JP6610518B2

JP6610518B2 - 検査装置

Info

Publication number: JP6610518B2
Application number: JP2016233192A
Authority: JP
Inventors: 多通夫中尾; 和宏鳥本
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2016-11-30
Filing date: 2016-11-30
Publication date: 2019-11-27
Anticipated expiration: 2036-11-30
Also published as: TWI733940B; CN113758436A; JP2018091657A; TW201823668A; KR102412923B1; KR20180062398A; CN108120388B; CN108120388A

Description

本発明は、検出体と前記検出体を移動させる駆動部とを備えて、収容物を収容する収容容器を検査対象とする検査装置に関する。

かかる検査装置の従来例が、特開２００９−１２８３３８号公報（特許文献１）に記載されている。特許文献１の検査装置では、ガラス基板を収容物として収容するワイヤーカセットを、検査対象の収容容器としている。そして、検査対象のワイヤーカセットは、収容したガラス基板を位置決めするために複数のワイヤが備えられている。複数のワイヤの夫々は、容器左右方向に沿って設置されており、複数のワイヤは、容器上下方向及び容器前後方向に並ぶ状態で配置されている。

特許文献１の検査装置では、投光部と受光部とを容器前後方向に並ぶ状態で備え、このように備えられた投光部と受光部との組を、ワイヤの両端部夫々を検出するための２組と、ワイヤの中央部を検出するための１組との、３組の投光部と受光部とが備えられている。そして、ワイヤーカセットを支持している昇降台を昇降させたときの、３組の投光部及び受光部によってワイヤが検出されるタイミングのズレから、ワイヤの撓み、つまりは、収容物を位置決めするための部材の歪みを検出している。
ところで、収容容器が、特許文献１の検査装置が検査対象としているワイヤーカセットの場合は、ワイヤーカセットは重量物であるため、ワイヤーカセットを昇降させるために用いられる昇降台の駆動部は出力が大きなものを用いる必要があるため、昇降台の製造コストが高くなり、これによって検査装置の製造コストが高くなる。
また、収容容器には、複数のワイヤに代えて、片持ち状態で容器本体に支持された複数の棒状体を備えているものがある。このような複数の棒状体を片持ち状態で備えられている収容容器において、棒状体の歪みを検出できる検査装置はこれまで知られていない。

特開２００９−１２８３３８号公報

そこで、収容容器に備えられている棒状体の歪みを検出できながら製造コストを抑えることができる検査装置の実現が望まれる。

上記に鑑みた、検査装置の特徴構成は、検出体と前記検出体を移動させる駆動部とを備えて、収容物を収容する収容容器を検査対象とする検査装置であって、
前記収容容器は、前記収容物を収容する収容空間を有する容器本体と、前記収容空間に設置されて前記収容空間に収容した前記収容物を位置決めする複数の棒状体と、を備え、複数の前記棒状体の夫々は、第１方向に沿う姿勢で設置されると共に、前記棒状体の一方の端部である基端部が前記容器本体に固定され、他方の端部である先端部が固定されていない片持ち状態で前記容器本体に支持され、複数の前記棒状体は、前記第１方向に対して直交する第２方向、及び、前記第１方向及び前記第２方向に対して直交する第３方向の夫々に複数並ぶ状態で配置され、前記駆動部は、前記検出体を前記第３方向に移動させ、前記検出体は、投光部と受光部とを前記第２方向に並ぶ状態で備え、前記投光部は、前記第３方向に幅を有する帯状の検出光を前記受光部に向けて投光し、前記投光部と前記受光部とは、前記容器本体を検査用の載置部に載置させた状態で、前記投光部と前記受光部との間を前記先端部が通過するような前記第１方向の位置に配置されている点にある。

これらの特徴構成によれば、収容容器は、複数の棒状体によって位置決めした状態で収容物を収容することができる。そして、このような収容容器では、収容した収容物の荷重や棒状体の自重によって棒状体に歪みが生じる可能性があるが、検査装置により検査することで次のように棒状体の歪みを検出できる。
棒状体に歪みが生じていない場合の棒状体の先端部の位置を適正位置とすると、棒状体に歪みが生じている場合では、棒状体の先端部の位置が適正位置からずれる。そして、検出装置は、検出体を移動させたときの検出体の第３方向での位置や帯状の検出光における棒状体により遮断された位置に基づいて、棒状体の第３方向での位置を検出でき、棒状体の先端部の適正位置からずれた位置を検出、つまりは、棒状体に歪みを検出することができる。
また、駆動部により検出体を第３方向に移動させて棒状体の先端部の位置を検出することで、収容容器を移動させる必要がない。そして、検出体は収容容器に比べて軽量であるため、収容容器を移動させる場合に比べて、検査装置の製造コストを抑えることができる。
このように、収容容器に備えられている棒状体の歪みを検出できながら製造コストを抑えることができる検査装置を提供することができる。

物品収納設備の平面図物品収納設備の側面図収容容器の斜視図検査部の平面図検査部の側面図検査部の背面図支持操作機構を示す図支持操作機構を示す図検出部の斜視図検出体の検出状態を示す図検出体の検出状態を示す図検出体の検出状態を示す図

