11に示すように、物品載置枠7が可動案内枠37に対する設定移動範囲の前端まで移動すると、突出用の可動案内用規制部材48が載置用被接当部材52に接当する。その後、可動案内枠37が物品載置枠7に押される形態で物品載置枠7と可動案内枠37とが一体的に前方側に向けて移動することにより、図12に示すように、可動案内枠37の被案内輪45aが主案内枠36の主案内用レール40上を転動して可動案内枠37が主案内枠36に対して前方側に移動して、載置板50が突出位置まで移動する。
すると、図10〜図12に示すように、収納用***作体55は、出退操作手段S1の引退作動により係合ローラ65にて離間位置から近接位置に引き操作された後に係合ローラ65が溝部55aから離脱するように構成されている。そして、出退操作手段S1の引退作動の末期に、収納用ロック手段R1は、引退する操作体64が解除用ローラ69の下方から引き抜かれて揺動部材67が自重にて下方に揺動し、これによって規制板68が収納用***作体55の移動経路に進入してロック状態に切り換えられるように構成されている。
上記ように収納用***作体55が離間位置から近接位置に平面視で時計回りに操作されると、***作リンク56、上部リンク59、下部リンク61の夫々が時計回りに揺動してローラ体60が後方側に移動することによって、載置板50が突出位置から引退位置に移動する。
そして、載置板50が突出位置から引退位置に移動する際は、まず、物品載置枠7の載置用被案内部材51が可動案内枠37の可動案内用レール46上を摺動して物品載置枠7が可動案内枠37に対して後方側に移動し、物品載置枠7が可動案内枠37に対する設定移動範囲の後端まで移動すると、引退用の可動案内用規制部材48が載置用被接当部材52に接当する。その後、可動案内枠37が物品載置枠7に押される形態で物品載置枠7と可動案内枠37とが一体的に後方側に向けて移動することにより、図10に示すように、可動案内枠37の被案内輪45aが主案内枠36の主案内用レール40上を転動して可動案内枠37が主案内枠36に対して後方側に移動して、載置板50が引退位置まで移動する。
図5に示すように、前記支持板81の出退方向に支持板81を案内支持する固定枠用レール76が、前記支持板81の物品保管位置に対応して設けられ、前記支持板81が、その出退移動方向に出退自在に前記固定枠用レール76に案内支持されている。
また、前記支持板81の物品保管位置に対応して、前記物品保管棚操作手段S2にて直接に操作される保管用***作体73と、この保管用***作体73を支持板81と連動させる保管用リンク機構74と、支持板81を引退位置にロックする保管用ロック手段R2とが備えられている。尚、保管用***作体73及び保管用ロック手段R2は、それぞれ収納用***作体55及び収納用ロック手段R1と同様に構成されているため説明は省略する。
そして、左右一対の支持アーム体78の夫々は、棚前後方向に沿って延びて保管用被案内部材80を支持する上部と、この上部の前端から下方に延びる中間部、この中間部の下端から前方に延びる下部とから形成されている。
また、前記左右一対の支持アーム体78の夫々における中間部及び下部には、その長手方向に間隔を隔てて複数の孔部が形成されており、支持アーム体78の軽量化が図られている。
前記支持板81は、左右一対の支持アーム体78における下部を互いに連結する一対の連結部材に亘って備えられており、この支持板81には、載置板50と同様に三角形状に3つの物品位置決め部材53が設けられている。
左右一対の保管用被案内部材80の夫々は、前後一対の被案内ローラにて構成されて前記固定枠用レール76に対して転動するように構成されており、固定枠71にて後端側が前端側より下方に位置する後傾姿勢で案内支持されている。つまり、左右一対の保管用被案内部材80の夫々は、支持板81の載置面を水平な姿勢としながらも後方側の被案内ローラが前方側の被案内ローラより下方に位置した状態で固定枠71にて案内支持されている。
つまり、保管用リンク機構74は、保管用***作体73が近接位置から離間位置に平面視で反時計回りに操作されると、第1リンク、第3リンクの夫々が反時計回りに揺動して枢支部86aが前方側に移動することによって、支持板81を物品保管位置から物品授受位置に移動させ、また、保管用***作体73が離間位置から近接位置に平面視で時計回りに操作されると、第1リンク、第3リンクの夫々が時計回りに揺動して枢支部86aが後方側に移動することによって、支持板81を物品授受位置から物品保管位置に移動させるように構成されている。
(1) 上記実施の形態では、物品保管位置に対応する箇所に、支持板81の出退移動方向に支持板81を案内支持する固定枠用レール76を設け、支持板81を、その出退移動方向に出退自在に固定枠用レール76に案内支持されるように構成して、ガイドとして固定枠用レール76のみを備える構成としたが、図13及び図14に示すように、物品保管位置に対応する箇所に、支持板81の出退移動方向に案内レール87を案内支持する固定枠用レール76を設け、支持板81を、その出退移動方向に出退自在に案内レール87に案内支持されるように構成して、ガイドとして固定枠用レール76と案内レール87とを備える構成としてもよい。
ちなみに、この実施の形態では、図13及び図14に示すように、物品保管位置に対応する箇所に備えた棚支持用枠88に、左右一対の固定枠用レール76にて直接に案内される左右一対の保管用被案内部材89と前記案内レール87とを備え、案内レール87にて支持アーム体78に支持された保管用案内部材(図示せず)を案内するように構成されている。また、棚支持用可動ガイド88には、支持アーム体78の棚前後方向での移動を設定移動範囲に規制する移動規制部材90を備えて構成されており、移動規制部材90は、支持アーム体78の棚支持用可動枠88に対する設定移動範囲より後方側への移動を規制する引退用の移動規制部材90と、支持アーム体78の棚支持用可動枠88に対する設定移動範囲より前方側への移動を規制する突出用の移動規制部材90とが備えられている。
尚、固定枠用レール76が固定ガイドに相当し、棚支持用可動レール88が棚支持用可動ガイドに相当する。
また、転動式のガイド構造としては、前後方向視がコ字状のレールの内部空間を輪体を転動させる構成の他に、棒状のレールの上面と下面とを上下に振り分けられた複数の輪体を転動させる構成でもよい。
1a 物品収納部
3 物品搬送体
4 物品移載装置
5 物品
23 物品保持部
40 主案内ガイド
46 可動案内ガイド
50 載置板
71 固定ガイド
81 支持板
88 棚支持用可動ガイド
S1 出退操作手段
S2 物品保管棚操作手段