１．実施形態
検査装置を容器収納設備に採用した実施形態について図面に基づいて説明する。
図１及び図２に示すように、容器収納設備には、収容容器１を収納する収納棚２と、収容容器１を搬送する搬送装置としてのスタッカークレーン３とが備えられている。
収納棚２は、収容容器１を収納する複数の収納部４を上下方向Ｚ及び棚長手方向Ｘに並ぶ状態で備えられている。また、収納棚２は、収容容器１に対して板状体Ｂを出し入れするための基板入出部５と、板状体Ｂを収容していない収容容器１（以下、空の収容容器１と称する場合がある）を収納棚２から取り出すための容器入出部６と、空の収容容器１を検査するための検査部７と、を備えている。このように、収容容器１に収容される収容物は板状体Ｂであり、詳しくは、液晶テレビ等に用いられるガラス基板である。物品収納設備には、ファンフィルタユニット８が設置されており、収納棚２及びスタッカークレーン３は、天井側から床側に向けて空気（気体）が下方に流動する空間に設置されている。

次に、容器収容設備について説明するが、上下方向Ｚに見て、収納棚２に沿う方向を棚長手方向Ｘとし、その棚長手方向Ｘに対して直交する方向を棚奥行き方向Ｙとして説明する。また、棚奥行き方向Ｙにおいて、収納棚２に対してスタッカークレーン３が存在する側を前側Ｙ１とし、前側Ｙ１とは反対側を後側Ｙ２として説明する。

〔スタッカークレーン〕
スタッカークレーン３は、収納棚２の前側Ｙ１に形成された走行経路に棚長手方向Ｘに沿って走行する走行台車１１と、走行台車１１に立設されたマスト１２と、マスト１２に沿って上下方向Ｚに案内される昇降台１３と、昇降台１３に支持されて収納棚２と自己との間で収容容器１を移載する移載装置１４と、を備えている。また、昇降台１３には、移載装置１４を上下方向Ｚに沿う軸心周りに旋回させる旋回装置（図示せず）が備えられており、移載装置１４を１８０°旋回させることで、移載装置１４は、一対の収納棚２の何れとの間でも収容容器１を移載可能となっている。そして、スタッカークレーン３は、走行台車１１の走行、昇降台１３の昇降、および、移載装置１４の出退及び旋回により、収納部４と基板入出部５と容器入出部６と検査部７との間で収容容器１を搬送する。

容器収納設備では、板状体Ｂを収容した収容容器１は収納部４に収納されており、当該収容容器１は、スタッカークレーン３により、収納部４から基板入出部５に搬送される。基板入出部５では、移載ロボット１６により、収容容器１から板状体Ｂを１枚単位で取り出されて搬送コンベヤ１７に載せられるとともに、搬送コンベヤ１７により搬送されてきた板状体Ｂが、移載ロボット１６により１枚単位で収容容器１に収容される。基板入出部５における板状体Ｂの出し入れが終了した収容容器１は、スタッカークレーン３により、基板入出部５から収納部４に搬送される。

収容容器１に対して検査が必要な場合は、当該収容容器１は、スタッカークレーン３により基板入出部５に搬送されて移載ロボット１６により板状体Ｂが全て取り出された後、スタッカークレーン３により検査部７に搬送される。また、収容容器１に対して洗浄が必要な場合は、当該収容容器１は、スタッカークレーン３により基板入出部５に搬送されて移載ロボット１６により板状体Ｂが全て取り出された後、スタッカークレーン３により容器入出部６に搬送される。また、収容容器１に対して検査と洗浄との双方が必要な場合は、当該収容容器１は、スタッカークレーン３により基板入出部５に搬送されて移載ロボット１６により板状体Ｂが全て取り出された後、スタッカークレーン３により容器入出部６に搬送され、洗浄後の収容容器１が、スタッカークレーン３により、容器入出部６から検査部７に搬送される。尚、容器入出部６では、収容容器１が収納棚２から後側Ｙ２に取り出され、その取り出された収容容器１は、洗浄装置（図示せず）により洗浄された後、容器入出部６に戻される。また、収容容器１に対する検査と洗浄との双方が必要な場合において、容器入出部６と検査部７とに搬送する順序を入れ替えてもよい。

〔容器〕
次に、収容容器１について説明する。尚、容器収納設備においては、収容容器１は、容器前後方向Ｄ１（第１方向）が棚奥行き方向Ｙに沿い、容器左右方向Ｄ２（第２方向）が棚長手方向Ｘに沿い、容器上下方向Ｄ３（第３方向）が上下方向Ｚに沿う姿勢で、収納や搬送が行われる。そのため、収容容器１が検査部７に位置する状態では、容器前後方向Ｄ１は棚奥行き方向Ｙと同じ方向となり、容器左右方向Ｄ２は棚長手方向Ｘと同じ方向となり、容器上下方向Ｄ３は上下方向Ｚと同じ方向となる。また、容器前後方向Ｄ１の前側と棚奥行き方向Ｙの前側Ｙ１とは同じ方向であり、容器前後方向Ｄ１の後側と棚奥行き方向Ｙの後側Ｙ２とは同じである。

図３〜図６に示すように、収容容器１は、板状体Ｂを収容する収容空間２１を有する容器本体２２と、収容空間２１に収容した板状体Ｂを下方から支持する支持部２３と、を備えている。収容容器１は、支持部２３を容器上下方向Ｄ３に並ぶ状態で複数備えられている。そして、収容容器１には、板状体Ｂは、容器前後方向Ｄ１及び容器左右方向Ｄ２に沿う姿勢で収容空間２１に収容される。

容器本体２２は、上枠２６と、この上枠２６より容器上下方向Ｄ３で下方に位置する下枠２７と、上枠２６と下枠２７との間に位置して上枠２６及び下枠２７に固定された中間枠２８と、を備えている。上枠２６、下枠２７及び中間枠２８の夫々は、棒状の枠材を組み合わせて構成されている。

上枠２６は、容器上下方向Ｄ３に見て矩形状に形成された上外枠２６Ａと、上外枠２６Ａに囲まれる空間に格子状に備えられて上外枠２６Ａに固定された上内枠２６Ｂと、で構成されている。下枠２７は、容器上下方向Ｄ３に見て矩形状に形成された下外枠２７Ａと、下外枠２７Ａに囲まれる空間に格子状に備えられて下外枠２７Ａに固定された下内枠２７Ｂと、で構成されている。
中間枠２８は、収容空間２１に対して容器前後方向Ｄ１の前側に位置する前枠２８Ａと、収容空間２１に対して容器左右方向Ｄ２の右側に位置する右枠２８Ｂと、収容空間２１に対して容器左右方向Ｄ２の左側に位置する左枠２８Ｃと、で構成されている。前枠２８Ａは、上外枠２６Ａ及び下外枠２７Ａに固定されて容器上下方向Ｄ３に延びる１本の枠材により構成されており、容器左右方向Ｄ２に並ぶ状態で複数（本実施形態では３本）備えられている。右枠２８Ｂ及び左枠２８Ｃの夫々は、容器上下方向Ｄ３に延びる１本の枠材により構成されており、容器前後方向Ｄ１に並ぶ状態で複数（本実施形態では５本）備えられている。
収容空間２１に対して容器前後方向Ｄ１の後側には中間枠２８は備えられていない。これにより、収容容器１は、収容空間２１に対して容器前後方向Ｄ１の一方側となる後側に、収容空間２１に対して板状体Ｂを出し入れする出入口２９が形成されている。

複数の前枠２８Ａの夫々には、容器上下方向Ｄ３に並ぶ状態で複数の第１棒状体２３Ａが連結されており、複数の第１棒状体２３Ａは、容器左右方向Ｄ２及び容器上下方向Ｄ３に複数並ぶ状態で配置されている。第１棒状体２３Ａの夫々は、容器前後方向Ｄ１に沿う姿勢で設置されると共に、第１棒状体２３Ａの前側の端部（一方の端部）である基端部が容器本体２２の前枠２８Ａに固定され、後側の端部（他方の端部）である先端部が固定されていない片持ち状態で、容器本体２２に支持されている。複数の第１棒状体２３Ａの夫々は、基端部から先端部側ほど細い形状に形成されている。複数の第１棒状体２３Ａの夫々は、その先端部が容器本体２２の後端より前方に位置しており、容器前後方向Ｄ１において最も後方に位置する第２棒状体２３Ｂや第３棒状体２３Ｃと同じ位置に位置している。尚、複数の第１棒状体２３Ａが、収容空間２１に配置されて収容空間２１に収容した板状体Ｂを位置決めする棒状体に相当する。

複数の右枠２８Ｂの夫々には、容器上下方向Ｄ３に並ぶ状態で複数の第２棒状体２３Ｂが連結されており、複数の第２棒状体２３Ｂは、容器前後方向Ｄ１及び容器上下方向Ｄ３に複数並ぶ状態で配置されている。複数の第２棒状体２３Ｂの夫々は、容器左右方向Ｄ２に沿う姿勢で設置されると共に、第２棒状体２３Ｂの右側の端部である基端部が容器本体２２の右枠２８Ｂに固定され、左側の端部である先端部が固定されていない片持ち状態で、容器本体２２に支持されている。
複数の左枠２８Ｃの夫々には、容器上下方向Ｄ３に並ぶ状態で複数の第３棒状体２３Ｃが連結されており、複数の第３棒状体２３Ｃは、容器前後方向Ｄ１及び容器上下方向Ｄ３に複数並ぶ状態で配置されている。複数の第３棒状体２３Ｃの夫々は、容器左右方向Ｄ２に沿う姿勢で設置されると共に、第３棒状体２３Ｃの左側の端部である基端部が容器本体２２の左枠２８Ｃに固定され、右側の端部である先端部が固定されていない片持ち状態で、容器本体２２に支持されている。