Claims (7)
- 物品を収納する物品収納部を縦横に備えた物品収納棚と、
前記物品収納棚に対する物品移載箇所を経由する移動経路に沿って移動自在な物品搬送体とが設けられ、
前記物品収納棚の物品搬出入用の物品載置体が、その物品収納棚の外方に突出する物品授受用の突出位置と前記物品収納棚の内部に引退する引退位置とに出退自在に設けられ、
前記物品搬送体が、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記突出位置の前記物品載置体に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成された物品処理設備であって、
前記物品搬送体に、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記物品載置体を前記突出位置と前記引退位置とに出退操作する出退操作手段が設けられ、
前記物品搬送体が、前記物品載置体よりも上方の移動経路に沿って移動するように構成され、且つ、前記物品載置体に対する物品受け渡し及び受け取りのために昇降操作自在な物品保持部を備えるように構成され、
前記物品載置体が、載置している物品を、前記引退位置と前記突出位置との出退により前記物品収納棚の外部と内部とに移動させるように構成され、
前記物品載置体が、前記出退操作手段の出退作動により直接に移動操作される収納用***作体と収納用リンク機構にて連動連結され、
前記出退操作手段が、その突出作動により前記物品載置体を前記引退位置から前記突出位置に移動操作し、かつ、その引退作動により前記物品載置体を前記突出位置から前記引退位置に移動操作するように構成されている物品処理設備。 - 前記物品収納棚に、前記物品載置体の出退移動方向に移動自在に可動案内ガイドを案内支持する主案内ガイドが設けられ、
前記物品載置体が、その出退移動方向に移動自在に前記可動案内ガイドに案内支持されている請求項1記載の物品処理設備。 - 前記物品収納棚に、前記引退位置の前記物品載置体と記物品収納部との間で物品を搬送すべく水平移動並びに昇降移動自在な物品移載装置が設けられている請求項1又は2記載の物品処理設備。
- 前記物品収納棚及び前記物品搬送体が、ダウンフロー式のクリーン空間内に設置されている請求項1〜3のいずれか1項に記載の物品処理設備。
- 前記物品収納棚に対して前記物品載置体の突出方向に離間し且つ前記物品載置体に対向する箇所に、前記物品収納棚側に突出する物品授受位置と前記物品収納棚から離れる側に引退する物品保管位置とに出退移動自在な物品保管棚が設けられ、
前記物品搬送体が、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記物品授受位置の前記物品保管棚に対して物品の受け渡し及び受け取りを行うように構成されている請求項3又は4に記載の物品処理設備。 - 前記物品搬送体に、前記物品移載箇所に停止した状態において、前記物品保管棚を前記物品授受位置と前記物品保管位置とに出退操作する物品保管棚操作手段が設けられている請求項5記載の物品処理設備。
- 前記物品保管棚の出退方向に棚支持用可動ガイドを案内支持する固定ガイドが、前記物品保管棚の物品保管位置に対応して設けられ、
前記物品保管棚が、その出退移動方向に出退自在に前記棚支持用可動ガイドに案内支持されている請求項5又は6に記載の物品処理設備。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007057210A JP4389181B2 (ja) | 2007-03-07 | 2007-03-07 | 物品処理設備 |
TW097105591A TWI412478B (zh) | 2007-03-07 | 2008-02-18 | 物品收納設備 |
IE2008/0144A IE86023B1 (en) | 2008-02-22 | Article storage facility | |
US12/041,991 US8231324B2 (en) | 2007-03-07 | 2008-03-04 | Article storage facility |
KR1020080020005A KR101289365B1 (ko) | 2007-03-07 | 2008-03-04 | 물품 수납 설비 |
SG200801814-5A SG145678A1 (en) | 2007-03-07 | 2008-03-04 | Article storage facility |
DE102008012410A DE102008012410A1 (de) | 2007-03-07 | 2008-03-04 | Gegenstandlagerhaltungsanlage |
CN200810082481XA CN101261951B (zh) | 2007-03-07 | 2008-03-06 | 物品收纳设备 |
NL2001353A NL2001353C2 (nl) | 2007-03-07 | 2008-03-06 | Artikelopslagvoorziening. |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007057210A JP4389181B2 (ja) | 2007-03-07 | 2007-03-07 | 物品処理設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008214074A JP2008214074A (ja) | 2008-09-18 |
JP4389181B2 true JP4389181B2 (ja) | 2009-12-24 |
Family
ID=39678193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007057210A Expired - Fee Related JP4389181B2 (ja) | 2007-03-07 | 2007-03-07 | 物品処理設備 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8231324B2 (ja) |
JP (1) | JP4389181B2 (ja) |
KR (1) | KR101289365B1 (ja) |
CN (1) | CN101261951B (ja) |
DE (1) | DE102008012410A1 (ja) |
NL (1) | NL2001353C2 (ja) |
SG (1) | SG145678A1 (ja) |