そして、収容空間２１における容器左右方向Ｄ２の中央部に、複数の第１棒状体２３Ａが配置される領域（配置領域Ｅ）が形成されている。収容空間２１における中央部より右側に、複数の第２棒状体２３Ｂが配置される領域が形成されている。収容空間２１における中央部より左側に、複数の第３棒状体２３Ｃが配置される領域が形成されている。

複数の支持部２３の夫々は、同じ高さに備えられた複数（３本）の第１棒状体２３Ａ、複数（５本）の第２棒状体２３Ｂ及び複数（５本）の第３棒状体２３Ｃにより構成されている。このように、複数の支持部２３の夫々は、容器左右方向Ｄ２に１列に並ぶ複数の第１棒状体２３Ａを含んでいる。そして、同じ高さに備えられた複数（３本）の第１棒状体２３Ａ、複数（５本）の第２棒状体２３Ｂ及び複数（５本）の第３棒状体２３Ｃを、容器上下方向Ｄ３に複数並べることで、支持部２３が上下方向Ｚに並ぶ状態で複数備えられる。
支持部２３は、板状体Ｂにおける容器左右方向Ｄ２における中央部を複数の第１棒状体２３Ａで下方から支持すると共に、板状体Ｂにおける容器左右方向Ｄ２の右側部（中央部より容器左右方向Ｄ２で右側に位置する部分）を複数の第２棒状体２３Ｂで下方から支持し、板状体Ｂにおける容器左右方向Ｄ２の左側部（中央部より容器左右方向Ｄ２で左側に位置する部分）を第３棒状体２３Ｃで下方から支持する。そして、このように支持部２３により板状体Ｂを下方から支持することで、収容空間２１に収容した板状体Ｂを支持部２３（特に複数の第１棒状体２３Ａ）により位置決めするように構成されている。

〔検査部〕
図５及び図６に示すように、検査部７は、収容容器１を下方から支持する支持台３１と、収容容器１を検査するための検査装置１９と、を備えている。検査部７と容器入出部６とは、棚長手方向Ｘにおいて１台のスタッカークレーン３が走行する範囲内に設置されており、１台のスタッカークレーン３によって直接に搬送可能な位置関係で設置されている。本実施形態では、検査部７と容器入出部６とが同じ収納棚２に備えられており、検査部７と容器入出部６とは隣り合っている。尚、支持台３１が、検査用の載置部に相当する。

支持台３１には、センタリング装置３２が備えられている。このセンタリング装置３２は、支持台３１に載せられる収容容器１の上下方向Ｚに見た位置が適正位置（図４に示す位置）から水平方向（棚長手方向Ｘ及び棚奥行き方向Ｙ）に位置ずれしている場合に、その収容容器１を適正位置に移動させる。
センタリング装置３２は、収容容器１を支持するとともに収容容器１の側面を押し操作する支持操作機構３３を複数備えている。本実施形態では、センタリング装置３２は４つの支持操作機構３３を備えている。つまり、センタリング装置３２は、棚長手方向Ｘの一方向から収容容器１の側面を押し操作する支持操作機構３３と、棚長手方向Ｘの他方向から収容容器１の側面を押し操作する支持操作機構３３と、棚奥行き方向Ｙの一方向から収容容器１の側面を押し操作する支持操作機構３３と、棚奥行き方向Ｙの他方向から収容容器１の側面を押し操作する支持操作機構３３と、を備えている。

図７及び図８に示すように、支持操作機構３３は、支持台３１に固定された基部３６と、収容容器１を下方から支持する容器支持部３７と、収容容器１の側面を押し操作する押圧部３８と、容器支持部３７と押圧部３８とを連動させる連動部３９と、を備えている。容器支持部３７は、上下方向Ｚに沿って移動自在に基部３６に支持されている。押圧部３８は、検査部７に位置する収容容器１に対して遠近移動するように、水平方向（棚長手方向Ｘ又は棚奥行き方向Ｙ）に沿って移動自在に基部３６に支持されている。そして、連動部３９は、容器支持部３７が下方に移動するに伴って、押圧部３８が収容容器１に対して近づく側に移動し、容器支持部３７が上方に移動するに伴って、押圧部３８が収容容器１に対して離れる側に移動するように、容器支持部３７と押圧部３８とを連動している。

支持操作機構３３の各構成について説明を加える。
連動部３９は、水平方向に沿う揺動軸心周りに揺動自在に基部３６に支持されている。容器支持部３７は、連動部３９に回転自在に支持されたローラ体により構成されており、連動部３９を介して基部３６に支持されている。押圧部３８は、連動部３９に回転自在に支持されたローラ体により構成されており、連動部３９を介して基部３６に支持されている。そして、連動部３９が、揺動軸心周りに揺動することで待機姿勢（図７参照）と支持姿勢（図８参照）とに姿勢変更する。連動部３９は、付勢部材（図示せず）により、支持姿勢から待機姿勢に向けて付勢されており、支持台３１が収容容器１を支持していない状態では、連動部３９は待機姿勢となっている。このように連動部３９が待機姿勢となっている状態では、図７に示すように、容器支持部３７は上方位置に位置し、押圧部３８は離間位置に位置している。

そして、図８に示すように、検査部７において支持台３１が収容容器１を支持している状態において当該収容容器１の高さを支持高さとして、スタッカークレーン３により収容容器１が検査部７に搬送する場合は、スタッカークレーン３は、支持高さより高い搬送高さ（図７参照）で支持した状態で、収容容器１を棚奥行き方向Ｙの後側に移動させた後、収容容器１を搬送高さから支持高さに下降させる。このように収容容器１を搬送高さから支持高さに下降することで、収容容器１の荷重によって容器支持部３７が上方位置から下方位置に移動するとともに、下方位置に位置する容器支持部３７により収容容器１が支持高さで支持される。
そして、このように容器支持部３７が下方位置に移動するに伴って押圧部３８が離間位置から接近位置に移動する。収容容器１が搬送高さから支持高さに下降するときに、収容容器１の上下方向Ｚに見た位置が適正位置から水平方向にずれている場合は、接近位置に移動する押圧部３８により収容容器１の側面が押し操作されて、収容容器１の位置が適正位置に修正される。

〔検査装置〕
図４、図６及び図９に示すように、検査装置１９は、検出体４１と、検出体４１を上下方向Ｚに案内する案内体４２と、当該検出体４１を移動させる駆動部４３と、駆動部４３を制御する制御部Ｈ（図５参照）と、を備えて、板状体Ｂを収容する収容容器１を検査対象としている。そして、制御部Ｈは、検出体４１の検出情報に基づいて第１棒状体２３Ａに歪みが生じているか否かを判別する。

検出体４１は、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとを棚長手方向Ｘ（容器左右方向Ｄ２）に並ぶ状態で備えている。そして、投光部４１Ａは、上下方向Ｚ（容器上下方向Ｄ３）に幅を有する帯状の検出光Ｌを受光部４１Ｂに向けて投光する。投光部４１Ａと受光部４１Ｂとは、共通の連結体４４に連結されて相対位置が固定されている。駆動部４３は、検出体４１を上下方向Ｚに移動させる。そして、制御部Ｈは、投光部４１Ａ及び受光部４１Ｂの高さを示す情報と、受光部４１Ｂが受光した検出光Ｌの情報と、から収容容器１に備えられている複数の第１棒状体２３Ａに歪みが生じているか否かを判別するようになっている。尚、制御部Ｈには、収容容器１を支持台３１に載せた状態における上下方向Ｚに並ぶ複数の第１棒状体２３Ａの夫々の高さを示す高さ情報と、第１棒状体２３Ａの上下方向Ｚの太さを示す太さ情報と、が記憶されている。

次に、検出体４１について説明を加えるが、検出体４１と収容容器１との位置関係を説明する場合、特段の説明がない場合は、収容容器１が支持台３１に支持させた状態を前提に説明する。そして、棚長手方向Ｘの一方側を第１側Ｘ１、その反対側を第２側Ｘ２として、棚長手方向Ｘにおいて、収容容器１に同じ高さで備えられている複数の第１棒状体２３Ａにおける最も第１側Ｘ１に位置する第１棒状体２３Ａから最も第２側Ｘ２に位置する第１棒状体２３Ａまでの範囲を配置領域Ｅとしている。

そして、投光部４１Ａは、配置領域Ｅに対して第１側Ｘ１に位置し、受光部４１Ｂは、配置領域Ｅに対して第２側Ｘ２に位置している。このように、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとは、支持部２３に含まれる複数の第１棒状体２３Ａの配置領域Ｅを含む棚長手方向Ｘ（容器左右方向Ｄ２）の外側に配置されている。
また、投光部４１Ａ及び受光部４１Ｂを第１棒状体２３Ａに対応する高さに昇降させた状態では、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとは、収容容器１を支持台３１に載置させた状態で、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとの間に第１棒状体２３Ａの先端部が通過するような第１方向の棚奥行き方向Ｙの位置に配置されている。そのため、投光部４１Ａ及び受光部４１Ｂを第１棒状体２３Ａに対応する高さに昇降させた状態では、投光部４１Ａから投光した帯状の検出光Ｌが第１棒状体２３Ａの先端部により一部遮断されるようになっている。

また、投光部４１Ａは、棚長手方向Ｘにおいて第１棒状体２３Ａと第２棒状体２３Ｂとの間に位置し、受光部４１Ｂは、棚長手方向Ｘにおいて第１棒状体２３Ａと第３棒状体２３Ｃとの間に位置している。つまり、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとは、第２棒状体２３Ｂと第３棒状体２３Ｃとの間に位置しながら、複数の第１棒状体２３Ａの配置領域Ｅに対して棚長手方向Ｘで外側に配置されている。そのため、投光部４１Ａや受光部４１Ｂは、第１棒状体２３Ａ、第２棒状体２３Ｂ及び第３棒状体２３Ｃに干渉することなく上下方向Ｚに移動させることができる。