TW (1) | TWI412478B (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101832084B (zh) * | 2010-05-18 | 2012-10-10 | 张帆 | 无人值守全自动银行保管箱*** |
JP5765549B2 (ja) * | 2010-10-04 | 2015-08-19 | 株式会社ダイフク | 物品搬送装置 |
FI123784B (fi) * | 2011-03-25 | 2013-10-31 | Konecranes Oyj | Järjestely kuormauselimen heilahduksen vaimentamiseksi nosturissa |
EP2716577B1 (en) * | 2011-05-31 | 2016-05-18 | Murata Machinery, Ltd. | Drawer device and storage device |
JP5527619B2 (ja) * | 2011-11-24 | 2014-06-18 | 株式会社ダイフク | 天井設置型の物品搬送設備 |
KR101418812B1 (ko) * | 2012-10-31 | 2014-07-16 | 크린팩토메이션 주식회사 | 웨이퍼 퍼지 가능한 천장 보관 장치 |
US10023385B2 (en) * | 2013-11-12 | 2018-07-17 | Daifuku Co., Ltd. | Article storage facility |
WO2015141793A1 (ja) * | 2014-03-20 | 2015-09-24 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム |
JP6149805B2 (ja) * | 2014-06-05 | 2017-06-21 | 株式会社ダイフク | 搬送装置 |
JP6217598B2 (ja) * | 2014-11-12 | 2017-10-25 | 株式会社ダイフク | 物品収納設備 |
JP6766584B2 (ja) | 2016-10-19 | 2020-10-14 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
EP3539903B1 (en) * | 2016-11-14 | 2022-04-27 | Murata Machinery, Ltd. | Ceiling conveyance system, and relay conveyance apparatus and conveyance method used therefor |
CN107822349B (zh) * | 2017-12-19 | 2023-11-10 | 江苏润联再生资源科技有限公司 | 一种用于安放废弃线路板的防尘架体 |
CN110712671B (zh) * | 2019-08-28 | 2022-04-19 | 四川铭航兰德科技有限公司 | 一种用于运输导管的运输车 |
JP7238859B2 (ja) * | 2020-07-22 | 2023-03-14 | 株式会社ダイフク | 物品搬送車 |
JP7342841B2 (ja) | 2020-11-06 | 2023-09-12 | 株式会社ダイフク | 搬送車 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1202361A (en) | 1966-05-12 | 1970-08-19 | David Theodore Nelson Williams | Improvements in or relating to a programme-controlled machine tool installation |
DE2102098A1 (de) | 1971-01-16 | 1972-07-27 | Griese, Klaus P., 3001 Meilendorf | Stapel- und Kommisionierungsanlage für stabförmige Güter |
US3954185A (en) | 1971-11-15 | 1976-05-04 | American Chain & Cable Company, Inc. | Hydraulic motor system |
EP0116152A3 (de) | 1982-12-14 | 1985-12-04 | GOLDBECKBAU GMBH & CO. KG | Vorrichtung zur Einlagerung und Entnahme von stangenförmigem Material |
JPS60122604A (ja) | 1983-12-05 | 1985-07-01 | Mitsubishi Electric Corp | パレット取出装置 |
DE8400348U1 (de) | 1984-01-07 | 1984-08-09 | M - Hoffmann Lagertechnik - Fördertechnik Koordinations - GmbH, 5000 Köln | Hubrahmen zum aufnehmen und transportieren von rollbuegeln mit lagergut |
DE3509678A1 (de) | 1985-03-18 | 1986-09-18 | HYWEMA Josef Schwahlen (GmbH & Co), 5650 Solingen | Lagerregal |
DE3531444A1 (de) | 1985-08-14 | 1987-02-26 | Ohra Regalanlagen Gmbh | Vorrichtung zur ein- oder auslagerung von guetern in oder aus einem wabenregal |
JPH02135513A (ja) | 1988-11-16 | 1990-05-24 | Toshiba Corp | データ処理装置 |
JPH02135513U (ja) * | 1989-04-17 | 1990-11-09 | ||
TW272967B (en) * | 1993-06-03 | 1996-03-21 | Daifuku Kk | Movable loading device |