次に、制御部Ｈが実行する検査制御について説明する。
制御部Ｈが検査制御を実行する前は、検出体４１は待機高さ（図５に示す高さ）に位置している。この待機高さは、搬送高さの収容容器１における下枠２７より高い高さで、且つ、支持高さの収容容器１における上枠２６より低い高さに位置している。そして、制御部Ｈは、支持台３１に載せられたことが存否センサ（図示せず）により検出されると、検査制御を実行する。
検査制御では、待機高さから開始高さに下降させた後、終了高さまで上昇させ、その後、待機高さまで下降させる。開始高さは、上下方向Ｚに並ぶ複数の第１棒状体２３Ａのうちの最も下方に位置する第１棒状体２３Ａに対応する高さである。検出体４１が開始高さに位置する状態では、最も下方に位置する適正姿勢の第１棒状体２３Ａの先端部が検出光Ｌにおける上下方向Ｚの中央部に位置する。終了高さは、上下方向Ｚに並ぶ複数の第１棒状体２３Ａのうちの最も上方に位置する第１棒状体２３Ａに対応する高さである。検出体４１が終了高さに位置する状態では、最も上方に位置する適正姿勢の第１棒状体２３Ａの先端部が検出光Ｌにおける上下方向Ｚの中央部に位置する。

そして、検査制御では、上下方向Ｚに並ぶ複数の第１棒状体２３Ａの設定高さの夫々において受光部４１Ｂにおける検出光Ｌの受光状態を確認し、各設定高さに設置された複数の第１棒状体２３Ａについて第１棒状体２３Ａに歪みが生じているか否かを判別する。具体的には、例えば、上下方向Ｚに並ぶ複数の第１棒状体２３Ａのうちの最も下方に位置する５本の第１棒状体２３Ａについては、検出体４１を最も下方に位置する５本の第１棒状体２３Ａに対応する高さ（開始高さ）に位置させた状態で、受光部４１Ｂにおける検出光Ｌの受光状態を確認する。このとき、受光部４１Ｂが検出光Ｌを受光しない上下方向Ｚの範囲が、図１０に示すように、第１棒状体２３Ａの上下方向Ｚの幅に許容ずれ量を加えた幅以下であるとともに、検出光Ｌを受光しない上下方向Ｚの位置が予め設定された位置の場合は、最も下方に位置する５本の第１棒状体２３Ａに歪みが生じていないと判断する。また、受光部４１Ｂが検出光Ｌを受光しない上下方向Ｚの範囲が、図１１や図１２に示すように、第１棒状体２３Ａの上下方向Ｚの幅に許容ずれ量を加えた幅より広い場合や、検出光Ｌを受光しない上下方向Ｚの位置が予め設定された位置から上下方向Ｚにずれている場合は、最も下方に位置する５本の第１棒状体２３Ａに歪みが生じていると判別する。このような判別を、検出体４１を開始高さから終了高さまで上昇させるに応じて、上下方向Ｚに並ぶ複数の第１棒状体２３Ａに対して行う。

２．その他の実施形態
次に、検査装置のその他の実施形態について説明する。

（１）上記実施形態では、容器本体２２を、枠材を組み合わせて構成したが、容器本体２２の構成は適宜変更してもよい。具体的には、例えば、枠材を組み合わせた容器本体２２の左右の側面や上面及び下面に板材を備えて、容器本体２２を横倒れした筒状に構成としてもよい。また、このように容器本体２２を横倒れした筒状に構成した場合、容器本体２２の前面を塞ぐようにファンフィルタユニットを取り付けて、ファンフィルタユニットにより清浄化された外気を収容空間２１に取り込むように構成してもよい。

（２）上記実施形態では、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとを、収容容器１を支持台３１に支持させた状態で、出入口２９から収容空間２１内に入り込んだ位置に配置したが、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとの配置は適宜変更してもよい。具体的には、例えば、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとを、容器本体２２に対して容器左右方向Ｄ２の外側に位置するように配置し、投光部４１Ａを、収容空間２１の外部から受光部４１Ｂに向けて検出光Ｌを投光し、受光部４１Ｂは、収容空間２１を通過した検出光Ｌを収容空間２１の外部で受光するようにしてもよい。

（３）上記実施形態では、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとを、共通の連結体４４に連結して、単一の駆動部４３により、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとを一体的に容器上下方向Ｄ３に移動させたが、駆動部４３として、投光部４１Ａを容器上下方向Ｄ３に移動させる駆動部４３と受光部４１Ｂを容器上下方向Ｄ３に移動させる駆動部４３とを備えて、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとを各別に容器上下方向Ｄ３に移動させるようにしてもよい。

（４）上記実施形態では、スタッカークレーン３によって収容容器１が支持台３１に搬送されるときの動きを利用して、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとが出入口２９から収容空間２１に入り込むようにしたが、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとを容器前後方向Ｄ１に移動させる第２駆動部を備えて、収容容器１が支持台３１に支持されている状態で、第２駆動部により投光部４１Ａと受光部４１Ｂとを容器前後方向Ｄ１に移動させることで、投光部４１Ａ及び受光部４１Ｂが収容空間２１に対して容器前後方向Ｄ１の後側の位置（収容空間２１の外部の位置）と、投光部４１Ａ及び受光部４１Ｂが収容空間２１に対して容器前後方向Ｄ１の前側の位置（収容空間２１に入り込んだ位置）と、移動するようにしてもよい。

（５）上記実施形態では、支持部２３を、複数の第１棒状体２３Ａと複数の第２棒状体２３Ｂと複数の第３棒状体２３Ｃとで構成したが、支持部２３を、複数の第１棒状体２３Ａのみで構成してもよく、支持部２３を、複数の第１棒状体２３Ａと複数の第２棒状体２３Ｂ又は複数の第３棒状体２３Ｃのいずれか一方とで構成してもよい。
また、収容容器１に第１棒状体２３Ａを含む支持部２３を備えたが、収容容器１に第１棒状体２３Ａを含む支持部２３を備えなくてもよい。具体的には、収容容器１の底面に支持板を備え、その支持板上に、板状体Ｂを容器前後方向Ｄ１及び容器上下方向Ｄ３に沿う姿勢（縦姿勢）で収容し、その板状体Ｂに対して容器左右方向Ｄ２の両側に位置する複数の第１棒状体２３Ａにより、板状体Ｂの容器左右方向Ｄ２での位置を位置決めすようにしてもよい。

（６）上記実施形態では、第１方向を容器前後方向Ｄ１、第２方向を容器左右方向Ｄ２、第３方向を容器上下方向Ｄ３としたが、これらの方向の関係は適宜変更してもよい。具体的には、例えば、第１方向を容器上下方向Ｄ３として、複数の第１棒状体２３Ａの夫々を容器上下方向Ｄ３に沿う姿勢で設置してもよく、また、第２方向を容器上下方向Ｄ３として、投光部４１Ａと受光部４１Ｂとを容器上下方向Ｄ３に並ぶ状態で備えてもよい。

（７）上記実施形態では、収容容器１に収容する収容物を板状体Ｂとしたが、収容容器１に収容する収容物は、ウェハ等の他の板状体でもよく、また、収容物の形状は、箱状や円柱状等の他の形状のものでもよい。

（８）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用することも可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

３．上記実施形態の概要
以下、上記において説明した検査装置の概要について説明する。

検査装置は、検出体と前記検出体を移動させる駆動部とを備えて、収容物を収容する収容容器を検査対象とする検査装置であって、
前記収容容器は、前記収容物を収容する収容空間を有する容器本体と、前記収容空間に設置されて前記収容空間に収容した前記収容物を位置決めする複数の棒状体と、を備え、複数の前記棒状体の夫々は、第１方向に沿う姿勢で設置されると共に、前記棒状体の一方の端部である基端部が前記容器本体に固定され、他方の端部である先端部が固定されていない片持ち状態で前記容器本体に支持され、複数の前記棒状体は、前記第１方向に対して直交する第２方向、及び、前記第１方向及び前記第２方向に対して直交する第３方向の夫々に複数並ぶ状態で配置され、前記駆動部は、前記検出体を前記第３方向に移動させ、前記検出体は、投光部と受光部とを前記第２方向に並ぶ状態で備え、前記投光部は、前記第３方向に幅を有する帯状の検出光を前記受光部に向けて投光し、前記投光部と前記受光部とは、前記容器本体を検査用の載置部に載置させた状態で、前記投光部と前記受光部との間を前記先端部が通過するような前記第１方向の位置に配置されている。

このような構成により、収容容器は、複数の棒状体によって位置決めした状態で収容物を収容することができる。そして、このような収容容器では、収容した収容物の荷重や棒状体の自重によって棒状体に歪みが生じる可能性があるが、検査装置により検査することで次のように棒状体の歪みを検出できる。
棒状体に歪みが生じていない場合の棒状体の先端部の位置を適正位置とすると、棒状体に歪みが生じている場合では、棒状体の先端部の位置が適正位置からずれる。そして、検出装置は、検出体を移動させたときの検出体の第３方向での位置や帯状の検出光における棒状体により遮断された位置に基づいて、棒状体の第３方向での位置を検出でき、棒状体の先端部の適正位置からずれた位置を検出、つまりは、棒状体の歪みを検出することができる。
また、駆動部により検出体を第３方向に移動させて棒状体の先端部の位置を検出することで、収容容器を移動させる必要がない。そして、検出体は収容容器に比べて小型で軽量であるため、収容容器を移動させる場合に比べて、検査装置の製造コストを抑えることができる。
このように、収容容器に備えられている棒状体の歪みを検出できながら製造コストを抑えることができる検査装置を提供することができる。

ここで、前記第１方向を容器前後方向、前記第２方向を容器左右方向、前記第３方向を容器上下方向として、前記収容物は、前記容器前後方向及び前記容器左右方向に沿う姿勢で前記収容空間に収容される板状体であり、前記収容容器は、前記収容空間に収容した前記板状体を下方から支持する支持部を、前記容器上下方向に並ぶ状態で複数備え、複数の前記支持部の夫々は、前記容器左右方向に１列に並ぶ複数の前記棒状体を含み、前記投光部と前記受光部とは、前記支持部の夫々に含まれる複数の前記棒状体の配置領域に対して前記容器左右方向の外側に配置されていると好適である。

この構成によれば、複数の支持部の夫々に板状体を支持させることで、収容容器には、板状体を容器上下方向に並べた状態で収容することができる。そして、このように板状体を収容することで、板状体は、容器左右方向に１列に並ぶ棒状体によって下方から支持される。棒状体は、板状体の荷重や棒状体の自重によって、棒状体の先端部が下方に下がるように棒状体が歪む可能性があるが、検査装置により検査することで棒状体の歪みを検出できる。
投光部と受光部とは、支持部の夫々に含まれる複数の棒状体の配置領域に対して容器左右方向の外側に配置されているため、投光部と受光部とにより、１つの支持部に含まれる複数の棒状体の先端部の位置を纏めて検出することができる。そのため、投光部と受光部との組を複数組備える必要がないため、検出部のコストを抑えることができる。

また、前記投光部と前記受光部とは、共通の連結体に連結されて相対位置が固定されていると好適である。

この構成によれば、投光部と受光部とは連結体により相対位置が固定されているため、駆動部により投光部と受光部とを第３方向に移動させる場合に、投光部と受光部との相対的に位置がずれることがない。そのため、投光部と受光部とが相対的に第３方向にずれることによって棒状体の検出に誤差が生じることを回避できる。

また、前記収容容器は、前記収容空間に対して前記第１方向の一方側に、前記収容空間に対して前記収容物を出し入れする出入口が形成され、前記投光部と前記受光部とは、前記収容容器を前記載置部に載置させた状態で、前記出入口から前記収容空間内に入り込んだ位置に配置されていると好適である。

この構成によれば、収容容器を載置部に載置させた状態では、第２方向において投光部と受光部とが容器本体の内側に位置している。従って、例えば、第２方向において投光部と受光部とが容器本体の外側に位置している場合では、投光部から投光する検出光が容器本体に干渉しないように収容容器の形状や検出部の設置位置を考慮する必要があるが、第２方向において投光部と受光部とを容器本体の内側に位置させることで、上述のように収容容器の形状や検出部の設置位置を考慮する必要がなくなる。

本開示に係る技術は、収容物を収容する収容容器を検査対象とする検査装置に利用することができる。

１：収容容器
１９：検査装置
２１：収容空間
２２：容器本体
２３：支持部
２３Ａ：第１棒状体（棒状体）
２９：出入口
３１：支持台（載置部）
４１：検出体
４１Ａ：投光部
４１Ｂ：受光部
４３：駆動部
Ｂ：板状体（収容物）
Ｄ１：容器前後方向（第１方向）
Ｄ２：容器左右方向（第２方向）
Ｄ３：容器上下方向（第３方向）
Ｅ：配置領域

Claims

検出体と前記検出体を移動させる駆動部とを備えて、収容物を収容する収容容器を検査対象とする検査装置であって、
前記収容容器は、前記収容物を収容する収容空間を有する容器本体と、前記収容空間に設置されて前記収容空間に収容した前記収容物を位置決めする複数の棒状体と、を備え、
複数の前記棒状体の夫々は、第１方向に沿う姿勢で設置されると共に、前記棒状体の一方の端部である基端部が前記容器本体に固定され、他方の端部である先端部が固定されていない片持ち状態で前記容器本体に支持され、
複数の前記棒状体は、前記第１方向に対して直交する第２方向、及び、前記第１方向及び前記第２方向に対して直交する第３方向の夫々に複数並ぶ状態で配置され、
前記駆動部は、前記検出体を前記第３方向に移動させ、
前記検出体は、投光部と受光部とを前記第２方向に並ぶ状態で備え、前記投光部は、前記第３方向に幅を有する帯状の検出光を前記受光部に向けて投光し、
前記投光部と前記受光部とは、前記容器本体を検査用の載置部に載置させた状態で、前記投光部と前記受光部との間を前記先端部が通過するような前記第１方向の位置に配置されている検査装置。
前記第１方向を容器前後方向、前記第２方向を容器左右方向、前記第３方向を容器上下方向として、
前記収容物は、前記容器前後方向及び前記容器左右方向に沿う姿勢で前記収容空間に収容される板状体であり、
前記収容容器は、前記収容空間に収容した前記板状体を下方から支持する支持部を、前記容器上下方向に並ぶ状態で複数備え、
複数の前記支持部の夫々は、前記容器左右方向に１列に並ぶ複数の前記棒状体を含み、
前記投光部と前記受光部とは、前記支持部の夫々に含まれる複数の前記棒状体の配置領域に対して前記容器左右方向の外側に配置されている請求項１記載の検査装置。
前記投光部と前記受光部とは、共通の連結体に連結されて相対位置が固定されている請求項１又は２記載の検査装置。
前記収容容器は、前記収容空間に対して前記第１方向の一方側に、前記収容空間に対して前記収容物を出し入れする出入口が形成され、
前記投光部と前記受光部とは、前記収容容器を前記載置部に載置させた状態で、前記出入口から前記収容空間内に入り込んだ位置に配置されている請求項１から３のいずれか一項に記載の検査装置。