FR2711629B1 (fr) | 1993-10-22 | 1996-03-08 | Sipa Roller | Magasin à tiroirs pour stockage de charges lourdes. |
JPH07242305A (ja) * | 1994-03-07 | 1995-09-19 | Murata Mach Ltd | 自動倉庫 |
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US20010014268A1 (en) | 1998-10-28 | 2001-08-16 | Charles S. Bryson | Multi-axis transfer arm with an extensible tracked carriage |
JP3832295B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2006-10-11 | 株式会社ダイフク | 荷取り扱い設備 |
EP1535143A4 (en) | 2002-06-19 | 2010-05-05 | Brooks Automation Inc | AUTOMATED MATERIAL HANDLING SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING BASED ON A COMBINATION OF VERTICAL CAROUSELS AND OVERHEAD HOISTS |
KR101446511B1 (ko) | 2002-10-11 | 2014-10-07 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 자동 재료 핸들링 시스템 |
JP3991852B2 (ja) * | 2002-12-09 | 2007-10-17 | 村田機械株式会社 | 天井搬送車システム |
AT500228B1 (de) | 2003-05-20 | 2007-07-15 | Tgw Transportgeraete Gmbh | Teleskopschubarm, insbesondere für eine lastaufnahmevorrichtung |
JP4045451B2 (ja) | 2003-12-26 | 2008-02-13 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
TWM271924U (en) * | 2004-03-23 | 2005-08-01 | Jeng-Kan Wen | Safety linkage apparatus for storage cabinet |
JP4221603B2 (ja) | 2005-03-31 | 2009-02-12 | 村田機械株式会社 | 天井走行車システム |
JP4632091B2 (ja) | 2005-08-30 | 2011-02-16 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
-
2007
- 2007-03-07 JP JP2007057210A patent/JP4389181B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-02-18 TW TW097105591A patent/TWI412478B/zh not_active IP Right Cessation
- 2008-03-04 KR KR1020080020005A patent/KR101289365B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2008-03-04 DE DE102008012410A patent/DE102008012410A1/de not_active Withdrawn
- 2008-03-04 SG SG200801814-5A patent/SG145678A1/en unknown
- 2008-03-04 US US12/041,991 patent/US8231324B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-03-06 NL NL2001353A patent/NL2001353C2/nl not_active IP Right Cessation
- 2008-03-06 CN CN200810082481XA patent/CN101261951B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090016864A1 (en) | 2009-01-15 |
NL2001353C2 (nl) | 2012-09-11 |
CN101261951B (zh) | 2012-01-18 |
JP2008214074A (ja) | 2008-09-18 |
DE102008012410A1 (de) | 2008-09-11 |
TW200840779A (en) | 2008-10-16 |
KR101289365B1 (ko) | 2013-07-29 |
IE20080144A1 (en) | 2008-10-15 |
CN101261951A (zh) | 2008-09-10 |
NL2001353A1 (nl) | 2008-09-09 |
KR20080082471A (ko) | 2008-09-11 |
US8231324B2 (en) | 2012-07-31 |
TWI412478B (zh) | 2013-10-21 |
SG145678A1 (en) | 2008-09-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090507 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090702 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090910 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090923 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121016 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131016 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |